JP2011176346A - 露光プロセス用の光学素子ユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光学素子群と、光学素子群を収容しハウジング内部部分及び出口端部3.2を有するハウジング3.1と、内部ハウジングに連結されハウジング内部部分に対してパージ媒体15.2を供給するパージユニットとを具備する。光学素子群は極限光学素子9を有する。極限光学素子9はハウジングの出口端部に配置され、ハウジング内部部分をハウジングの外部の環境から分離している。極限光学素子及びハウジングは、シーリングギャップ12を調整可能に形成する。パージユニットは、ハウジング内部部分の中への汚染物質の侵入を防止するためシーリングギャップにパージ媒体を供給する。
【選択図】図2
Description
以下に、本発明による光学素子ユニット3を備えた光学投射系2を有する本発明による露光器具1の第1の好適な実施形態を、図1〜3を参照しながら説明する。
以下に、本発明による光学素子ユニット103を伴う光学投射系102を含む本発明による露光器具101の第2の好適な実施形態を、図4及び5を参照しながら説明する。
以下に、本発明による光学素子ユニット201を伴う光学投射系202を含む本発明による露光器具201の第2の好適な実施形態を、図6及び7を参照しながら説明する。
以下に、本発明による光学素子ユニット303の第4の好適な実施形態を、図8を参照しながら説明する。光学素子ユニット303は、図6の露光器具201の内部の光学素子ユニット203に置き換えることができる。
以下に、本発明による光学素子ユニット403の第5の好適な実施形態を、図9を参照しながら説明する。光学素子ユニット403はその機能性及び設計において、図8の光学素子ユニット303に主として対応している。特に、最終光学素子409は、図8の最終光学素子309のものと同一の設計のものである。かくして、ここでは主に差異について言及する。
以下に、本発明による光学素子ユニットの第6の実施形態を、図10を参照しながら説明する。該光学素子ユニットは図8の光学素子ユニット303と同一であり、従って同一の参照番号が使用され、それらに関連して上述の説明が参照指示されるようになっている。
以下に、本発明による光学素子ユニットの第7の実施形態を、図11を参照しながら説明する。該光学素子ユニットは図9の光学素子ユニット403と同一であり、従って同一の参照番号が使用され、それらに関連して上述の説明が参照指示されるようになっている。
以下に、本発明による光学素子ユニット703の第8の好適な実施形態を、図12を参照しながら説明する。光学素子ユニット703は、図6の露光器具201内部で光学素子ユニット203に置き換えることができる。
Claims (82)
- 光学素子群と、該光学素子群を収容しハウジング内部部分及び出口端部を有するハウジングと、該ハウジングに連結され前記ハウジング内部部分にパージ媒体を供給するパージユニットとを具備する光学素子ユニットにおいて、前記光学素子群が極限光学素子を有し、該極限光学素子が前記ハウジングの前記出口端部に配置され、前記ハウジング内部部分を前記ハウジングの外部の環境から分離し、前記極限光学素子及び前記ハウジングが、シーリングギャップを調整可能に形成し、前記パージユニットが、前記ハウジング内部部分内への汚染物質の侵入を防止するため前記シーリングギャップに前記媒体を供給する光学素子ユニット。
- 前記シーリングギャップが狭いギャップである請求項1に記載の光学素子ユニット。
- 前記シーリングギャップが前記極限光学素子の円周に沿って周方向に周方向拡張部分を有し、前記シーリングギャップが、前記周方向に対して垂直な第1の断面平面内で、前記ハウジング内部部分とこのハウジング外部の前記環境との間で経路を形成し、前記シーリングギャップが前記経路に沿ったシーリングギャップ長と前記経路に対して横方向のシーリングギャップ幅とを有し、該シーリングギャップ幅が前記シーリングギャップ長より小さい請求項1に記載の光学素子ユニット。
