JP2010240543A - 液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドのクリーニング方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ノズル面にダメージを与えることなく良好にクリーニング可能な、液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドのクリーニング方法を提供する。
【解決手段】複数のノズルが設けられたノズル面を有し、ノズル面の各ノズルから機能液の液滴を吐出する液滴吐出ヘッド5と、液滴吐出ヘッド5のノズル面をクリーニングするクリーニングユニット12と、を備えた液滴吐出装置IJである。クリーニングユニット12は、ノズル面を払拭するワイプ部材と、ワイプ部材による払拭処理後のノズル面を払拭するシート部材とを含む。
【選択図】図1
【解決手段】複数のノズルが設けられたノズル面を有し、ノズル面の各ノズルから機能液の液滴を吐出する液滴吐出ヘッド5と、液滴吐出ヘッド5のノズル面をクリーニングするクリーニングユニット12と、を備えた液滴吐出装置IJである。クリーニングユニット12は、ノズル面を払拭するワイプ部材と、ワイプ部材による払拭処理後のノズル面を払拭するシート部材とを含む。
【選択図】図1
Description
本発明は、液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドのクリーニング方法に関するものである。
近年、液滴吐出法による成膜技術が注目されている。液滴吐出法によれば、膜の形成材料を含んだ微小なインク滴を所望の位置に配置することが可能である。液滴吐出装置は液滴吐出ヘッドを備えている。液滴吐出ヘッドは、液状体の貯留部、貯留部に通じるノズルが形成されたノズルプレート、液状体を加圧してノズルから液滴を押し出すピエゾ素子等を備えている。このような液滴吐出ヘッドにおいては、噴射特性を維持或いは回復させる手段として定期クリーニングが行われている。このような定期クリーニングとして、液滴吐出ヘッドのノズル面にシート部材を押し当てることでノズル面に付着した機能液を除去するワイピング処理が行われていた(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、従来、ノズル面にシート部材が押し付けられた際、当該シート部材内に吸収されている機能液の分散質(例えば、金属)によってノズル近傍の撥水膜が削り取られるおそれがある。すると、ノズル内から機能液がノズル面に濡れ広がってしまい、飛行曲がり等の吐出特性を低下させる可能性がある。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、ノズル面にダメージを与えることなく良好にクリーニング可能な、液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドのクリーニング方法を提供することを目的としている。
本発明の液滴吐出装置は、複数のノズルが設けられたノズル面を有し、該ノズル面の前記各ノズルから機能液の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル面をクリーニングするクリーニングユニットと、を備え、前記クリーニングユニットは、前記ノズル面を払拭するワイプ部材と、前記ワイプ部材による払拭処理後の前記ノズル面を払拭するシート部材とを含むことを特徴とする。
本発明の液滴吐出装置によれば、ワイプ部材によりノズル面に付着している機能液が概ね掻き取られる。そして、シート部材は、ノズル面に付着している機能液の残渣を確実に吸収する。このようにシート部材に吸収される機能液の絶対量が減るため、シート部材に吸収される機能液に含まれる分散質の量が低減する。よって、ノズル面に対してシート部材が摺接する場合において、シート部材内の分散質によりノズル面に傷がつけられるのを防止できる。したがって、ノズル面にダメージを与えることなく液滴吐出ヘッドのクリーニングを行うことができる。
また、上記液滴吐出装置においては、前記ワイプ部材が弾性部材からなるのが好ましい。
この構成によれば、ワイプ部材が弾性変形することでノズル面に与える負荷を低減できる。
この構成によれば、ワイプ部材が弾性変形することでノズル面に与える負荷を低減できる。
また、上記液滴吐出装置においては、前記シート部材がローラー部材の外周面に沿って設けられているのが好ましい。
