JPH11188224A - 乾式減湿システム - Google Patents
乾式減湿システムInfo
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- JPH11188224A JPH11188224A JP9367577A JP36757797A JPH11188224A JP H11188224 A JPH11188224 A JP H11188224A JP 9367577 A JP9367577 A JP 9367577A JP 36757797 A JP36757797 A JP 36757797A JP H11188224 A JPH11188224 A JP H11188224A
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- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/14—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification
- F24F3/1411—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification by absorbing or adsorbing water, e.g. using an hygroscopic desiccant
- F24F3/1423—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification by absorbing or adsorbing water, e.g. using an hygroscopic desiccant with a moving bed of solid desiccants, e.g. a rotary wheel supporting solid desiccants
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- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F2203/00—Devices or apparatus used for air treatment
- F24F2203/10—Rotary wheel
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- F24F2203/10—Rotary wheel
- F24F2203/1056—Rotary wheel comprising a reheater
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- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
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- F24F2203/10—Rotary wheel
- F24F2203/1076—Rotary wheel comprising three rotors
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- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F2203/00—Devices or apparatus used for air treatment
- F24F2203/10—Rotary wheel
- F24F2203/1088—Rotary wheel comprising three flow rotor segments
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- Combustion & Propulsion (AREA)
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Drying Of Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 少ないエネルギで−８０℃以下の超低露点の
空気を製造する。 【解決手段】 乾式減湿装置１０、２０、３０を３段の
直列に系統接続し、１段目のロータ１１の減湿区域１１
ａを出た空気を、２段目のロータ２１の減湿区域２１ａ
で減湿し、さらに３段目のロータ３１の減湿区域３１ａ
で減湿した後、適宜加熱、冷却した後、低露点空間Ｓに
供給する。３段目のロータ３１の減湿区域３１ａを出た
空気の一部は、パージ区域３１ｃに導入され、その後再
生区域３１ｂに導入される。再生区域３１ｂを出た空気
は依然として低湿であるから、２段目のロータ２１の再
生用に使用される。ロータ２１の能力は向上している。
空気を製造する。 【解決手段】 乾式減湿装置１０、２０、３０を３段の
直列に系統接続し、１段目のロータ１１の減湿区域１１
ａを出た空気を、２段目のロータ２１の減湿区域２１ａ
で減湿し、さらに３段目のロータ３１の減湿区域３１ａ
で減湿した後、適宜加熱、冷却した後、低露点空間Ｓに
供給する。３段目のロータ３１の減湿区域３１ａを出た
空気の一部は、パージ区域３１ｃに導入され、その後再
生区域３１ｂに導入される。再生区域３１ｂを出た空気
は依然として低湿であるから、２段目のロータ２１の再
生用に使用される。ロータ２１の能力は向上している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、目的空間に低露点
空気を供給するために用いる減湿システムに関るものあ
り、特に回転自在なロータ内に処理空気を通過させて当
該処理空気を減湿させる乾式減湿装置を用いた乾式減湿
システムに関するものである。
空気を供給するために用いる減湿システムに関るものあ
り、特に回転自在なロータ内に処理空気を通過させて当
該処理空気を減湿させる乾式減湿装置を用いた乾式減湿
システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に用いられる空気を減湿する方法に
は冷却減湿の方法があるが、冷却減湿では露点が−５℃
以上の空気しかできず、低露点（−５０℃以下）には対
応できない。そこでこのような低露点の空気を供給する
空調機には、回転式のロータを用いた乾式減湿機が使用
されている。乾式減湿装置は、塩化リチウムや塩化カル
シウムなどの吸収液を含浸させたハニカム状のロータ
や、シリカゲル、ゼオライトなどの吸着材で構成したロ
ータを備え、このロータの端面に位置する空気の通過
域、すなわち例えばロータの端面に配置するチャンバ等
の仕切りによる空気の通過区域を減湿区域と再生区域と
に仕切り、ロータを回転させながら減湿区域に処理空気
を通過させて乾燥空気を作り出すと共に、再生区域に高
温の再生空気を通過させることによって、前記吸着材中
の水分を再生空気中に蒸発させて、連続的に減湿処理を
行うように構成されている。
は冷却減湿の方法があるが、冷却減湿では露点が−５℃
以上の空気しかできず、低露点（−５０℃以下）には対
応できない。そこでこのような低露点の空気を供給する
空調機には、回転式のロータを用いた乾式減湿機が使用
されている。乾式減湿装置は、塩化リチウムや塩化カル
シウムなどの吸収液を含浸させたハニカム状のロータ
や、シリカゲル、ゼオライトなどの吸着材で構成したロ
ータを備え、このロータの端面に位置する空気の通過
域、すなわち例えばロータの端面に配置するチャンバ等
の仕切りによる空気の通過区域を減湿区域と再生区域と
に仕切り、ロータを回転させながら減湿区域に処理空気
を通過させて乾燥空気を作り出すと共に、再生区域に高
温の再生空気を通過させることによって、前記吸着材中
の水分を再生空気中に蒸発させて、連続的に減湿処理を
行うように構成されている。
【０００３】この場合、ロータが高温の状態で減湿区域
に移行すると、処理空気が減湿しないままロータを通過
して露点を上昇させるので、低湿度に制御された空間か
らの空気など、低温の空気を通過させてロータを冷却す
るためのパージ区域が再生区域と減湿区域との間に設定
されていることがある。
に移行すると、処理空気が減湿しないままロータを通過
して露点を上昇させるので、低湿度に制御された空間か
らの空気など、低温の空気を通過させてロータを冷却す
るためのパージ区域が再生区域と減湿区域との間に設定
されていることがある。
【０００４】このような回転式のロータを用いた減湿装
置で低露点を得る場合、１段、すなわち単独では、露点
温度を下げるのに限界があるため、より低露点を得る場
合には、２段式、すなわち２台の乾式減湿装置を直列系
統接続して運転する方法が知られている。また、１段の
ロータを用いて、ダクト接続を工夫することで、単段の
減湿装置で低露点を得ている例も特開平１−１９９６２
１号公報に開示されている。しかしながらこれらの装置
で得られる最も低い露点温度は−８０℃程度である。す
なわちこれまでは、回転式のロータを用いた乾式減湿装
置を用いても、−８０℃以下の露点温度の実現は不可能
であった。
置で低露点を得る場合、１段、すなわち単独では、露点
温度を下げるのに限界があるため、より低露点を得る場
合には、２段式、すなわち２台の乾式減湿装置を直列系
統接続して運転する方法が知られている。また、１段の
ロータを用いて、ダクト接続を工夫することで、単段の
減湿装置で低露点を得ている例も特開平１−１９９６２
１号公報に開示されている。しかしながらこれらの装置
で得られる最も低い露点温度は−８０℃程度である。す
なわちこれまでは、回転式のロータを用いた乾式減湿装
置を用いても、−８０℃以下の露点温度の実現は不可能
であった。
【０００５】そこでそれ以下の低露点、すなわち−８０
℃以下のいわゆる超低露点空気を得る方法としては、圧
力スイング減湿方式と呼ばれている吸着塔を用いる方法
が知られている。これは原料空気を圧縮機によって圧縮
して当該空気中のドレンを一旦除去し、その後吸着剤を
収納した吸着塔を通過させる方法である。この方法を利
用したものの一例として深冷分離プラントの前処理装置
を利用した方法によれば、水分濃度を１０〜２０ｐｐｂ
（露点温度が−１０１℃〜−９８℃）にまで下げること
が可能であった。
℃以下のいわゆる超低露点空気を得る方法としては、圧
力スイング減湿方式と呼ばれている吸着塔を用いる方法
が知られている。これは原料空気を圧縮機によって圧縮
して当該空気中のドレンを一旦除去し、その後吸着剤を
収納した吸着塔を通過させる方法である。この方法を利
用したものの一例として深冷分離プラントの前処理装置
を利用した方法によれば、水分濃度を１０〜２０ｐｐｂ
（露点温度が−１０１℃〜−９８℃）にまで下げること
が可能であった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら前記圧力
スイング減湿方式では、最初に空気を圧縮するための大
きな動力が必要となり、しかも吸着塔の吸着剤の再生に
別途精製空気を使用しているため、消費エネルギが多
く、また設備機器が肥大化し、ランニングコストも非常
に大きい。
スイング減湿方式では、最初に空気を圧縮するための大
きな動力が必要となり、しかも吸着塔の吸着剤の再生に
別途精製空気を使用しているため、消費エネルギが多
く、また設備機器が肥大化し、ランニングコストも非常
に大きい。
【０００７】本発明は、かかる点に鑑みてなされたもの
であり、−８０℃以下の超低露点を従来よりも少ないエ
ネルギ消費の下で実現する新しい乾式減湿システムを提
供して問題の解決を図ることをその目的としている。
であり、−８０℃以下の超低露点を従来よりも少ないエ
ネルギ消費の下で実現する新しい乾式減湿システムを提
供して問題の解決を図ることをその目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項１によれば、目的空間に低露点空気を供給す
るために用いる減湿システムであって、回転自在なロー
タ内に処理空気を通過させて当該処理空気を減湿させる
乾式減湿装置を３段直列に系統接続して、１段目の乾式
減湿装置で減湿させた空気を２段目の乾式減湿装置で減
湿し、２段目の乾式減湿装置で減湿させた空気を３段目
の乾式減湿装置で減湿するように構成され、さらに２段
目及び３段目の各乾式減湿装置における各ロータの端面
側に位置する空気の通過域は、少なくとも減湿区域と再
生区域とパージ区域とに仕切られて、ロータの回転によ
って再生区域から減湿区域に移行する前にパージ区域が
位置するように構成され、２段目の乾式減湿装置のロー
タの減湿区域を通過した空気の一部は、当該２段目の乾
式減湿装置のロータのパージ区域に導入されるように構
成されると共に、当該パージ区域を通過した空気は、２
段目の乾式減湿装置のロータの再生区域を通過した空気
と混合されて前記１段目の乾式減湿装置のロータの再生
区域に導入するように構成され、３段目の乾式減湿装置
のロータの減湿区域を通過した空気の一部は、当該３段
目の乾式減湿装置のロータのパージ区域に導入されるよ
うに構成されると共に、当該パージ区域を通過した空気
は、当該３段目の乾式減湿装置のロータの再生区域に導
入されるように構成され、さらに３段目の乾式減湿装置
の当該ロータの再生区域を通過した空気は、前記２段目
の乾式減湿装置のロータの再生区域に導入されるように
構成されたことを特徴とする、乾式減湿システムが提供
される。
め、請求項１によれば、目的空間に低露点空気を供給す
るために用いる減湿システムであって、回転自在なロー
タ内に処理空気を通過させて当該処理空気を減湿させる
乾式減湿装置を３段直列に系統接続して、１段目の乾式
減湿装置で減湿させた空気を２段目の乾式減湿装置で減
湿し、２段目の乾式減湿装置で減湿させた空気を３段目
の乾式減湿装置で減湿するように構成され、さらに２段
目及び３段目の各乾式減湿装置における各ロータの端面
側に位置する空気の通過域は、少なくとも減湿区域と再
生区域とパージ区域とに仕切られて、ロータの回転によ
って再生区域から減湿区域に移行する前にパージ区域が
位置するように構成され、２段目の乾式減湿装置のロー
タの減湿区域を通過した空気の一部は、当該２段目の乾
式減湿装置のロータのパージ区域に導入されるように構
成されると共に、当該パージ区域を通過した空気は、２
段目の乾式減湿装置のロータの再生区域を通過した空気
と混合されて前記１段目の乾式減湿装置のロータの再生
区域に導入するように構成され、３段目の乾式減湿装置
のロータの減湿区域を通過した空気の一部は、当該３段
目の乾式減湿装置のロータのパージ区域に導入されるよ
うに構成されると共に、当該パージ区域を通過した空気