- 前記シーリングギャップ幅が5μm〜20μmの範囲にある請求項3に記載の光学素子ユニット。
- 前記シーリングギャップ長が3mm〜6mmの範囲にある請求項3に記載の光学素子ユニット。
- 前記極限光学素子が前記シーリングギャップを画定する第1の壁を有し、前記ハウジングが前記シーリングギャップを画定する第2の壁を有し、前記第1の壁及び前記第2の壁の少なくとも1つが撥液性コーティングで被覆されており、該撥液性コーティングが、前記極限光学素子が中に液浸される液浸媒体に対して撥液作用を有する請求項1に記載の光学素子ユニット。
- 前記撥液性コーティングが疎水性コーティングである請求項6に記載の光学素子ユニット。
- 前記撥液性コーティングがポリ四フッ化エチレン(PTFE)を含んで成る請求項6に記載の光学素子ユニット。
- 前記極限光学素子が主として第1の平面内に延びると共に該第1の平面に対して垂直な第1の対称軸を有する請求項1に記載の光学素子ユニット。
- 前記極限光学素子が前記シーリングギャップを画定する第1の壁断面を形成し、該第1の壁断面の少なくとも一部分が前記第1の対称軸に対して平行に延びており、及び/又は、前記極限光学素子が前記シーリングギャップを画定する第2の壁断面を形成し、該第2の壁断面の少なくとも一部分が前記第1の対称軸に対して傾斜している請求項9に記載の光学素子ユニット。
- 前記第1の壁の少なくとも一部分が前記第1の対称軸に対して略垂直である請求項10に記載の光学素子ユニット。
- 前記極限光学素子及び前記ハウジングがさらなるシーリングギャップを調整可能に形成する請求項1に記載の光学素子ユニット。
- 前記パージユニットが前記シーリングギャップ内部に前記パージ媒体のパージ媒体障壁を維持して前記ハウジング内部部分への汚染物質の侵入を防いでいる請求項1に記載の光学素子ユニット。
- 前記パージユニットが前記シーリングギャップを通して前記ハウジングの外部の前記環境に向かう前記パージ媒体の流れを生成している請求項1に記載の光学素子ユニット。
- 前記パージユニットが前記シーリングギャップに向かう前記パージ媒体を誘導する少なくとも1つのパージ媒体流路を具備する請求項1に記載の光学素子ユニット。
- 前記パージ媒体流路が少なくとも部分的に前記ハウジング内部に形成されている請求項15に記載の光学素子ユニット。
- 前記パージ媒体が液体である請求項1に記載の光学素子ユニット。
- 前記パージ媒体が気体である請求項1に記載の光学素子ユニット。
- 前記パージユニットが、前記シーリングギャップを介して前記ハウジング内部部分内に侵入した汚染物質を取り除く第1の排出ユニットを具備する請求項1に記載の光学素子ユニット。
- 前記第1の排気ユニットが入口部分を有する少なくとも1つの排出流路を具備し、該排出流路の前記入口部分が前記シーリングギャップに結合している請求項19に記載の光学素子ユニット。
- 前記ハウジングが、前記極限光学素子を保持する少なくとも1つの第1の保持要素を具備する請求項1に記載の光学素子ユニット。
- 前記第1の保持要素が前記極限光学素子を締め付けている請求項21に記載の光学素子ユニット。
- 前記極限光学素子が主として第1の平面内に延びると共に該第1の平面に対して垂直な第1の対称軸を有し、前記第1の保持要素が前記極限光学素子上に第1の締め付け力を及ぼし、該第1の締め付け力が基本的に前記第1の対称軸に向かう方向であると同時に前記第1の平面に対して略平行である請求項22に記載の光学素子ユニット。
- 前記極限光学素子が主として第1の平面内に延びると共に該第1の平面に対して垂直な第1の対称軸を有し、前記第1の保持要素が前記第1の方向に沿って弾力性を有するように配置されており、前記第1の方向が基本的に前記第1の対称軸に向かう方向であると同時に前記第1の平面に対して略平行である請求項21に記載の光学素子ユニット。
