DE102023204744A1

DE102023204744A1 - Optisches system und projektionsbelichtungsanlage

Info

Publication number: DE102023204744A1
Application number: DE102023204744.6A
Authority: DE
Inventors: Radhakrishna Rao; Robin Glorian
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2023-05-22
Filing date: 2023-05-22
Publication date: 2024-05-16

Abstract

Ein optisches System (100) für eine Projektionsbelichtungsanlage (1), aufweisend ein optisches Element (104), eine Fassung (112) zum Tragen des optischen Elements (104), eine Spülhaube (120) zum Spülen des optischen Elements (104) mit einem Spülgas (G), und eine Verbindungsanordnung (122A, 122B, 122C) zum lösbaren Verbinden der Spülhaube (120) mit der Fassung (112), wobei die Verbindungsanordnung (122A, 122B, 122C) einen an der Fassung (112) vorgesehenen Befestigungsabschnitt (136) aufweist, mit dessen Hilfe die Spülhaube (120) mit der Fassung (112) verbunden ist, und wobei der Befestigungsabschnitt (136) von der Fassung (112) mechanisch entkoppelt ist.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein optisches System für eine Projektionsbelichtungsanlage und eine Projektionsbelichtungsanlage mit einem derartigen optischen System.
Die Mikrolithographie wird zur Herstellung mikrostrukturierter Bauelemente, wie beispielsweise integrierter Schaltkreise, angewendet. Der Mikrolithographieprozess wird mit einer Lithographieanlage durchgeführt, welche ein Beleuchtungssystem und ein Projektionssystem aufweist. Das Bild einer mittels des Beleuchtungssystems beleuchteten Maske (Retikel) wird hierbei mittels des Projektionssystems auf ein mit einer lichtempfindlichen Schicht (Photoresist) beschichtetes und in der Bildebene des Projektionssystems angeordnetes Substrat, beispielsweise einen Siliziumwafer, projiziert, um die Maskenstruktur auf die lichtempfindliche Beschichtung des Substrats zu übertragen.
Getrieben durch das Streben nach immer kleineren Strukturen bei der Herstellung integrierter Schaltungen werden derzeit DUV-Lithographieanlagen entwickelt, welche Licht mit einer Wellenlänge im Bereich von 30 nm bis 250 nm verwenden. Bei einer derartigen DUV-Lithographieanlagen kann es erforderlich sein, einzelne Linsen mit einem Spülgas zu spülen. Hierzu kann eine sogenannte Spülhaube eingesetzt werden, die mit einer Fassung der jeweiligen Linse verschraubt ist. Durch die Verschraubung können allerdings unerwünschte parasitäre Kräfte in die Fassung, welche die Linse trägt, eingebracht werden. Dies gilt es zu verbessern.
Vor diesem Hintergrund besteht eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, ein verbessertes optisches System bereitzustellen.
Demgemäß wird ein optisches System für eine Projektionsbelichtungsanlage vorgeschlagen. Das optische System umfasst ein optisches Element, eine Fassung zum Tragen des optischen Elements, eine Spülhaube zum Spülen des optischen Elements mit einem Spülgas und eine Verbindungsanordnung zum lösbaren Verbinden der Spülhaube mit der Fassung, wobei die Verbindungsanordnung einen an der Fassung vorgesehenen Befestigungsabschnitt aufweist, mit dessen Hilfe die Spülhaube mit der Fassung verbunden ist, und wobei der Befestigungsabschnitt von der Fassung mechanisch entkoppelt ist.
Dadurch, dass der Befestigungsabschnitt von der Fassung mechanisch entkoppelt ist, wird das Einbringen von parasitären Kräften in die Fassung und damit in das optische Element verhindert oder zumindest signifikant reduziert. Eine unerwünschte Beeinflussung der optischen Eigenschaften des optischen Elements wird hierdurch vermieden.
Das optische System ist eine Projektionsoptik oder Teil einer Projektionsoptik. Daher kann das optische System auch als Projektionsoptik bezeichnet werden. Das optische System ist bevorzugt sowohl für die DUV-Lithographie als auch für die EUV-Lithographie geeignet. Die Projektionsbelichtungsanlage kann mehrere derartige optische Systeme aufweisen.
Das optische Element ist vorzugsweise eine Linse. Das optische Element kann jedoch auch ein Spiegel sein. Nachfolgend wird jedoch davon ausgegangen, dass das optische Element eine Linse ist. Das optische Element kann daher auch als Linse bezeichnet werden.
Das optische Element ist zumindest abschnittsweise in der Fassung aufgenommen. Demgemäß ist darunter, dass die Fassung das optische Element „trägt“, insbesondere zu verstehen, dass die Fassung eine Gewichtskraft des optischen Elements aufnehmen kann.
Die Spülhaube ist insbesondere eine untere Spülhaube (Engl.: Lens Bottom Purge Hood, LBPH). Die Spülhaube deckt das optische Element ab. Das optische Element ist insbesondere bezüglich eines durch das optische System laufenden Strahlengangs zuletzt in dem Strahlengang angeordnet. Demgemäß ist auch die Spülhaube am Ende des Strahlengangs angeordnet. Mit Hilfe der Spülhaube ist es möglich, das optische Element mit dem Spülgas zu spülen, so dass eine Verschmutzung des optischen Elements verhindert wird. Die Fassung umfasst vorzugsweise eine Abschlussplatte, an der die Spülhaube montiert ist.
Die Verbindungsanordnung kann beliebig oft gelöst und wiederhergestellt werden. Die Verbindungsanordnung kann eine Schraubverbindung mit einem Befestigungselement in Form einer Schraube umfassen. Vorzugsweise ist der Befestigungsabschnitt an der zuvor erwähnten Abschlussplatte der Fassung, insbesondere an einem Basisabschnitt der Abschlussplatte, vorgesehen. Der Befestigungsabschnitt ist somit bevorzugt Teil der Fassung, insbesondere Teil der Abschlussplatte.
Der Befestigungsabschnitt kann zylinderförmig sein. Der Befestigungsabschnitt kann eine mittige Gewindebohrung aufweisen, in welcher ein Befestigungselement, insbesondere eine Schraube, aufgenommen ist, um die Spülhaube mit der Fassung zu verbinden. Insbesondere ist der Befestigungsabschnitt von der Abschlussplatte, insbesondere von einem Basisabschnitt der Abschlussplatte, mechanisch entkoppelt.
Dass der Befestigungsabschnitt von der Fassung „mechanisch entkoppelt“ ist, bedeutet vorliegend insbesondere, dass der Befestigungsabschnitt auf die Fassung beziehungsweise auf die Abschlussplatte keine Kräfte aufbringen kann. Demgemäß ist die Kraftübertragung zwischen dem Befestigungsabschnitt und der Fassung unterbrochen beziehungsweise signifikant reduziert. Hierdurch wird das Einbringen von parasitären Kräften in die Fassung verhindert oder zumindest signifikant reduziert.
