JP2011240680A - 液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】吐出ヘッドのノズル面を効果的に清浄化する。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、複数のノズルが設けられたノズル面３２ａを含みノズル面３２ａの各ノズルから液状体を吐出する吐出ヘッド６と、ノズル面３２ａの一端側から他端側に向かってノズル面３２ａをワイプする弾性部材４４と、弾性部材４４がノズル面３２ａをワイプするときに、ノズル面３２ａの他端側に配置される壁部材４５と、を備える。
【選択図】図５

Description

本発明は、液滴吐出装置に関する。

従来から液滴吐出装置は、画像や文字情報を紙等の記録媒体に記録する記録装置として、あるいは各種デバイスの製造に用いる塗布装置として利用されている。液滴吐出装置の一例として、特許文献１に開示されているものが挙げられる。

特許文献１の液滴吐出装置は、吐出ヘッドおよびワイプユニットを備えている。吐出ヘッドは、複数のノズルが設けられたノズル面を有している。インクや塗布液等の液状体は、吐出ヘッドのノズルから吐出される。ワイプユニットがノズル面をワイプすることにより、ノズル面に付着した液状体やその固化物（付着物と総称する）が除去される。

特許文献１の吐出ヘッドでは、ワイプユニットがノズル面を清浄化するので、ノズルの詰りやノズル面からの付着物の脱離が予防される。これにより、安定した吐出動作が可能になるとともに、ノズル面からの脱離物が吐出対象物へ付着する可能性が低くなる。

特開２００９−２４８３１３号公報

特許文献１のような従来の液滴吐出装置には、次に説明するように、ノズル面を清浄化する上で改善の余地がある。ノズル面を清浄化する手法は、乾式と湿式に大別される。湿式では、例えば付着物の溶剤を染み込ませた繊維でノズル面をワイプする。乾式では、例えば乾燥した繊維でノズル面をワイプする。また、乾式としては、ゴム等の弾性部材からなるブレードをノズル面に押し当てて移動させ、ブレードにより付着物を剥離する方法も用いられる。

繊維でノズル面をワイプする手法では、ワイプに用いた繊維が廃材となり、環境負荷が増加するおそれや吐出ヘッドのメンテナンスコストが増加するおそれがある。また、繊維を用いた乾式では、ノズル面の磨耗が促進されるおそれがある。繊維を用いた湿式では、溶剤を用いる分だけ乾式よりもメンテナンスコストが高くなるおそれがある。ブレードを用いた乾式によれば、繊維を用いた手法と比較して、環境負荷やメンテナンスコスト、ノズル面の磨耗等を低減可能であるが、ノズル面から除去した付着物が飛散して吐出対象物へ付着するおそれがある。

本発明は、上記の事情に鑑み成されたものであって、ノズル面を効果的に清浄化することが可能な液滴吐出装置を提供することを目的の１つとする。

本発明では、上記の目的を達成するために以下の手段を採用している。
本発明の液滴吐出装置は、複数のノズルが設けられたノズル面を含み前記ノズル面の各ノズルから液状体を吐出する吐出ヘッドと、前記ノズル面の一端側から他端側に向かって前記ノズル面をワイプする弾性部材と、前記弾性部材が前記ノズル面をワイプするときに、前記ノズル面の前記他端側に配置される壁部材と、を備える。

このようにすれば、弾性部材がノズル面をワイプするので、ノズル面が磨耗することやワイプによる廃材が生じることを回避しつつ、ノズル面を清浄化することができる。弾性部材がワイプするときに、ノズル面の他端側に壁部材が配置されるので、ワイプによりノズル面から除去された付着物の飛散が壁部材により制限される。したがって、除去された付着物が不測の位置に飛散することが防止され、ノズル面に付着していた液状体が吐出対象物等に付着すること等が回避される。このように、本発明によれば、ノズル面を効果的に清浄化することが可能になる。