は、当該３段目の乾式減湿装置のロータの再生区域に導
入されるように構成され、さらに３段目の乾式減湿装置
の当該ロータの再生区域を通過した空気は、前記２段目
の乾式減湿装置のロータの再生区域に導入されるように
構成されたことを特徴とする、乾式減湿システムが提供
される。
【０００９】かかる構成の乾式減湿システムでは、乾式
減湿装置を３段に直列に系統接続して、１段目の乾式減
湿装置で減湿させた空気を２段目の乾式減湿装置で減湿
し、さらにその後３段目の乾式減湿装置で減湿するよう
にしたので、−８０℃以下の超低露点の空気を製造する
ことが可能である。しかも単に３段の乾式減湿装置を直
列に接続しただけではなく、２段目の乾式減湿装置のロ
ータの減湿区域を通過した空気の一部を、当該２段目の
乾式減湿装置のロータのパージ区域に導入すると共に、
当該パージ区域を通過した空気を、２段目の乾式減湿装
置のロータの再生区域を通過した空気と混合して１段目
の乾式減湿装置のロータの再生区域に導入し、さらに３
段目の乾式減湿装置のロータの減湿区域を通過した空気
の一部を、当該３段目の乾式減湿装置のロータのパージ
区域に導入すると共に、当該パージ区域を通過した空気
を、当該３段目の乾式減湿装置のロータの再生区域に導
入するようにしたので、再生空気を加熱するためのヒー
タの容量を小さくすることができる。そのうえ２段目の
乾式減湿装置のロータの再生に使用する空気の湿度は、
従来よりも低くなっているので、２段目の乾式減湿装置
のロータ自体の能力が向上している。したがってこの点
からも超低露点空気を省エネルギの下で製造することが
可能である。
減湿装置を３段に直列に系統接続して、１段目の乾式減
湿装置で減湿させた空気を２段目の乾式減湿装置で減湿
し、さらにその後３段目の乾式減湿装置で減湿するよう
にしたので、−８０℃以下の超低露点の空気を製造する
ことが可能である。しかも単に３段の乾式減湿装置を直
列に接続しただけではなく、２段目の乾式減湿装置のロ
ータの減湿区域を通過した空気の一部を、当該２段目の
乾式減湿装置のロータのパージ区域に導入すると共に、
当該パージ区域を通過した空気を、２段目の乾式減湿装
置のロータの再生区域を通過した空気と混合して１段目
の乾式減湿装置のロータの再生区域に導入し、さらに３
段目の乾式減湿装置のロータの減湿区域を通過した空気
の一部を、当該３段目の乾式減湿装置のロータのパージ
区域に導入すると共に、当該パージ区域を通過した空気
を、当該３段目の乾式減湿装置のロータの再生区域に導
入するようにしたので、再生空気を加熱するためのヒー
タの容量を小さくすることができる。そのうえ２段目の
乾式減湿装置のロータの再生に使用する空気の湿度は、
従来よりも低くなっているので、２段目の乾式減湿装置
のロータ自体の能力が向上している。したがってこの点
からも超低露点空気を省エネルギの下で製造することが
可能である。
【００１０】かかる請求項１の乾式減湿システムにおい
ては、２段目の乾式減湿装置のロータのパージ区域を通
過した空気を、２段目の乾式減湿装置のロータの再生区
域を通過した空気と混合した後、これを前記１段目の乾
式減湿装置のロータの再生区域に導入するように構成し
ていたが、これに代えて請求項２に記載したように、混
合した空気の一部を前記１段目の乾式減湿装置のロータ
の再生区域に導入し、残りの一部は再び２段目の乾式減
湿装置のロータの再生区域に導入するように構成しても
よい。このようにすることで、２段目の乾式減湿装置の
ロータの再生風量が増大し、その能力がさらに向上す
る。
ては、２段目の乾式減湿装置のロータのパージ区域を通
過した空気を、２段目の乾式減湿装置のロータの再生区
域を通過した空気と混合した後、これを前記１段目の乾
式減湿装置のロータの再生区域に導入するように構成し
ていたが、これに代えて請求項２に記載したように、混
合した空気の一部を前記１段目の乾式減湿装置のロータ
の再生区域に導入し、残りの一部は再び２段目の乾式減
湿装置のロータの再生区域に導入するように構成しても
よい。このようにすることで、２段目の乾式減湿装置の
ロータの再生風量が増大し、その能力がさらに向上す
る。
【００１１】請求項３によれば、目的空間に低露点空気
を供給するために用いる減湿システムであって、回転自
在なロータ内に処理空気を通過させて当該処理空気を減
湿させる乾式減湿装置を３段直列に系統接続して、１段
目の乾式減湿装置で減湿させた空気を２段目の乾式減湿
装置で減湿し、２段目の乾式減湿装置で減湿させた空気
を３段目の乾式減湿装置で減湿するように構成され、さ
らに２段目及び３段目の各乾式減湿装置における各ロー
タの端面側に位置する空気の通過域は、少なくとも減湿
区域と再生区域とパージ区域とに仕切られて、ロータの
回転によって再生区域から減湿区域に移行する前にパー
ジ区域が位置するように構成され、２段目の乾式減湿装
置のロータの減湿区域を通過した空気の一部は、当該２
段目の乾式減湿装置のロータのパージ区域に導入される
ように構成されると共に、当該パージ区域を通過した空
気は、２段目の乾式減湿装置のロータの再生区域に導入
するように構成され、さらに当該２段目の乾式減湿装置
のロータの再生区域を通過した空気は、前記１段目の乾
式減湿装置のロータの再生区域に導入するように構成さ
れ、３段目の乾式減湿装置のロータの減湿区域を通過し
た空気の一部は、当該３段目の乾式減湿装置のロータの
パージ区域に導入されるように構成されると共に、当該
パージ区域を通過した空気は、当該３段目の乾式減湿装
置のロータの再生区域に導入されるように構成され、さ
らに３段目の乾式減湿装置の当該ロータの再生区域を通
過した空気は、前記２段目の乾式減湿装置のロータの再
生区域に導入されるように構成されたことを特徴とす
る、乾式減湿システムが提供される。
を供給するために用いる減湿システムであって、回転自
在なロータ内に処理空気を通過させて当該処理空気を減
湿させる乾式減湿装置を３段直列に系統接続して、１段
目の乾式減湿装置で減湿させた空気を２段目の乾式減湿
装置で減湿し、２段目の乾式減湿装置で減湿させた空気
を３段目の乾式減湿装置で減湿するように構成され、さ
らに２段目及び３段目の各乾式減湿装置における各ロー
タの端面側に位置する空気の通過域は、少なくとも減湿
区域と再生区域とパージ区域とに仕切られて、ロータの
回転によって再生区域から減湿区域に移行する前にパー
ジ区域が位置するように構成され、２段目の乾式減湿装
置のロータの減湿区域を通過した空気の一部は、当該２
段目の乾式減湿装置のロータのパージ区域に導入される
ように構成されると共に、当該パージ区域を通過した空
気は、２段目の乾式減湿装置のロータの再生区域に導入
するように構成され、さらに当該２段目の乾式減湿装置
のロータの再生区域を通過した空気は、前記１段目の乾
式減湿装置のロータの再生区域に導入するように構成さ
れ、３段目の乾式減湿装置のロータの減湿区域を通過し
た空気の一部は、当該３段目の乾式減湿装置のロータの
パージ区域に導入されるように構成されると共に、当該
パージ区域を通過した空気は、当該３段目の乾式減湿装
置のロータの再生区域に導入されるように構成され、さ
らに３段目の乾式減湿装置の当該ロータの再生区域を通
過した空気は、前記２段目の乾式減湿装置のロータの再
生区域に導入されるように構成されたことを特徴とす
る、乾式減湿システムが提供される。
【００１２】この請求項３の乾式減湿システムにおいて
は、２段目の乾式減湿装置のロータの当該パージ区域を