Gemäß einer Ausführungsform ist der Befestigungsabschnitt mit Hilfe von als Festkörpergelenken fungierenden Stegen an die Fassung angebunden.
Insbesondere ist der Befestigungsabschnitt mit Hilfe der Stege an die Abschlussplatte der Fassung, insbesondere an den Basisabschnitt der Abschlussplatte, angebunden. Der Befestigungsabschnitt, die Stege und die Fassung beziehungsweise die Abschlussplatte bilden ein einstückiges, insbesondere ein materialeinstückiges, Bauteil. „Einstückig“ oder „einteilig“ bedeutet vorliegend, dass der Befestigungsabschnitt, die Stege und die Fassung nicht aus unterschiedlichen Unterbauteilen zusammengesetzt sind, sondern ein gemeinsames Bauteil bilden. „Materialeinstückig“ bedeutet vorliegend, dass der Befestigungsabschnitt, die als Festkörpergelenke fungierenden Stege und die Fassung durchgehend aus demselben Material gefertigt sind. Unter einem „Festkörpergelenk“ ist vorliegend insbesondere ein Bereich eines Bauteils zu verstehen, welcher eine Relativbewegung zwischen zwei Starrkörperbereichen, vorliegend dem Befestigungsabschnitt und der Fassung beziehungsweise der Abschlussplatte, durch Biegung erlaubt.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform sind erste Stege, die gleichmäßig um den Befestigungsabschnitt herum verteilt angeordnet sind, und zweite Stege, die gleichmäßig um den Befestigungsabschnitt herum verteilt angeordnet sind, vorgesehen, wobei die zweiten Stege zwischen dem Befestigungsabschnitt und den ersten Stegen angeordnet sind.
Insbesondere ist dem Befestigungsabschnitt eine Mittel- oder Symmetrieachse zugeordnet, zu welcher der Befestigungsabschnitt rotationssymmetrisch ausgebildet sein kann. Eine Radialrichtung der Verbindungsanordnung ist senkrecht zu der Symmetrieachse und von dieser weg orientiert. Insbesondere sind die zweiten Stege bezüglich der Radialrichtung zwischen dem Befestigungsabschnitt und den ersten Stegen angeordnet. Die Anzahl der ersten Stege und der zweiten Stege ist beliebig. Insbesondere sind jeweils drei erste Stege und drei zweite Stege vorgesehen.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform sind die ersten Stege und die zweiten Stege radial und/oder umfänglich versetzt zueinander angeordnet.
Beispielsweise sind die ersten Stege jeweils um 120° zueinander versetzt angeordnet. Demgemäß können auch die zweiten Stege um 120° zueinander versetzt angeordnet sein. Dabei sind die zweiten Stege bezüglich der Radialrichtung betrachtet innerhalb der ersten Stege angeordnet. Dass die ersten Stege und die zweiten Stege „radial“ zueinander versetzt angeordnet sind, bedeutet vorliegend insbesondere, dass die ersten Stege und die zweiten Stege bezüglich der Radialrichtung betrachtet unterschiedlich weit von der Symmetrieachse und damit auch von dem Befestigungsabschnitt entfernt angeordnet sind. Dass die ersten Stege und die zweiten Stege „umfänglich“ zueinander versetzt angeordnet sind, bedeutet vorliegend insbesondere, dass die ersten Stege und die zweiten Stege derart angeordnet sind, dass entlang einer Umfangsrichtung der Verbindungsanordnung betrachtet zwischen zwei ersten Stegen ein zweiter Steg und zwischen zwei zweiten Stegen ein erster Steg angeordnet ist. Die ersten Stege und die zweiten Stege können beispielsweise um 45° umfänglich zueinander versetzt angeordnet sein.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform sind um den Befestigungsabschnitt umlaufende Freischnitte vorgesehen, die den Befestigungsabschnitt von der Fassung trennen, wobei die Stege und die Freischnitte abwechselnd angeordnet sind.
Vorzugsweise sind die Stege und die Freischnitte an einer Wandung vorgesehen, welche den Befestigungsabschnitt an die Fassung, insbesondere an die Abschlussplatte der Fassung, anbinden. Die Freischnitte sind insbesondere als diese Wandung durchbrechende Durchbrüche ausgebildet. Die Freischnitte können jeweils ringförmig um den Befestigungsabschnitt umlaufen. Es sind bevorzugt erste Freischnitte und zweite Freischnitte vorgesehen. Dabei schließen die ersten Freischnitte die zweiten Freischnitte ein, welche wiederum den Befestigungsabschnitt einschließen. Entlang der Radialrichtung betrachtet sind die zweiten Freischnitte zwischen dem Befestigungsabschnitt und den ersten Freischnitten angeordnet.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform sind erste Freischnitte, die gleichmäßig um den Befestigungsabschnitt herum verteilt angeordnet sind, und zweite Freischnitte, die gleichmäßig um den Befestigungsabschnitt herum verteilt angeordnet sind, vorgesehen, wobei die zweiten Freischnitte zwischen dem Befestigungsabschnitt und den ersten Freischnitten angeordnet sind.
Die ersten Freischnitte bilden eine ringförmige Geometrie, welche vollständig um den Befestigungsabschnitt umläuft. Die ringförmige Geometrie ist nur durch die ersten Stege unterbrochen. Demgemäß bilden auch die zweiten Freischnitte eine ringförmige Geometrie, die vollständig um den Befestigungsabschnitt umläuft. Die ringförmige Geometrie der zweiten Freischnitte ist nur durch die zweiten Stege unterbrochen.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist der Befestigungsabschnitt mit Hilfe einer Membran an die Fassung angebunden.
Unter einer „Membran“ ist vorliegend ein Bereich der Fassung zu verstehen, welcher im Vergleich zu der restlichen Fassung sehr dünnwandig ist, so dass die Membran elastisch verformbar ist. Mit Hilfe der Membran ist der Befestigungsabschnitt mit der Abschlussplatte der Fassung beziehungsweise mit dem Basisabschnitt der Abschlussplatte verbunden.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist die Membran eine um den Befestigungsabschnitt umlaufende Innenwandung, eine um die Innenwandung umlaufende Außenwandung und eine die Innenwandung mit der Außenwandung verbindende Stirnwandung auf.
Das heißt insbesondere, dass die Membran im Querschnitt eine U-förmige Geometrie aufweist. Bezüglich der Radialrichtung betrachtet ist die Innenwandung innerhalb der Außenwandung angeordnet. Die Stirnwandung verbindet die Innenwandung mit der Außenwandung. Durch diese zuvor beschriebene Geometrie der Membran kann eine erhöhte Flexibilität der Membran erreicht werden.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist das optische System ferner ein Befestigungselement auf, mit dessen Hilfe der Befestigungsabschnitt mit der Spülhaube verbunden ist.
