JP5088536B2 - 可動コイル型リニアモータの組立方法 - Google Patents
可動コイル型リニアモータの組立方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5088536B2 JP5088536B2 JP2007086684A JP2007086684A JP5088536B2 JP 5088536 B2 JP5088536 B2 JP 5088536B2 JP 2007086684 A JP2007086684 A JP 2007086684A JP 2007086684 A JP2007086684 A JP 2007086684A JP 5088536 B2 JP5088536 B2 JP 5088536B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- permanent magnet
- spacer
- coil
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Linear Motors (AREA)
Description
前記固定子は、強磁性材料からなるヨークに前記可動子の移動方向に沿って磁化方向の異なる永久磁石が交互に配列されて前記第1の磁気空隙を形成する第1の永久磁石部材と、強磁性材料からなるヨークに第2の磁気空隙を介して異極性の磁極が対向するように永久磁石が固定された第2の永久磁石部材と、前記第1の永久磁石部材及び前記第2の永久磁石部材を包持し、前記ヨークより比重の小なる金属材料からなる非磁性フレームを有する分割ユニットを複数個備えるとともに、
前記可動子は、前記第2の磁気空隙内に配置される単相コイルを有し、前記移動方向と直交する方向にも移動可能に支持されることを特徴とするものである。
4:非磁性フレーム、41:ベース部材、411:第1の段部、412:凹溝、413:第2の段部、42:サイド部材、421、422:キリ穴、
5a、5b、5c:第1の永久磁石部材、6a、6b、6c:ヨーク、
7a:メイン磁石、70a:スペーサ磁石、
8:第2の永久磁石部材、9:ヨーク、10a、10b:永久磁石、
11:可動子、111:コイルホルダ、121:コイルユニット、122:多相コイル、123:単相コイル(空心コイル)、
100:移動テーブル、102:アーム
Claims (2)
- 所定方向に沿って正弦波状の磁束密度分布が現出する第1の磁気空隙とともに第2の磁気空隙を有する固定子と、前記第1の磁気空隙に配置される多相コイルとともに前記第2の磁気空隙に配置される単相コイルを有し、前記多相コイルへの通電により前記固定子の長手方向に沿って移動可能に支持されるとともに前記単相コイルへの通電により前記固定子の長手方向と直交する方向に沿って移動可能に支持される可動子とを有し、
前記固定子は、強磁性材料からなる一対の第1のヨークの各対向面側に前記多相コイルへの通電による可動子の移動方向に沿って可動子の移動方向と直交する方向に磁化されたメイン磁石とその磁化方向と直交する方向に磁化されたスペーサ磁石を交互に配列して前記第1の磁気空隙を形成する第1の永久磁石部材と、強磁性材料からなる一対の第2のヨークの各対向面側に前記単相コイルへの通電による可動子の移動方向に沿って異極性の磁極が現出するとともに互いに異極性の磁極が対向するように永久磁石を配設して前記第2の磁気空隙を形成する第2の永久磁石部材と、前記ヨークより比重の小なる金属材料からなり、前記第2の永久磁石部材を支持する凹部を有するベース部材と前記ベース部材の両側面に固定され前記第1の永久磁石部材を支持する一対のサイド部材にて前記第1及び第2の永久磁石部材を包持する非磁性フレームとを有する複数個の分割ユニットを前記多相コイルへの通電による可動子の移動方向に沿って接続した可動コイル型リニアモータの組立方法であって、
前記ベース部材の凹部内面に前記第2の永久磁石部材を固着する工程と、
前記ベース部材の両側面にサイド部材を固定する工程と、
前記一対の第1ヨークのそれぞれ前記第1の磁気空隙との対向面側に前記多相コイルへの通電による可動子の移動方向に沿って所定の間隔をあけるとともに前記第1の磁気空隙を介して互いに対向する磁極が異極性となるようにして配置した前記メイン磁石を、非磁性スペーサを挟んで磁気的に吸着して一体化する工程と、
前記非磁性スペーサを挟んで磁気的に吸着して一体化したメイン磁石の前記所定の間隔に前記スペーサ磁石を挿入することで非磁性スペーサ付第1の永久磁石部材とする工程と、
前記一対のサイド部材の間に前記非磁性スペーサ付第1の永久磁石部材を挿入し、前記ベース部材に載置する工程と、
前記一対のサイド部材のそれぞれに設けられた孔から前記一対の第1のヨークのそれぞれに設けられたメネジ部にボルトをねじ込み、前記一対の第1のヨークのそれぞれを介して前記非磁性スペーサ付第1の永久磁石部材を前記一対のサイド部材のそれぞれに向かって変位させ、前記非磁性スペーサを介して対向する前記メイン磁石同士及び前記スペーサ磁石同士の間隔を広げることで、前記非磁性スペーサ付第1の永久磁石部材から前記非磁性スペーサを取り除き、この取り除かれた部分を前記第1の磁気空隙とする工程と、
を有する前記分割ユニットの組立工程を含むことを特徴とする可動コイル型リニアモータの組立方法。 - 前記非磁性フレームはアルミニウム又はその合金からなることを特徴とする請求項1に記載の可動コイル型リニアモータの組立方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007086684A JP5088536B2 (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | 可動コイル型リニアモータの組立方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007086684A JP5088536B2 (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | 可動コイル型リニアモータの組立方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008245491A JP2008245491A (ja) | 2008-10-09 |
JP5088536B2 true JP5088536B2 (ja) | 2012-12-05 |
Family
ID=39916146