通過した空気を全て、２段目の乾式減湿装置のロータの
再生区域に導入するように構成しているので、請求項
１、２の場合よりも、さらに露点温度の低い空気を再生
用に使用でき、２段目の乾式減湿装置のロータの再生能
力がさらに向上している。
は、２段目の乾式減湿装置のロータの当該パージ区域を
通過した空気を全て、２段目の乾式減湿装置のロータの
再生区域に導入するように構成しているので、請求項
１、２の場合よりも、さらに露点温度の低い空気を再生
用に使用でき、２段目の乾式減湿装置のロータの再生能
力がさらに向上している。
【００１３】請求項４の乾式減湿システムは、前記請求
項１の乾式減湿システムにおいて３段目の乾式減湿装置
のロータのパージ区域を通過したパージ空気をロータの
再生区域に導入することにしていたのに代えて、３段目
の乾式減湿装置のロータの減湿区域を通過した空気の一
部をも当該ロータの再生区域に導き、パージ区域と当該
再生区域を通過した空気を混合して、２段目の乾式減湿
装置のロータの再生区域に導入するようにしたものであ
る。かかる構成によれば、２段目、１段目の乾式減湿装
置の各ロータの再生に用いる再生空気の量を多くするこ
とができる。
項１の乾式減湿システムにおいて３段目の乾式減湿装置
のロータのパージ区域を通過したパージ空気をロータの
再生区域に導入することにしていたのに代えて、３段目
の乾式減湿装置のロータの減湿区域を通過した空気の一
部をも当該ロータの再生区域に導き、パージ区域と当該
再生区域を通過した空気を混合して、２段目の乾式減湿
装置のロータの再生区域に導入するようにしたものであ
る。かかる構成によれば、２段目、１段目の乾式減湿装
置の各ロータの再生に用いる再生空気の量を多くするこ
とができる。
【００１４】またこの請求項４の乾式減湿システムにお
いて、さらに請求項５に記載したように、２段目の乾式
減湿装置のロータのパージ区域を通過した空気を、２段
目の乾式減湿装置のロータの再生区域を通過した空気と
混合した後、当該混合した空気の一部を１段目の乾式減
湿装置のロータの再生区域に導入すると共に、残りの一
部は２段目の乾式減湿装置のロータの再生区域に導入す
るようにしてもよい。かかる構成にすることで、２段目
の乾式減湿装置のロータの再生風量が増大し、その能力
が向上する。
いて、さらに請求項５に記載したように、２段目の乾式
減湿装置のロータのパージ区域を通過した空気を、２段
目の乾式減湿装置のロータの再生区域を通過した空気と
混合した後、当該混合した空気の一部を１段目の乾式減
湿装置のロータの再生区域に導入すると共に、残りの一
部は２段目の乾式減湿装置のロータの再生区域に導入す
るようにしてもよい。かかる構成にすることで、２段目
の乾式減湿装置のロータの再生風量が増大し、その能力
が向上する。
【００１５】以上の構成にかかる各乾式減湿システムに
おいて、請求項６に記載したように、目的空間からの還
気の露点温度に応じて、当該還気を１段目、２段目又は
３段目の乾式減湿装置のロータの減湿区域の入口側に戻
すように構成してもよい。かかるシステム構成にする
と、外気など原料空気の取り入れ量を低減させることが
でき、しかもより少ないエネルギで−８０℃以下の超低
露点空気を効率よく製造することができる。そのうえ還
気の露点温度に応じて戻すロータを選択させているの
で、常に効率のよい運転を実施することができる。
おいて、請求項６に記載したように、目的空間からの還
気の露点温度に応じて、当該還気を１段目、２段目又は
３段目の乾式減湿装置のロータの減湿区域の入口側に戻
すように構成してもよい。かかるシステム構成にする
と、外気など原料空気の取り入れ量を低減させることが
でき、しかもより少ないエネルギで−８０℃以下の超低
露点空気を効率よく製造することができる。そのうえ還
気の露点温度に応じて戻すロータを選択させているの
で、常に効率のよい運転を実施することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の好
ましい実施の形態を説明する。図１は、第１の実施の形
態にかかる乾式減湿システムの系統の概略を示してお
り、この乾式減湿システムは、目的とする低露点空間Ｓ
に−８０℃以下の超低露点の空気を供給するシステムと
して構成されている。
ましい実施の形態を説明する。図１は、第１の実施の形
態にかかる乾式減湿システムの系統の概略を示してお
り、この乾式減湿システムは、目的とする低露点空間Ｓ
に−８０℃以下の超低露点の空気を供給するシステムと
して構成されている。
【００１７】原料空気としての外気ＯＡは処理系統ダク
ト１に導かれ、まず外気処理クーラ２によって冷却減湿
される。冷却減湿された空気はその後、この外気処理ク
ーラ２で冷却された、１段目の乾式減湿装置１０のロー
タ１１のパージ区域１１ｃを通過したパージ空気と混合
される。
ト１に導かれ、まず外気処理クーラ２によって冷却減湿
される。冷却減湿された空気はその後、この外気処理ク
ーラ２で冷却された、１段目の乾式減湿装置１０のロー
タ１１のパージ区域１１ｃを通過したパージ空気と混合
される。
【００１８】乾式減湿装置１０は、図２、図３に示した
ように、回転するロータ１１の両端面にチャンバ１２、
１３が配置された構成を有している。ロータ１１の端面
は、図３中の矢印に示したロータ１１の回転方向順に、
処理区域である減湿区域１１ａ、再生区域１１ｂ、パー
ジ区域１１ｃの３つの空気通過区域に区画されている。
そしてチャンバ１２の外側端面には、これら各区域に対
応して、ダクトなどに接続するための減湿入口１２ａ、
再生出口１２ｂ、パージ出口１２ｃが形成されている。
なおチャンバ１３の外方端面にも、前記３つの区域に対
応して減湿出口、再生入口、パージ入口が各々形成され
ている（いずれも図示せず）。この乾式減湿装置１０の
ロータ１１内には、塩化リチウム、シリカゲル、ゼオラ
イトなどの吸湿材が収納されている。
ように、回転するロータ１１の両端面にチャンバ１２、
１３が配置された構成を有している。ロータ１１の端面
は、図３中の矢印に示したロータ１１の回転方向順に、
処理区域である減湿区域１１ａ、再生区域１１ｂ、パー
ジ区域１１ｃの３つの空気通過区域に区画されている。
そしてチャンバ１２の外側端面には、これら各区域に対
応して、ダクトなどに接続するための減湿入口１２ａ、
再生出口１２ｂ、パージ出口１２ｃが形成されている。
なおチャンバ１３の外方端面にも、前記３つの区域に対
応して減湿出口、再生入口、パージ入口が各々形成され
ている（いずれも図示せず）。この乾式減湿装置１０の
ロータ１１内には、塩化リチウム、シリカゲル、ゼオラ
イトなどの吸湿材が収納されている。
【００１９】前記したように、１段目の乾式減湿装置１
０のロータ１１のパージ空気と混合された空気は、外気
処理ファン３によって、前記１段目の乾式減湿装置１０
のロータ１１の減湿区域１１ａを通って、例えば、露点
温度が−３５℃まで減湿されるようになっている。
０のロータ１１のパージ空気と混合された空気は、外気
処理ファン３によって、前記１段目の乾式減湿装置１０
のロータ１１の減湿区域１１ａを通って、例えば、露点
温度が−３５℃まで減湿されるようになっている。
【００２０】１段目の乾式減湿装置１０のロータ１１の
減湿区域１１ａを通過した空気は、処理ファン４に導か
れ、プレクーラ５によって冷却された後、２段目の乾式
減湿装置２０のロータ２１の減湿区域２１ａに導かれ
