JP2011504658A

JP2011504658A - ウエハプローバのｚ軸位置制御装置及び方法

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Publication number: JP2011504658A
Application number: JP2010534867A
Authority: JP
Inventors: コ、ヨン−ホ
Original assignee: セミックスインク
Priority date: 2007-11-22
Filing date: 2008-07-22
Publication date: 2011-02-10
Anticipated expiration: 2028-07-22
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Abstract

本発明は、ウエハプローバのＺ軸の傾きを検出して補正するウエハプローバのＺ軸位置制御装置及び方法に関する。ウエハプローバのＺ軸位置制御装置は、ウエハプローバのＺ軸移送部（315）を支持するＺ軸支持板とＺ軸ベース（321）との間に散在して設けられた多数の圧力センサーからなる第１のセンサー部（316）を含む。アクチュエータ（326〜332）がＺ軸支持板とＺ軸ベースとの間に散在して設けられ、Ｚ軸支持板（321）を上方に押し上げるか下方に下降させる。駆動装置がアクチュエータを駆動する。制御モジュール（300）は、圧力センサーから提供されるセンシングデータによってアクチュエータを駆動するように駆動装置を制御する。制御モジュールは、センシングデータの差異値が、予め設定された限界差異値より大きい場合、アクチュエータを駆動させることによって、チャックプレートが常に水平状態を維持するようにする。

Description

本発明は、ウエハプローバに関し、より詳細には、ウエハプローバのチャックプレートに過度な圧力(force)が加えられているのかの可否とＺ軸ベースの傾き(tilting)の程度を測定し、その測定結果によって、チャックプレートに加えられる圧力及びＺ軸ベースの傾きを補正することによって、チャックプレートが常に水平を維持できるようにするウエハプローバのＺ軸位置制御装置及び方法に関する。

ウエハプローバ(Wafer Prober)は、ウエハ上のチップ(chip)とテスター(tester)とを連結する装置であって、前記テスターは、前記ウエハプローバを介して前記ウエハ上のチップに連結され、前記チップに電気的な信号を提供し、その結果を検査することで、前記チップ各々の異常有無又は不良可否を判断する。前記のウエハプローバの構成及び動作を、図１を参照して簡略に説明する。多数のチップが形成されたウエハ２０９が、ウエハ移送装置２０４によりチャックプレート２０８にローディングされると、前記チャックプレート２０８は、チャック移送装置２０６により、前記ウエハに備えられた多数のチップのパッドに、前記プローブカード２１０に備えられた多数の探針が並んで接触するように、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向に動く。ここで、Ｘ、Ｙ方向は、チャックプレートの表面に対して水平方向を示し、Ｚ方向は、チャックプレートの表面に対して垂直方向を示す。前記多数の探針が前記多数のチップのパッドに各々接触すれば、テスター１００は、所定のプログラムによるテスト信号をテスター連結端子及び多数の探針を介して前記多数のチップに提供し、前記多数のチップは、前記テスト信号による出力信号を前記テスター１００に提供することによって、各チップに対する電気的な特性テストを行えるようにする。

以下、図２を参照して、前記チャックプレート２０８を上下方向へ移送する機構的な構成の一実施形態を説明する。

前記チャックプレート２０８の下面には、一面が傾斜して切削された傾斜面を有する楔型の支持台２１２が設けられ、一面が傾斜して切削された傾斜面を有する楔型のＺ軸移送部２１６が、前記支持台の傾斜面に対向する位置に設けられる。前記支持台２１２と前記Ｚ軸移送部２１６との間には、摩擦を減少させるために、転がり軸受２１４が位置する。ここで、前記Ｚ軸移送部２１６の傾斜面は、前記支持台２１２の傾斜面に対応する形状からなり、前記Ｚ軸移送部の傾斜面と前記支持台の傾斜面とは、互いに対向するように設けられる。ボールスクリュー２１８は、前記Ｚ軸移送部２１６の底面に設けられ、Ｚ軸モーター２２０により回転することによって、前記Ｚ軸移送部２１６を横方向へ移動させるようになる。ここで、前記Ｚ軸移送部２１６が左右方向へ移動することによって、前記Ｚ軸移送部２１６と当接する支持台２１２の傾斜面の高さが変化する。このように、前記Ｚ軸移送部２１６の左右方向の移動によって、前記チャックプレート２０８は、上下方向へ移動することになる。また、Ｚ軸ベース２２２がウエハプローバの底面を支持するために、Ｚ軸移送部の下部に設けられ、Ｚ軸移送部２１６、ボールスクリュー２１８及びＺ軸モーター２２０が、前記Ｚ軸ベース２２２の上部に設けられる。前記モーター２２０は、Ｚ軸移送部２１６を移送するための所定のトルクを発生する。