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007086684A Active JP5088536B2 (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | 可動コイル型リニアモータの組立方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5088536B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5488831B2 (ja) | 2010-10-07 | 2014-05-14 | 株式会社安川電機 | リニアモータ及びステージ装置 |
JP5652669B2 (ja) * | 2012-04-20 | 2015-01-14 | 株式会社安川電機 | 界磁ヨーク組立体及びリニアモータ |
JP7228179B2 (ja) * | 2018-10-19 | 2023-02-24 | Kyb株式会社 | 筒型リニアモータ |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3155936B2 (ja) * | 1997-06-26 | 2001-04-16 | キヤノン株式会社 | リニアモータとステージ装置及びこれを用いた走査型露光装置やデバイス製造方法 |
JP2000078830A (ja) * | 1998-09-01 | 2000-03-14 | Nikon Corp | リニアモータ及びステージ装置並びに露光装置 |
JP2003032996A (ja) * | 2001-07-18 | 2003-01-31 | Hitachi Metals Ltd | リニアモータ及びその組み立て方法 |
JP2004297843A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-21 | Hitachi Metals Ltd | リニアモータ |
JP4534194B2 (ja) * | 2004-02-18 | 2010-09-01 | 日立金属株式会社 | 可動コイル型リニアモータ及びその固定子の磁気回路の組立方法 |
-
2007
- 2007-03-29 JP JP2007086684A patent/JP5088536B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008245491A (ja) | 2008-10-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5240543B2 (ja) | 可動コイル型リニアモータの組立方法 | |
JP5292707B2 (ja) | 可動磁石型リニアモータ | |
US6448733B1 (en) | XYZ-axes table | |
US7696654B2 (en) | Linear motor not requiring yoke | |
JP2002325421A5 (ja) | ||
EP1148620A1 (en) | Linear motor | |
JP5088536B2 (ja) | 可動コイル型リニアモータの組立方法 | |
KR100786674B1 (ko) | 가동 자석형 리니어 액츄에이터 | |
JP2014516236A (ja) | リニアモータにおいて永久磁石の保磁力を局所的に向上させる方法 | |
US7482716B2 (en) | Linear motor with claw-pole armature units | |
KR20160133360A (ko) | 짧은 스트로크 선형 모터 | |
WO2015072328A1 (ja) | 磁界発生装置及びリニアモータ | |
JP5589507B2 (ja) | リニア駆動装置の可動子及び固定子 | |
JP2001112228A (ja) | 磁石可動型リニアアクチュエータ | |
TW200415840A (en) | Linear driving device, its controlling method, and XY table | |
US7250696B2 (en) | Linear motor and X-Y stage | |
JP2003032996A (ja) | リニアモータ及びその組み立て方法 | |
US20130328431A1 (en) | Cylindrical electromagnetic actuator | |
JP2001197717A (ja) | リニアモータの界磁部および界磁用永久磁石の着磁方法 | |
JP2024042354A (ja) | 可動コイル型リニアモータ | |
JP2013225985A (ja) | リニアスライダ | |
JP2008099379A (ja) | 薄型リニアモータ | |
JP2005117831A (ja) | 可動磁石形リニアアクチュエータ | |
JP5234390B2 (ja) | リニアステージ | |
Hahn et al. | Evaluation of a linear hybrid microstep motor by means of magnetic flux measurements |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100317 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110418 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120525 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120719 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120816 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120829 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150921 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5088536 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |