JP2011149661A - クリーンルームシステム及びその運転方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】製品の製造時には、不活性ガス供給管21から空調機2の入口側に窒素ガスが供給され、クリーンルームRからの還気の一部が、分岐ダクト8を通じてガス精製装置10の回転ロータ13の処理部13aに導入される。メンテナンス時には、不活性ガス供給管21が閉鎖され、外気ダクト9が開放され、不活性ガス供給管22、分岐ダクト8が閉鎖され、回転ロータ13の処理部13aで処理された後のCDAが、空調機2を経て、クリーンルームRに供給される。
【選択図】図1
Description
(1)メンテナンス時のみ除湿専用機でCDAを製造して供給する場合には、設備費が多くかかり、コストパフォーマンスが悪い。また除湿専用機やその周辺設備の立ち上がりに時間が必要なため、メンテナンスの半日〜1日程度前から除湿専用機を空運転しておく必要があり、迅速性、即応性に欠け、ランニングコストもかかってしまう。
(2)圧縮空気設備を用いて、前記したような用途のCDAを製造、供給する場合、冷凍式ドライヤー(たとえば露点−20゜Cまで)+吸着式ドライヤー[PSA式(露点−60゜C程度まで)、もしくはPTSA式(例えば特開2007−185617に開示されている技術)]で処理したものである必要があり、かかる場合の圧縮空気設備には、圧縮機と、冷凍式ドライヤー及び吸着式ドライヤーが必要となり、設備、イニシャルコストが極めて大きくなる。しかも前記した半導体製造装置が設置されるクリーンルームは、小型チャンバーと比べて導入空気量が多く、そのため、それに応じて圧縮空気設備の容量も大きくする必要があり、この点でも設備の肥大化、イニシャルコストの高騰を招来する。そのうえ、ランニングコストも高かった。発明者の試算では、圧縮空気とドライヤーによって生成されるCDA単価は、除湿機(ファンと除湿ロータ)を使ったCDAに比べ10倍以上である。
2 空調機
2a 冷却コイル
2b 加熱コイル
2c ファン
3 高性能フィルタ
4 排気口
5 排気ダクト
5a ダンパ
6 還気口
7 リターンダクト
8 分岐ダクト
8a ダンパ
9 外気ダクト
9a ダンパ
9b 冷却コイル
10 ガス精製装置
11 ファン
12 冷却コイル
13 回転ロータ
13a 処理部
13b 再生部
13c パージ部
14 パージダクト
14a ダンパ
15 再生用循環ダクト
15a ファン
15b ダンパ
16 加熱ヒータ(再生用)
17 再生排気ダクト
21 不活性ガス供給管
21a バルブ
22 配管
31 半導体製造装置
32 酸素濃度計
33 制御装置
R クリーンルーム
Claims (11)
- 製品を室内で製造するクリーンルームにおいて、
前記クリーンルーム内に給気する送風機と、
減湿機能を有する吸着材を収納した回転ロータを有するガス精製装置と、
前記回転ロータの処理部に外気を導入する外気ダクトと、
室内からの還気を前記送風機の入口側に戻すリターンダクトと、
不活性ガス供給系からの不活性ガスを前記送風機の入口側及び/又はクリーンルーム内に供給可能な不活性ガス供給管と、
前記リターンダクトから分岐して前記回転ロータの処理部に前記還気を導入可能な分岐ダクトと、を有し、
前記外気ダクトからの外気を前記回転ロータの処理部を通過させて、その後前記送風機を経て室内に供給可能なように構成され、
製品の製造時には、前記外気ダクトが閉鎖されるとともに、前記不活性ガス供給管及び分岐ダクトが開放され、
メンテナンス時には、前記外気ダクトが開放されるとともに、前記不活性ガス供給管及び分岐ダクトが閉鎖されることを特徴とする、クリーンルームシステム。 - 前記リターンダクトから分岐して、前記回転ロータの再生部に還気を導入するガス精製装置用分岐ダクトを有し、
製品の製造時には、前記ガス精製装置用分岐ダクトが閉鎖され、
前記メンテナンス時には、前記ガス精製装置用分岐ダクトが開放されることを特徴とする、請求項1に記載のクリーンルームシステム。 - 前記回転ロータは、再生部の他にパージ部を有し、ガス精製装置用分岐ダクトからの還気は、当該パージ部及び/又は再生部に供給可能であることを特徴とする、請求項2に記載のクリーンルームシステム。
- 前記回転ロータの再生部に外気が導入可能な、他の外気ダクトを有し、
製品の製造時には、前記ガス精製装置用分岐ダクトが閉鎖されるとともに、前記他の外気ダクトが開放され、
前記メンテナンス時には、前記ガス精製装置用分岐ダクトが開放されるとともに、前記他の外気ダクトが閉鎖されることを特徴とする、請求項2に記載のクリーンルームシステム。 - 前記回転ロータのパージ部に外気が導入可能な、他の外気ダクトを有し、
製品の製造時には、前記ガス精製装置用分岐ダクトが閉鎖されるとともに、前記他の外気ダクトが開放され、
前記メンテナンス時には、前記ガス精製装置用分岐ダクトが開放されるとともに、前記他の外気ダクトが閉鎖されることを特徴とする、請求項3に記載のクリーンルームシステム。 - 前記外気ダクトに接続され、回転ロータの処理部を迂回して再生部またはパージ部に外気が導入可能な、バイパス外気ダクトを有することを特徴とする、請求項2または3に記載のクリーンルームシステム。
- クリーンルーム内に前記製品の製造を行なう局所製造空間を備え、不活性ガス供給系からの不活性ガスは、当該局所製造空間に対しても供給可能であることを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載のクリーンルームシステム。
- 前記回転ロータを複数備え、これら回転ロータは直列多段に接続されていることを特徴とする、請求項1〜7のいずれかに記載のクリーンルームシステム。
- 前記複数の回転ロータのうち、少なくとも一段の回転ロータに収納される吸着材は、シリカゲル及び/又は合成ゼオライトであり、他の回転ロータに収納される吸着材は、活性炭を含むものであることを特徴とする、請求項1〜8のいずれかに記載のクリーンルームシステム。
- 請求項1〜9のいずれかに記載のクリーンルームシステムを運転する方法であって、
メンテナンス時において前記外気ダクトを開放し、前記不活性ガス供給管及び分岐ダクトを閉鎖し、前記クリーンルーム内に外気ダクトからの外気を前記回転ロータの処理部を通過させて、その後前記送風機を経て室内に供給した後、
前記クリーンルーム内の酸素濃度が安全レベルに達した段階で、外気ダクトからの導入外気量を減じることを特徴とする、クリーンルームシステムの運転方法。 - クリーンルーム内の露点温度を計測し、メンテナンス時において露点が上昇した場合には、分岐ダクトの風量を制御して、回転ロータの処理部に導入する循環空気を増加させることを特徴とする、請求項10に記載のクリーンルームシステムの運転方法。
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