Das Befestigungselement ist insbesondere eine Schraube. Das Befestigungselement ist in die Gewindebohrung des Befestigungsabschnitts hineingeschraubt. Das Befestigungselement stützt sich an der Spülhaube ab. Dadurch, dass der Befestigungsabschnitt von der Fassung mechanisch entkoppelt ist, werden auch durch das Befestigungselement möglicherweise eingebrachte parasitäre Kräfte nicht auf die Fassung und damit auf das optische Element übertragen.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist das optische System ferner einen an der Fassung vorgesehenen Aufnahmeabschnitt und einen an der Spülhaube vorgesehenen Verbindungsabschnitt auf, an dem sich das Befestigungselement abstützt, wobei der Verbindungsabschnitt in dem Aufnahmeabschnitt aufgenommen ist.
Der Aufnahmeabschnitt der Fassung ist topfförmig oder hohlzylinderförmig. Der Aufnahmeabschnitt ist stirnseitig von der zuvor erwähnten Wandung abgeschlossen, an welcher der Befestigungsabschnitt vorgesehen ist. Der Verbindungsabschnitt der Spülhaube ist zylinderförmig. Der Verbindungsabschnitt weist eine mittige Bohrung auf, durch welche das Befestigungselement hindurchgeführt ist.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform stützt sich der Verbindungsabschnitt an dem Befestigungsabschnitt ab.
Das heißt insbesondere, dass der Verbindungsabschnitt an dem Befestigungsabschnitt anliegt. Für den Fall, dass der Befestigungsabschnitt mit Hilfe der Membran an die Fassung angebunden ist, kann zwischen dem Verbindungsabschnitt und dem Befestigungsabschnitt ein Spalt vorgesehen sein. In diesem Fall liegt der Aufnahmeabschnitt der Fassung an einem Basisabschnitt der Spülhaube an.
Ferner wird ein optisches System für eine Projektionsbelichtungsanlage vorgeschlagen. Das optische System weist ein optisches Element, eine Fassung zum Tragen des optischen Elements, eine Spülhaube zum Spülen des optischen Elements mit einem Spülgas und eine Verbindungsanordnung zum lösbaren Verbinden der Spülhaube mit der Fassung auf, wobei die Verbindungsanordnung die Spülhaube magnetisch mit der Fassung verbindet.
Durch die magnetische Verbindung der Spülhaube mit der Fassung kann ebenfalls das Einbringen von parasitären Kräften in die Fassung und damit in das optische Element verhindert oder zumindest signifikant reduziert werden. Die Spülhaube und/oder die Fassung können zur magnetischen Verbindung ein Magnetelement aufweisen.
Gemäß einer Ausführungsform ist die Fassung aus einem amagnetischen Material gefertigt, wobei an oder in der Fassung ein Magnetelement und/oder ein magnetisches Bauteil vorgesehen ist.
Beispielsweise ist die Fassung aus einer amagnetischen Stahllegierung gefertigt. Es sind jedoch auch andere Materialien einsetzbar. Das Magnetelement kann aus Molybdän oder aus einem molybdänhaltigen Werkstoff gefertigt sein. Das Magnetelement und/oder das magnetische Bauteil kann mit der Fassung verklebt oder an diese angeschraubt sein. Das Magnetelement ist insbesondere ein Permanentmagnet. Unter einem „magnetischen Bauteil“ ist vorliegend ein Bauteil zu verstehen, das ferromagnetische Eigenschaften aufweist. Beispielsweise ist das magnetische Bauteil aus Stahl gefertigt.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist die Spülhaube ein Magnetelement auf, das mit dem Magnetelement und/oder dem magnetischen Bauteil der Fassung wechselwirkt.
Beispielsweise ist das Magnetelement der Spülhaube mit der Spülhaube verklebt oder verschraubt. An der Spülhaube können mehrere Magnetelemente vorgesehen sein.
Ferner wird eine Projektionsbelichtungsanlage mit einem derartigen optischen System vorgeschlagen.
Das optische System ist bevorzugt eine Projektionsoptik der Projektionsbelichtungsanlage. Das optische System kann jedoch auch ein Beleuchtungssystem sein. Die Projektionsbelichtungsanlage kann eine EUV-Lithographieanlage sein. EUV steht für „Extreme Ultraviolet“ und bezeichnet eine Wellenlänge des Arbeitslichts zwischen 0,1 nm und 30 nm. Die Projektionsbelichtungsanlage kann auch eine DUV-Lithographieanlage sein. DUV steht für „Deep Ultraviolet“ und bezeichnet eine Wellenlänge des Arbeitslichts zwischen 30 nm und 250 nm.
„Ein“ ist vorliegend nicht zwingend als beschränkend auf genau ein Element zu verstehen. Vielmehr können auch mehrere Elemente, wie beispielsweise zwei, drei oder mehr, vorgesehen sein. Auch jedes andere hier verwendete Zählwort ist nicht dahingehend zu verstehen, dass eine Beschränkung auf genau die genannte Anzahl von Elementen gegeben ist. Vielmehr sind zahlenmäßige Abweichungen nach oben und nach unten möglich, soweit nichts Gegenteiliges angegeben ist.
Die für das optische System beschriebenen Ausführungsformen und Merkmale gelten für die vorgeschlagene Projektionsbelichtungsanlage entsprechend und umgekehrt.
Weitere mögliche Implementierungen der Erfindung umfassen auch nicht explizit genannte Kombinationen von zuvor oder im Folgenden bezüglich der Ausführungsbeispiele beschriebenen Merkmalen oder Ausführungsformen. Dabei wird der Fachmann auch Einzelaspekte als Verbesserungen oder Ergänzungen zu der jeweiligen Grundform der Erfindung hinzufügen.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Aspekte der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche sowie der im Folgenden beschriebenen Ausführungsbeispiele der Erfindung. Im Weiteren wird die Erfindung anhand von bevorzugten Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigelegten Figuren näher erläutert.

1 zeigt einen schematische Ansicht einer Ausführungsform einer Projektionsbelichtungsanlage für die DUV-Projektionslithographie;
2 zeigt eine schematische Schnittansicht einer Ausführungsform eines optischen Systems für die Projektionsbelichtungsanlage gemäß 1;
3 zeigt die Detailansicht III gemäß 2;
4 zeigt die Ansicht IV gemäß 3;
5 zeigt eine schematische Schnittansicht einer Ausführungsform einer Verbindungsanordnung für das optische System gemäß 2;
6 zeigt eine schematische Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform einer Verbindungsanordnung für das optische System gemäß 2;
7 zeigt eine schematische Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform einer Verbindungsanordnung für das optische System gemäß 2;
8 zeigt eine schematische Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform einer Verbindungsanordnung für das optische System gemäß 2;
9 zeigt eine schematische Seitenansicht der Verbindungsanordnung gemäß 8;
10 zeigt eine schematische Aufsicht der Verbindungsanordnung gemäß 8;
11 zeigt eine schematische Seitenansicht einer Ausführungsform eines Positionierelements für die Verbindungsanordnung gemäß 8;
12 zeigt eine schematische Aufsicht des Positionierelements gemäß 11; und
13 zeigt eine schematische Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform einer Verbindungsanordnung für das optische System gemäß 2.