ところが、前記モーターは、予期しない外乱により過度なトルクを発生でき、この場合は、前記チャック移送装置がチャックプレートを上下方向へ過度に動くようになって、チャックプレート２０８上に載せているウエハとプローブカードとの間を過度に密着して、ウエハ及びプローブカードの探針を損傷させてしまう。このために、従来には、前記Ｚ軸移送部２１６やチャックプレートに過度な圧力が加えられているのか否かを検出し、過度な圧力が加えられる場合は、チャックプレートの上下方向への移送を中断させる技術の開発が望まれた。

また、ウエハに形成された微細なパッドと前記プローブカード２１０の探針を正確に接触させるためには、前記チャックプレート２０８の位置制御が非常に精密に行われるので、設置時にも水平状態を綿密に考慮して設けられる。ところが、ウエハプローバの使用中に、予期しない外乱により、前記Ｚ軸移送部２１６を支持するＺ軸ベース２２２が傾くことが引き起こされ、これにより、チャックプレートが水平状態を維持できないという問題があった。このために、従来には、Ｚ軸移送部２１６の傾きを検出して、前記チャックプレートの傾きを補正できる技術の開発が望まれた。

本発明は、前記の従来技術の問題を解消するためのものであって、その目的とするところは、ウエハプローバのＺ軸の傾きを検出して補正するウエハプローバのＺ軸位置制御装置及び方法を提供することにある。

また、本発明の他の目的は、ウエハプローバのＺ軸移送部に過度な圧力が加えられているのか否かを検出して、過度な圧力が加えられる場合は、チャックプレートの上下方向への移送を中断させるウエハプローバのＺ軸位置制御装置及び方法を提供することにある。

前記の目的を達成するための本発明の第１の特徴は、チャックプレートと、前記チャックプレートを上下方向へ移動させるＺ軸移送部と、前記Ｚ軸移送部を支持するＺ軸ベースと、を具備するウエハプローバのＺ軸位置制御装置に関するものであって、前記Ｚ軸位置制御装置は、
前記Ｚ軸移送部と前記Ｚ軸ベースとの間に設けられ、前記Ｚ軸移送部を支持するＺ軸支持板と、
前記Ｚ軸支持板とＺ軸ベースとの間に散在して設けられた多数の圧力センサーからなる第１のセンサー部と、
前記Ｚ軸支持板の下部に散在して設けられ、前記Ｚ軸支持板を上方に押し上げるか下方に下降させる多数のアクチュエータと、
前記多数のアクチュエータを駆動するアクチュエータ駆動部と、
前記第１のセンサー部の圧力センサーから提供されるセンシングデータを用いて、Ｚ軸支持板が傾いているか否かを検出し、前記検出された結果によって、前記アクチュエータ駆動部を制御してアクチュエータを駆動させ、前記チャックプレートの水平状態を維持させる制御モジュールと、
を含む。

前述した特徴の前記Ｚ軸位置制御装置の前記制御モジュールは、センシングデータ間の限界差異値を予め設定し、前記第１のセンサー部から提供されたセンシングデータ間の差異値を検出し、検出された差異値が前記限界差異値以上の場合、前記アクチュエータ駆動部を制御することが望ましい。

前述した特徴の前記ウエハプローバのＺ軸位置制御装置は、前記Ｚ軸移送部に駆動トルクを提供するモーターと、
前記Ｚ軸移送部と前記モーターとの間に設けられる圧力センサーからなる第２のセンサー部と、を更に具備し、前記制御モジュールは、前記第２のセンサー部からセンシングデータを提供され、前記第２のセンサー部からのセンシングデータが、予め設定された限界圧力値以上の場合、過度な圧力が提供されていることを知らせるメッセージをウエハプローバのメイン制御装置に通知することが望ましい。

前述した特徴の前記ウエハプローバのＺ軸位置制御装置は、前記圧力センサーのいずれか一つ又は２つ以上と前記圧力センサーに圧力を加える加圧機構物との間に各々設けられる一つ又は２つ以上の変位計を更に具備し、前記変位計は、加圧方向にスリットが形成されて一定圧力以上になる際に収縮変形され、前記一つ又は２つ以上の圧力センサーに圧力が加えられるようにすることが望ましい。

前述した特徴の前記ウエハプローバのＺ軸位置制御装置の前記圧力センサーは、ＣＡＰセンサーからなり、前記ＣＡＰセンサーは、圧力によってキャパシタンスが可変され、互いに直列連結された多数個の可変型キャパシタと、
前記可変型キャパシタの接続点に設けられ、前記可変型キャパシタのキャパシタンスの変化によって変わる出力信号を増幅する増幅器と、
前記増幅器の出力信号を復調する復調器と、
前記復調器の出力をローパスフィルタリングするフィルタと、
から構成され、前記アクチュエータは、ピエゾアクチュエータからなることが望ましい。

本発明の他の特徴は、ウエハプローバのチャックプレートを上下方向へ移動させるＺ軸移送部の動作を制御する制御モジュールによるＺ軸位置制御方法に関するものであって、前記Ｚ軸位置制御方法は、
(a)前記Ｚ軸移送部を支持するＺ軸支持板とＺ軸ベースとの間に散在して設けられた多数の圧力センサーからセンシングデータを提供される段階と、
(b)前記多数の圧力センサーからのセンシングデータによって多数のアクチュエータを駆動して、前記チャックプレートの水平状態を維持する段階と、
を具備し、前記多数のアクチュエータは、前記Ｚ軸支持板と前記Ｚ軸ベースとの間に散在して設けられ、前記アクチュエータの駆動により、前記Ｚ軸支持板を上方に押し上げるか下方に下降させて、チャックプレートの水平状態を維持する。

本発明は、ウエハプローバのＺ軸移送部に過度な圧力が加えられているのか否かを検出し、過度な圧力が加えられる場合は、Ｚ軸移送部の動作を中断することによって、ウエハ及びプローブカードの探針を保護できるようになる。
また本発明は、Ｚ軸移送部を支持するＺ軸ベースの傾き程度を検出し、検出結果を用いて傾いた状態を補正することによって、チャックプレートを精密に位置制御できるようになる。

一般的なウエハプローバの構造を示した図である。一般的なウエハプローバのＺ軸駆動装置の構造を示した図である。本発明の望ましい実施形態に係るウエハプローバのＺ軸位置制御装置の構成図である。本発明の望ましい実施形態に係るセンサー設置例を示した図である。本発明の望ましい実施形態に係るセンサーの詳細構成図である。本発明の望ましい実施形態に係るＺ軸位置制御装置の処理フローチャートである。本発明の望ましい実施形態に係る位置制御状態を例示した図である。本発明の望ましい実施形態に係る変位計の構造及び設置例を示した図である。

発明の実施のための形態

図３は、本発明の望ましい実施形態に係るウエハプローバのＺ軸位置制御装置の構成を示したブロック図である。以下、図３を参照して、本発明の望ましい実施形態に係るウエハプローバのＺ軸位置制御装置の構成を具体的に説明する。

図３を参照すれば、前記Ｚ軸位置制御装置は、制御モジュール３００と、第１のインタフェース３０２と、第１のセンサー部３０４と、第２のセンサー部３１４と、第２のインタフェース３１７と、第１から第４のピエゾ駆動部３１８、３２０、３２２、３２４と、第１から第４のピエゾアクチュエータ３２６、３２８、３３０、３３２と、から構成される。

前記制御モジュール３００は、本発明の望ましい実施形態に基づき、第１から第２のセンサー部３０４、３１４を介してＺ軸に過度な圧力が加えられる場合をセンシングしてメイン制御装置に通知し、Ｚ軸方向への移動を中断すると共に、管理者にＺ軸方向に過度な圧力が加えられていることを案内する。また、前記制御モジュール３００は、Ｚ軸移送部を支持するＺ軸支持板が傾いているのか否かをセンシングし、前記Ｚ軸支持板の傾き程度によってＺ軸支持板の水平を調整して、前記ウエハプローバ装置のチャックプレートを水平状態に維持できるようにする。

前記第１のインタフェース３０２は、前記第１及び第２のセンサー部３０４、３１４の各センサー３０６、３０８、３１０、３１２、３１６からのセンシングデータを制御モジュール３００に提供する。

前記第１のセンサー部３０４は、前記Ｚ軸支持板の各部に提供される圧力をセンシングする第１から第４のセンサー３０６〜３１２から構成され、第１から第４のセンサーは、Ｚ軸支持板とＺ軸ベースとの間に散在して設けられる。前記制御モジュールは、前記第１のセンサー部のセンシングデータを用いて、前記Ｚ軸支持板の傾きを検出するようになる。前記第２のセンサー部３１４は、Ｚ軸移送部とＺ軸モーターとの間に設けられ、前記Ｚ軸移送部に過度な圧力が加えられているのか否かをセンシングする第５のセンサー３１６から構成される。

前記第２のインタフェース３１７は、制御モジュール３００からの各種情報を第１から第４のピエゾ駆動部３１８〜３２４及びウエハプローバのメイン制御装置に提供する。

前記第１から第４のピエゾ駆動部３１８、３２０、３２２、３２４は、前記制御モジュール３００からの制御命令に応じて、第１から第４のピエゾアクチュエータ３２６、３２８、３３０、３３２を駆動する。

前記第１から第４のピエゾアクチュエータ３２６、３２８、３３０、３３２は、Ｚ軸支持板３３４とＺ軸ベース３２１とのの間に散在して設けられ、前記Ｚ軸支持板の傾きに反比例してＺ軸支持板を上方に押し上げ、前記Ｚ軸支持板３３４及びチャックプレート３０７が水平状態になるようにする。

前記メイン制御装置は、制御モジュール３００からのＺ軸方向に過度な圧力が提供されることを通知するメッセージを受信されると、前記Ｚ軸モーター３１９の動作を中断させ、これを管理者に案内する。

以下、図４を参照して、前記第１及び第２のセンサー部３０４、３１４及び第１から第４のピエゾアクチュエータ３２６〜３３２の設置位置及び変位計３３６の位置を説明する。前記変位計３３６は、Ｚ軸方向に過度な圧力が発生することが分かるようにする。前記第１のセンサー部３０４の第１から第４のセンサー３０６、３０８、３１０、３１２は、長方形のＺ軸支持板３３４とＺ軸ベース３２１との間の４隅部分に設けられ、前記の４隅部分に加えられる圧力をセンシングし、センシングデータを制御モジュール３００に提供する。前記第２のセンサー部３１４の第５のセンサー３１６は、Ｚ軸移送部３１５とＺ軸モーター３１９との間に設けられ、前記Ｚ軸移送部３１５に過度な圧力が加えられているのか否かをセンシングし、そのセンシングデータを制御モジュール３００に提供する。この場合、前記Ｚ軸移送部３１５に過度な圧力測定のために、特定の圧力に対して変位を発生する変位計３３６を利用する。