本発明に係る液滴吐出装置は、代表的な態様として以下のような態様をとりえる。

前記吐出ヘッドは前記他端側に前記ノズル面に対する側面を有し、前記弾性部材が前記ノズル面をワイプするときに前記壁部材が前記側面に接触する、態様であってもよい。
このようにすれば、ノズル面から除去された付着物が壁部材と側面との間から不測の位置に飛散することが回避され、付着物が吐出対象物等に再付着することが回避される。

前記弾性部材は、前記ノズル面に押し付けられて前記他端側から前記一端側に向かって変形した状態で前記ノズル面をワイプする、態様であってもよい。
このようにすれば、弾性部材をその弾性反発力によりノズル面に密着させることができ、ノズル面の付着物を効果的に除去することができる。

前記弾性部材は、前記ノズル面の前記他端を通過するまでワイプし、前記ノズル面の前記他端を通過後に変形が緩和される、態様であってもよい。
このようにすれば、弾性部材がノズル面の他端を通過するまでワイプするので、ノズル面の一端から他端に向かう全幅を清浄化することができる。また、他端を通過後に弾性部材の変形が緩和されるときの弾性部材の運動により、ノズル面から弾性部材へ付着した付着物を弾性部材から脱離させることができる。したがって、弾性部材に付着物が残留しにくくなり、次に弾性部材がノズル面をワイプするときに、付着物が弾性部材からノズル面に再付着することが回避される。

前記壁部材は、前記ノズル面の前記他端を通過した前記弾性部材の逃げ部を有する、態様であってもよい。
このようにすれば、ノズル面の他端を通過した弾性部材と壁部材との干渉を回避することができる。

前記液状体が不揮発性である、態様であってもよい。
このようにすれば、弾性部材に付着した液状体を、弾性部材の変形が緩和されるときの運動によって脱離させることができる。例えば、繊維等によりノズル面を拭き取る場合と比較して、ワイプに伴う廃材の発生を格段に減らすことができ、環境負荷やメンテナンスコストを低減することができる。

前記液状体が紫外線硬化性である、態様であってもよい。
一般に、紫外線硬化型の液状体は非溶媒型であり、この種の液状体をノズル面から繊維等により拭き取るとノズル面が磨耗するおそれがある。一方、本発明によればノズル面の磨耗を抑制しつつ、ノズル面を清浄化することができるので、紫外線硬化型の液状体を良好に吐出可能になる。

前記壁部材が前記側面よりも軟質である、態様であってもよい。
このようにすれば、壁部材と側面との接触により側面が傷つくことが回避される。

前記壁部材は、前記ノズル面の前記他端側を少なくとも含んだ前記ノズル面の外周を囲んでいる、態様であってもよい。
このようにすれば、ノズル面から除去された付着物の吐出対象物への再付着を格段に減らすことができる。

本発明に係る液滴吐出装置の構成例を示す斜視図である。 （ａ）は吐出ヘッドが取付けられたキャリッジの平面図、（ｂ）はキャリッジの側面図である。 （ａ）は吐出ヘッドの切欠斜視図、（ｂ）は吐出ヘッドの断面図である。 （ａ）はワイプユニットの平面図、（ｂ）はワイプユニットの断面図である。 （ａ）〜（ｃ）は、ワイプユニットの動作図である。 （ａ）〜（ｃ）は、図５（ｃ）から続くワイプユニットの動作図である。 （ａ）、（ｂ）は、変形例１、２を示す図である。 （ａ）〜（ｃ）は、変形例４〜６を示す図である。

以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態を説明する。説明に用いる図面において、特徴的な部分を分かりやすく示すために、図面中の構造の寸法や縮尺を実際の構造に対して異ならせている場合がある。また、実施形態において同様の構成要素については、同じ符号を付して図示し、その詳細な説明を省略する場合がある。

図１は、本発明に係る液滴吐出装置の構成例を示す斜視図である。図１に示す液滴吐出装置１は、液滴吐出法により液状体の液滴を吐出対象物、例えば基板Ｐに配置するものである。液状体の具体例として、紫外線硬化型のインク、金属微粒子を分散させたインク、カラーフィルター材料を含んだインク等の機能液が挙げられる。

本実施形態の液滴吐出装置１は、基板Ｐ上に紫外線硬化型のインクを所望のパターンで吐出可能になっている。また、基板Ｐ上に配置されたインクを紫外線照射により硬化させることによって、所望の膜パターンを形成可能になっている。紫外線硬化型のインクは、一般に非溶媒型の液状体であり、不揮発性である。

図１に示されるように、液滴吐出装置１は、装置架台２、ワークステージ３、ステージ移動部４、キャリッジ５、吐出ヘッド６、キャリッジ移動部７、液状体供給部８、キャッピングユニット９、ワイプユニット１０、および制御部１１を備えている。図１に示すＸＹＺ直交座標系において、Ｘ軸は副走査方向に平行であって、Ｙ軸は主走査方向に平行であり、Ｚ軸は吐出方向に平行である。典型的には、Ｘ軸方向およびＹ軸方向が水平方向に設定され、Ｚ軸方向が鉛直方向に設定される。以下の説明では、各軸に平行な方向の一方を正側、他方を負側と称することがある。

装置架台２は、例えば定盤等の支持台であり、その上面は例えば水平面に設定される。ワークステージ３およびステージ移動部４は、装置架台２の上面に配置されている。基板Ｐは、例えば搬送ロボット（図示略）により、ワークステージ３上に搬送される。ワークステージ３は、例えば真空吸着等により、基板Ｐを着脱可能に保持する。

ステージ移動部４は、ボールネジやリニアガイド等の軸受け機構を備え、基板Ｐとともにワークステージ３をＸ軸方向に移動させる。制御部１１は、ステージ移動部４を制御し、ワークステージ３を移動させるタイミングやワークステージ３の移動量を制御する。

キャリッジ５は、装置架台２の上面からＺ軸方向に離れた位置に配置されている。なお、図１では吐出ヘッド６の取付け状態の詳細な図示を省略しているが、キャリッジ５には、複数の吐出ヘッド６が取付けられている。キャリッジ移動部７は、例えば、装置架台２を跨ぐ橋梁構造をしている。キャリッジ移動部７は、複数の吐出ヘッド６とともにキャリッジ５を移動させる。キャリッジ移動部７は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に対してボールネジやリニアガイド等の軸受け機構を備え、キャリッジ５をＹ軸方向とＺ軸方向とに独立して移動可能である。制御部１１は、キャリッジ移動部７を制御し、キャリッジ５を移動させるタイミングやキャリッジ５の移動量を管理する。すなわち、制御部１１は、ステージ移動部４およびキャリッジ移動部７を制御することにより、実質的に、基板Ｐと吐出ヘッド６との相対位置を管理可能である。

液状体供給部８は、吐出する液状体を複数の吐出ヘッド６に供給する。液状体供給部８は、複数のタンクおよび配管系を備える。複数のタンクには、互いに異なる液状体が貯留されている。各タンクは、配管系によって各吐出ヘッド６に接続されている。これにより、複数の吐出ヘッド６から互いに異なる液状体を吐出可能になっている。

図２（ａ）は吐出ヘッドが取付けられたキャリッジを装置架台の上面側から見た平面図、図２（ｂ）はキャリッジの側面図である。
本実施形態では、複数（図示は４つ）の吐出ヘッド６がＹ軸方向に並んでいる。各吐出ヘッド６は、Ｘ軸方向に配列された複数（例えば１８０個）のノズルＮを備えている。複数のノズルＮによってノズル列ＮＡが形成されている。吐出ヘッド６は、基板Ｐに向けて各ノズルＮから液状体の液滴Ｄを吐出する。各吐出ヘッド６のＹ軸方向の両側には、光源部２１が設けられている。光源部２１は、例えばＬＥＤ（発光ダイオード）を含んで構成され、基板Ｐ上に配置された液状体に紫外線を含んだ光Ｌを照射する。光源部２１は、制御部１１により点灯消灯のタイミングが制御される。

なお、図２（ａ）には、各吐出ヘッド６に複数のノズルＮが一列に並んでいる例を図示しているが、吐出ヘッド６に設けるノズルＮの総数や、ノズル列ＮＡにおけるノズルＮの配列方向、各ノズル列ＮＡに含まれるノズルＮの数、ノズル列ＮＡの数等は、任意に変更可能である。また、キャリッジ５に配置する吐出ヘッド６の数も任意に変更可能である。さらに、キャリッジ５をサブキャリッジ単位で複数設ける構成としてもよい。