この構成によれば、クリーニングユニットを大型化することなく、シート部材の長さを確保することができる。
この構成によれば、クリーニングユニットを大型化することなく、シート部材の長さを確保することができる。
また、上記液滴吐出装置においては、前記ローラー部材は偏芯状態で回転可能とされており、前記ローラー部材の外周面の一部に前記ワイプ部材が設けられているのが好ましい。
この構成によれば、液滴吐出ヘッドとクリーニングユニットとの高さ方向における位置関係を移動させることなくローラー部材を回転させることで、ワイプ部材及びシート部材によってノズル面の払拭処理を良好に行うことができる。さらに、ワイプ部及びシート部が一体に形成されるので、クリーニングユニットを小型化することができ、液滴吐出装置全体を小型化することができる。
この構成によれば、液滴吐出ヘッドとクリーニングユニットとの高さ方向における位置関係を移動させることなくローラー部材を回転させることで、ワイプ部材及びシート部材によってノズル面の払拭処理を良好に行うことができる。さらに、ワイプ部及びシート部が一体に形成されるので、クリーニングユニットを小型化することができ、液滴吐出装置全体を小型化することができる。
本発明の液滴吐出ヘッドのクリーニング方法は、複数のノズルが設けられたノズル面を有し、該ノズル面の前記各ノズルから機能液の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドのクリーニング方法において、前記ノズル面をワイプ部材により払拭する第1の払拭工程と、前記第1の払拭工程に続いて、前記ノズル面をシート部材により払拭する第2の払拭工程と、を備えることを特徴とする。
本発明の液滴吐出ヘッドのクリーニング方法によれば、ワイプ部材によりノズル面に付着している機能液が概ね掻き取られる。そして、第2の払拭工程により、ノズル面に付着している機能液の残渣をシート部材により確実に吸収することができる。よって、シート部材に吸収される機能液の絶対量が減るので、シート部材に吸収される機能液の分散質の量も低減する。そのため、ノズル面に対してシート部材が摺接する場合において、シート部材内の分散質によってノズル面がキズつけられるのを防止できる。したがって、ノズル面にダメージを与えることなくノズル面を良好にクリーニングすることができる。
以下、本発明の一実施形態を説明するが、本発明の技術範囲は以下の実施形態に限定されるものではない。以降の説明では図面を用いて各種の構造を例示するが、構造の特徴的な部分を見やすくするために、構造の寸法や縮尺を実際の構造と適宜異ならせて図示する。
(第1の実施形態)
図1は、本実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成図である。この液滴吐出装置は、液滴吐出法により液状体を被処理基板に配置するものである。配置される液状体は、膜材料等の固形分を含有しており、乾燥させると固形分が残留するものである。すなわち、ここでいう液状体は、固形分を分散媒(溶媒)に分散(溶解)させた分散液(溶液)等である。液状体の具体例としては、顔料や染料等を含んだカラーフィルター材料や、UVインク、金属配線等の導電膜パターンの形成材料である金属粒子を含んだコロイド溶液等が挙げられる。
図1は、本実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成図である。この液滴吐出装置は、液滴吐出法により液状体を被処理基板に配置するものである。配置される液状体は、膜材料等の固形分を含有しており、乾燥させると固形分が残留するものである。すなわち、ここでいう液状体は、固形分を分散媒(溶媒)に分散(溶解)させた分散液(溶液)等である。液状体の具体例としては、顔料や染料等を含んだカラーフィルター材料や、UVインク、金属配線等の導電膜パターンの形成材料である金属粒子を含んだコロイド溶液等が挙げられる。
本実施形態では、前記のような液状体を膜材料に用いる液滴吐出装置として、カラーフィルター基板(吐出対象物)の所定領域上にカラーフィルター材料(機能液)の液滴を吐出してカラーフィルター層を形成する装置を説明する。なお、以下の説明においては、図1中に示されたXYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材について説明する。図1におけるXYZ直交座標系は、X軸及びY軸がワークステージ2に対して平行となるよう設定され、Z軸がワークステージ2に対して直交する方向に設定されている。図1中のXYZ座標系は、実際にはXY平面が水平面に平行な面に設定され、Z軸が鉛直上方向に設定される。
図1に示されるように、液滴吐出装置IJは、装置架台1、ワークステージ2、ステージ移動装置3、キャリッジ4、液滴吐出ヘッド5、キャリッジ移動装置6、チューブ7、第1タンク8、第2タンク9、第3タンク10、制御装置11、及びクリーニングユニット12を備えている。
装置架台1は、ワークステージ2及びステージ移動装置3の支持台である。ワークステージ2は、装置架台1上においてステージ移動装置3によってX軸方向に移動可能に設置されており、上流側の搬送装置(図示せず)から搬送されるカラーフィルター基板P(以下、基板Pと称す)を、真空吸着機構によりXY平面上に保持する。ステージ移動装置3は、ボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置11から入力される、ワークステージ2のX座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、ワークステージ2をX軸方向に移動させる。
キャリッジ4は、液滴吐出ヘッド5を保持するものであり、キャリッジ移動装置6によってY軸方向及びZ軸方向に移動可能に設けられている。液滴吐出ヘッド5は、後述するように複数のノズルを備えており、制御装置11から入力される描画データや駆動制御信号に基づいて、カラーフィルター材料の液滴を吐出する。この液滴吐出ヘッド5はキャリッジ4を介してチューブ7と連結されている。そして、液滴吐出ヘッド5は、R(赤)に対応するノズルにチューブ7を介して第1タンク8からR(赤)用のカラーフィルター材料が供給され、G(緑)に対応するノズルにチューブ7を介して第2タンク9からG(緑)用のカラーフィルター材料が供給され、B(青)に対応するノズルにチューブ7を介して第3タンク10からB(青)用のカラーフィルター材料が供給されるようになっている。
キャリッジ移動装置6は、例えば装置架台1を跨ぐ橋梁構造をしており、Y軸方向及びZ軸方向に対してボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置11から入力される、キャリッジ4のY座標及びZ座標を示すキャリッジ位置制御信号に基づいて、キャリッジ4をY軸方向及びZ軸方向に移動させる。
制御装置11は、ステージ移動装置3にステージ位置制御信号を出力し、キャリッジ移動装置6にキャリッジ位置制御信号を出力すると共に、液滴吐出ヘッド5の駆動回路基板30に描画データ及び駆動制御信号を出力して、液滴吐出ヘッド5による液滴吐出動作、ワークステージ2の移動による基板Pの位置決め動作、キャリッジ4の移動による液滴吐出ヘッド5の位置決め動作の同期制御を行うことにより、基板P上の所定の位置にカラーフィルター材料の液滴を吐出する。
クリーニングユニット12は、キャリッジ4に保持された液滴吐出ヘッド5に対するメンテナンスとして後述の吸引動作後のノズル面を払拭するワイピング処理を行うためのものである。クリーニングユニット12は、液滴吐出ヘッド5におけるホームポジションに配設されている。このホームポジションは、非吐出動作時又は保管時等、液滴吐出装置IJが吐出動作休止状態にあるときにキャリッジ4が配置される領域である。ここで、液滴吐出ヘッド5から基板P上に液滴を吐出する際のキャリッジ4の位置を吐出ポジションと呼ぶ。なお、クリーニングユニット12は、制御装置11からの制御信号により駆動されるようになっている。
なお、ホームポジションには、クリーニングユニット12の他に、液滴吐出ヘッド5に当接することでノズル内からインクを排出させるキャッピング部(不図示)と、液滴吐出ヘッド5のノズルからインクを噴射するフラッシング動作を行うフラッシング部(不図示)とが設けられている。キャッピング部は、ノズル面に当接することでノズルから機能液を強制的に排出させる吸引動作時に用いられるものである。フラッシング部は、メニスカスを整えるべく、ノズルから液滴を吐出した廃液を回収するためのものである。
図2は液滴吐出ヘッド5の概略構成図である。図2(a)は液滴吐出ヘッド5をワークステージ2側から見た平面図、図2(b)は液滴吐出ヘッド5の1つのノズル列に対応する部分斜視図、図2(c)は液滴吐出ヘッド5の1ノズル分の部分断面図である。
図2(a)に示すように、液滴吐出ヘッド5は、Y軸方向に配列された複数(例えば180個)のノズルNからなるノズル列NA、NB、NCを備えている。ノズル列NAにおけるノズルNは、第1タンク8から供給されるR用カラーフィルター材料が吐出されるノズルである。また、ノズル列NBにおけるノズルNは、第2タンク9から供給されるG用カラーフィルター材料が吐出されるノズルである。また、ノズル列NCにおけるノズルNは、第3タンク10から供給されるB用カラーフィルター材料が吐出されるノズルである。
図2(b)に示すように、液滴吐出ヘッド5は、チューブ7と連結される材料供給孔20aが設けられた振動板20と、ノズルNが設けられたノズルプレート21と、振動板20とノズルプレート21との間に設けられたリザーバ(液溜まり)22と、複数の隔壁23と、複数のキャビティー(液室)24とを備えている。なお、ノズルプレート21の表面は、複数のノズルNが形成されたノズル面21aを構成している。ノズルプレート21は、例えばSUSから構成されるものであり、ノズル面21aに撥水処理膜が形成されている。振動板20上には、各ノズルNに対応して圧電素子(駆動素子)PZが配置されている。圧電素子PZは、例えばピエゾ素子である。
リザーバ22には、材料供給孔20aを介して供給される液状のカラーフィルター材料(液状体)が充填されるようになっている。キャビティー24は、振動板20と、ノズルプレート21と、1対の隔壁23とによって囲まれるようにして形成されおり、各ノズルNに1対1に対応して設けられている。また、各キャビティー24には、一対の隔壁23の間に設けられた供給口24aを介して、リザーバ22からカラーフィルター材料が導入されるようになっている。
図2(c)に示すように、圧電素子PZは、圧電材料25を一対の電極26で挟持したものであり、一対の電極26に駆動信号を印加すると圧電材料25が収縮するよう構成されたものである。そして、このような圧電素子PZが配置されている振動板20は、圧電素子PZと一体になって同時に外側(キャビティー24の反対側)へ撓曲するようになっており、これによってキャビティー24の容積が増大するようになっている。したがって、キャビティー24内に増大した容積分に相当するカラーフィルター材料が、液溜まり22から供給口24aを介して流入する。また、このような状態から圧電素子PZへの駆動信号の印加を停止すると、圧電素子PZと振動板20はともに元の形状に戻り、キャビティー24も元の容積に戻ることから、キャビティー24内のカラーフィルター材料の圧力が上昇し、ノズルNから基板Pに向けてカラーフィルター材料の液滴Lが吐出される。
続いて、クリーニングユニット12の構成について説明する。図3はクリーニングユニット12の概略構成を示す図である。
クリーニングユニット12は、図3に示すように、液滴吐出ヘッド5のノズル面21aを払拭するワイプ部材57と、ワイプ部材57による払拭処理後のノズル面21aを再度払拭するシート部材58とを含んでいる。ワイプ部材57は駆動機構(不図示)により昇降及び移動可能とされており、ノズル面21aの払拭時のみノズル面21aと同一の高さに位置するようになっている。また、ワイプ部材57は、例えばエラストマー等の弾性部材から構成されている。これにより、ワイプ部材57はノズル面21aの払拭時に弾性変形するため、ノズル面21aにダメージを与えることが無い。
クリーニングユニット12は、図3に示すように、液滴吐出ヘッド5のノズル面21aを払拭するワイプ部材57と、ワイプ部材57による払拭処理後のノズル面21aを再度払拭するシート部材58とを含んでいる。ワイプ部材57は駆動機構(不図示)により昇降及び移動可能とされており、ノズル面21aの払拭時のみノズル面21aと同一の高さに位置するようになっている。また、ワイプ部材57は、例えばエラストマー等の弾性部材から構成されている。これにより、ワイプ部材57はノズル面21aの払拭時に弾性変形するため、ノズル面21aにダメージを与えることが無い。
ローラー部材59は駆動機構(不図示)により昇降及び回転可能とされている。
また、シート部材58はローラー部材59の外周面59aに設けられている。これにより、クリーニングユニット12を大型化することなく、シート部材58の長さが確保されている。シート部材58は、例えば液体を吸収可能な不織布によって構成される。不織布としてはノズル面21aとの接触によってケバやゴミを生じさせないものが用いられる。さらに、クリーニングユニット12は、ワイプ部材57及びローラー部材59を収容する図3中2点鎖線で示される筐体部を有している。