In den Figuren sind gleiche oder funktionsgleiche Elemente mit denselben Bezugszeichen versehen worden, soweit nichts Gegenteiliges angegeben ist. Ferner sollte beachtet werden, dass die Darstellungen in den Figuren nicht notwendigerweise maßstabsgerecht sind.
1 zeigt eine schematische Ansicht einer Projektionsbelichtungsanlage 1, insbesondere einer DUV-Lithographieanlage, welche ein Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 2 (vorliegend auch als „Beleuchtungsoptik“ bezeichnet) und eine Projektionsoptik 4 (vorliegend auch als „Projektionsobjektiv“ bezeichnet) umfasst. Dabei steht DUV für „tiefes Ultraviolett“ (Engl.: Deep Ultraviolet, DUV) und bezeichnet eine Wellenlänge des Arbeitslichts zwischen 30 nm und 250 nm.
Das Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 2 und die Projektionsoptik 4 sind vorzugsweise jeweils in einem nicht gezeigten Vakuumgehäuse angeordnet. Jedes Vakuumgehäuse wird mit Hilfe einer nicht dargestellten Evakuierungsvorrichtung evakuiert. Die Vakuumgehäuse sind von einem nicht dargestellten Maschinenraum umgeben, in welchem Antriebsvorrichtungen zum mechanischen Verfahren beziehungsweise Einstellen von optischen Elementen vorgesehen sein können. Ferner können auch elektrische Steuerungen und dergleichen in dem Maschinenraum angeordnet sein.
Die Projektionsbelichtungsanlage 1 weist eine Lichtquelle 6 auf. Als Lichtquelle 6 kann beispielsweise ein ArF-Excimerlaser vorgesehen sein, welcher Strahlung 8 im DUV-Bereich bei beispielsweise 193 nm emittiert. In dem Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 2 wird die Strahlung 8 gebündelt, und eine gewünschte Betriebswellenlänge (Arbeitslicht) wird aus der Strahlung 8 herausgefiltert. Das Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 2 kann nicht dargestellte optische Elemente, wie etwa Spiegel oder Linsen, aufweisen.
Nach dem Durchgang durch das Strahlformungs- und Beleuchtungssystem 2 wird die Strahlung 8 auf eine Photomaske (Engl.: Reticle) 10 geleitet. Die Photomaske 10 ist als transmissives optisches Element ausgebildet und kann außerhalb des Strahlformungs- und Beleuchtungssystems 2 und der Projektionsoptik 4 angeordnet sein. Die Photomaske 10 weist eine Struktur auf, welche mittels der Projektionsoptik 4 verkleinert auf einem Wafer 12 abgebildet wird.
Die Projektionsoptik 4 weist mehrere Linsen 14, 16, 18 und/oder Spiegel 20, 22 zur Abbildung der Photomaske 10 auf den Wafer 12 auf. Dabei können einzelne Linsen 14, 16, 18 und/oder Spiegel 20, 22 der Projektionsoptik 4 symmetrisch zu einer optischen Achse 24 der Projektionsoptik 4 angeordnet sein. Es ist zu beachten, dass die Anzahl der hier gezeigten Linsen 14, 16, 18 und Spiegel 20, 22 rein beispielhaft und nicht auf die dargestellte Anzahl beschränkt ist. Es können auch mehr oder weniger Linsen 14, 16, 18 und/oder Spiegel 20, 22 vorgesehen sein.
Ein Luftspalt zwischen einer letzten Linse (nicht gezeigt) und dem Wafer 12 kann durch ein flüssiges Medium 26 ersetzt sein, welches einen Brechungsindex > 1 aufweist. Das flüssige Medium 26 kann beispielsweise hochreines Wasser sein. Ein solcher Aufbau wird auch als Immersionslithographie bezeichnet und weist eine erhöhte photolithographische Auflösung auf. Das Medium 26 kann auch als Immersionsflüssigkeit bezeichnet werden.
2 zeigt eine schematische Schnittansicht einer Ausführungsform eines optischen Systems 100 für die Projektionsbelichtungsanlage 1.
Das optische System 100 ist eine wie zuvor erwähnte Projektionsoptik 4 oder Teil einer derartigen Projektionsoptik 4. Daher kann das optische System 100 auch als Projektionsoptik bezeichnet werden. Dem optischen System 100 ist eine Mittel- oder Symmetrieachse 102 zugeordnet. Die Symmetrieachse 102 kann identisch mit der optischen Achse 24 sein.
Das optische System 100 umfasst ein optisches Element 104. Das optische Element 104 ist eine Linse. Das optische Element 104 kann auch ein Spiegel sein. Nachfolgend wird jedoch davon ausgegangen, dass das optische Element 104 eine Linse ist. Das optische Element 104 kann die Linse 18 der Projektionsoptik 4 sein.
Das optische Element 104 kann rotationssymmetrisch zu der Symmetrieachse 102 aufgebaut sein. Das optische Element 104 weist eine dem Wafer 12 zugewandte Vorderseite 106 und eine dem Wafer 12 abgewandte Rückseite 108 auf. Die Strahlung 8 tritt an der Rückseite 108 in das optische Element 104 ein und an der Vorderseite 106 wieder aus diesem aus. Das optische Element 104 kann kegelstumpfförmig mit einer kegelförmigen Mantelfläche 110 sein. Grundsätzlich kann das optische Element 104 jedoch jede beliebige Geometrie aufweisen.
Das optische System 100 umfasst ferner eine Fassung 112, die das optische Element 104 trägt. Die Fassung 112 ist aus einem nichtmagnetischen oder amagnetischen Werkstoff, insbesondere aus einem metallischen Werkstoff, gefertigt. Beispielsweise kann hierfür eine amagnetische Stahllegierung eingesetzt werden. Es sind jedoch auch andere nichtmagnetische Materialien denkbar. Dies ermöglicht den Einsatz der Fassung 112 in einem Magnetfeld.
Die Fassung 112 weist eine Abschlussplatte 114 auf, die scheibenförmig oder ringförmig ausgebildet ist. Auf der Abschlussplatte 114 kann das optische Element 104 aufliegen. Die Abschlussplatte 114 ist dem Wafer 12 zugewandt. Ferner weist die Fassung 112 einen Flanschabschnitt 116 auf, der ebenfalls ringförmig ist. Beispielsweise kann die Fassung 112 mit Hilfe des Flanschabschnitts 116 an einer nicht gezeigten Tragstruktur gelagert sein.