る。またロータ１１の減湿区域１１ａを通過した空気の
一部は、パージ空気としてパージ区域１１ｃに導入さ
れ、前記したように、外気処理クーラ２で冷却された後
外気ＯＡと混合されるようになっている。
減湿区域１１ａを通過した空気は、処理ファン４に導か
れ、プレクーラ５によって冷却された後、２段目の乾式
減湿装置２０のロータ２１の減湿区域２１ａに導かれ
る。またロータ１１の減湿区域１１ａを通過した空気の
一部は、パージ空気としてパージ区域１１ｃに導入さ
れ、前記したように、外気処理クーラ２で冷却された後
外気ＯＡと混合されるようになっている。
【００２１】２段目の乾式減湿装置２０は１段目の乾式
減湿装置１０と基本的に同一の構成を有し、ロータ２１
の端面は、ロータ２１の回転方向順に、処理区域である
減湿区域２１ａ、再生区域２１ｂ、パージ区域２１ｃの
３つの空気通過区域に区画されている。この２段目の乾
式減湿装置２０のロータ２１の減湿区域２１ａを通過し
た空気は、例えば、その露点温度が−７５℃の低露点の
空気にまで減湿されるようになっている。
減湿装置１０と基本的に同一の構成を有し、ロータ２１
の端面は、ロータ２１の回転方向順に、処理区域である
減湿区域２１ａ、再生区域２１ｂ、パージ区域２１ｃの
３つの空気通過区域に区画されている。この２段目の乾
式減湿装置２０のロータ２１の減湿区域２１ａを通過し
た空気は、例えば、その露点温度が−７５℃の低露点の
空気にまで減湿されるようになっている。
【００２２】２段目の乾式減湿装置２０のロータ２１の
減湿区域２１ａを通過した空気は、その後、処理ファン
６に導かれ、プレクーラ７によって冷却された後、今度
は３段目の乾式減湿装置３０のロータ３１の減湿区域３
１ａに導かれる。この３段目の乾式減湿装置３０も前記
した１段目の乾式減湿装置１０と基本的に同一の構成を
有し、ロータ３１の端面が、ロータ３１の回転方向順
に、処理区域である減湿区域３１ａ、再生区域３１ｂ、
パージ区域３１ｃの３つの空気通過区域に区画されてい
る。そしてこの３段目の乾式減湿装置３０のロータ３１
の減湿区域３１ａを通過した空気は、−９０℃〜−１１
０℃の超低露点にまで減湿されるようになっている。
減湿区域２１ａを通過した空気は、その後、処理ファン
６に導かれ、プレクーラ７によって冷却された後、今度
は３段目の乾式減湿装置３０のロータ３１の減湿区域３
１ａに導かれる。この３段目の乾式減湿装置３０も前記
した１段目の乾式減湿装置１０と基本的に同一の構成を
有し、ロータ３１の端面が、ロータ３１の回転方向順
に、処理区域である減湿区域３１ａ、再生区域３１ｂ、
パージ区域３１ｃの３つの空気通過区域に区画されてい
る。そしてこの３段目の乾式減湿装置３０のロータ３１
の減湿区域３１ａを通過した空気は、−９０℃〜−１１
０℃の超低露点にまで減湿されるようになっている。
【００２３】３段目の乾式減湿装置３０のロータ３１の
減湿区域３１ａを通過した空気は、必要に応じて加熱コ
イル（図示せず）によって加熱したり、あるいは冷却コ
イル（図示せず）によって冷却するなどして所期の温度
に設定された後、給気ダクト８を通じて給気ＳＡとし
て、低露点空間Ｓに搬送される。
減湿区域３１ａを通過した空気は、必要に応じて加熱コ
イル（図示せず）によって加熱したり、あるいは冷却コ
イル（図示せず）によって冷却するなどして所期の温度
に設定された後、給気ダクト８を通じて給気ＳＡとし
て、低露点空間Ｓに搬送される。
【００２４】前記３段目の乾式減湿装置３０のロータ３
１の減湿区域３１ａを通過した超低露点空気の一部は、
パージ系統還気ダクト９を通って、ロータ３１のパージ
区域３１ｃへと導かれる。この超低露点空気によってロ
ータ３１の冷却が行われる。ロータ３１のパージ区域３
１ｃを通過したパージ空気は、再生系統として熱回収が
行われ、再生ヒータ４１で加熱された後、再生ファン４
２によりロータ３１の再生区域３１ｂに導かれ、これに
よってロータ３１の再生が行われるようになっている。
１の減湿区域３１ａを通過した超低露点空気の一部は、
パージ系統還気ダクト９を通って、ロータ３１のパージ
区域３１ｃへと導かれる。この超低露点空気によってロ
ータ３１の冷却が行われる。ロータ３１のパージ区域３
１ｃを通過したパージ空気は、再生系統として熱回収が
行われ、再生ヒータ４１で加熱された後、再生ファン４
２によりロータ３１の再生区域３１ｂに導かれ、これに
よってロータ３１の再生が行われるようになっている。
【００２５】３段目の乾式減湿装置３０のロータ３１の
再生区域３１ｂを通過した空気は、低湿かつ高温である
ため、後述のように、２段目の乾式減湿装置２０のロー
タ２１の再生に利用することができる。
再生区域３１ｂを通過した空気は、低湿かつ高温である
ため、後述のように、２段目の乾式減湿装置２０のロー
タ２１の再生に利用することができる。
【００２６】一方、２段目の乾式減湿装置２０のロータ
２１の減湿区域２１ａを通過した低露点の空気の一部
は、パージ系統還気ダクト４３を通じてロータ２１のパ
ージ区域２１ｃへと導かれ、ここでロータ２１の冷却が
行われる。そしてこのパージ区域２１ｃを通過したパー
ジ空気は、ロータ２１の出口で比較的高温になるため、
熱回収して、２段目の再生系統に導かれる。
２１の減湿区域２１ａを通過した低露点の空気の一部
は、パージ系統還気ダクト４３を通じてロータ２１のパ
ージ区域２１ｃへと導かれ、ここでロータ２１の冷却が
行われる。そしてこのパージ区域２１ｃを通過したパー
ジ空気は、ロータ２１の出口で比較的高温になるため、
熱回収して、２段目の再生系統に導かれる。
【００２７】すなわち２段目の乾式減湿装置２０のロー
タ２１のパージ区域２１ｃを通過した空気は、再生区域
２１ｂを通過した再生空気と混合された後、３段目の乾
式減湿装置３０のロータ３１の再生区域３１ｂを通過し
た再生空気と混合されて、一旦再生ヒータ４４で加熱さ
れ、再生ファン４５によって２段目の乾式減湿装置２０
のロータ２１の再生区域２１ｂに導かれて、ロータ２１
の再生に利用されるようになっている。このようにする
と、２段目の再生ヒータ４の容量が小さくできると共
に、再生に用いる空気の湿度が、従前の２段式の場合よ
りも低くできるため、２段目の乾式減湿装置２０のロー
タ２１の能力が向上する。
タ２１のパージ区域２１ｃを通過した空気は、再生区域
２１ｂを通過した再生空気と混合された後、３段目の乾
式減湿装置３０のロータ３１の再生区域３１ｂを通過し
た再生空気と混合されて、一旦再生ヒータ４４で加熱さ
れ、再生ファン４５によって２段目の乾式減湿装置２０
のロータ２１の再生区域２１ｂに導かれて、ロータ２１
の再生に利用されるようになっている。このようにする
と、２段目の再生ヒータ４の容量が小さくできると共
に、再生に用いる空気の湿度が、従前の２段式の場合よ
りも低くできるため、２段目の乾式減湿装置２０のロー
タ２１の能力が向上する。
【００２８】２段目の乾式減湿装置２０のロータ２１の
再生区域２１ｂを通過して出口からでた空気は、再生ヒ
ータ４６で再度加熱され、再生ファン４７によって１段
目の乾式減湿装置１０のロータ１１の再生区域１１ｂに
導かれ、ロータ１１の再生に用いられ、その後排気ＥＡ
として排出される。一方既述したロータ１１のパージ区
域１１ｃを通過したパージ空気は、出口温度が比較的低
温で低湿度の空気であるため、パージダクト４８を通じ
て、外気処理クーラ２の一部を使って再度冷却されて、
処理用の空気として用いられる。なお図１におけるＤ1
〜Ｄ4は、風量を調節するためにダクト中に適宜介装さ
れたダンパである。
再生区域２１ｂを通過して出口からでた空気は、再生ヒ
ータ４６で再度加熱され、再生ファン４７によって１段
目の乾式減湿装置１０のロータ１１の再生区域１１ｂに
導かれ、ロータ１１の再生に用いられ、その後排気ＥＡ
として排出される。一方既述したロータ１１のパージ区
域１１ｃを通過したパージ空気は、出口温度が比較的低
温で低湿度の空気であるため、パージダクト４８を通じ
て、外気処理クーラ２の一部を使って再度冷却されて、
処理用の空気として用いられる。なお図１におけるＤ1
〜Ｄ4は、風量を調節するためにダクト中に適宜介装さ
れたダンパである。
【００２９】なお低露点空間Ｓからの還気ＲＡ1、ＲＡ
2、ＲＡ3は、各々対応する還気ダクト５１、５２、５３
によって、それぞれ導入外気ＯＡと混合されたり、１段
目の乾式減湿装置１０の減湿区域１１ａで減湿された空
気と混合されたり、さらに２段目の乾式減湿装置２０の
減湿区域２１ａで減湿された空気と混合されて、各ロー
タ１１、２１、３１の減湿区域へと導入自在である。こ
れらは、ダンパＤ5、Ｄ6、Ｄ7の開閉によって選択され
るようになっている。
2、ＲＡ3は、各々対応する還気ダクト５１、５２、５３
によって、それぞれ導入外気ＯＡと混合されたり、１段
目の乾式減湿装置１０の減湿区域１１ａで減湿された空
気と混合されたり、さらに２段目の乾式減湿装置２０の
減湿区域２１ａで減湿された空気と混合されて、各ロー
タ１１、２１、３１の減湿区域へと導入自在である。こ
れらは、ダンパＤ5、Ｄ6、Ｄ7の開閉によって選択され
るようになっている。
【００３０】第１の実施の形態にかかる減湿処理システ
ムは、以上のように構成されており、既述したように、
外気処理クーラ２によって冷却減湿された後の空気は１
段目の乾式減湿装置１０の減湿区域１１ａで減湿され、
例えば−３５℃まで露点温度が下げられる。次いでプレ
クーラ５によって冷却減湿された後、今度は２段目の乾
式減湿装置２０の減湿区域２１ａによってさらに減湿さ
れ、例えば−７５℃までその露点温度が下げられる。そ
してプレクーラ７によって再度冷却減湿された後、さら
に３段目の乾式減湿装置３０の減湿区域３１ａによっ
て、露点温度が−９０℃〜−１１０℃までさらに下げら
れる。このように超低露点にまで露点温度が下げられた
空気は、その後必要に応じて加熱、冷却処理によって温
度が調整された後、目的の低露点空間Ｓに給気ＳＡとし
て供給される。
ムは、以上のように構成されており、既述したように、
外気処理クーラ２によって冷却減湿された後の空気は１
段目の乾式減湿装置１０の減湿区域１１ａで減湿され、
例えば−３５℃まで露点温度が下げられる。次いでプレ
クーラ５によって冷却減湿された後、今度は２段目の乾
式減湿装置２０の減湿区域２１ａによってさらに減湿さ
れ、例えば−７５℃までその露点温度が下げられる。そ
してプレクーラ７によって再度冷却減湿された後、さら
に３段目の乾式減湿装置３０の減湿区域３１ａによっ
て、露点温度が−９０℃〜−１１０℃までさらに下げら
れる。このように超低露点にまで露点温度が下げられた
空気は、その後必要に応じて加熱、冷却処理によって温
度が調整された後、目的の低露点空間Ｓに給気ＳＡとし
て供給される。
【００３１】したがって、これまで不可能であった、ロ
ータを用いた乾式減湿装置を用いたシステムであって
も、そのような−８０℃以下の超低露点を実現できる。
ータを用いた乾式減湿装置を用いたシステムであって
も、そのような−８０℃以下の超低露点を実現できる。
【００３２】前記第１の実施形態にかかるシステム構成
を用いて実験したところ次のような結果が得られた。但
し実験に使用した１段目、２段目、３段目の各乾式減湿
装置の各ロータ（いずれもシリカゲルロータ）の端面側
の空気の通過域は、図４〜図６に示したような区域割合
のものを使用した。
を用いて実験したところ次のような結果が得られた。但
し実験に使用した１段目、２段目、３段目の各乾式減湿
装置の各ロータ（いずれもシリカゲルロータ）の端面側
の空気の通過域は、図４〜図６に示したような区域割合
のものを使用した。
【００３３】すなわち１段目の乾式減湿装置１０のロー
タ１１’については、パージ区域を持たない構成とし、
軸方向からみたロータ１１’の端面側の空気の通過域の
割合（面積割合）は、その中心角で示すと、減湿区域１
１’ａが２７０゜、再生区域１１’ｂが９０゜の割合で
あり、ロータ１１’の大きさは、直径３５０mmで厚さが
２００mmのものを使用した。このロータ１１’の定格
は、風量が２ＣＭＭ、処理温度が５℃、再生温度は１２
０℃である。
タ１１’については、パージ区域を持たない構成とし、
軸方向からみたロータ１１’の端面側の空気の通過域の
割合（面積割合）は、その中心角で示すと、減湿区域１
１’ａが２７０゜、再生区域１１’ｂが９０゜の割合で
あり、ロータ１１’の大きさは、直径３５０mmで厚さが
２００mmのものを使用した。このロータ１１’の定格
は、風量が２ＣＭＭ、処理温度が５℃、再生温度は１２
０℃である。
【００３４】２段目の乾式減湿装置２０のロータ２１に
ついては、図５に示したように、軸方向からみたロータ
２１の端面側の空気の通過域の割合の中心角は、減湿区
域２１ａが２７０゜、再生区域２１ｂが６０゜、パージ
区域２１ｃが３０℃の割合であり、ロータ２１の大きさ
は、直径５５０mmで厚さが４００mmのものを使用した。
またその定格は、風量が１６ＣＭＭ、処理温度が５℃、
再生温度は１２０℃である。
ついては、図５に示したように、軸方向からみたロータ
２１の端面側の空気の通過域の割合の中心角は、減湿区
域２１ａが２７０゜、再生区域２１ｂが６０゜、パージ
区域２１ｃが３０℃の割合であり、ロータ２１の大きさ
は、直径５５０mmで厚さが４００mmのものを使用した。
またその定格は、風量が１６ＣＭＭ、処理温度が５℃、
再生温度は１２０℃である。
【００３５】３段目の乾式減湿装置３０のロータ３１に
ついては、図６に示したように、軸方向からみたロータ
３１の端面側の空気の通過域の割合の中心角は、減湿区
域３１ａが２１６゜、再生区域３１ｂが７２゜、パージ
区域３１ｃが７２℃の割合である。ロータ３１の大きさ
は、直径２５０mmで厚さが４００mmのものを使用した。
定格は、風量が２ＣＭＭ、処理温度が５℃、再生温度は
１２０℃である。
ついては、図６に示したように、軸方向からみたロータ
３１の端面側の空気の通過域の割合の中心角は、減湿区
域３１ａが２１６゜、再生区域３１ｂが７２゜、パージ
区域３１ｃが７２℃の割合である。ロータ３１の大きさ
は、直径２５０mmで厚さが４００mmのものを使用した。
定格は、風量が２ＣＭＭ、処理温度が５℃、再生温度は
１２０℃である。
【００３６】かかるロータを使用すると共に、２段目の
乾式減湿装置２０の出口温度を約９０％、２段目の入口
に戻して運転したところ、２段目の乾式減湿装置２０の
出口露点温度が−７０．２℃の空気を用いて運転した結
果、３段目の乾式減湿装置３０出口では、−９８．６℃
の露点温度が得られた。
乾式減湿装置２０の出口温度を約９０％、２段目の入口
に戻して運転したところ、２段目の乾式減湿装置２０の
出口露点温度が−７０．２℃の空気を用いて運転した結
果、３段目の乾式減湿装置３０出口では、−９８．６℃
の露点温度が得られた。
【００３７】しかも３段目の乾式減湿装置３０の減湿区
域３１ａを通過した空気をそのまま全て給気ＳＡとして
使用するのではなく、一部は３段目の乾式減湿装置３０
のロータ３１のパージ区域３１ｃに導入するようにし
て、パージ空気として使用し、さらにパージ区域３１ｃ
を通過した空気は、再生区域３１ｂに導入されて３段目
の乾式減湿装置３０のロータ３１の再生に使用すると共
に、再生後の空気は２段目の再生空気に供するようにし
ているので、２段目の乾式減湿装置２０のロータ２１の
再生に使用する再生ヒータ４４の容量が小さくできる。
域３１ａを通過した空気をそのまま全て給気ＳＡとして
使用するのではなく、一部は３段目の乾式減湿装置３０
のロータ３１のパージ区域３１ｃに導入するようにし
て、パージ空気として使用し、さらにパージ区域３１ｃ
を通過した空気は、再生区域３１ｂに導入されて３段目
の乾式減湿装置３０のロータ３１の再生に使用すると共
に、再生後の空気は２段目の再生空気に供するようにし
ているので、２段目の乾式減湿装置２０のロータ２１の
再生に使用する再生ヒータ４４の容量が小さくできる。
【００３８】そのうえこのように２段目の乾式減湿装置
２０のロータ２１の再生に用いる空気の湿度は、従前の
２段式の場合よりも低いものであるため、再生効果が大
きく、その結果、２段目の乾式減湿装置２０のロータ２
１自体の減湿能力が向上している。したがって前記した
ような超低露点の実現が可能になると共に、運転に要す
るエネルギは、減湿システム全体としてみれば、従来の
この種の超低露点空気の供給システムよりも少なくて済
む。発明者らの試算によれば、従来の吸着塔を用いた減
湿システムと比較すると、同一低露点温度の乾燥空気を
供給する場合、その製造コストを１／３以下にすること
ができる。
２０のロータ２１の再生に用いる空気の湿度は、従前の
２段式の場合よりも低いものであるため、再生効果が大
きく、その結果、２段目の乾式減湿装置２０のロータ２
１自体の減湿能力が向上している。したがって前記した
ような超低露点の実現が可能になると共に、運転に要す
るエネルギは、減湿システム全体としてみれば、従来の
この種の超低露点空気の供給システムよりも少なくて済
む。発明者らの試算によれば、従来の吸着塔を用いた減
湿システムと比較すると、同一低露点温度の乾燥空気を
供給する場合、その製造コストを１／３以下にすること
ができる。
【００３９】また第１の実施形態においては、超低露点
の雰囲気にある低露点空間Ｓからの還気を、還気ダクト
５１、５２、５３を通じて各々１段目の乾式減湿装置１
０、２段目の乾式減湿装置２０、３段目の乾式減湿装置
３０の各ロータ１１、２１、３１の各減湿入口側に戻す
ことができるから、外気ＯＡの取り入れ量を低減させる
ことができる。
の雰囲気にある低露点空間Ｓからの還気を、還気ダクト
５１、５２、５３を通じて各々１段目の乾式減湿装置１
０、２段目の乾式減湿装置２０、３段目の乾式減湿装置
３０の各ロータ１１、２１、３１の各減湿入口側に戻す
ことができるから、外気ＯＡの取り入れ量を低減させる
ことができる。
【００４０】しかもこの場合、ダンパＤ5〜Ｄ7の開閉を
操作して、還気の露点温度に応じて、還気を戻す乾式減
湿装置のロータを選択できる。例えば還気の露点温度が
−７０℃以下のときは、３段目の乾式減湿装置３０のロ
ータ３１の減湿入口側へ、還気の露点温度が−７０℃〜
−３０℃のときは２段目の乾式減湿装置２０のロータ２
１の減湿入口側へ、それより高い露点温度の還気は、１
段目の乾式減湿装置１０のロータ１１の減湿入口側へと
戻すように運転すれば、１段目の乾式減湿装置１０、２
段目の乾式減湿装置２０を大きさを各々小さいものとす
ることができる。その結果設備全体の小型化が図れ、ま
たそれに伴って消費エネルギの低減によるランニングコ
ストの低廉化も実現できる。また常に効率のよい運転を
実施することが可能である。
操作して、還気の露点温度に応じて、還気を戻す乾式減
湿装置のロータを選択できる。例えば還気の露点温度が
−７０℃以下のときは、３段目の乾式減湿装置３０のロ
ータ３１の減湿入口側へ、還気の露点温度が−７０℃〜
−３０℃のときは２段目の乾式減湿装置２０のロータ２
１の減湿入口側へ、それより高い露点温度の還気は、１
段目の乾式減湿装置１０のロータ１１の減湿入口側へと
戻すように運転すれば、１段目の乾式減湿装置１０、２
段目の乾式減湿装置２０を大きさを各々小さいものとす
ることができる。その結果設備全体の小型化が図れ、ま
たそれに伴って消費エネルギの低減によるランニングコ
ストの低廉化も実現できる。また常に効率のよい運転を
実施することが可能である。
【００４１】なお第１の実施形態にかかる乾式減湿シス
テムに対して、さらに図７に示した第２の実施の形態の
ように、再生ファン４５からの空気の一部を、再生ヒー
タ４４の入口側に戻すように、すなわち再生区域２１ｂ
を通過した空気とパージ区域２１ｂを通過した空気との
混合空気の一部を再び再生区域２１ｂに供給するように
してもよい。かかる構成にすれば、２段目の乾式減湿装
置２０のロータ２１の再生風量が増大し、能力が向上す
る。
テムに対して、さらに図７に示した第２の実施の形態の
ように、再生ファン４５からの空気の一部を、再生ヒー
タ４４の入口側に戻すように、すなわち再生区域２１ｂ
を通過した空気とパージ区域２１ｂを通過した空気との
混合空気の一部を再び再生区域２１ｂに供給するように
してもよい。かかる構成にすれば、２段目の乾式減湿装
置２０のロータ２１の再生風量が増大し、能力が向上す
る。
【００４２】また第１の実施形態にかかる乾式減湿シス
テムでは、２段目の乾式減湿装置２０のロータ２１のパ
ージ区域２１ｃを通過した空気を、再生区域２１ｂを通
過した空気と混合し、これを再生ファン４５によって１
段目の乾式減湿装置１０のロータ１１の再生用に使用し
ていたが、これに代えて図８に示した第３の実施の形態
のように、２段目の乾式減湿装置２０のロータ２１のパ
ージ区域２１ｃを通過した空気を、再生ファン４８によ
ってそのまま再生ヒータ４４の入口側へと戻すように
し、さらに再生区域２１ｂを通過した空気は、再生ファ
ン４５によって全て再生ヒータ４６へと供給して、１段
目の乾式減湿装置１０のロータ１１の再生区域１１ｂへ
と導くように構成してもよい。この第３の実施の形態に
かかる乾式減湿システムによれば、２段目の乾式減湿装
置２０のロータ２１の再生能力が向上する。なお図中、
第１の実施形態で使用した符号と同一の符号で示される
機器、部材は、第１の実施形態で使用した同一の機器、
部材を示している。また図８〜図１０に示される各実施
形態にかかるシステムの系統図においては、ダンパの図
示を適宜省略している。
テムでは、２段目の乾式減湿装置２０のロータ２１のパ
ージ区域２１ｃを通過した空気を、再生区域２１ｂを通
過した空気と混合し、これを再生ファン４５によって１
段目の乾式減湿装置１０のロータ１１の再生用に使用し
ていたが、これに代えて図８に示した第３の実施の形態
のように、２段目の乾式減湿装置２０のロータ２１のパ
ージ区域２１ｃを通過した空気を、再生ファン４８によ
ってそのまま再生ヒータ４４の入口側へと戻すように
し、さらに再生区域２１ｂを通過した空気は、再生ファ
ン４５によって全て再生ヒータ４６へと供給して、１段
目の乾式減湿装置１０のロータ１１の再生区域１１ｂへ
と導くように構成してもよい。この第３の実施の形態に
かかる乾式減湿システムによれば、２段目の乾式減湿装
置２０のロータ２１の再生能力が向上する。なお図中、
