JP2010142722A - 液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】キャップ内の吸収材や廃液流路が乾燥や汚れによりつまってしまうことを防ぎ、クリーニング部を長期に亘って正常に機能させることができる、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板Ｐ上に機能液を吐出する液滴吐出ヘッド５と、液滴吐出ヘッド５を搭載するキャリッジ４と、液滴吐出ヘッド５のクリーニングを行うクリーニング部１５と、キャリッジ４に設けられ、クリーニング部１５内に洗浄液を噴射する洗浄液噴射部と、を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、液滴吐出装置に関するものである。

従来、各種媒体へ所定のインク（機能液）を吐出する液滴吐出ヘッド（以下、ヘッドと称す）を備える液滴吐出装置は、画像を形成するプリンタやデバイス製造用の成膜装置として幅広い分野で用いられている。
このような液滴吐出装置においては、ヘッドにおける機能液の噴射特性を回復或いは維持するクリーニングとして、ノズルから機能液を強制的に排出させる吸引処理やノズルから機能液を排出するフラッシング処理が行われている（例えば、特許文献１参照）。吸引処理はヘッドのノズルプレートにクリーニング部材を構成するキャップを当接させ、ノズルからインクを排出させる。また、キャップはフラッシング処理時においてノズルから排出されるインクの受け部材としても機能する。キャップは一定のインクが保持できるようになっており、内部に各ノズルからインクを均一に吸い出すための吸収材が設けられている。
特開２００３−８０２０９号公報

ところで、吸収材は多孔質材料で構成されているが、インクに含まれる粒子が粗かったり、溶剤の粘度が高い又は乾燥しやすいと汚れが蓄積して、最終的にはキャップ内にインクが詰まってしまうおそれがある。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、クリーニング部を長期に亘って正常に機能させることができる、液滴吐出装置を提供することを目的としている。

上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置は、基板上に機能液を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドを搭載するキャリッジと、前記液滴吐出ヘッドのクリーニングを行うクリーニング部と、前記キャリッジに設けられ、前記クリーニング部内に洗浄液を噴射する洗浄液噴射部と、を備えることを特徴とする。

本発明の液滴吐出装置によれば、洗浄液噴射部によりクリーニング部内に洗浄液が噴射されるので、クリーニング部に付着した汚れを良好に除去できる。よって、クリーニング部内の廃液流路を良好に維持できるので、クリーニング部を長期に亘って正常に機能させることができる。また、洗浄液噴射部がキャリッジに設けられるので、装置の小型化を図ることができる。

また、上記液滴吐出装置においては、前記洗浄液噴射部が前記キャリッジに着脱可能に設けられるのが好ましい。
例えば経時的な劣化によってキャリッジ或いは液滴吐出ヘッドを交換する必要が生じる場合もある。そこで、本発明を採用すれば、洗浄液噴射部をキャリッジから取り外し可能にしたことで交換作業がし易くなり、メンテナンス性を向上させることができる。

また、上記液滴吐出装置においては、前記洗浄液噴射部は、前記機能液と同一の主成分を含む前記洗浄液を前記クリーニング部内に噴射するのが好ましい。
この構成によれば、洗浄液が機能液と同一の主成分を含むので、クリーニング部内の汚れに対し良好な洗浄性を得ることができ、かつクリーニング部を構成する部材に対して科学的な劣化も与え難くなる。

また、上記液滴吐出装置においては、前記キャリッジは、前記基板と前記クリーニング部との間を移動可能とされており、前記洗浄液噴射部は、前記キャリッジの前記移動方向における前記クリーニング部側に配置されているのが好ましい。
この構成によれば、キャリッジとクリーニング部とを対向させる際、洗浄液噴射部がキャリッジの移動方向におけるクリーニング部側に配置されているため、洗浄液噴射部がクリーニング部上を必ず通過するようになる。よって、クリーニング処理終了後にキャリッジを基板側に移動させる際、クリーニング部上を再度通過する洗浄液噴射部からクリーニング部内に洗浄液を噴射することができる。このようにキャリッジを基板側に移動させつつクリーニング部の洗浄を行うことができるので、洗浄タクトが短縮されて液滴吐出装置の生産性を向上させることができる。

