JP2014062753A5 - - Google Patents
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Description
[適用例3]上記適用例に記載の振動片において、前記第1梁、および前記第2梁の厚さは、前記基部の厚さよりも薄いことを特徴とする。
本適用例によれば、第1梁、および第2梁の厚さを、基部の厚さよりも薄くすることにより、y1モードのy1モード振動周波数fy1を、第1振動腕、および第2振動腕の駆動振動周波数fdから遠ざけることができる。即ち、温度ドリフトの少ない振動片を提供することが可能となる。
Claims (10)
- 基部と、
前記基部の一端から延出されている第1振動腕と、
前記一端と反対側の前記基部の他端から延出されている第2振動腕と、を備え、
前記第1振動腕および前記第2振動腕が、前記第1振動腕または前記第2振動腕が延出している第1方向と直交する第2方向に沿って振動する駆動振動周波数fdと、
前記基部の重心と前記第1振動腕および前記第2振動腕とが、前記第1方向に沿って互いに同じ方向に振動するy1モード振動周波数fy1と、
前記基部の重心と前記第1振動腕および前記第2振動腕とが、前記第1方向に沿って互いに逆方向に振動するy2モード振動周波数fy2と、の関係が、
|fd−fy1|>|fd−fy2|
であることを特徴とする振動片。 - 前記基部から延出され、平面視で互いに反対方向に延伸されている第1梁および第2梁と、
前記第1梁と連結されている第1固定部と、
前記第1梁と平面視で前記基部を挟んで反対側に設けられ、前記第2梁と連結されている第2固定部と、を備えていることを特徴とする請求項1に記載の振動片。 - 前記第1梁および前記第2梁の厚さは、前記基部の厚さよりも薄いことを特徴とする請求項2に記載の振動片。
- 前記第1梁および前記2梁は、前記第1方向に沿って延伸されており、
前記第1梁の前記第1振動腕側、および前記第2梁の前記第2振動腕側には、突起部が設けられていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の振動片。 - 前記基部から両側へ前記第1方向に沿って延出されている第1および第2検出振動腕を備えていることを特徴とする請求項2ないし請求項4のいずれか一項に記載の振動片。
- 前記第1振動腕は、第1および第2駆動振動腕を備え、
前記第2振動腕は、第3および第4駆動振動腕を備え、
前記第1梁は、前記基部から延出され、前記第1検出振動腕と前記第1駆動振動腕との間を通る第1連結梁と、前記基部から延出され、前記第1検出振動腕と前記第2駆動振動腕との間を通る第2連結梁と、を備え、
前記第2梁は、前記基部から延出され、前記第2検出振動腕と前記第3駆動振動腕との間を通る第3連結梁と、前記基部から延出され、前記第2検出振動腕と前記第4駆動振動腕との間を通る第4連結梁と、を備え、
前記基部は、前記第1連結梁、前記第2連結梁、前記第3連結梁、および前記第4連結梁を介して前記第1固定部、及び前記第2固定部と連結されている、
ことを特徴とする請求項5に記載の振動片。 - 請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片が収納されているパッケージと、を備えていることを特徴とする振動子。 - 請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の振動片と、
少なくとも前記振動片を駆動させる機能を有している回路素子と、を備えていることを特徴とする電子デバイス。 - 請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
- 請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする移動体。
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