図３（ａ）は吐出ヘッドの切欠斜視図、図３（ｂ）は吐出ヘッドの断面図である。複数の吐出ヘッド６はいずれも同様の構造になっており、複数の吐出ヘッド６を代表して１つの吐出ヘッド６の構造を説明する。

吐出ヘッド６は、振動板３１、ノズルプレート３２、リザーバー３３、隔壁３４、複数のキャビティ３５、及び複数の圧電素子３６を備えている。振動板３１には、液状体供給部８の配管系と連結される材料供給孔３１ａが設けられている。ノズルプレート３２は、例えばＳＵＳ等からなり、ノズル面３２ａを有している。ノズル面３２ａは、複数のノズルＮの開口端を含んでいる。隔壁３４は、振動板３１とノズルプレート３２との間を、リザーバー３３と複数のキャビティ３５とに区画するように設けられている。

各ノズルＮは、各キャビティ３５と１対１で対応しており、対応するキャビティ３５と通じている。各圧電素子３６は、各キャビティ３５と１対１で対応している。圧電素子３６は、例えばピエゾ素子であり、振動板３１に対してキャビティ３５と反対側に設けられている。各キャビティ３５は、複数のキャビティ３５で共通のリザーバー３３と供給路３５ａにより通じている。リザーバー３３は、材料供給孔３１ａと通じている。液状体供給部８から供給された液状体は、材料供給孔３１ａを通ってリザーバー３３に貯留される。リザーバー３３に貯留された液状体は、供給路３５ａを通って各キャビティ３５に充填される。

図３（ｂ）に示すように、圧電素子３６は、圧電材料層３７が一対の電極３８に挟持された構造になっている。一対の電極３８に電圧を印加すると圧電材料層３７が収縮または伸張して、圧電素子３６が振動板３１を撓ませる。これにより、キャビティ３５の容積が増加または減少する。キャビティ３５の容積が増加すると、リザーバー３３からキャビティ３５へ液状体が充填される。キャビティ３５の容積が減少すると、キャビティ３５の液状体がノズルＮから液滴Ｄとして吐出される

図１の説明に戻り、キャッピングユニット９およびワイプユニット１０は、ヘッドクリーニング部を構成している。ヘッドクリーニング部は、キャリッジ５に保持された吐出ヘッド６のメンテナンスを行う。本実施形態のヘッドクリーニング部は、吐出エリアと重複しない領域に設定されたメンテナンスエリアに固定されている。吐出エリアは、ステージ移動部４とキャリッジ移動部７とによって、ワークステージ３とキャリッジ５とを対向させうる領域である。メンテナンスエリアは、キャリッジ移動部７によるキャリッジ５の移動範囲内であって、ステージ移動部４によるワークステージ３の移動範囲外（ここではＹ軸方向の正側）に設定されている。

キャッピングユニット９は、ノズルＮの内部に残留している液状体を吸引してノズルＮから排出させる（以下、吸引処理という）。吸引処理を行うときに、吐出ヘッド６がキャッピングユニット９の処理位置に配置されるように、キャリッジ移動部７がキャリッジ５を移動させる。吸引処理を行うときに、制御部１１は、キャリッジ移動部７とキャッピングユニット９の動作を制御する。

キャッピングユニット９は、その詳細な構造を図示しないが、凹状のキャップおよび減圧ポンプ等を有している。このキャップは、吐出ヘッド６のノズル面３２ａに被着される。上記の減圧ポンプがキャップとノズル面３２ａの間を減圧することにより、ノズルＮの内部の液状体が吸引される。