Ein Durchmesser des Flanschabschnitts 116 ist größer als ein Durchmesser der Abschlussplatte 114. Zwischen der Abschlussplatte 114 und dem Flanschabschnitt 116 ist ein kegelstumpfförmiger Aufnahmeabschnitt 118 vorgesehen, der das optische Element 104 aufnimmt. Hierzu kann die Mantelfläche 110 innenseitig an dem Aufnahmeabschnitt 118 anliegen.
An der Fassung 112, insbesondere an der Abschlussplatte 114, ist eine untere Spülhaube 120 (Engl.: Lens Bottom Purge Hood, LBPH) angebracht, mit deren Hilfe das optische Element 104 mit einem Spülgas G gespült werden kann. Hierzu wird das Spülgas G durch einen geeigneten Zufluss zugeführt und über einen geeigneten Ablauf wieder von dem optischen Element 104 abgeführt. Die Spülhaube 120 ist eine Linsenspülhaube und kann daher auch als solche bezeichnet werden. Die Spülhaube 120 ist rahmenförmig.
Die Spülhaube 120 ist lösbar mit der Fassung 112 verbunden. Hierzu kann beispielsweise eine Schraubverbindung und/oder eine Magnetverbindung vorgesehen sein, mit deren Hilfe die Spülhaube 120 demontierbar mit der Fassung 112 verbunden ist. „Demontierbar“ heißt hierbei insbesondere, dass die Spülhaube 120 beliebig oft mit der Fassung 112 verbunden und wieder von dieser getrennt werden kann.
Bei der Verbindung zwischen der Spülhaube 120 und der Abschlussplatte 114 ist darauf zu achten, dass durch diese Verbindung keine parasitären Kräfte in die Fassung 112 eingebracht werden, da diese ansonsten in das optische Element 104 eingebracht werden könnten und so die optischen Eigenschaften des optischen Elements 104 in unerwünschter Weise beeinflussen könnten.
3 zeigt die Detailansicht III gemäß der 2. 4 zeigt die Ansicht IV gemäß der 3. Nachfolgend wird auf die 3 und 4 gleichzeitig Bezug genommen.
Die 3 zeigt insbesondere eine Schnittansicht einer Ausführungsform einer Verbindungsanordnung 122A. Die Spülhaube 120 ist mit Hilfe der Verbindungsanordnung 122A lösbar mit der Abschlussplatte 114 der Fassung 112 verbunden. Das optische System 100 kann mehrere derartige Verbindungsanordnungen 122A aufweisen. Beispielsweise sind drei Verbindungsanordnungen 122A vorgesehen.
Der Verbindungsanordnung 122A ist eine Mittel- oder Symmetrieachse 124 zugeordnet. Die Abschlussplatte 114 umfasst einen rahmenförmigen Basisabschnitt 126. Der Basisabschnitt 126 kann rechteckförmig sein. An dem Basisabschnitt 126 ist ein rohrförmiger oder hohlzylinderförmiger Aufnahmeabschnitt 128 vorgesehen. Der Aufnahmeabschnitt 128 ist rotationssymmetrisch zu der Symmetrieachse 124 aufgebaut.
Der Aufnahmeabschnitt 128 umfasst eine zylinderförmige Wandung 130 mit einer stirnseitig vorgesehenen ringförmigen Anlagefläche 132. Der Anlagefläche 132 abgewandt weist der Aufnahmeabschnitt 128 eine den Aufnahmeabschnitt 128 in der Orientierung der 3 nach oben hin abschließende Wandung 134 auf. Der Aufnahmeabschnitt 128 ist topfförmig.
In der Orientierung der 3 oberseitig erstreckt sich aus der Wandung 134 ein zylinderförmiger Befestigungsabschnitt 136 heraus. Der Befestigungsabschnitt 136 ist rotationssymmetrisch zu der Symmetrieachse 124 aufgebaut. An oder in dem Befestigungsabschnitt 136 ist eine Gewindebohrung 138 vorgesehen. Die Gewindebohrung 138 ist rotationssymmetrisch zu der Symmetrieachse 124 aufgebaut.
Der Befestigungsabschnitt 136 weist eine der Spülhaube 120 abgewandte Stirnfläche 140 und eine der Spülhaube 120 zugewandte Anlagefläche 142 auf. Die Anlagefläche 142 ist ringförmig und läuft vollständig um die Symmetrieachse 124 um. Mit der Anlagefläche 142 liegt der Befestigungsabschnitt 136 an der Spülhaube 120 an.
Wie die 4 zeigt, sind in der Wandung 134 mehrere Freischnitte 144, 146, 148 vorgesehen, welche ringförmig um den Befestigungsabschnitt 136 umlaufen und die Wandung 134 bis auf zwischen den Freischnitten 144, 146, 148 vorgesehene Stege 150, 152, 154 durchbrechen. Unter einem „Freischnitt“ ist demgemäß ein Durchbruch oder eine Öffnung zu verstehen, welcher oder welche die Wandung 134 durchbricht.
Die Freischnitte 144, 146, 148 und die Stege 150, 152, 154 sind abwechselnd angeordnet, so dass ein Steg 150, 152, 154 zwischen zwei Freischnitten 144, 146, 148 und umgekehrt angeordnet ist. Die Freischnitte 144, 146, 148 können auch als erste Freischnitte bezeichnet werden. Die Stege 150, 152, 154 können auch als erste Stege bezeichnet werden.
Zwischen den Freischnitten 144, 146, 148 und dem Befestigungsabschnitt 136 sind weitere Freischnitte 156, 158, 160 vorgesehen, welche die Wandung 134 bis auf zwischen den Freischnitten 156, 158, 160 vorgesehene Stege 162, 164, 166 durchbrechen. Die Freischnitte 156, 158, 160 laufen ringförmig um den Befestigungsabschnitt 136 um. Die Stege 150, 152, 154, 162, 164, 166 verbinden den Befestigungsabschnitt 136 mit der Wandung 134.
Die Freischnitte 156, 158, 160 und die Stege 162, 164, 166 sind abwechselnd angeordnet, so dass ein Steg 162, 164, 166 zwischen zwei Freischnitten 156, 158, 160 und umgekehrt angeordnet ist. Die Freischnitte 156, 158, 160 können auch als zweite Freischnitte bezeichnet werden. Die Stege 162, 164, 166 können auch als zweite Stege bezeichnet werden.
Bezüglich einer Radialrichtung R, die senkrecht zu der Symmetrieachse 124 und von dieser weg orientiert ist, sind die Freischnitte 156, 158, 160 innerhalb der Freischnitte 144, 146, 148 platziert. Die Freischnitte 144, 146, 148 und die Freischnitte 156, 158, 160 sind dabei zueinander versetzt platziert, so dass auch die Stege 150, 152, 154 und die Stege 162, 164, 166 zueinander versetzt angeordnet sind. Beispielsweise können die Stege 150, 152, 154 und die Stege 162, 164, 166 um 45° zueinander versetzt angeordnet sein.
