JP2012181150A - カム表面の観察方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】テレセントリックfθレンズ8の焦点面近傍に近接配置したカム表面10からの反射光をテレセントリックfθレンズ8により平行光束に変換し、走査ミラー7で反射させた後に、結像レンズ11によって集光してテレセントリックfθレンズ8の焦点面と共役の位置に設置したピンホール12aを通過させ、ピンホール12aを通過した反射光の光量を受光素子13で計測する。カム表面10を有するカムシャフト9をその軸zを中心に回転させるとともに、レーザ光に対してカム表面10が常に垂直になり、かつ、レーザ光の焦点が常にカム表面10に位置するように、カムシャフト9を移動させながら観察する。
【選択図】図1
Description
直交する方向に、走査光のスポット径に対応する量だけカムシャフトをその軸を中心に回転させることにより、カム表面の全面にわたって、カム表面の形状を正確に測定することができ、同時にカム表面の表面画像を得ることすることができる。
直交する方向に、走査光のスポット径に対応する量だけカムシャフト9をその軸zを中心に回転させることにより、カム表面10の全面にわたって、カム表面10の形状を正確に測定することができ、同時にカム表面10の表面画像を得ることすることができる。
4 ビームスプリッタ
7 走査ミラー
8 テレセントリックfθレンズ
9 カムシャフト
10 カム表面
10a 被観察円筒面
10b 円筒軸
11 結像レンズ
12a ピンホール
13 受光素子
16 表示手段
z 軸
Claims (4)
- レーザ光源からのレーザ光を平行光束としてビームスプリッタを介して走査ミラーに導き、該走査ミラーで前記レーザ光を走査光に変換してテレセントリックfθレンズに入射させ、該テレセントリックfθレンズの焦点面近傍に近接配置したカム表面からの反射光を前記テレセントリックfθレンズにより平行光束に変換し、前記走査ミラーで反射させた後に前記ビームスプリッタでレーザ光源からのレーザ光と分離し、結像レンズによって集光して前記テレセントリックfθレンズの焦点面と共役の位置に設置したピンホールを通過させ、該ピンホールを通過した前記反射光の光量を受光素子で計測するカム表面の観察方法であって、前記カム表面を有するカムシャフトをその軸を中心に回転させるとともに、前記レーザ光に対して前記カム表面が常に垂直になり、かつ、前記レーザ光の焦点が常に前記カム表面に位置するように、前記カムシャフトを移動させながら観察することを特徴とするカム表面の観察方法。
- 前記走査光を前記カム表面の母線に沿って走査させることを特徴とする請求項1記載のカム表面の観察方法。
- 前記走査光が前記カム表面の母線を1回走査する毎に、前記走査光の走査方向に直交する方向に、前記走査光のスポット径に対応する量だけ前記カムシャフトをその軸を中心に回転させることを特徴とする請求項2記載のカム表面の観察方法。
- 前記受光素子で計測された光量に対応した光量信号とこの光量信号が得られた前記カム表面上の位置情報に基づいて、前記カム表面の3次元画像を作成して表示手段に表示することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載のカム表面の観察方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011045375A JP5716459B2 (ja) | 2011-03-02 | 2011-03-02 | カム表面の観察方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106461926A (zh) * | 2014-04-17 | 2017-02-22 | 卡尔蔡司股份公司 | 具有简化的光学器件、尤其是具有可变的光瞳位置的光扫描显微镜 |
US10408612B1 (en) | 2018-06-27 | 2019-09-10 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Apparatus for non-contact optical evaluation of camshaft lobe surface roughness |
WO2020221859A1 (de) * | 2019-05-02 | 2020-11-05 | Inproq Optical Measurement Gmbh | Oberflächenprüfverfahren und -einrichtung |
JP2021179608A (ja) * | 2020-05-12 | 2021-11-18 | オーケーラボ有限会社 | レーザー走査顕微鏡、レーザー走査顕微鏡システム及びレーザーアブレーションシステム |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61195302A (ja) * | 1985-02-25 | 1986-08-29 | Nissan Motor Co Ltd | 表面検査装置 |
JPS6254110A (ja) * | 1985-09-03 | 1987-03-09 | Nissan Motor Co Ltd | カム面の検査装置 |
JPH03225206A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-04 | Brother Ind Ltd | 光学式表面形状測定装置 |
JPH0634557A (ja) * | 1992-07-13 | 1994-02-08 | Asahi Optical Co Ltd | レーザ光学系、及びレーザビームを用いた被検面の表面状態の読取方法 |
JPH07270324A (ja) * | 1994-03-31 | 1995-10-20 | Kiriyuu Kikai Kk | 軸状物の外観検査装置 |
JP2001056438A (ja) * | 1999-06-09 | 2001-02-27 | Olympus Optical Co Ltd | 共焦点走査型顕微鏡、共焦点走査型顕微鏡における画像表示方法および画像表示処理をするための処理プログラムを記録した記録媒体 |
