JP2011153969A5

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Publication number: JP2011153969A5
Application number: JP2010016606A
Authority: JP
Filing date: 2010-01-28
Publication date: 2013-03-07
Anticipated expiration: 2030-01-28

Description

本発明のＸ線撮像装置は、Ｘ線源からのＸ線を回折する回折格子と、
前記回折格子を透過したＸ線の強度分布を検出するＸ線検出器と、前記Ｘ線検出器で検出された強度分布から、被検物の位相情報を演算する演算手段と、を有するＸ線撮像装置であって、
前記Ｘ線検出器は、
第１の強度分布と、該第１の強度分布と異なる第２の強度分布と、を検出し、前記演算手段は、
前記第１の強度分布と前記第２の強度分布との差分の周波数スペクトルを演算し、
前記周波数スペクトルから前記位相情報を演算することを特徴とする。
また、本発明の波面計測装置は、
光源と、
前記光源から照射された光線の位相もしくは強度を周期的に変調する回折格子と、
前記回折格子を透過もしくは反射した光線によるタルボ効果によって生じる強度分布、もしくはさらに遮光部材を配置することによって生じるモアレ縞の強度分布を取得する検出器と、
前記光源と前記回折格子の間、または前記回折格子と撮像装置の間に配置した被検物を透過した光線の微分位相分布を得る演算手段とを有し、前記被検物の透過波面を計測する波面計測装置であって、
前記検出器は、
第１の強度分布と、該第１の強度分布と異なる第２の強度分布と、を検出し、前記演算手段は、
前記第１の強度分布と前記第２の強度分布との差分の周波数スペクトルを演算し、
前記周波数スペクトルから前記位相情報を演算することを特徴とする。

Claims

Ｘ線源からのＸ線を回折する回折格子と、
前記回折格子を透過したＸ線の強度分布を検出するＸ線検出器と、前記Ｘ線検出器で検出された強度分布から、被検物の位相情報を演算する演算手段と、を有するＸ線撮像装置であって、
前記Ｘ線検出器は、
第１の強度分布と、該第１の強度分布と異なる第２の強度分布と、を検出し、前記演算手段は、
前記第１の強度分布と前記第２の強度分布との差分の周波数スペクトルを演算し、
前記周波数スペクトルから前記位相情報を演算することを特徴とするＸ線撮像装置。
前記第２の強度分布は、
前記Ｘ線検出器上で前記第１の強度分布が前記第１の強度分布の周期方向に半周期だけずれた強度分布であることを特徴とする請求項１に記載のＸ線撮像装置。
前記回折格子と前記Ｘ線検出器の間に配置されている遮蔽部材を有し、
前記第１の強度分布と前記第２の強度分布とは、
前記回折格子による強度分布と、前記強度分布の一部を周期的に遮光する前記遮蔽部材とにより形成されるモアレ縞であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のＸ線撮像装置。
前記第１の強度分布と前記第２の強度分布とは、２方向に周期を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のＸ線撮像装置。
前記第１の強度分布をＩＡ、
前記第１の強度分布を第１の方向に移動して検出した第２の強度分布をＩＢ、
前記第１の強度分布を前記第１の方向と垂直な第２の方向に移動して検出した強度分布をＩＣ、
前記第１の強度分布を前記第１の方向および第２の方向に移動して検出した強度分布をＩＤとするとき、
前記演算手段は、下記の式を満たす強度分布ＩＥの空間周波数スペクトルを演算し、該空間周波数スペクトルから前記位相情報を演算することを特徴とする請求項４に記載のＸ線撮像装置。

ＩＥ＝ＩＡ−ＩＢ−ＩＣ＋ＩＤ
前記第１の強度分布と前記第２の強度分布との周期は、前記Ｘ線検出器の画素のサイズの４倍であり、
前記第１の強度分布と前記第２の強度分布との周期方向は、前記Ｘ線検出器の画素の配列方向と一致しており、
前記演算手段は、前記周波数スペクトルから、前記強度分布の周期方向において周波数がゼロからナイキスト周波数までを含み、
前記強度分布の周期方向に垂直な方向においてナイキスト周波数間の周波数を含む、長方形領域を切り出すことを特徴とする請求項４または５に記載のＸ線撮像装置。
前記第１の強度分布と前記第２の強度分布との周期は、前記Ｘ線検出器の画素サイズの２√２倍であり、
前記第１の強度分布と前記第２の強度分布との周期方向は、前記Ｘ線検出器の画素配列に対し４５°傾いており、
前記演算手段は、前記周波数スペクトルから、前記Ｘ線検出器の画素配列の２つの周期方向のそれぞれにおいて、周波数がゼロからナイキスト周波数までを含む正方形領域を切り出すことを特徴とする請求項４または５に記載のＸ線撮像装置。
Ｘ線源からのＸ線を回折する回折格子と、
前記回折格子を透過したＸ線の強度分布を検出するＸ線検出器と、前記Ｘ線検出器で検出された強度分布から、被検物の位相情報を演算する演算手段と、を有するＸ線撮像装置であって、
前記Ｘ線検出器は、
第１の強度分布と、該第１の強度分布と異なる第２の強度分布と、を検出し、
前記演算手段は、
前記第１の強度分布と前記第２の強度分布との差分を演算することで得られる強度分布をフーリエ変換すること、または、前記第１の強度分布と前記第２の強度分布をそれぞれフーリエ変換して得られた周波数スペクトルの差分をとることで、前記位相情報を演算することを特徴とするＸ線撮像装置。
光源と、
前記光源から照射された光線の位相もしくは強度を周期的に変調する回折格子と、
前記回折格子を透過もしくは反射した光線によるタルボ効果によって生じる強度分布、もしくはさらに遮光部材を配置することによって生じるモアレ縞の強度分布を取得する検出器と、
前記光源と前記回折格子の間、または前記回折格子と撮像装置の間に配置した被検物を透過した光線の微分位相分布を得る演算手段とを有し、前記被検物の透過波面を計測する波面計測装置であって、
前記検出器は、
第１の強度分布と、該第１の強度分布と異なる第２の強度分布と、を検出し、前記演算手段は、
前記第１の強度分布と前記第２の強度分布との差分の周波数スペクトルを演算し、
前記周波数スペクトルから前記位相情報を演算することを特徴とする波面計測装置。
複数の強度分布から被検体の位相情報を演算するプログラムであって、
第１の強度分布と、該第１の強度分布と異なる第２の強度分布と、の差分の周波数スペクトルを演算し、
前記周波数スペクトルから前記位相情報を演算することをコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
複数の強度分布から被検体の位相情報を演算するプログラムであって、
第１の強度分布と、該第１の強度分布と異なる第２の強度分布と、の差分を演算することで得られる強度分布をフーリエ変換すること、または、前記第１の強度分布と、前記第２の強度分布と、をそれぞれフーリエ変換して得られた周波数スペクトルの差分をとることで、前記位相情報を演算することをコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。