- 前記第1の保持要素が第2の方向に高い剛性を示すように配置されており、前記第2の方向が第1の対称軸に対して略平行である請求項24に記載の光学素子ユニット。
- 前記第1の保持要素が前記ハウジングに対する前記極限光学素子の位置を調整するための位置決め装置を具備する請求項21に記載の光学素子ユニット。
- 位置決め装置を備え、該位置決め装置が前記シーリングギャップのシーリングギャップ幅を調整し、該シーリングギャップ幅が前記極限光学素子と前記ハウジングの一部分との間の距離によって形成される請求項1に記載の光学素子ユニット。
- マスク上に形成されたパターンの画像を基板に転写するための露光器具であって、光路と、該光路の内部に配置され前記マスクを収容するマスク場所と、前記光路の一端部に配置され前記基板を収容する基板場所と、前記マスク場所及び前記基板場所の間で前記光路内に配置された請求項1に記載の光学素子ユニットと、液浸媒体が充填されると共に前記光学素子ユニット及び前記基板場所の間で前記光路内に配置された液浸ゾーンとを具備する露光器具において、前記極限光学素子が前記ハウジング内部部分を前記液浸ゾーンから分離し、前記パージユニットが、前記シーリングギャップを通して前記ハウジング内部部分内に前記液浸媒体が侵入するのを防ぐために前記シーリングギャップに前記パージ媒体を供給している露光器具。
- 前記極限光学素子が前記シーリングギャップを画定する第1の壁を有し、前記ハウジングが前記シーリングギャップを画定する第2の壁を有し、前記第1の壁及び前記第2の壁の少なくとも1つが撥液性コーティングで被覆されており、該撥液性コーティングが前記液浸媒体に対して撥液作用を有する請求項28に記載の露光器具。
- 前記パージユニットが前記シーリングギャップ内部に前記パージ媒体のパージ媒体障壁を維持して前記ハウジング内部部分への液浸媒体の侵入を防いでいる請求項28に記載の露光器具。
- 前記パージユニットが前記シーリングギャップを通して前記液浸ゾーンに向かう前記パージ媒体の流れを生成している請求項28に記載の露光器具。
- 前記パージユニットが、前記シーリングギャップを介して前記ハウジング内部部分内に侵入する少量の前記液浸媒体又はその反応生成物を取り除く第1の排出ユニットを具備する請求項28に記載の露光器具。
- 光学素子と、ハウジング内部部分及び出口端部を有するハウジングとを具備する光学素子ユニットであって、前記ハウジングが、その外部の環境から前記内部ハウジングを分離するべく前記出口端部に前記光学素子を保持し、前記光学素子及び前記ハウジングが、前記ハウジング内部部分内への汚染物質の侵入を防止するシール用流体障壁を収容するように構成されたシーリングギャップを調整可能に形成する光学素子ユニット。
- 前記シーリングギャップが前記光学素子の円周に沿って周方向に周方向拡張部分を有し、前記シーリングギャップが、前記周方向に対して垂直な第1の断面平面内で、前記ハウジング内部部分とこのハウジングの外部の前記環境との間で経路を形成し、前記シーリングギャップが前記経路に沿ったシーリングギャップ長と前記経路に対して横方向のシーリングギャップ幅とを有し、該シーリングギャップ幅が前記シーリングギャップ長より小さい請求項33に記載の光学素子ユニット。
- 前記シーリングギャップ幅が5μm〜20μmの範囲にある請求項34に記載の光学素子ユニット。
- 前記シーリングギャップ長が3mm〜6mmの範囲にある請求項34に記載の光学素子ユニット。
- 前記光学素子が、前記シーリングギャップを画定する第1の壁を有し、前記ハウジングが前記シーリングギャップを画定する第2の壁を有し、前記第1の壁及び前記第2の壁の少なくとも1つが撥液性コーティングで被覆されており、該撥液性コーティングが、前記光学素子が中に液浸される液浸媒体に対して撥液作用を有する請求項33に記載の光学素子ユニット。