JP2001311608A (ja) * | 2000-05-01 | 2001-11-09 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 微小突起物検査装置 |
JP2002168611A (ja) * | 2000-09-08 | 2002-06-14 | Ricoh Co Ltd | 円筒状被検物の表面凹凸検査方法及び同検査装置 |
JP2008309668A (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-25 | Opcell Co Ltd | レーザ走査干渉計 |
JP2009300348A (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-24 | Opcell Co Ltd | レーザ走査装置 |
JP2011220816A (ja) * | 2010-04-09 | 2011-11-04 | Niigata Univ | 円筒面の形状計測方法 |
-
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Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61195302A (ja) * | 1985-02-25 | 1986-08-29 | Nissan Motor Co Ltd | 表面検査装置 |
JPS6254110A (ja) * | 1985-09-03 | 1987-03-09 | Nissan Motor Co Ltd | カム面の検査装置 |
JPH03225206A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-04 | Brother Ind Ltd | 光学式表面形状測定装置 |
JPH0634557A (ja) * | 1992-07-13 | 1994-02-08 | Asahi Optical Co Ltd | レーザ光学系、及びレーザビームを用いた被検面の表面状態の読取方法 |
JPH07270324A (ja) * | 1994-03-31 | 1995-10-20 | Kiriyuu Kikai Kk | 軸状物の外観検査装置 |
JP2001056438A (ja) * | 1999-06-09 | 2001-02-27 | Olympus Optical Co Ltd | 共焦点走査型顕微鏡、共焦点走査型顕微鏡における画像表示方法および画像表示処理をするための処理プログラムを記録した記録媒体 |
JP2001311608A (ja) * | 2000-05-01 | 2001-11-09 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 微小突起物検査装置 |
JP2002168611A (ja) * | 2000-09-08 | 2002-06-14 | Ricoh Co Ltd | 円筒状被検物の表面凹凸検査方法及び同検査装置 |
JP2008309668A (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-25 | Opcell Co Ltd | レーザ走査干渉計 |
JP2009300348A (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-24 | Opcell Co Ltd | レーザ走査装置 |
JP2011220816A (ja) * | 2010-04-09 | 2011-11-04 | Niigata Univ | 円筒面の形状計測方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106461926A (zh) * | 2014-04-17 | 2017-02-22 | 卡尔蔡司股份公司 | 具有简化的光学器件、尤其是具有可变的光瞳位置的光扫描显微镜 |
US10551606B2 (en) | 2014-04-17 | 2020-02-04 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Light-scanning microscope with simplified optical system, more particularly with variable pupil position |
US11086114B2 (en) | 2014-04-17 | 2021-08-10 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Light-scanning microscope with simplified optical system, more particularly with variable pupil position |
US10408612B1 (en) | 2018-06-27 | 2019-09-10 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Apparatus for non-contact optical evaluation of camshaft lobe surface roughness |
WO2020221859A1 (de) * | 2019-05-02 | 2020-11-05 | Inproq Optical Measurement Gmbh | Oberflächenprüfverfahren und -einrichtung |
JP2021179608A (ja) * | 2020-05-12 | 2021-11-18 | オーケーラボ有限会社 | レーザー走査顕微鏡、レーザー走査顕微鏡システム及びレーザーアブレーションシステム |
JP6997480B2 (ja) | 2020-05-12 | 2022-01-17 | オーケーラボ有限会社 | レーザー走査顕微鏡、レーザー走査顕微鏡システム及びレーザーアブレーションシステム |
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Publication number | Publication date |
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