図４（ａ）はワイプユニットの平面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のＢ−Ｂ’線を含む断面にて１つのワイプ部の構成を拡大して示す図である。
ワイプユニット１０は、キャッピングユニット９による吸引処理後に、吐出ヘッド６のノズル面３２ａに付着している液滴をノズル面３２ａから除去する（以下、ワイプ処理という）。ワイプ処理を行うときに、吐出ヘッド６がワイプユニット１０の処理位置に配置されるように、キャリッジ移動部７がキャリッジ５を移動させる。ワイプ処理を行うときに、制御部１１は、キャリッジ移動部７とワイプユニット１０の動作を制御する。

本実施形態のワイプユニット１０は、基台４１および複数のワイプ部４２を有している。複数のワイプ部４２は、複数の吐出ヘッド６の配列方向（Ｙ軸方向）と同じ方向に並んでいる。ワイプ部４２は、基台４１上に吐出ヘッド６と同数だけ設けられている。複数のワイプ部４２は、互いに並行して動作し、各ワイプ部４２が各吐出ヘッド６に対してワイプ処理を行う。

各ワイプ部４２は、駆動部４３、弾性部材としてのワイプゴム４４、および壁部材としての飛散防止板４５を有している。駆動部４３は、ワイプ部４２と吐出ヘッド６の対向方向（Ｚ軸方向）、ワイプ方向（Ｙ軸方向）の２方向に独立して、ワイプゴム４４と飛散防止板４５をそれぞれ独立に移動可能である。ワイプ処理時に、飛散防止板４５がノズル面３２ａの他端２３側（Ｙ軸方向の負側）に配置された状態で、ワイプゴム４４がノズル面３２ａを一端２２側（Ｙ軸方向の正側）から他端２３側（Ｙ軸方向の負側）にワイプする。

本実施形態のワイプゴム４４は、ゴム等の弾性材料からなる板状部材である。ワイプゴム４４は、ワイプ方向（Ｙ軸方向）に対する直交方向（Ｘ軸方向）の寸法が、この方向の吐出ヘッド６の寸法よりも大きく、ノズル面３２ａのＸ軸方向の全範囲を一括してワイプ可能である。ワイプゴム４４は、母部４６および先端部４７を有している。母部４６は、略平板状の部分であり、装置架台２の上面と略直交している。先端部４７は、略平板状の部分であり、母部４６に対して飛散防止板４５に向かって折れ曲がっており、母部４６と連続している。

本実施形態の飛散防止板４５は、吐出ヘッド６の側面２４よりも軟質（硬度が低い）材質、例えばゴム等からなる板状部材である。飛散防止板４５は、ワイプ方向の直交方向（Ｘ軸方向）の寸法が、この方向の吐出ヘッド６の寸法およびワイプゴム４４の寸法よりも大きくなっている。飛散防止板４５は、母部４８および屈曲部４９を有している。母部４８は、略平板状の部分であり、装置架台２の上面と略直交している。本実施形態では、屈曲部４９が略Ｕ字形状になっている。屈曲部４９は、基端が母部４８と連続しており、先端がワイプゴム４４に向かう方向に湾曲している。

図５（ａ）〜図５（ｃ）、図６（ａ）〜図６（ｃ）は、ワイプユニットの動作図である。
ワイプ処理を行うときに、図５（ａ）に示すキャリッジ移動部７は、吐出ヘッド６がワイプユニット１０上に配置されるように、キャリッジ５を移動させる。
次いで、図５（ｂ）に示すワイプユニット１０の駆動部４３は、ワイプゴム４４および飛散防止板４５を移動させる。詳しくは、ワイプゴム４４の先端部４７が、吐出ヘッド６の一端２２側（Ｙ軸方向の正側）にて、ノズル面３２ａよりもキャリッジ５側（Ｚ軸方向の正側）へ突出するように、ワイプゴム４４を移動させる。先端部４７がキャリッジ５側へ突出する部分の長さｄ_１は、例えば０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下の範囲に設定される。

また、駆動部４３は、飛散防止板４５の母部４８を吐出ヘッド６に向かって移動させ、ノズル面３２ａの他端２３側にて、屈曲部４９の先端をノズル面３２ａに対する吐出ヘッド６の側面２４に接触させる。この側面２４よりも飛散防止板４５が軟質であるので、飛散防止板４５と側面２４との接触による側面２４の傷つくことが回避される。この状態でワイプ方向（Ｙ軸方向）に着目すると、飛散防止板４５の母部４８と吐出ヘッド６の側面２４との間には、屈曲部４９の分だけクリアランス（逃げ部）が形成されている。

次いで、図５（ｃ）に示す駆動部４３は、ワイプゴム４４の母部４６をワイプ方向に移動させる。先端部４７は、ノズル面３２ａよりもキャリッジ５側へ突出しているので、ノズル面３２ａの他端２３に引っ掛る。母部４６の移動するにつれて、先端部４７は、ノズル面３２ａの他端２３側から一端２２側（Ｙ軸方向の負側から正側）に向かうように変形する。そして、上記の長さｄ_１の分だけノズル面３２ａに押し付けられた状態まで先端部４７が変形すると、先端部４７が母部４６よりも遅れて一端２２側から他端２３側に向かって移動を開始する。先端部４７は、自身の弾性反発力によりノズル面３２ａに密着した状態で、一端２２から他端２３まで移動する。ノズル面３２ａに付着物（液状体やその固化物）が付着している場合に、付着物は先端部４７にワイプされてノズル面３２ａから除去される。除去された付着物の一部または全部は、先端部４７に付着する。

次いで、図６（ａ）に示す駆動部４３は、先端部４７がノズル面３２ａの他端２３を通過するまで母部４６を移動させる。すると、先端部４７がノズル面３２ａから離れ、先端部４７の変形が緩和される。先端部４７は、自身の弾性反発力によって一端２２側から他端２３側に向かって首振運動する。ノズル面３２ａから先端部４７に付着した付着物は、上記の首振運動により付勢されて先端部４７から振り落とされる。先端部４７から脱離した付着物は、ワイプゴム４４と飛散防止板４５との間または飛散防止板４５に着弾する。

次いで、図６（ｂ）に示す駆動部４３は、ワイプゴム４４をノズル面３２ａに対してキャリッジ５と反対側へ移動させた後に、ワイプゴム４４がノズル面３２ａと非接触な状態で、ワイプゴム４４を他端２３側から一端２２側に帰還させる。

次いで、図６（ｃ）に示す駆動部４３は、飛散防止板４５をノズル面３２ａに対してキャリッジ５と反対側へ移動させ、飛散防止板４５を吐出ヘッド６から退去させる。

以上のようにして、ワイプ処理が完了する。ワイプ処理に引き続いて吐出ヘッド６から液状体を吐出させる場合には、キャリッジ移動部７がキャリッジ５を移動させ、吐出ヘッド６を上記の吐出エリアに配置する。

以上のような構成の液滴吐出装置１において、ワイプゴム４４がワイプするときに、その先端部４７がノズル面３２ａに押し付けられて密着するので、ノズル面３２ａに付着している液状体をほぼ確実に除去することができる。ワイプゴム４４が、ノズル面３２ａの他端２３を通過するまでワイプするので、ノズル面３２ａの全体をワイプすることができる。

ワイプゴム４４の先端部４７がノズル面３２ａの他端２３を通過した後に首振運動するので、ノズル面３２ａから先端部４７へ付着した液状体を脱離させることができる。したがって、先端部４７に液状体が残留しにくくなり、ワイプゴム４４が次にノズル面３２ａをワイプするときに、先端部４７からノズル面３２ａへ液状体が付着することが回避される。

ワイプゴム４４がノズル面３２ａをワイプするときに、ノズル面３２ａの他端２３側に飛散防止板４５が配置されてので、ノズル面３２ａの付着物がワイプにより飛散した場合でも、その進行が飛散防止板４５に阻まれる。また、先端部４７の首振運動により脱離した液状体の進行も飛散防止板４５に阻まれる。このように、付着物が不測の位置に飛散することが防止されるので、付着物が吐出ヘッド６や光源部２１、基板Ｐ等に付着することが回避される。飛散防止板４５は、ノズル面３２ａを通過したワイプゴム４４の逃げ部を有しているので、ワイプゴム４４と干渉することが回避される。