- 前記光学素子が主として第1の平面内に延びると共に該第1の平面に対して垂直な第1の対称軸を有する請求項33に記載の光学素子ユニット。
- シール用障壁ユニットを備え、該シール用障壁ユニットが前記シーリングギャップ内部に前記シール用流体障壁を維持している請求項33に記載の光学素子ユニット。
-
前記シール用障壁ユニットが、前記シーリングギャップを通して前記ハウジングの外部の前記環境に向かうシール用流体の流れを生成しており、前記シール用流体が前記シール用流体障壁を形成する請求項39に記載の光学素子ユニット。 - 前記シール用障壁ユニットが、前記シーリングギャップに向かうシール用流体を誘導する少なくとも1つのシール用流体流路を具備し、前記シール用流体が前記シール用流体障壁を形成する請求項39に記載の光学素子ユニット。
- 前記シール用流体流路が前記ハウジング内部に少なくとも部分的に形成されている請求項41に記載の光学素子ユニット。
- 液体又は気体が前記シール用流体障壁を形成するシール用流体として供給される請求項33に記載の光学素子ユニット。
- 前記シール用障壁ユニットが、前記シーリングギャップを介して前記ハウジング内部部分内に侵入した汚染物質を取り除く第1の排出ユニットを具備する請求項39に記載の光学素子ユニット。
- 前記ハウジングが、前記光学素子を保持する少なくとも1つの第1の保持要素を具備する請求項33に記載の光学素子ユニット。
- 前記第1の保持要素が前記光学素子を締め付けている請求項45に記載の光学素子ユニット。
- 位置決め装置を備え、該位置決め装置が前記ハウジングの一部分に対する前記光学素子の位置を調整することによって前記シーリングギャップを調整する請求項45に記載の光学素子ユニット。
- マスク上に形成されたパターンの画像を基板に転写するための露光器具であって、光路と、該光路の内部に配置され前記マスクを収容するマスク場所と、前記光路の一端部に配置され前記基板を収容する基板場所と、前記マスク場所及び前記基板場所の間で前記光路内に配置された請求項33に記載の光学素子ユニットと、液浸媒体が充填されると共に前記光学素子ユニット及び前記基板場所の間で前記光路内に配置された液浸ゾーンとを具備する露光器具において、前記光学素子が前記ハウジング内部部分を前記液浸ゾーンから分離し、前記液浸媒体が前記シーリングギャップを通して前記ハウジング内部部分内に侵入するのを防ぐために前記シール用流体障壁が前記シーリングギャップ内に維持されている露光器具。
- 前記光学素子が、前記シーリングギャップを画定する第1の壁を有し、前記ハウジングが前記シーリングギャップを画定する第2の壁を有し、前記第1の壁及び前記第2の壁の少なくとも1つが撥液性コーティングで被覆されており、該撥液性コーティングが前記液浸媒体に対して撥液作用を有する請求項48に記載の露光器具。
- シール用障壁ユニットを備え、該シール用障壁ユニットが前記シーリングギャップ内部に前記シール用流体障壁を維持し前記ハウジング部分内への前記液浸媒体の侵入を防止している請求項48に記載の露光器具。
- 前記シール用障壁ユニットが、前記シーリングギャップを通して前記液浸ゾーンに向かうシール用流体の流れを生成しており、前記シール用流体が前記シール用流体障壁を形成する請求項50に記載の露光器具。
- 前記シール用障壁ユニットが、前記シーリングギャップを介して前記ハウジング内部部分内に侵入する少量の前記液浸媒体又はその反応生成物を取り除く第1の排出ユニットを具備する請求項48に記載の露光器具。
- 光学素子と、ハウジング内部部分及び出口端部を有するハウジングとを具備する光学素子ユニットにおいて、前記ハウジングが、前記出口端部が中に液浸される液浸媒体が充填された液浸ゾーンから前記ハウジング内部部分を分離するべく前記出口端部に前記光学素子を保持し、前記光学素子及び前記ハウジングが狭いシーリングギャップを調整可能に形成し、該シーリングギャップが前記液浸ゾーン及び前記ハウジング内部部分に向かって開いている光学素子ユニット。