また、上記液滴吐出装置においては、前記クリーニング部は、前記クリーニング時に前記液滴吐出ヘッドから排出された前記機能液を廃液として受ける受け部材と、前記受け部材の前記廃液を回収する廃液タンクと、前記受け部材と前記廃液タンクとを接続する廃液流路部と、前記廃液流路部内に負圧を発生させる吸引手段と、を有し、前記吸引手段を駆動するとともに前記洗浄液噴射部から前記洗浄液を前記受け部材に噴射するのが好ましい。
この構成によれば、廃液流路部内が負圧とされるため、受け部材内に噴射された洗浄液が廃液タンク内に良好に回収される。仮に、この廃液を排出する手段が無いとクリーニング部の貯留容量をオーバーし、廃液漏れを起こすことになる。また、洗浄液によって分離した汚れが随時廃液タンクに向かって排出されるため、受け部材及び廃液流路部内を確実に洗浄することができる。

以下、本発明の一実施形態を説明するが、本発明の技術範囲は以下の実施形態に限定されるものではない。以降の説明では図面を用いて各種の構造を例示するが、構造の特徴的な部分を見やすくするために、構造の寸法や縮尺を実際の構造と適宜異ならせて図示する。

図１は、本実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成図である。この液滴吐出装置は、液滴吐出法により液状体を被処理基板に配置するものである。配置される機能液は、膜材料等の固形分を含有しており、乾燥させると固形分が残留するものである。すなわち、ここでいう機能液は、固形分を分散媒に分散させた分散液や、固形分を溶媒に溶解させた溶液等を含むものである。液状体の具体例としては、顔料や染料等を含んだカラーフィルタ材料や、ＵＶインク、金属配線等の導電膜パターンの形成材料である金属粒子を含んだコロイド溶液等が挙げられる。

本実施形態では、前記のような液状体を膜材料に用いる液滴吐出装置として、カラーフィルタ基板（吐出対象物）の所定領域上にカラーフィルタ材料（機能液）の液滴を吐出してカラーフィルタ層を形成する装置を説明する。なお、以下の説明においては、図１中に示されたＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材について説明する。図１におけるＸＹＺ直交座標系は、Ｘ軸及びＹ軸がワークステージ（搬送部）２に対して平行となるよう設定され、Ｚ軸がワークステージ２に対して直交する方向に設定されている。図１中のＸＹＺ座標系は、実際にはＸＹ平面が水平面に平行な面に設定され、Ｚ軸が鉛直上方向に設定される。

図１に示されるように、液滴吐出装置ＩＪは、装置架台１、ワークステージ２、ステージ移動装置３、キャリッジ４、液滴吐出ヘッド５、キャリッジ移動装置６、チューブ７、第１タンク８、第２タンク９、第３タンク１０、制御装置１１、及びクリーニング部１５を備えている。

装置架台１は、ワークステージ２及びステージ移動装置３の支持台である。ワークステージ（搬送部）２は、装置架台１上においてステージ移動装置３によってＸ軸方向に移動可能に設置されており、上流側の搬送装置（図示せず）から搬送されるカラーフィルタ基板Ｐ（以下、基板Ｐと称す）を、真空吸着機構によりＸＹ平面上に保持する。ステージ移動装置３は、ボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置１１から入力される、ワークステージ２のＸ座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、ワークステージ２をＸ軸方向に移動させる。

キャリッジ４は、液滴吐出ヘッド５を搭載するものであり、キャリッジ移動装置６によってＹ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に設けられている。液滴吐出ヘッド５は、後述するように複数のノズルを備えており、制御装置１１から入力される描画データや駆動制御信号に基づいて、カラーフィルタ材料の液滴を吐出する。この液滴吐出ヘッド５は、カラーフィルタ材料のＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に対応して設けられており、それぞれの液滴吐出ヘッド５はキャリッジ４を介してチューブ７と連結されている。そして、Ｒ（赤）に対応する液滴吐出ヘッド５はチューブ７を介して第１タンク８からＲ（赤）用のカラーフィルタ材料の供給を受け、Ｇ（緑）に対応する液滴吐出ヘッド５はチューブ７を介して第２タンク９からＧ（緑）用のカラーフィルタ材料の供給を受け、また、Ｂ（青）に対応する液滴吐出ヘッド５はチューブ７を介して第３タンク１０からＢ（青）用のカラーフィルタ材料の供給を受けるようになっている。

キャリッジ移動装置６は、例えば装置架台１を跨ぐ橋梁構造をしており、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に対してボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置１１から入力される、キャリッジ４のＹ座標及びＺ座標を示すキャリッジ位置制御信号に基づいて、キャリッジ４をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させる。

チューブ７は、第１タンク８、第２タンク９及び第３タンク１０とキャリッジ４（液滴吐出ヘッド５）とを連結するカラーフィルタ材料の供給用チューブである。第１タンク８は、Ｒ（赤）用のカラーフィルタ材料を貯蔵すると共に、チューブ７を介してＲ（赤）に対応する液滴吐出ヘッド５にカラーフィルタ材料を供給する。第２タンク９は、Ｇ（緑）用のカラーフィルタ材料を貯蔵すると共に、チューブ７を介してＧ（緑）に対応する液滴吐出ヘッド５にカラーフィルタ材料を供給する。第３タンク１０は、Ｂ（青）用のカラーフィルタ材料を貯蔵すると共に、チューブ７を介してＢ（青）に対応する液滴吐出ヘッド５にカラーフィルタ材料を供給する。

制御装置１１は、ステージ移動装置３にステージ位置制御信号を出力し、キャリッジ移動装置６にキャリッジ位置制御信号を出力すると共に、液滴吐出ヘッド５の駆動回路基板３０に描画データ及び駆動制御信号を出力して、液滴吐出ヘッド５による液滴吐出動作、ワークステージ２の移動による基板Ｐの位置決め動作、キャリッジ４の移動による液滴吐出ヘッド５の位置決め動作の同期制御を行うことにより、基板Ｐ上の所定の位置にカラーフィルタ材料の液滴を吐出する。

クリーニング部１５は、キャリッジ４に搭載された液滴吐出ヘッド５に対する種々のクリーニングを行うためのものである。クリーニング部１５は、液滴吐出ヘッド５におけるホームポジションに配設されている。このホームポジションは、非吐出動作時又は保管時等、液滴吐出装置ＩＪが吐出動作休止状態にあるときにキャリッジ４が配置される領域である。ここで、液滴吐出ヘッド５から基板Ｐ上に液滴を吐出する際のキャリッジ４の位置を吐出ポジションと呼ぶ。すなわち、吐出ポジションにおいて、キャリッジ４はワークステージ２の上方に位置する。

ここで、クリーニング部１５について説明する。図２はクリーニング部１５の概略構成を示す図である。図２（ａ）はクリーニング部１５の平面構成図であり、図２（ｂ）はクリーニング部１５の斜視構成図であり、図２（ｃ）はクリーニング部１５の要部の概略断面構成を示す図である。なお、クリーニング部１５は、制御装置１１からの制御信号により駆動されるようになっている。

図２（ａ）、（ｂ）に示されるように、クリーニング部１５は、キャップ本体６７と、キャップ本体６７の上面に枠状に設けられ、液滴吐出ヘッド５に当接されるシール部材６２と、液滴吐出ヘッド５のノズルプレート２１（図４参照）を払拭するワイピング処理時に用いられるワイプ部材６３と、これらキャップ本体６７及びワイプ部材６３を一体的に保持する筐体部６４と、を備えている。ワイプ部材６３は例えばエラストマー等の弾性部材から構成されるものである。また、キャップ本体６７はフラッシング処理時に液滴吐出ヘッド５から吐出されるインクを含む廃液を受ける受け部材として機能する。

図２（ｃ）に示されるようにキャップ本体６７は、液滴吐出ヘッド５のノズルＮから排出されたインクを吸収するインク吸収体６５が内部に収容されている。インク吸収体６５はスポンジ等の多孔質部材から構成されている。なお、インク吸収体６５は単一のスポンジから構成してもよく、複数のスポンジを組み合わせることで形成してもよい。

キャップ本体６７の下面には、下方に突出する凸部６６が形成されており、この凸部６６には開口部６６ａが形成されている。また、凸部６６にはチューブＴ（廃液流路部）の一端が接続されており、チューブＴの他端には廃液タンク６１が接続されている。チューブＴの途中にはチューブＴ内に負圧を発生させる吸引ポンプ（吸引手段）５０が設けられている。廃液タンク６１は液滴吐出ヘッド５から排出された廃液を回収するためのものである。

