JP2013017207A5 - - Google Patents

Description

上記目的を達成するための本発明のある実施形態に係る振動片は、第１基部、第１方向に沿って前記第１基部と並んで配置されている第２基部、及び前記第１基部と前記第２基部との間に配置され前記第１基部と前記第２基部とを連結している連結部、を含む基部と、前記第１基部から前記第１方向に向って延出されている振動腕と、前記振動腕に設けられ、クロム層に金層が積層されている励振電極と、を含み、前記クロム層の厚みが１０ｎｍ以上３０ｎｍ以下であり、平面視で、前記第１方向と交差する第２方向に沿って、前記連結部の幅をｒ、前記第１基部の幅をｅとしたとき、ｒ／ｅが、２３％以上４０％以下であることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動片は、前記金層の厚みが２０ｎｍ以上５０ｎｍ以下であることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動片は、前記第２基部は、前記第１方向に沿って第１幅を有する第１領域と、前記第１方向に沿って前記第１幅よりも幅の狭い第２幅を有する第２領域と、を含み、前記第１基部の前記第１方向に沿った長さ、前記連結部の前記第１方向の沿った長さ、及び前記第１幅の和をｈ、前記第２幅をＬ３としたとき、Ｌ３／ｈが、２０％以上４０％以下であることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動片は、前記第２基部から前記第２方向に沿って延出されている延長部と、前記延長部に接続され、前記第２方向に沿って前記振動腕と並び、且つ、前記第１方向に沿って延出されている支持用アームと、を含むことを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動片は、前記振動片の前記第１方向に沿った長さをａ、前記支持用アームの前記第１方向に沿った長さをｕとしたとき、ｕ／ａが、６０％以上８０％以下であることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動子は、前記振動腕には、前記第１方向に沿って延びている溝が設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動子は、前記振動腕の前記第１方向に沿った長さをＬ１、前記溝の前記第１方向に沿った長さをｊとしたとき、ｊ／Ｌ１が、０．５％以上０．７以下であることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動子は、前記振動片と、前記振動片が搭載されているパッケージと、を備えていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動子は、前記支持用アームの前記第１方向に沿って並ぶ２つの部位が、接合剤を用いて前記パッケージに固定されていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る発振器は、前記振動片と、回路と、を備えていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係るセンサーは、前記振動片を備えていることを特徴とする。
［適用例１］適用例１に係る圧電振動片は、圧電材料により形成された所定長さの基部と、前記基部の一端側から延びる複数の振動腕と、前記基部の一端側より所定距離だけ離れた他端側に接続される連結部と、前記連結部に接続され、圧電振動片の幅方向に延長される接続部と、前記接続部に接続され、かつ前記振動腕の外側において、前記振動腕と同じ方向に延びる支持用アームとを備え、前記基部の前記一端側から、前記圧電振動片の前記振動腕の反対側の一端までの長さ寸法ｈと、前記連結部を介して前記支持用アームが前記基部に接続されている接続部の幅寸法Ｌ３との比率であるＬ３／ｈが、４０％以下とされていることを特徴とする。

Claims (11)

1. 第１基部、第１方向に沿って前記第１基部と並んで配置されている第２基部、及び前記第１基部と前記第２基部との間に配置され前記第１基部と前記第２基部とを連結している連結部、を含む基部と、
   前記第１基部から前記第１方向に向って延出されている振動腕と、
   前記振動腕に設けられ、クロム層に金層が積層されている励振電極と、
   を含み、
   前記クロム層の厚みが１０ｎｍ以上３０ｎｍ以下であり、
   平面視で、前記第１方向と交差する第２方向に沿って、前記連結部の幅をｒ、前記第１基部の幅をｅとしたとき、
   ｒ／ｅが、２３％以上４０％以下であることを特徴とする振動片。
2. 請求項１において、
   前記金層の厚みが２０ｎｍ以上５０ｎｍ以下であることを特徴とする振動片。
3. 請求項１又は２において、
   前記第２基部は、
   前記第１方向に沿って第１幅を有する第１領域と、
   前記第１方向に沿って前記第１幅よりも幅の狭い第２幅を有する第２領域と、
   を含み、
   前記第１基部の前記第１方向に沿った長さ、前記連結部の前記第１方向の沿った長さ、及び前記第１幅の和をｈ、
   前記第２幅をＬ３としたとき、
   Ｌ３／ｈが、２０％以上４０％以下であることを特徴とする振動片。
4. 請求項１乃至３のいずれか一項において、
   前記第２基部から前記第２方向に沿って延出されている延長部と、
   前記延長部に接続され、前記第２方向に沿って前記振動腕と並び、且つ、前記第１方向に沿って延出されている支持用アームと、
   を含むことを特徴とする振動片。
5. 請求項４において、
   前記振動片の前記第１方向に沿った長さをａ、
   前記支持用アームの前記第１方向に沿った長さをｕとしたとき、
   ｕ／ａが、６０％以上８０％以下であることを特徴とする振動片。
6. 請求項１乃至５のいずれか一項において、
   前記振動腕には、前記第１方向に沿って延びている溝が設けられていることを特徴とする振動片。
7. 請求項６において、
   前記振動腕の前記第１方向に沿った長さをＬ１、
   前記溝の前記第１方向に沿った長さをｊとしたとき、
   ｊ／Ｌ１が、０．５％以上０．７以下であることを特徴とする振動片。
8. 請求項１乃至７のいずれか一項に記載の振動片と、
   前記振動片が搭載されているパッケージと、
   を備えていることを特徴とする振動子。
9. 請求項８において、
   前記支持用アームの前記第１方向に沿って並ぶ２つの部位が、接合剤を用いて前記パッケージに固定されていることを特徴とする振動子。
10. 請求項１乃至７のいずれか一項に記載の振動片と、
    回路と、
    を備えていることを特徴とする発振器。
11. 請求項１乃至７のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とするセンサー。