以下、図８を参照して、前記変位計３６６を更に具体的に説明する。

前記変位計３３６は、前記第５のセンサー３１６と接触するように設けられ、Ｚ軸モーター３１９が、Ｚ軸移送部３１５に予め定めた圧力以上の圧力を加える場合、前記変位計は収縮し、その結果、前記第５のセンサー３１６に圧力が加えられるようにする。このように、前記変位計３３６は、第５のセンサー３１６の機能を補助すると共に、一定値以上の圧力に対する限界値を指定できる。前記変位計３３６は、剛性を持つスチル平板上に加圧方向に沿ってスリットＳが形成されている。前記変位計は、一定値の圧力までは支持するが、前記一定値以上の圧力が加えられれば、前記スリットＳにより収縮変形するようにする。

前記第１から第４のピエゾアクチュエータ３２６〜３３２は、長方形のＺ軸支持板３３４とＺ軸ベース３２１との間の４つの隅部分に設けられるが、前記第１から第４のセンサー３０６〜３１２の設置位置に対応するように設けられることが望ましい。制御モジュール３００の制御によって、前記第１から第４のピエゾアクチュエータ３２６〜３３２は、設置位置であるＺ軸支持板の４隅部分を上方に持ち上げることによって、前記Ｚ軸支持板が水平状態になるようにする。

前記の第１から第５のセンサー３０６〜３１２、３１６には、ＣＡＰセンサーが採用され、前記第１から第５のセンサー３０６〜３１２、３１６を、図５を参照して更に説明する。

図５の(ａ)は、本発明の望ましい実施形態に係るＣＡＰセンサーを示したもので、前記ＣＡＰセンサーは、“コ”字状のＰＣＢ基板の内側又は外側に、圧力により可変されるキャパシタが設けられる。前記のＣＡＰセンサーは、図５の(ｂ)に示したように、圧力により極板Ｔ１、Ｔ２の厚さが変わることによって、キャパシタのキャパシタンスが可変する。図５の(ｃ)は、前記ＣＡＰセンサーの設置例を示したもので、Ｚ軸支持板３３４とＺ軸ベース３２１のいずれか一部分が結着する際に、その間に位置して、該当部分に加えられる圧力をセンシングする。図５の(ｄ)は、前記ＣＡＰセンサーに対する回路図である。図５の(ｄ)を参照すれば、前記ＣＡＰセンサーは、前記直列連結された第１及び第２の可変型キャパシタＣ１、Ｃ２と、前記直列連結された第１及び第２の可変型キャパシタＣ１、Ｃ２の接続点に設けられた増幅器ＡＭＰと、前記増幅器の出力端に連結される復調器ＤＥＭと、前記復調器の出力端に連結されるローパスフィルタＬＰＦと、を具備する。圧力によって第１及び第２の可変型キャパシタＣ１、Ｃ２のキャパシタンスが可変するによって、前記増幅器ＡＭＰは、接続点の出力信号を増幅して復調器ＤＥＭに提供し、前記復調器ＤＥＭは、前記出力信号を復調してローパスフィルタＬＰＦに提供する。前記ローパスフィルタＬＰＦは、前記復調器ＤＥＭの出力信号をローパスフィルタリングして、出力センシング信号として出力する。

以下、図６を参照して、前記のように構成されるウエハプローバのＺ軸位置制御装置の動作を説明する。

前記制御モジュール３００は、第１から第４のセンサー３０６〜３１２から提供されるセンシングデータ間の差異が、予め定めた限界差異値以上であるか否かを確認して、Ｚ軸支持板３３４が傾いている状態であるか否かを検出する(４００段階)。

前記Ｚ軸支持板が傾いている状態と判断されると、前記制御モジュール３００は、他のセンサーより更に加圧されるセンサーと最も近接して設けられたピエゾアクチュエータを上方に駆動し、その他のピエゾアクチュエータを下方に駆動して、Ｚ軸支持板３３４が水平状態になるように補正する。すなわち、Ｚ軸支持板の下方に傾いた部分は、上方に持ち上げ、Ｚ軸支持板の上方に上がった部分は、下方に下げることで、全体として水平状態を維持するようになる(４０２段階)。これを図７を参照して更に説明する。図７の(ａ)は、Ｚ軸支持板３３４が水平状態を維持した例を示したもので、この場合、ピエゾアクチュエータＰＡ１、ＰＡ２は、Ｚ軸支持板３３４を支持する。

図７の(ｂ)は、実線のＺ軸支持板３３４の右側領域に載置する状態であって、ピエゾアクチュエータＰＡ１、ＰＡ２の動作状態について理解を容易にするために誇張して示したものである。図７の(ｂ)に示したように、右側ピエゾアクチュエータＰＡ２は、上方に駆動して前記Ｚ軸支持板３３４の右側領域を上方に押し上げ、左側ピエゾアクチュエータＰＡ１は、下方に駆動して前記Ｚ軸支持板３３４の左側領域を下方に下降するようにする。これにより、点線で示されているように、前記Ｚ軸支持板３３４が、全体として水平状態になるようにする。

図７の(ｃ)は、実線のＺ軸支持板３３４の左側領域が載置する状態であって、ピエゾアクチュエータＰＡ１、ＰＡ２の動作状態動作状態について理解を容易にするために誇張して示したものである。図７の(ｃ)に示したように、右側ピエゾアクチュエータＰＡ２は、下方に駆動して前記Ｚ軸支持板３３４の右側領域を下方に下降するようにし、左側ピエゾアクチュエータＰＡ１は、上方に駆動して、前記Ｚ軸支持板３３４の左側領域を上方に押し上げる。これにより、点線で示されているように、前記Ｚ軸支持板３３４が、全体として水平状態になるようにする。

一方、前記制御モジュール３００は、第５のセンサー３１４から提供されるセンシングデータが予め定めた値以上であるか否かをチェックすることによって、Ｚモーター３１９によりＺ軸移送部３１５に提供される圧力が、予め定めた値以上の場合、過度な圧力が加えられると判断する(４０４段階)。

前記制御モジュール３００は、前記Ｚ軸移送部３１５に提供される圧力が予め定めた値以上であれば、Ｚ軸モーター３１９の駆動を中断すると共に、過度な圧力が引き起こされる旨を試験者に案内するように、前記過度な圧力を通知するメッセージをメイン制御装置に通知する(４０６段階)。

以上で、本発明についてその望ましい実施形態を中心として説明したが、これは、単に例示だけであり、本発明を限定するものではなく、本発明が属する分野の通常の知識を有する者であれば、本発明の本質的な特性を逸脱しない範囲において、以上で例示されていない種々の変形と応用が可能であることが分かるであろう。そして、このような変形と応用に係る差異点は、添付の請求範囲で規定する本発明の範囲に含まれると解析されるべきである。