- 前記シーリングギャップが前記光学素子の円周に沿って周方向に周方向拡張部分を有し、前記シーリングギャップが、前記周方向に対して垂直な第1の断面平面内で、前記ハウジング内部部分と前記液浸ゾーンとの間で経路を形成し、前記シーリングギャップが前記経路に沿ったシーリングギャップ長と前記経路に対して横方向のシーリングギャップ幅とを有し、該シーリングギャップ幅が前記シーリングギャップ長より小さい請求項53に記載の光学素子ユニット。
- 前記シーリングギャップ幅が5μm〜20μmの範囲にある請求項54に記載の光学素子ユニット。
- 前記シーリングギャップ長が3mm〜6mmの範囲にある請求項54に記載の光学素子ユニット。
- 前記ハウジングが前記光学素子を保持する少なくとも1つの第1の保持要素を具備する請求項53に記載の光学素子ユニット。
- 前記第1の保持要素が前記光学素子を締め付けている請求項57に記載の光学素子ユニット。
- 前記光学素子が主として第1の平面内に延びると共に該第1の平面に対して垂直な第1の対称軸を有し、前記第1の保持要素が前記光学素子上に第1の締め付け力を及ぼし、該第1の締め付け力が基本的に前記第1の対称軸に向かう方向であると同時に前記第1の平面に対して略平行である請求項58に記載の光学素子ユニット。
- 前記光学素子が主として第1の平面内に延びると共に該第1の平面に対して垂直な第1の対称軸を有し、前記第1の保持要素が前記第1の方向に沿って弾力性を有するように配置されており、前記第1の方向が基本的に前記第1の対称軸に向かう方向であると同時に前記第1の平面に対して略平行である請求項57に記載の光学素子ユニット。
- 前記第1の保持要素が、第2の方向に高い剛性を示すように配置されており、前記第2の方向が第1の対称軸に対して略平行である請求項60に記載の光学素子ユニット。
- 位置決め装置を備え、該位置決め装置が、前記ハウジングの一部分に対する前記光学素子の位置を調整することによって前記シーリングギャップを調整する請求項53に記載の光学素子ユニット。
- 前記ハウジング内部部分内に前記シーリングギャップを介して汚染物質が侵入するのを防止するべく前記シーリングギャップ内部にシール用障壁を備えている請求項53に記載の光学素子ユニット。
- マスク上に形成されたパターンの画像を基板に転写するための露光器具であって、光路と、該光路の内部に配置され前記マスクを収容するマスク場所と、前記光路の一端部に配置され前記基板を収容する基板場所と、前記マスク場所及び前記基板場所の間で前記光路内に配置された請求項53に記載の光学素子ユニットと、液浸媒体が充填され、前記光路内部で前記光学素子ユニット及び前記基板場所の間に配置されている液浸ゾーンとを具備する露光器具において、前記光学素子が前記液浸ゾーンの前記液浸媒体の内部に液浸させられている露光器具。
- 光学素子ユニット内への汚染物質の侵入を防止する方法において、ハウジング内部部分及び出口端部を備えるハウジングを有する光学素子ユニットを提供する段階と、前記ハウジングの外部の環境から前記ハウジング内部部分を分離するべく前記出口端部に光学素子を提供する段階であって、前記光学素子及び前記ハウジングが、シーリングギャップを調整可能に形成する段階と、前記シーリングギャップ内部にシール用流体障壁を提供し、前記ハウジング内部部分内への汚染物質の侵入を防止する段階とを具備する方法。
- 前記シーリングギャップが前記光学素子の円周に沿って周方向に周方向拡張部分を有し、前記シーリングギャップが、前記周方向に対して垂直な第1の断面平面内で、前記ハウジング内部部分とこのハウジングの外部の前記環境との間で経路を形成し、前記シーリングギャップが前記経路に沿ったシーリングギャップ長と前記経路に対して横方向のシーリングギャップ幅とを有し、該シーリングギャップ幅が前記シーリングギャップ長より小さい請求項65に記載の方法。