続いて、キャリッジ４について説明する。図３はキャリッジ４の構成を示す図である。具体的に図３（ａ）はキャリッジ４の平面構成を示す図であり、図３（ｂ）はキャリッジ４の斜視構成を示す図である。

図３（ａ）、（ｂ）に示されるように、キャリッジ４はキャリッジ本体４ａを有し、キャリッジ本体４ａの一面（下面）に液滴吐出ヘッド５を搭載している。また、キャリッジ本体４ａの側面部には、洗浄液噴射部１２が着脱可能に取付けられている。洗浄液噴射部１２は、洗浄液を噴射する噴射部１３と、この噴射部１３に対して所定の洗浄液を供給するための供給チューブ１４と、を備えている。

洗浄液噴射部１２は、後述するようにキャリッジ４の移動に伴って、クリーニング部１５内に洗浄液を噴射するものである。これにより、洗浄液噴射部１２は、クリーニング部１５内に形成されている流路を洗浄可能となっている。具体的に、洗浄液噴射部１２は、キャップ本体６７内に洗浄液を滴下することでキャップ本体６７内に収容されたインク吸収体６５及び廃液流路としてのチューブＴ内を洗浄するようになっている。

噴射部１３は、洗浄液としてカラーフィルタ材料と同一の主成分を含むものを噴射する。具体的に本実施形態では、カラーフィルタ材料の主成分をなすＰＣＡを含む洗浄液を供給チューブ１４により噴射部１３に供給している。このようにカラーフィルタ材料と同一の主成分を含む洗浄液を用いることで、キャップ本体６７内に付着する汚れに対し良好な洗浄性を得ることができる。

図４は液滴吐出ヘッド５の概略構成図である。図４（ａ）は液滴吐出ヘッド５をワークステージ２側から見た平面図、図４（ｂ）は液滴吐出ヘッド５の部分斜視図、図４（ｃ）は液滴吐出ヘッド５の１ノズル分の部分断面図である。

図４（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５は、Ｙ軸方向に配列された複数（例えば１８０個）のノズルＮを備えている。複数のノズルＮによってノズル列ＮＡが形成されている。図４（ａ）では１列分のノズルを示したが、液滴吐出ヘッド５に設けるノズル数及びノズル列数は任意に変更可能であり、Ｙ軸方向に配列した１列分ノズルをＸ軸方向に複数列設けても良い。また、キャリッジ４内に配置する液滴吐出ヘッド５の数も任意に変更可能である。さらに、キャリッジ４をサブキャリッジ単位で複数設ける構成としても良い。

図４（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５は、チューブ７と連結される材料供給孔２０ａが設けられた振動板２０と、ノズルＮが設けられたノズルプレート２１と、振動板２０とノズルプレート２１との間に設けられたリザーバ（液溜まり）２２と、複数の隔壁２３と、複数のキャビティ（液室）２４とを備えている。ノズルプレート２１は、例えばＳＵＳから構成されるものである。振動板２０上には、各ノズルＮに対応して圧電素子（駆動素子）ＰＺが配置されている。圧電素子ＰＺは、例えばピエゾ素子である。

リザーバ２２には、材料供給孔２０ａを介して供給される液状のカラーフィルタ材料（液状体）が充填されるようになっている。キャビティ２４は、振動板２０と、ノズルプレート２１と、１対の隔壁２３とによって囲まれるようにして形成されおり、各ノズルＮに１対１に対応して設けられている。また、各キャビティ２４には、一対の隔壁２３の間に設けられた供給口２４ａを介して、リザーバ２２からカラーフィルタ材料が導入されるようになっている。

図４（ｃ）に示すように、圧電素子ＰＺは、圧電材料２５を一対の電極２６で挟持したものであり、一対の電極２６に駆動信号を印加すると圧電材料２５が収縮するよう構成されたものである。そして、このような圧電素子ＰＺが配置されている振動板２０は、圧電素子ＰＺと一体になって同時に外側（キャビティ２４の反対側）へ撓曲するようになっており、これによってキャビティ２４の容積が増大するようになっている。したがって、キャビティ２４内に増大した容積分に相当するカラーフィルタ材料が、液溜まり２２から供給口２４ａを介して流入する。また、このような状態から圧電素子ＰＺへの駆動信号の印加を停止すると、圧電素子ＰＺと振動板２０はともに元の形状に戻り、キャビティ２４も元の容積に戻ることから、キャビティ２４内のカラーフィルタ材料の圧力が上昇し、ノズルＮから基板Ｐに向けてカラーフィルタ材料の液滴Ｌが吐出される。

