JP4357985B2 - 平行測定方法と調整方法及び平行測定装置並びに部品実装装置 - Google Patents
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Description
る。
3 ステージ
4 実装ヘッド
5 基板
6 ツール
7 IC部品
11 治具チップ
13 電極対
16 治具基板
17 電極対
18 導通検出手段(接触電極検出手段)
20 制御手段
28 傾き量変換データ
29 記憶手段
36a、36b、36c 高さ調整手段
Claims (10)
- ステージ面とステージ面に対して接近離間移動可能なツール面との平行度を測定する平行測定方法であって、複数の電極をほぼ全面に分散配置した治具チップをツール面に保持させるとともに治具チップの各電極に対向するように複数の電極を配設した治具基板をステージ面に設置し、設定加圧力を複数段階に設定し、各段階の設定加圧力でツール面をステージ面に向けて加圧し、各段階の間で治具チップと治具基板の間で互いに接触した前記電極を検出し、互いに接触した前記電極の存在領域の変化に基づいてステージ面とツール面の傾き量を算出することを特徴とする平行測定方法。
- 前記治具チップに、互いに近接配置されるとともに相互に導通された2つの電極から成る電極対が複数分散配置し、前記治具基板に前記治具チップに対向して配設された各電極対間の導通検出によって接触した電極対を検出することを特徴とする請求項1記載の平行測定方法。
- 互いに接触した電極の存在領域と実際の傾き量を予め実験的に求めた傾き量変換データを記憶しておき、接触した電極の存在領域と傾き量変換データに基づいて傾き量を算出することを特徴とする請求項1又は2記載の平行測定方法。
- ステージ面とステージ面に対して接近離間移動可能なツール面とを平行に調整する平行調整方法であって、請求項1〜3の何れかの平行測定方法にてステージ面とツール面の傾き量を検出する傾き検出工程と、傾き量が許容範囲内であるか否かを判定する判定工程と、傾き量が許容範囲を超えているときにステージ面若しくはツール面を検出した傾き量に応じて調整する傾き調整工程とを有し、傾き調整工程後は再び傾き検出工程に移行してステージ面とツール面の傾き量が許容範囲内となるまで以上の工程を繰り返すことを特徴とする平行調整方法。
- 傾き調整工程においては、検出した傾き量に応じてステージを支持している3点の高さ位置を調整することを特徴とする請求項4記載の平行調整方法。
- ステージとステージに対して接近離間移動可能なツールの対向面の平行度を測定する平
行測定装置であって、ツールに装着可能でかつ複数の電極がほぼ全面に分散配置された治具チップと、ステージに設置可能でかつ治具チップの各電極に対応する複数の電極を配設した治具基板と、治具チップと治具基板の間で互いに接触した電極を検出する接触電極検出手段と、複数段階に設定された加圧力にて前記ツールに保持した前記治具チップを前記治具基板に加圧したときの各段階の間での互いに接触した電極の存在領域の変化に基づいて傾き量を算出する傾き量算出手段とを備えたことを特徴とする平行測定装置。 - 前記治具チップには、互いに近接配置されるとともに相互に導通された2つの電極から成る電極対が複数分散配置され、前記治具基板に前記治具チップに対向して配設された各電極対にそれぞれ接続した導通検出手段にて接触電極検出手段を構成したことを特徴とする請求項6記載の平行測定装置。
- 前記傾き量算出手段は、互いに接触した電極の存在領域と実際の傾き量を予め実験的に求めた傾き量変換データを記憶した記憶手段と、前記接触電極検出手段にて検出した電極の存在領域と傾き量変換データに基づいて傾き量を演算する演算手段にて構成したことを特徴とする請求項6又は7記載の平行測定装置。
- 基板を保持して位置決めする前記ステージと、部品を保持する前記ツールを有し、保持した部品を基板上に実装する実装ヘッドとを備えた部品実装装置であって、請求項6〜8の何れかに記載の平行測定装置を設けたことを特徴とする部品実装装置。
- 前記ステージを高さ位置調整可能に支持する3つの高さ調整手段を設け、前記平行測定装置にて検出された傾き量に応じて高さ調整手段を動作制御する制御手段を設けたことを特徴とする請求項9記載の部品実装装置。
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