上記のように、液滴吐出装置１によれば、ノズル面３２ａを効果的に清浄化することができるので、液滴吐出装置１に安定して吐出動作させることができる。また、ノズル面３２ａから除去した液状体の基板Ｐへの再付着が回避されるので、良好なパターンを形成可能になる。また、ノズル面３２ａから除去した液状体の光源部２１への付着により陰が発生することが回避され、基板Ｐに配置された液状体を良好に硬化させることができる。

ワイプゴム４４によってノズル面３２ａを繰返しワイプすることができる。例えば、繊維によってノズル面３２ａをワイプする場合と比較して、処理済の繊維が廃材となることが回避され、環境負荷やメンテナンスコストを減らすことができる。

一般に、紫外線硬化型の液状体は非溶媒型であり、この種の液状体をノズル面から繊維等により拭き取るとノズル面３２ａが磨耗することがある。上記のように、ワイプゴム４４によってノズル面３２ａをワイプすれば、ノズル面３２ａの磨耗を抑制しつつ、ノズル面３２ａを清浄化することができ、紫外線硬化型の液状体を良好に吐出可能になる。

なお、本発明の技術範囲は、上記の実施形態に限定されるものではない。本発明の主旨を逸脱しない範囲内で、多様な変形が可能である。以下、いくつかの変形例について説明する。

図７（ａ）は変形例１のワイプユニットを示す平面図である。
図７（ａ）に示す変形例１のワイプユニット１０Ｂが上記の実施形態と異なる点は、ワイプ部４２Ｂの飛散防止板４５Ｂが吐出ヘッド６のノズル面の他端２３を少なくとも含んだノズル面の外周を囲んでいる点である。ここでは、ノズル面の外形が略矩形であり、その4辺のうちでワイプゴム４４に隣接する１辺を除いた３辺を囲むように、飛散防止板４５Ｂが設けられている。このようにすれば、ノズル面から除去された付着物の吐出対象物への再付着を格段に減らすことができる。なお、飛散防止板が、ワイプゴム４４と吐出ヘッド６とを閉環状に囲むように設けられていてもよい。

図７（ｂ）は変形例２のワイプ部を示す側面図である。
図７（ｂ）に示す変形例２のワイプ部４２Ｃが上記の実施形態と異なる点は、飛散防止板４５Ｃの屈曲部４９Ｃが略平板状であり、ワイプゴム４４に向かって母部４８に対して折れ曲がっている点である。

変形例１、２に例示したように、飛散防止板については、ノズル面に対する配置や吐出ヘッド６に接触する部位の形状、ワイプゴム４４の逃げ部の形状等に関して、多様な変形が考えられる。

図８（ａ）は変形例３のワイプ部を示す側面図である。
図８（ａ）に示す変形例３のワイプ部４２Ｄが上記の実施形態と異なる点は、飛散防止板４５が吐出ヘッド６の側面に接触する位置（高さ）にて固定されている点である。ワイプ部４２Ｄによりワイプ処理を行うには、吐出ヘッド６の側面が飛散防止板４５と接触するまで、キャリッジ移動部７がキャリッジ５を移動させる。そして、上記の実施形態と同様に、駆動部４３は、ワイプゴム４４を吐出ヘッド６に向けて進出させ、ワイプゴム４４を吐出ヘッド６のノズル面３２ａに押し付けた状態で、ワイプゴム４４をワイプ方向（Ｙ軸方向）に移動させる。このようにすれば、飛散防止板４５を移動させる必要性が低くなり、駆動部４３の構成をシンプルにすることが可能になる。

図８（ｂ）は変形例４のワイプ部を示す側面図である。
図８（ｂ）に示す変形例４のワイプ部４２Ｅが上記の実施形態と異なる点は、ワイプゴム４４がノズル面３２ａをワイプするときに、吐出ヘッド６と飛散防止板４５とが同じ向き（Ｙ軸方向の負側）に移動し、その逆向きにワイプゴム４４が移動する点である。このようにすれば、ノズル面３２ａに対するワイプゴム４４の相対速度を増すことができ、駆動部４３を複雑にすることなくワイプ処理に要する時間を短縮することができる。