また、シート部材58はローラー部材59の外周面59aに設けられている。これにより、クリーニングユニット12を大型化することなく、シート部材58の長さが確保されている。シート部材58は、例えば液体を吸収可能な不織布によって構成される。不織布としてはノズル面21aとの接触によってケバやゴミを生じさせないものが用いられる。さらに、クリーニングユニット12は、ワイプ部材57及びローラー部材59を収容する図3中2点鎖線で示される筐体部を有している。
続いて、液滴吐出装置IJの動作を例に挙げ、本発明の液滴吐出ヘッドのクリーニング方法について説明する。なお、以下では本実施形態に係る液滴吐出装置IJの特徴的構成であるクリーニングユニット12の動作を中心に説明する。
まず、液滴吐出装置IJは、キャリッジ4をホームポジションに配置されているクリーニングユニット12まで移動する。そして、図4(a)に示すように液滴吐出ヘッド5のノズル面21aとワイプ部材57とを対向させる。
続いて、制御装置11はワイプ部材57に設けられた駆動機構(不図示)によりワイプ部材57をノズル面21aに接触させた状態で、図4(b)に示すようにワイプ部材57を一方向に沿って移動するとともに液滴吐出ヘッド5を他方向に移動する。これにより、ワイプ部材57はノズル面21aに付着している機能液を概ね掻き取ることができる(第1の払拭工程)。また、ワイプ部材57は弾性変形した状態でワイピングを行うため、ノズル面21aの表面に形成されている不図示の撥水処理膜へのダメージが低減される。
続いて、図4(c)に示すように液滴吐出ヘッド5を図中Y方向に沿って移動させることでローラー部材59と対向させる。なお、クリーニングユニット12を移動することでローラー部材59と液滴吐出ヘッド5とを対向させるようにしてもよい。
続いて、図4(d)に示すように制御装置11はローラー部材59に設けられた駆動機構(不図示)によりローラー部材59を上昇させ、シート部材58とノズル面21aとを接触させる。そして、ローラー部材59を一方向に回転させつつ、液滴吐出ヘッド5を他方向に移動する(第2の払拭工程)。これにより、シート部材58はノズル面21aに付着している機能液の残渣を確実に吸収するようになる。
本実施形態によれば、ワイプ部材57によりノズル面21aに付着している機能液が概ね掻き取られるため、シート部材58がノズル面21aに付着している機能液の残渣を確実に吸収できる。このとき、シート部材58に吸収される機能液の絶対量が減るため、シート部材58に吸収される機能液の分散質(本実施形態では、顔料)の量が低減する。よって、ノズル面21aにシート部材58が摺接する場合において、シート部材58内の顔料によりノズル面21aに傷がつくのを防止することができる。すなわち、ノズル面21aに形成されている撥水処理膜、特にノズル開口端の近傍にダメージを及ぼすのを防止できる。したがって、撥水処理膜に傷がつくことでノズル面21aに機能液が濡れ拡がり、飛行曲がり等の吐出不良が生じるのを防止しつつ、ノズル面21aのクリーニングを良好に行うことができる。
また、ノズル面21aの撥水処理膜の耐久性が向上し、結果的に液滴吐出ヘッド5の寿命を延ばすこともできる。さらに、シート部材58は大量の機能液を吸収する必要が無いので、シート部材58の使用量を抑えることができ、低コスト化を実現できる。
(第2の実施形態)
続いて、第2の実施形態に係る液滴吐出装置について説明する。本実施形態と第1の実施形態とは、クリーニングユニットの構成が異なる点である。なお、第1の実施形態と共通の構成及び部材については同一の符号を付し、その説明については省略若しくは簡略する。
続いて、第2の実施形態に係る液滴吐出装置について説明する。本実施形態と第1の実施形態とは、クリーニングユニットの構成が異なる点である。なお、第1の実施形態と共通の構成及び部材については同一の符号を付し、その説明については省略若しくは簡略する。
図5は本実施形態に係るクリーニングユニット120の概略構成を示す図である。
クリーニングユニット120は、図5に示すように、ローラー部材59の外周面59aの一部にワイプ部材157が設けられている。ローラー部材59は後述するように偏芯状態で回転可能とされている。このようにワイプ部材157とシート部材58とが一体に形成されることで、クリーニングユニット120を小型化することができ、液滴吐出装置自体の小型化が図られている。
クリーニングユニット120は、図5に示すように、ローラー部材59の外周面59aの一部にワイプ部材157が設けられている。ローラー部材59は後述するように偏芯状態で回転可能とされている。このようにワイプ部材157とシート部材58とが一体に形成されることで、クリーニングユニット120を小型化することができ、液滴吐出装置自体の小型化が図られている。