本発明に係るＺ軸位置制御装置は、ウエハプローバのチャックプレートの水平状態を維持するための装置であって、ウエハプローバに広く使用可能である。

Claims

チャックプレートと、前記チャックプレートを上下方向へ移動させるＺ軸移送部と、前記Ｚ軸移送部を支持するＺ軸ベースと、を具備するウエハプローバのＺ軸位置制御装置であって、
前記Ｚ軸移送部と前記Ｚ軸ベースとの間に設けられ、前記Ｚ軸移送部を支持するＺ軸支持板と、
前記Ｚ軸支持板とＺ軸センサーベースとの間に散在して設けられた多数の圧力センサーからなる第１のセンサー部と、
前記Ｚ軸支持板の下部に散在して設けられ、前記Ｚ軸支持板を上方に押し上げるか下方に下降させる多数のアクチュエータと、
前記多数のアクチュエータを駆動するアクチュエータ駆動部と、
前記第１のセンサー部の圧力センサーから提供されるセンシングデータを用いて、Ｚ軸支持板が傾いているか否かを検出し、前記検出された結果によって、前記アクチュエータ駆動部を制御してアクチュエータを駆動させ、前記チャックプレートの水平状態を維持させる制御モジュールと、
を含むことを特徴とするウエハプローバのＺ軸位置制御装置。
前記制御モジュールは、センシングデータ間の限界差異値を予め設定し、前記第１のセンサー部から提供されたセンシングデータ間の差異値を検出し、検出された差異値が前記限界差異値以上の場合、前記アクチュエータ駆動部を制御することを特徴とする請求項１に記載のウエハプローバのＺ軸位置制御装置。
前記ウエハプローバのＺ軸位置制御装置は、
前記Ｚ軸移送部に駆動トルクを提供するモーターと、
前記Ｚ軸移送部と前記モーターとの間に設けられる圧力センサーと、からなる第２のセンサー部を更に具備し、
前記制御モジュールは、前記第２のセンサー部からセンシングデータを提供され、前記第２のセンサー部からのセンシングデータが予め設定された限界圧力値以上の場合、過度な圧力が提供されていることを知らせるメッセージをウエハプローバのメイン制御装置に通知することを特徴とする請求項１に記載のウエハプローバのＺ軸位置制御装置。
前記Ｚ軸位置制御装置は、前記圧力センサーのいずれか一つ又は２つ以上と前記圧力センサーに圧力を加える加圧機構物との間に各々設けられる一つ又は２つ以上の変位計を更に具備し、前記変位計は、加圧方向にスリットが形成されて一定圧力以上になる際に収縮変形され、前記一つ又は２つ以上の圧力センサーに圧力が加えられるようにすることを特徴とする請求項１又は３に記載のウエハプローバのＺ軸位置制御装置。
前記圧力センサーは、ＣＡＰセンサーからなり、
前記ＣＡＰセンサーは、
圧力によってキャパシタンスが可変され、互いに直列連結された多数個の可変型キャパシタと、
前記可変型キャパシタの接続点に設けられ、前記可変型キャパシタのキャパシタンスの変化によって変わる出力信号を増幅する増幅器と、
前記増幅器の出力信号を復調する復調器と、
前記復調器の出力をローパスフィルタリングするフィルタと、
から構成されることを特徴とする請求項１又は３に記載のウエハプローバのＺ軸位置制御装置。
前記アクチュエータは、ピエゾアクチュエータであることを特徴とする請求項１に記載のウエハプローバのＺ軸位置制御装置。
前記多数個のアクチュエータの各々は、前記第１のセンサー部の各圧力センサーと対応するように設けられ、各アクチュエータは、対応する圧力センサーと最も近接するように設けられることを特徴とする請求項１に記載のウエハプローバのＺ軸位置制御装置。
ウエハプローバのチャックプレートを上下方向へ移動させるＺ軸移送部の動作を制御する制御モジュールによるＺ軸位置制御方法において、
(a)前記Ｚ軸移送部を支持するＺ軸支持板とＺ軸ベースとの間に散在して設けられた多数の圧力センサーからセンシングデータを提供される段階と、
(b)前記多数の圧力センサーからのセンシングデータによって多数のアクチュエータを駆動して、前記チャックプレートの水平状態を維持する段階と、
を具備し、前記多数のアクチュエータは、前記Ｚ軸支持板と前記Ｚ軸ベースとの間に散在して設けられ、前記アクチュエータの駆動により、前記Ｚ軸支持板を上方に押し上げるか下方に下降させることを特徴とするウエハプローバのＺ軸位置制御方法。
前記(b)段階において、多数の圧力センサーから提供されるセンシングデータの差異値が、予め定めた値以上の場合、前記多数のアクチュエータを駆動することを特徴とする請求項８に記載のウエハプローバのＺ軸位置制御方法。
前記Ｚ軸位置制御方法は、
(c)ウエハプローバのチャックプレートを上下方向へ移送するＺ軸移送部と前記Ｚ軸移送部に駆動トルクを提供するモーターとの間に設けられた圧力センサーからセンシングデータを提供される段階と、
(d)前記(c)段階において、前記圧力センサーから提供されたセンシングデータが、予め定めた値以上であれば、過度な圧力をウエハプローバのメイン制御装置に通知する段階と、
を更に具備することを特徴とする請求項８に記載のウエハプローバのＺ軸位置制御方法。