JP2011205879A - 磁性アクター及びその取り付け方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】互いに対向して配置されて永久磁石2を有する2つの外側部を備える磁性アクター1に関して、特に、永久磁石2がハルバッハ構成に配置され、それに応じて永久磁石2は、互いに大してそれぞれ回転する磁性の向きに配置される。ハルバッハアレイとしても知られている配置を使用して、一方側で電磁流量を増大すると共に他方側で電磁流量を弱めることが可能である。また、永久磁石2がスライドインフレーム3内へ挿入される。
【選択図】図1
Description
2 磁石
3 スライドインフレーム
4 バー
5 プレート
5 ねじ
6 穿孔
8 固定化プレート
9 ねじ
10 ねじ
11 ねじ
12 矢印
13 外側部
14 コイルハウジング
14a 外側部分
14b 外側部分
14c 中央部分
15 締結用リセス
16 接続ケーブル
17 コイル
18 矢印
Claims (15)
- 互いに対向して配置されて永久磁石を有する2つの外側部を備える磁性アクターであって、前記外側部はそれぞれ、互いに対して異なる磁化方向を有する少なくとも2つの永久磁石を備え、コイルが、前記2つの外側部に対して可動であるように該外側部の間に配置され、前記コイルがトリガーされるときに前記2つの外側部の間で力が発生し、前記永久磁石はスライドインフレーム内部で保持される、磁性アクター。
- 前記外側部の前記永久磁石はハルバッハ構成に配設されることを特徴とする、請求項1に記載の磁性アクター。
- 前記外側部はそれぞれ、ハルバッハ構成に配設される少なくとも3つの、好ましくは5つの永久磁石を備えることを特徴とする、請求項1又は2に記載の磁性アクター。
- 前記外側部は、互いに隣接してハルバッハ構成に配設される少なくとも2列の磁石を備えることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の磁性アクター。
- 前記スライドインフレームは前記2列の間に配設されるバーを備えることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の磁性アクター。
- 前記2つの外側部は、互いに対向する2つの側面でそれぞれプレートと接続されることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の磁性アクター。
- 前記外側部は、前記スライドインフレームと接続される固定化プレートを備えることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の磁性アクター。
- 前記固定化プレートは、前記永久磁石を適所にクランプするクランプ手段、特にねじを備えることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載の磁性アクター。
- 前記スライドインフレームは、前記永久磁石を適所にクランプするクランプ手段、特にねじを備えることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載の磁性アクター。
- 前記スライドインフレームは磁石を挿入するために片側のみ開いていることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一項に記載の磁性アクター。
- 前記スライドインフレームの挿入高さは、挿入方向に延びる平面において前記永久磁石の対角線よりも小さいことを特徴とする、請求項1〜10のいずれか一項に記載の磁性アクター。
- 前記スライドインフレームは、位置決め目的のために調整手段、特に調整ピン用の穿孔を備えることを特徴とする、請求項1〜11のいずれか一項に記載の磁性アクター。
- 少なくとも垂直及び/又は水平方向において効果的である少なくとも1つの軸受、特に流体軸受を備える、特にリソグラフィ(lithografy)又はウェハー検査装置の防振される支持体のための防振システムであって、能動型防振のためにトリガーされ得る請求項1〜12のいずれか一項に記載の少なくとも1つの磁性アクターを備える、防振システム。
- 前記コイルは、前記防振システムの防振される側に締結されることを特徴とする、請求項13に記載の防振システム。
- 磁性アクター、特に請求項1〜12のいずれか一項に記載の磁性アクターの組み付け方法であって、複数の磁石を、ハルバッハ構成でスライドインフレーム内へ次々に挿入してから、クランプ手段によって互いに対して位置合わせする、方法。
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