- 前記シーリングギャップ幅が5μm〜20μmの範囲にある請求項66に記載の方法。
- 前記シーリングギャップ長が3mm〜6mmの範囲にある請求項66に記載の方法。
- 前記光学素子が前記シーリングギャップを画定する第1の壁を備え、前記ハウジングが前記シーリングギャップを画定する第2の壁を備え、前記第1の壁及び前記第2の壁の少なくとも1つが撥液性コーティングで被覆されており、該撥液性コーティングが、前記光学素子が中に液浸される液浸媒体に対して撥液作用を有する請求項65に記載の方法。
- 前記シール用流体障壁を提供する前記段階が、前記シーリングギャップを通して前記ハウジングの外部の前記環境に向かうシール用流体の流れを生成する段階を具備する請求項65に記載の方法。
- シール用流体が前記シール用流体障壁を形成するように、液体又は気体が前記シーリングギャップに供給される請求項65に記載の方法。
- 前記シーリングギャップを介して前記ハウジング内部部分内に侵入する汚染物質が前記シーリングギャップに隣接する場所から除去される請求項65に記載の方法。
- 光学素子ユニットの極限光学素子を、前記光学素子が少なくとも部分的に中に液浸される液浸媒体が充填された液浸ゾーンから前記光学素子ユニットの内部部分を分離するべく保持する方法において、ハウジング内部部分及び出口端部を備えるハウジングを有する前記光学素子ユニットを提供する段階と、前記液浸媒体から前記ハウジング内部部分を分離するべく前記出口端部で前記光学素子を保持する段階とを具備し、前記光学素子及び前記ハウジングが狭いシーリングギャップを調整可能に形成するように前記光学素子が保持され、前記シーリングギャップが前記液浸ゾーン及び前記ハウジング内部部分に向かって開いている方法。
- 前記シーリングギャップが前記光学素子の円周に沿って周方向に周方向拡張部分を有し、前記シーリングギャップが、前記周方向に対して垂直な第1の断面平面内で、前記ハウジング内部部分と前記液浸ゾーンとの間で経路を形成し、前記シーリングギャップが前記経路に沿ったシーリングギャップ長と前記経路に対して横方向のシーリングギャップ幅とを有し、該シーリングギャップ幅が前記シーリングギャップ長より小さい請求項73に記載の方法。
- 前記シーリングギャップ幅が5μm〜20μmの範囲にある請求項74に記載の方法。
- 前記シーリングギャップ長が3mm〜6mmの範囲にある請求項74に記載の方法。
- 前記極限光学素子を保持する段階が前記極限光学素子を締め付ける段階を具備する請求項73に記載の方法。
- 前記極限光学素子が主として第1の平面内に延びると共に該第1の平面に対して垂直な第1の対称軸を有し、前記極限光学素子を締め付ける段階が前記光学素子上に第1の締め付け力を及ぼす段階を具備し、該第1の締め付け力が基本的に前記第1の対称軸に向かう方向であると同時に前記第1の平面に対して略平行である請求項77に記載の方法。
- 前記光学素子が主として第1の平面内に延びると共に該第1の平面に対して垂直な第1の対称軸を有し、前記極限光学素子を締め付ける段階が前記第1の方向に沿って弾力的に前記極限光学素子を保持する段階を具備し、前記第1の方向が基本的に前記第1の対称軸に向かう方向であると同時に前記第1の平面に対して略平行である請求項73に記載の方法。
- 前記極限光学素子を保持する段階が第2の方向に高い剛性で前記極限光学素子を保持する段階を具備し、前記第2の方向が第1の対称軸に対して略平行である請求項79に記載の方法。
- 前記ハウジングに対する前記極限光学素子の位置が調整される請求項73に記載の方法。
- 前記シーリングギャップを介して前記ハウジング内部部分内への汚染物質の侵入を防止するべく前記シーリングギャップ内部にシール用障壁を備えている請求項73に記載の方法。
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