続いて、本実施形態に係る液滴吐出装置の動作及び液滴吐出ヘッドのクリーニング方法について説明する。
まず、液滴吐出装置IJは、図6(a)に示すように、キャリッジ4をホームポジションに配置されているクリーニングユニット120まで移動する。このとき、ワイプ部材57は液滴吐出ヘッド5のノズル面21aに接触しない高さに保持されている。続いて、制御装置11は、ローラー部材59に設けられた駆動機構(不図示)によりローラー部材59を一方向に回転させる。すると、ワイプ部材57はノズル面21aとが接触状態となる。そして、図6(b)に示すようにローラー部材59を一方向に回転させつつ、液滴吐出ヘッド5を他方側に移動させる。これにより、ワイプ部材57はノズル面21aに付着している機能液を概ね掻き取ることができる(第1の払拭工程)。ワイプ部材57は弾性変形した状態でワイピングを行うため、ノズル面21aの表面に形成されている撥水処理膜へのダメージが低減される。
ワイプ部材57によるノズル面21aのワイピング処理終了後、制御装置11はローラー部材59を回転させ続ける。このとき、ローラー部材59は偏芯した状態となっているので、ワイプ部材57がノズル面21aから離間した後、ローラー部材59の外周面59aが再びノズル面21aと同じ高さに近づいてくる。そして、再度液滴吐出ヘッド5をローラー部材59の上方に移動させることで、図6(c)に示すようにローラー部材59とノズル面21aとが接触する。さらに、ローラー部材59を一方向に回転させつつ、液滴吐出ヘッド5を他方向に移動する(第2の払拭工程)。これにより、シート部材58はノズル面21aに付着している機能液の残渣を確実に吸収するようになる。さらに、ローラー部材59を一方向に回転させ続けることで、図6(d)に示すように外周面59aに形成されたシート部材58をノズル面21aから離間させることができる。
本実施形態においても、第1の実施形態と同様、撥水処理膜に傷がつくことでノズル面21aに機能液が濡れ拡がり、飛行曲がり等の吐出不良が生じるのを防止し、ノズル面21aのクリーニングを良好に行うことができる。さらに、ローラー部材59が偏芯下状態で回転するため、ワイピング時に液滴吐出ヘッド5とクリーニングユニット120との高さ方向における位置関係を移動させることなく、ローラー部材59の回転動作のみでワイプ部材57及びシート部材58によるノズル面21aの払拭処理を良好に行うことができる。
N…ノズル、5…液滴吐出ヘッド、12,120…クリーニングユニット、21a…ノズル面、57,157…ワイプ部材、58…シート部材、59…ローラー部材、59a…外周面、70…ローラー(ワイプ部材)
Claims (5)
- 複数のノズルが設けられたノズル面を有し、該ノズル面の前記各ノズルから機能液の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル面をクリーニングするクリーニングユニットと、を備え、
前記クリーニングユニットは、前記ノズル面を払拭するワイプ部材と、前記ワイプ部材による払拭処理後の前記ノズル面を払拭するシート部材とを含むことを特徴とする液滴吐出装置。 - 前記ワイプ部材が弾性部材からなることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置。
- 前記シート部材がローラー部材の外周面に沿って設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液滴吐出装置。
- 前記ローラー部材は偏芯状態で回転可能とされており、
前記ローラー部材の外周面の一部に前記ワイプ部材が設けられていることを特徴とする請求項3に記載の液滴吐出装置。 - 複数のノズルが設けられたノズル面を有し、該ノズル面の前記各ノズルから機能液の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドのクリーニング方法において、
前記ノズル面をワイプ部材により払拭する第1の払拭工程と、
前記第1の払拭工程に続いて、前記ノズル面をシート部材により払拭する第2の払拭工程と、を備えることを特徴とする液滴吐出ヘッドのクリーニング方法。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20120605 |