続いて、本実施形態に係る液滴吐出装置ＩＪの動作について図５を参照しつつ説明する。以下では、液滴吐出装置ＩＪにおけるキャリッジ４及びキャリッジ４に取付けられたクリーニング部１５の動作を中心に説明する。

まず、液滴吐出装置ＩＪは、液滴吐出ヘッド５のクリーニングを行う際、図５（ａ）に示すように、基板Ｐ（ワークステージ２）上に位置するキャリッジ４をクリーニング部１５側（同図、−Ｙ方向）に移動させる。そして、キャリッジ４の下面に搭載されている液滴吐出ヘッド５とクリーニング部１５のキャップ本体６７とを対向させる。続いて、シール部材６２を介してキャップ本体６７をノズルプレート２１に密着させ、吸引ポンプ５０（図５（ｄ）参照）を駆動させる。吸引ポンプ５０の駆動によってチューブＴ内が減圧される。

これにより、開口部６６ａ介してチューブＴに連通しているキャップ本体６７、シール部材６２及びノズルプレート２１の間に生じる密閉空間は減圧状態となり、ノズルＮからインクを強制的に排出させる吸引処理が行われる。これによりキャップ本体６７内及びインク吸収体６５には廃インク（廃液）が付着した状態となる。

吸引処理の終了後、キャリッジ４を基板Ｐ側（図５（ｂ）中、＋Ｙ方向）に移動させる。制御装置１１は洗浄液噴射部１２がキャップ本体６７の上方に位置した際、図５（ｃ）に示すように洗浄液噴射部１２の噴射部１３から洗浄液の噴射をさせる。キャリッジ４の移動に伴って、キャップ本体６７内に洗浄液が供給される。本実施形態では洗浄液が噴射部１３から所定の圧力で噴射されるため、キャップ本体６７内及びインク吸収体６５に付着している廃インクを良好に洗い流すことができる。

本実施形態では、吸引ポンプ５０を駆動させた状態で、洗浄液噴射部１２がキャップ本体６７内に洗浄液を噴射するようにしている。これにより、図５（ｄ）に示されるように、洗浄液によって洗い流された廃液Ｘは吸引ポンプ５０によって負圧状態となったチューブＴ内に引き込まれ、チューブＴの他端側に接続されている廃液タンク６１内に回収される。よって、洗浄液によりキャップ本体６７、インク吸収体６５、及び廃液流路としてのチューブＴの内部を確実に洗浄することができる。

本実施形態においては、洗浄液噴射部１２がキャリッジ４のクリーニング部１５側に配置されているので、キャリッジ４とクリーニング部１５とを対向させる際、洗浄液噴射部１２がクリーニング部１５上を通過するようになる。よって、吸引処理終了後にキャリッジ４を基板Ｐ側（図５（ａ）中＋Ｙ方向）に移動させる際、クリーニング部１５上を再度通過する洗浄液噴射部１２からキャップ本体６７内に洗浄液を噴射できる。したがって、キャリッジ４を基板Ｐ側に移動させつつクリーニング部１５の洗浄を行うことができるので、洗浄タクトが短縮されて液滴吐出装置ＩＪの生産性を向上させることができる。

また、液滴吐出ヘッド５がワイプ部材６３の上方を通過する際、ワイプ部材６３を不図示の駆動機構により上昇させることでノズルプレート２１とワイプ部材６３とを接触させる。これにより、ワイプ部材６３によりノズルプレート２１の表面が払拭され（ワイプ処理）、吸引処理によってノズルプレート２１の表面に付着したインクを除去することができる。

また、本実施形態では、洗浄液噴射部１２がワイプ部材６３の上方に位置した際、噴射部１３から洗浄液の噴射をさせるようにしている。これにより、上述のワイプ処理によってワイプ部材６３に付着した廃インクを良好に洗浄することができる。

一方、クリーニングとしてフラッシング処理を行う場合、基板Ｐ（ワークステージ２）上に位置するキャリッジ４をクリーニング部１５側（同図、−Ｙ方向）に移動させ、キャリッジ４の下面に搭載されている液滴吐出ヘッド５とクリーニング部１５のキャップ本体６７とを対向させる。そして、液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮからインクをキャップ本体６７内に吐出する。各ノズルＮから吐出されたインクはキャップ本体６７内に収容されているインク吸収体６５に吸収されることで周囲へのインクの飛び散りが防止される。

フラッシング処理の終了後、キャリッジ４を基板Ｐ側（図５（ｂ）中、＋Ｙ方向）に移動させつつ、噴射部１３からキャップ本体６７内に洗浄液を噴射し、キャップ本体６７、インク吸収体６５、及び廃液流路としてのチューブＴの内部を確実に洗浄することができる。

以上述べたように、本実施形態に係る液滴吐出装置によれば、洗浄液噴射部１２によりクリーニング部１５内に洗浄液が噴射されるので、クリーニング部１５に付着した汚れを良好に除去できる。よって、クリーニング部１５内の廃液流路（チューブＴ）を良好に除去できるので、クリーニング部１５を長期に亘って正常に機能させることができる。また、洗浄液噴射部１２がキャリッジ４に設けられるので、装置の小型化を図ることができる。

ところで、経時的な劣化によってキャリッジ４或いは液滴吐出ヘッド５を交換する必要が生じる場合もある。このとき、本実施形態に係る液滴吐出装置ＩＪによれば、洗浄液噴射部１２がキャリッジ４に対して着脱可能となっているので、交換作業がし易くなりメンテナンス性を向上させることができる。

なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において適宜変更可能である。例えば、キャップ本体６７及びインク吸収体６５の汚れが酷い場合には、クリーニング部１５の洗浄処理時に、キャリッジ４がクリーニング部１５の上方を複数回往復するようにしてもよい。このようにキャリッジ４がクリーニング部１５の上方を複数回往復することで、洗浄液噴射部１２からクリーニング部１５内に洗浄液を複数回噴射することができる。よって、クリーニング部１５の洗浄性を向上できる。また、基板Ｐは固定されたワークステージに保持し、キャリッジ４のみを移動させて機能液の吐出を行っても良い。

液滴吐出装置の概略構成図である。 クリーニング部の概略構成を示す図である。 キャリッジの構成を示す図である。 液滴吐出ヘッドの概略構成図である。 液滴吐出装置の動作説明図である。

符号の説明

Ｐ…カラーフィルタ基板（基板）、ＩＪ…液滴吐出装置、２…ワークステージ（搬送部）、４…キャリッジ、５…液滴吐出ヘッド、１２…洗浄液噴射部、１５…クリーニング部、５０…吸引ポンプ（吸引手段）、６１…廃液タンク、６７…キャップ本体（受け部材）

Claims (5)

1. 基板上に機能液を吐出する液滴吐出ヘッドと、
   前記液滴吐出ヘッドを搭載するキャリッジと、
   前記液滴吐出ヘッドのクリーニングを行うクリーニング部と、
   前記キャリッジに設けられ、前記クリーニング部内に洗浄液を噴射する洗浄液噴射部と、
   を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記洗浄液噴射部が前記キャリッジに着脱可能に設けられることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記洗浄液噴射部は、前記機能液と同一の主成分を含む前記洗浄液を前記クリーニング部内に噴射することを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出装置。
4. 前記キャリッジは、前記基板と前記クリーニング部との間を移動可能とされており、
   前記洗浄液噴射部は、前記キャリッジの前記移動方向における前記クリーニング部側に配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
5. 前記クリーニング部は、前記クリーニング時に前記液滴吐出ヘッドから排出された前記機能液を廃液として受ける受け部材と、前記受け部材の前記廃液を回収する廃液タンクと、前記受け部材と前記廃液タンクとを接続する廃液流路部と、前記廃液流路部内に負圧を発生させる吸引手段と、を有し、
   前記吸引手段を駆動するとともに前記洗浄液噴射部から前記洗浄液を前記受け部材に噴射することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。

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