図８（ｃ）は変形例５のワイプ部を示す側面図である。
図８（ｃ）に示す変形例５のワイプ部４２Ｆが上記の実施形態と異なる点は、ワイプゴム４４および飛散防止板４５が吐出ヘッド６に向かって進出する代わりに、吐出ヘッド６がワイプゴム４４および飛散防止板４５に向かって移動する点である。このようにすれば、駆動部４３の構成をシンプルにすることができる。

変形例３〜５に例示したように、駆動部４３がワイプゴム４４や飛散防止板４５を駆動する態様についても多様な変形が考えられる。

また、上記の実施形態では、ワークステージ３の移動範囲外にワイプユニット１０が固定されている例を説明したが、ワークステージ３の移動範囲内にワイプユニット１０を可動に設けることもできる。この場合には、例えば吐出エリアのＸ軸方向の正側にワイプユニット１０を配置しておき、ワークステージ３が吐出エリアから退去しているときに、ワイプユニット１０を吐出エリアに移動させてワイプ処理を行うとよい。ワイプユニット１０を移動させるには、例えばステージ移動部４を利用してもよい。

また、ワイプ部４２が１以上設けられていればよく、例えば１つのワイプ部４２により複数の吐出ヘッド６に順次、ワイプ処理を行わせることも可能である。

１・・・液滴吐出装置、２・・・装置架台、３・・・ワークステージ、
４・・・ステージ移動部、５・・・キャリッジ、６・・・吐出ヘッド、
７・・・キャリッジ移動部、８・・・液状体供給部、９・・・キャッピングユニット、
１０、１０Ｂ・・・ワイプユニット、１１・・・制御部、２１・・・光源部、
２２・・・一端、２３・・・他端、２４・・・側面、３１・・・振動板、
３１ａ・・・材料供給孔、３２・・・ノズルプレート、３２ａ・・・ノズル面、
３３・・・リザーバー、３４・・・隔壁、３５・・・キャビティ、３５ａ・・・供給路、
３６・・・圧電素子、３７・・・圧電材料層、３８・・・電極、４１・・・基台、
４２、４２Ｂ〜４２Ｆ・・・ワイプ部、４３・・・駆動部、
４４・・・ワイプゴム（弾性部材）、４５、４５Ｂ、４５Ｃ・・・飛散防止板（壁部材）、
４６・・・母部、４７・・・先端部、４８・・・母部、４９、４９Ｃ・・・屈曲部、
Ｄ・・・液滴、Ｌ・・・光、Ｎ・・・ノズル、ＮＡ・・・ノズル列、Ｐ・・・基板

Claims (9)

1. 複数のノズルが設けられたノズル面を含み前記ノズル面の各ノズルから液状体を吐出する吐出ヘッドと、
   前記ノズル面の一端側から他端側に向かって前記ノズル面をワイプする弾性部材と、
   前記弾性部材が前記ノズル面をワイプするときに、前記ノズル面の前記他端側に配置される壁部材と、
   を備える液滴吐出装置。
2. 前記吐出ヘッドは前記他端側に前記ノズル面に対する側面を有し、前記弾性部材が前記ノズル面をワイプするときに前記壁部材が前記側面に接触する、請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記弾性部材は、前記ノズル面に押し付けられて前記他端側から前記一端側に向かって変形した状態で前記ノズル面をワイプする、請求項２に記載の液滴吐出装置。
4. 前記弾性部材は、前記ノズル面の前記他端を通過するまでワイプし、前記ノズル面の前記他端を通過後に変形が緩和される、請求項３に記載の液滴吐出装置。
5. 前記壁部材は、前記ノズル面の前記他端を通過した前記弾性部材の逃げ部を有する、請求項４に記載の液滴吐出装置。
6. 前記液状体が不揮発性である、請求項５のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
7. 前記液状体が紫外線硬化性である、請求項５又は請求項６に記載の液滴吐出装置。
8. 前記壁部材が前記側面よりも軟質である、請求項２から請求項７のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
9. 前記壁部材は、前記ノズル面の前記他端側を少なくとも含んだ前記ノズル面の外周を囲んでいる、請求項１から８のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。

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