Die Stege 150, 152, 154, 162, 164, 166 fungieren als Festkörpergelenke und können daher auch als solche bezeichnet werden. Unter einem „Festkörpergelenk“ ist vorliegend insbesondere ein Bereich eines Bauteils zu verstehen, welcher eine Relativbewegung zwischen zwei Starrkörperbereichen, vorliegend der Wandung 134 und dem Befestigungsabschnitt 136, durch Biegung erlaubt.
Mit Hilfe der Freischnitte 144, 146, 148, 156, 158, 160 lässt sich die Steifigkeit der Wandung 134 variieren, insbesondere verkleinern. Unter der „Steifigkeit“ ist insbesondere der Widerstand eines Körpers, vorliegend der Wandung 134, gegen eine durch ein äußere Belastung aufgeprägte elastische Verformung zu verstehen. Die Steifigkeit vermittelt den Zusammenhang zwischen der Belastung des Körpers und dessen Verformung. Die Steifigkeit wird bestimmt durch den Werkstoff und die Geometrie des Körpers.
Die Spülhaube 120 weist einen rahmenförmigen Basisabschnitt 168 auf. Aus dem Basisabschnitt 168 erstreckt sich ein zylinderförmiger Verbindungsabschnitt 170 heraus. Der Verbindungsabschnitt 170 weist eine ringförmige Anlagefläche 172 auf, an der die Anlagefläche 142 anliegt. Der Verbindungsabschnitt 170 ist rotationssymmetrisch zu der Symmetrieachse 124 aufgebaut. Der Verbindungsabschnitt 170 ist in dem Aufnahmeabschnitt 128 aufgenommen. Der Verbindungsabschnitt 170 weist eine mittige Bohrung 174 auf. Die Bohrung 174 ist eine Stufenbohrung.
Die Verbindungsanordnung 122A umfasst ferner ein Befestigungselement 176, insbesondere eine Schraube. Das Befestigungselement 176 ist in der Bohrung 174 aufgenommen. Das Befestigungselement 176 weist einen Kopfabschnitt 178, der sich an dem Verbindungsabschnitt 170 abstützt, auf. Neben dem Kopfabschnitt 178 weist das Befestigungselement 176 einen Gewindeabschnitt 180, der in die Gewindebohrung 138 eingeschraubt ist, und einen Schaftabschnitt 182, der zwischen dem Kopfabschnitt 178 und dem Gewindeabschnitt 180 angeordnet ist, auf.
Das Befestigungselement 176 verbindet den Verbindungsabschnitt 170 der Spülhaube 120 mit dem Befestigungsabschnitt 136 der Abschlussplatte 114 der Fassung 112. Dabei drückt das Befestigungselement 176 die Anlageflächen 142, 172 gegeneinander. Zwischen der Anlagefläche 132 und dem Basisabschnitt 168 der Spülhaube 120 ist ein Spalt vorgesehen, so dass die Anlagefläche 132 den Basisabschnitt 168 nicht kontaktiert.
Dadurch, dass der Befestigungsabschnitt 136 nur mit Hilfe der Stege 150, 152, 154, 162, 164, 166 an die Wandung 134 angebunden ist, ist es durch eine geeignete Gestaltung der Stege 150, 152, 154, 162, 164, 166 beziehungsweise der Freischnitte 144, 146, 148, 156, 158, 160 möglich, den Befestigungsabschnitt 136, der mit Hilfe des Befestigungselements 176 fest mit dem Verbindungsabschnitt 170 verbunden ist, von der Abschlussplatte 114 der Fassung 112 mechanisch zu entkoppeln.
Unter einer „mechanischen Entkopplung“ ist vorliegend insbesondere zu verstehen, dass die Freischnitte 144, 146, 148, 156, 158, 160 eine Kraftübertragung zwischen dem Befestigungsabschnitt 136 und der Wandung 134 verhindern oder zumindest reduzieren. Kräfte können nur über die dünnen Stege 150, 152, 154, 162, 164, 166 übertragen werden, die als Festkörpergelenke fungieren.
Die Stege 150, 152, 154, 162, 164, 166 ermöglichen eine Verkippung des Befestigungsabschnitts 136 gegenüber der Wandung 134, eine axiale Bewegung des Befestigungsabschnitts 136 relativ zu der Wandung 134 entlang der Symmetrieachse 124 und/oder eine radiale Bewegung des Befestigungsabschnitts 136 relativ zu der Wandung 134 entlang der Radialrichtung R und entgegen der Radialrichtung R.
Dadurch, dass die Freischnitte 144, 146, 148, 156, 158, 160 vorgesehen sind, werden durch die Verbindungsanordnung 122A keine parasitären Kräfte in die Abschlussplatte 114 der Fassung 112 und damit auch in das optische Element 104 eingebracht. Die Verbindungsanordnung 122A ist einfach montierbar und einfach herstellbar. Die Freischnitte 144, 146, 148, 156, 158, 160 können dabei durch Erodierschnitte eingebracht werden.
5 zeigt eine schematische Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform einer Verbindungsanordnung 122B.
Die Verbindungsanordnung 122B unterscheidet sich von der Verbindungsanordnung 122A im Wesentlichen dadurch, dass der Befestigungsabschnitt 136 nicht mit Hilfe einer wie zuvor erwähnten Wandung 134, sondern mit Hilfe einer dünnwandigen Membran 184 an den Aufnahmeabschnitt 128 der Abschlussplatte 114 angebunden ist. Die Membran 184 ist scheibenförmig und läuft vollständig um die Symmetrieachse 124 um. Unter einer „Membran“ ist vorliegend ein dünnwandiges und folienartiges Bauteil zu verstehen.
Die Membran 184, der Befestigungsabschnitt 136 und der Basisabschnitt 126 können ein einstückiges, insbesondere ein materialeinstückiges, Bauteil bilden. „Einstückig“ oder „einteilig“ heißt dabei, dass die Membran 184, der Befestigungsabschnitt 136 und der Basisabschnitt 126 nicht aus unterschiedlichen Unterbauteilen zusammengesetzt sind, sondern ein gemeinsames Bauteil bilden. „Materialeinstückig“ heißt dabei, dass die Membran 184, der Befestigungsabschnitt 136 und der Basisabschnitt 126 durchgehend aus demselben Material gefertigt sind. Als Membran 184 kann jedoch auch ein geschweißter Faltenbalg Anwendung finden.
In diesem Fall liegt die Anlagefläche 132 des Aufnahmeabschnitts 128 an dem Basisabschnitt 168 der Spülhaube 120 an. Die beiden Anlageflächen 142, 172 kontaktieren einander nicht, so dass zwischen diesen ein Spalt vorgesehen ist.
Die Membran 184 ermöglicht eine mechanische Entkopplung des Befestigungsabschnitts 136 von dem Basisabschnitt 126. Somit wird auch mit Hilfe der Verbindungsanordnung 122B das Einbringen von parasitären Kräften in die Fassung 112 und damit auch in das optische Element 104 verhindert.
6 zeigt eine schematische Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform einer Verbindungsanordnung 122C.
Die Verbindungsanordnung 122C unterscheidet sich von der Verbindungsanordnung 122B nur dadurch, dass keine scheibenförmige Membran 184 zwischen dem Befestigungsabschnitt 136 und dem Aufnahmeabschnitt 128 vorgesehen ist, sondern eine im Querschnitt rinnenförmige oder U-förmige Membran 186.
Die Membran 186 umfasst eine mit dem Befestigungsabschnitt 136 verbundene Außenwandung 188, die um die Symmetrieachse 124 umläuft, eine mit dem Aufnahmeabschnitt 128 verbundene Innenwandung 190, die um die Symmetrieachse 124 umläuft, und eine die Wandungen 188, 190 miteinander verbindende Stirnwandung 192. Die Innenwandung 190 ist zwischen der Außenwandung 188 und dem Befestigungsabschnitt 136 platziert.
Auch in diesem Fall liegt die Anlagefläche 132 des Aufnahmeabschnitts 128 an dem Basisabschnitt 168 der Spülhaube 120 an. Die beiden Anlageflächen 142, 172 kontaktieren einander nicht, so dass zwischen diesen ein Spalt vorgesehen ist.
Die Membran 186 ermöglicht eine mechanische Entkopplung des Befestigungsabschnitts 136 von dem Basisabschnitt 126. Somit wird auch mit Hilfe der Verbindungsanordnung 122C das Einbringen von parasitären Kräften in die Fassung 112 und damit auch in das optische Element 104 verhindert.
7 zeigt eine schematische Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform einer Verbindungsanordnung 122D.
Bei der Verbindungsanordnung 122D ist ein Magnetelement 194 vorgesehen, das in die Abschlussplatte 114 geklebt oder mit dieser verschraubt ist. Das Befestigungselement 176 ist in diesem Fall eine Stahlschraube. Das Befestigungselement 176 ist in dem Magnetelement 194 aufgenommen. Hierzu weist das Magnetelement 194 eine Bohrung 196 auf. Die Bohrung 196 kann, wie in der 7 gezeigt, eine Gewindebohrung sein. Dies ist jedoch nicht zwingend erforderlich.
Die Bohrung 196 kann jedoch auch innenseitig glatt sein (nicht gezeigt). Das heißt, die Bohrung 196 weist nicht zwingend ein Gewinde auf. Das Befestigungselement 176 ist in diesem Fall nur in die Bohrung 196 eingeschoben und wird dort durch das Magnetelement 194 gehalten. Hierzu wechselwirkt das Magnetelement 194 magnetisch mit dem Befestigungselement 176. Besonders bevorzugt ist ein reiner Kontakt zwischen dem Magnetelement 194 und dem Befestigungselement 176 vorgesehen, ohne dass die Bohrung 196 eine Gewindebohrung ist.
8 zeigt eine schematische Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform einer Verbindungsanordnung 122E. 9 zeigt eine schematische Seitenansicht der Verbindungsanordnung 122E. 10 zeigt eine schematische Aufsicht der Verbindungsanordnung 122E. Nachfolgend wird auf die 8 bis 10 gleichzeitig Bezug genommen.
Bei dieser Ausführungsform der Verbindungsanordnung 122E ist ebenfalls ein Magnetelement 198 vorgesehen, das mit der Abschlussplatte 114 der Fassung 112 verklebt oder verschraubt ist. Die Spülhaube 120 weist ein zu dem Magnetelement 198 korrespondierendes Magnetelement 200 auf, das mit dem Basisabschnitt 168 verklebt oder verschraubt sein kann.
Zum Positionieren der Spülhaube 120 an der Abschlussplatte 114 weist die Spülhaube 120, wie in den 9 und 10 gezeigt, mehrere Positionierelemente 202, 204, 206 auf. Die Positionierelemente 202, 204, 206 können Schrauben sein. Jedes Positionierelement 202, 204, 206 weist, wie in den 11 und 12 gezeigt, einen Kopfabschnitt 208, einen Schaftabschnitt 210 und einen Positionierabschnitt 212 auf. Der Positionierabschnitt 212 umfasst zwei schräg zueinander orientierte Positionierflächen 214, 216.
Der Kopfabschnitt 208 liegt an einer an der Spülhaube 120 vorgesehenen Anlagefläche 218 an. Der Schaftabschnitt 210 ist durch eine in der Spülhaube 120 vorgesehene Bohrung 220 geführt. Hier kann eine Passung H7/g6 vorgesehen sein. Die Positionierelemente 202, 204, 206 können jeweils zweiteilig sein. Beispielsweise wird der Schaftabschnitt 210 durch die Bohrung 220 geführt. Anschließend wird der Positionierabschnitt 212 mit dem Schaftabschnitt 210 verbunden, insbesondere verschweißt. Die Positionierelemente 202, 204, 206 sind dann verliersicher mit der Spülhaube 120 verbunden.
Die Passung an der Bohrung 220 ist jedoch nicht unbedingt notwendig. Es ist auch möglich, das die Bohrung 220 einen so großen Durchmesser aufweist, dass der Positionierabschnitt 212 durch die Bohrung 220 hindurchgeführt werden kann.
An der Abschlussplatte 114 sind Aufnahmeelemente 222, 224 (9) angebracht. Die Aufnahmeelemente 222, 224 können die Positionierabschnitte 212 der Positionierelemente 202, 204, 206 aufnehmen. Das Positionierelement 202 ist bezüglich der Positionierelemente 204, 206 um 90° verdreht angeordnet.
13 zeigt eine schematische Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform einer Verbindungsanordnung 122F.
Bei dieser Ausführungsform der Verbindungsanordnung 122F ist auf die Abschlussplatte 114 ein magnetisches Bauteil 226 geklebt oder mit der Abschlussplatte 114 verschraubt. Es sind bevorzugt drei dieser magnetischen Bauteile 226 vorgesehen. Es können auch mehr als drei magnetische Bauteile 226 vorgesehen sein. Die Spülhaube 120 weist ein wie zuvor erläutertes Magnetelement 200 auf. Das Magnetelement 200 ist ein Permanentmagnet. Unter einem „magnetischen Bauteil“ ist vorliegend ein Bauteil zu verstehen, das ferromagnetische Eigenschaften aufweist. Beispielsweise kann das magnetische Bauteil 226 ein Stahlbauteil sein.
Obwohl die vorliegende Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen beschrieben wurde, ist sie vielfältig modifizierbar.
BEZUGSZEICHENLISTE

1: Projektionsbelichtungsanlage
2: Strahlformungs- und Beleuchtungssystem
4: Projektionsoptik
6: Lichtquelle
8: Strahlung
10: Photomaske
12: Wafer
14: Linse
16: Linse
18: Linse
20: Spiegel
22: Spiegel
24: optische Achse
26: Medium
100: Optisches System
102: Symmetrieachse
104: Optisches Element
106: Vorderseite
108: Rückseite
110: Mantelfläche
112: Fassung
114: Abschlussplatte
116: Flanschabschnitt
118: Aufnahmeabschnitt
120: Spülhaube
122A: Verbindungsanordnung
122B: Verbindungsanordnung
122C: Verbindungsanordnung
122D: Verbindungsanordnung
122E: Verbindungsanordnung
122F: Verbindungsanordnung
124: Symmetrieachse
126: Basisabschnitt
128: Aufnahmeabschnitt
130: Wandung
132: Anlagefläche
134: Wandung
136: Befestigungsabschnitt
138: Gewindebohrung
140: Stirnfläche
142: Anlagefläche
144: Freischnitt
146: Freischnitt
148: Freischnitt
150: Steg
152: Steg
154: Steg
156: Freischnitt
158: Freischnitt
160: Freischnitt
162: Steg
164: Steg
166: Steg
168: Basisabschnitt
170: Verbindungsabschnitt
172: Anlagefläche
174: Bohrung
176: Befestigungselement
178: Kopfabschnitt
180: Gewindeabschnitt
182: Schaftabschnitt
184: Membran
186: Membran
188: Außenwandung
190: Innenwandung
192: Stirnwandung
194: Magnetelement
196: Bohrung
198: Magnetelement
200: Magnetelement
202: Positionierelement
204: Positionierelement
206: Positionierelement
208: Kopfabschnitt
210: Schaftabschnitt
212: Positionierabschnitt
214: Positionierfläche
216: Positionierfläche
218: Anlagefläche
220: Bohrung
222: Aufnahmeelement
224: Aufnahmeelement
226: Bauteil
G: Spülgas
R: Radialrichtung

Claims

Optisches System (100) für eine Projektionsbelichtungsanlage (1), aufweisend ein optisches Element (104), eine Fassung (112) zum Tragen des optischen Elements (104), eine Spülhaube (120) zum Spülen des optischen Elements (104) mit einem Spülgas (G), und eine Verbindungsanordnung (122A, 122B, 122C) zum lösbaren Verbinden der Spülhaube (120) mit der Fassung (112), wobei die Verbindungsanordnung (122A, 122B, 122C) einen an der Fassung (112) vorgesehenen Befestigungsabschnitt (136) aufweist, mit dessen Hilfe die Spülhaube (120) mit der Fassung (112) verbunden ist, und wobei der Befestigungsabschnitt (136) von der Fassung (112) mechanisch entkoppelt ist.
Optisches System nach Anspruch 1, wobei der Befestigungsabschnitt (136) mit Hilfe von als Festkörpergelenken fungierenden Stegen (150, 152, 154, 162, 164, 166) an die Fassung (112) angebunden ist.
Optisches System nach Anspruch 2, wobei erste Stege (150, 152, 154), die gleichmäßig um den Befestigungsabschnitt (136) herum verteilt angeordnet sind, und zweite Stege (162, 164, 166), die gleichmäßig um den Befestigungsabschnitt (136) herum verteilt angeordnet sind, vorgesehen sind, und wobei die zweiten Stege (162, 164, 166) zwischen dem Befestigungsabschnitt (136) und den ersten Stegen (150, 152, 154) angeordnet sind.
Optisches System nach Anspruch 3, wobei die ersten Stege (150, 152, 154) und die zweiten Stege (162, 164, 166) radial und/oder umfänglich versetzt zueinander angeordnet sind.
Optisches System nach einem der Ansprüche 2-4, wobei um den Befestigungsabschnitt (136) umlaufende Freischnitte (144, 146, 148, 156, 158, 160) vorgesehen sind, die den Befestigungsabschnitt (136) von der Fassung (112) trennen, und wobei die Stege (150, 152, 154, 162, 164, 166) und die Freischnitte (144, 146, 148, 156, 158, 160) abwechselnd angeordnet sind.
Optisches System nach Anspruch 5, wobei erste Freischnitte (144, 146, 148), die gleichmäßig um den Befestigungsabschnitt (136) herum verteilt angeordnet sind, und zweite Freischnitte (156, 158, 160), die gleichmäßig um den Befestigungsabschnitt (136) herum verteilt angeordnet sind, vorgesehen sind, und wobei die zweiten Freischnitte (156, 158, 160) zwischen dem Befestigungsabschnitt (136) und den ersten Freischnitten (144, 146, 148) angeordnet sind.
Optisches System nach Anspruch 1, wobei der Befestigungsabschnitt (136) mit Hilfe einer Membran (184, 186) an die Fassung (112) angebunden ist.
Optisches System nach Anspruch 7, wobei die Membran (186) eine um den Befestigungsabschnitt (136) umlaufende Innenwandung (190), eine um die Innenwandung (190) umlaufende Außenwandung (188) und eine die Innenwandung (190) mit der Außenwandung (188) verbindende Stirnwandung (192) aufweist.
Optisches System nach einem der Ansprüche 1-8, ferner aufweisend ein Befestigungselement (176), mit dessen Hilfe der Befestigungsabschnitt (136) mit der Spülhaube (120) verbunden ist.
Optisches System nach Anspruch 9, ferner aufweisend einen an der Fassung (112) vorgesehenen Aufnahmeabschnitt (128) und einen an der Spülhaube (120) vorgesehenen Verbindungsabschnitt (170), an dem sich das Befestigungselement (176) abstützt, wobei der Verbindungsabschnitt (170) in dem Aufnahmeabschnitt (128) aufgenommen ist.
Optisches System nach Anspruch 10, wobei sich der Verbindungsabschnitt (170) an dem Befestigungsabschnitt (136) abstützt.
Optisches System (100) für eine Projektionsbelichtungsanlage (1), aufweisend ein optisches Element (104), eine Fassung (112) zum Tragen des optischen Elements (104), eine Spülhaube (120) zum Spülen des optischen Elements (104) mit einem Spülgas (G), und eine Verbindungsanordnung (122D, 122E, 122F) zum lösbaren Verbinden der Spülhaube (120) mit der Fassung (112), wobei die Verbindungsanordnung (122D, 122E, 122F) die Spülhaube (120) magnetisch mit der Fassung (112) verbindet.
Optisches System nach Anspruch 12, wobei die Fassung (112) aus einem amagnetischen Material gefertigt ist, und wobei an oder in der Fassung (112) ein Magnetelement (194, 198) und/oder ein magnetisches Bauteil (226) vorgesehen ist.
Optisches System nach Anspruch 13, wobei die Spülhaube (120) ein Magnetelement (200) aufweist, das mit dem Magnetelement (194, 198) und/oder dem magnetischen Bauteil (226) der Fassung (112) wechselwirkt.
Projektionsbelichtungsanlage (1) mit einem optischen System (100) nach einem der Ansprüche 1-14.