第１の実施形態で使用した符号と同一の符号で示される
機器、部材は、第１の実施形態で使用した同一の機器、
部材を示している。また図８〜図１０に示される各実施
形態にかかるシステムの系統図においては、ダンパの図
示を適宜省略している。
【００４３】前記第１の実施形態においては、３段目の
乾式減湿装置３０のロータ３１の減湿区域３１ａを通過
した空気の一部をパージ空気として、そのまま全て３段
目のロータ３１の再生用に使用していたが、これに代え
て、図９に示した第４の実施形態にかかる乾式減湿シス
テムのように構成してもよい。
乾式減湿装置３０のロータ３１の減湿区域３１ａを通過
した空気の一部をパージ空気として、そのまま全て３段
目のロータ３１の再生用に使用していたが、これに代え
て、図９に示した第４の実施形態にかかる乾式減湿シス
テムのように構成してもよい。
【００４４】図９に示された第４の実施形態にかかる乾
式減湿システムでは、減湿区域３１ａを通過した空気の
一部をヒータ４１で加熱した後、ロータ３１の再生区域
３１ｂに導き、パージ区域３１ｃと当該再生区域３１ｂ
を通過した空気を混合し、これを２段目の乾式減湿装置
２０のロータ２１の再生区域２１ｂに導入するようにし
て再生用に使用するようにしてもよい。この第２の実施
形態の場合には、２段目のロータ２１、並びに１段目の
ロータ１１の再生に用いる再生空気の量を多くすること
ができる。
式減湿システムでは、減湿区域３１ａを通過した空気の
一部をヒータ４１で加熱した後、ロータ３１の再生区域
３１ｂに導き、パージ区域３１ｃと当該再生区域３１ｂ
を通過した空気を混合し、これを２段目の乾式減湿装置
２０のロータ２１の再生区域２１ｂに導入するようにし
て再生用に使用するようにしてもよい。この第２の実施
形態の場合には、２段目のロータ２１、並びに１段目の
ロータ１１の再生に用いる再生空気の量を多くすること
ができる。
【００４５】またこの第４の実施の形態にかかる乾式減
湿システムにおいて、さらに図１０に示したように、再
生ファン４５からの空気の一部を、再生ヒータ４４の入
口側に戻すように構成した第５の実施形態を構築しても
よい。かかる構成の第５の実施の形態によれば、２段目
の乾式減湿装置２０のロータ２１に対する再生風量が増
大し、能力が向上する。
湿システムにおいて、さらに図１０に示したように、再
生ファン４５からの空気の一部を、再生ヒータ４４の入
口側に戻すように構成した第５の実施形態を構築しても
よい。かかる構成の第５の実施の形態によれば、２段目
の乾式減湿装置２０のロータ２１に対する再生風量が増
大し、能力が向上する。
【００４６】
【発明の効果】請求項１〜６の乾式減湿システムによれ
ば、乾式減湿装置を用いて−８０℃以下の超低露点の空
気を、従来より少ないエネルギ、並びにコンパクトな設
備の下で製造することができる。特に請求項６の場合に
は、還気の露点温度に応じて戻すロータの入口を選択し
ているので、常に効率のよい運転を実施することが可能
である。
ば、乾式減湿装置を用いて−８０℃以下の超低露点の空
気を、従来より少ないエネルギ、並びにコンパクトな設
備の下で製造することができる。特に請求項６の場合に
は、還気の露点温度に応じて戻すロータの入口を選択し
ているので、常に効率のよい運転を実施することが可能
である。
【図１】本発明の第１の実施の形態にかかる乾式減湿シ
ステムの構成の概略を示す説明図である。
ステムの構成の概略を示す説明図である。
【図２】図１の乾式減湿システムに用いた１段目の乾式
減湿装置のロータ部分の斜視図である。
減湿装置のロータ部分の斜視図である。
【図３】図２の乾式減湿装置の軸方向からみた正面図で
ある。
ある。
【図４】実験に用いた１段目の乾式減湿装置のロータの
軸方向からみた説明図である。
軸方向からみた説明図である。
【図５】実験に用いた２段目の乾式減湿装置のロータの
軸方向からみた説明図である。
軸方向からみた説明図である。
【図６】実験に用いた３段目の乾式減湿装置のロータの
軸方向からみた説明図である。
軸方向からみた説明図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態にかかる乾式減湿シ
ステムの構成の概略を示す説明図である。
ステムの構成の概略を示す説明図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態にかかる乾式減湿シ
ステムの構成の概略を示す説明図である。
ステムの構成の概略を示す説明図である。
【図９】本発明の第４の実施の形態にかかる乾式減湿シ
ステムの構成の概略を示す説明図である。
ステムの構成の概略を示す説明図である。
【図１０】本発明の第５の実施の形態にかかる乾式減湿
システムの構成の概略を示す説明図である。
システムの構成の概略を示す説明図である。
１０ 乾式減湿装置（１段目） １１ ロータ １１ａ 減湿区域 １１ｂ 再生区域 １１ｃ パージ区域 ２０ 乾式減湿装置（２段目） ２１ ロータ ２１ａ 減湿区域 ２１ｂ 再生区域 ２１ｃ パージ区域 ３０ 乾式減湿装置（３段目） ３１ ロータ ３１ａ 減湿区域 ３１ｂ 再生区域 ３１ｃ パージ区域 Ｄ1〜Ｄ7 ダンパ Ｓ 低露点空間
Claims (6)
- 【請求項１】 目的空間に低露点空気を供給するために
用いる減湿システムであって、 回転自在なロータ内に処理空気を通過させて当該処理空
気を減湿させる乾式減湿装置を３段直列に系統接続し
て、１段目の乾式減湿装置で減湿させた空気を２段目の
乾式減湿装置で減湿し、２段目の乾式減湿装置で減湿さ
せた空気を３段目の乾式減湿装置で減湿するように構成
され、 さらに２段目及び３段目の各乾式減湿装置における各ロ
ータの端面側に位置する空気の通過域は、少なくとも減
湿区域と再生区域とパージ区域とに仕切られて、ロータ
の回転によって再生区域から減湿区域に移行する前にパ
ージ区域が位置するように構成され、 ２段目の乾式減湿装置のロータの減湿区域を通過した空
気の一部は、当該２段目の乾式減湿装置のロータのパー
ジ区域に導入されるように構成されると共に、当該パー
ジ区域を通過した空気は、２段目の乾式減湿装置のロー
タの再生区域を通過した空気と混合されて前記１段目の
乾式減湿装置のロータの再生区域に導入するように構成
され、 ３段目の乾式減湿装置のロータの減湿区域を通過した空
気の一部は、当該３段目の乾式減湿装置のロータのパー
ジ区域に導入されるように構成されると共に、当該パー
ジ区域を通過した空気は、当該３段目の乾式減湿装置の
ロータの再生区域に導入されるように構成され、さらに
３段目の乾式減湿装置の当該ロータの再生区域を通過し
た空気は、前記２段目の乾式減湿装置のロータの再生区
域に導入されるように構成されたことを特徴とする、乾
式減湿システム。 - 【請求項２】 ２段目の乾式減湿装置のロータのパージ
区域を通過した空気は、２段目の乾式減湿装置のロータ
の再生区域を通過した空気と混合され、当該混合された
空気の一部は前記１段目の乾式減湿装置のロータの再生
区域に導入されるように構成され、残りの一部は２段目
の乾式減湿装置のロータの再生区域に導入されるように
構成されたことを特徴とする、請求項１に記載の乾式減
湿システム。 - 【請求項３】 目的空間に低露点空気を供給するために
用いる減湿システムであって、 回転自在なロータ内に処理空気を通過させて当該処理空
気を減湿させる乾式減湿装置を３段直列に系統接続し
て、１段目の乾式減湿装置で減湿させた空気を２段目の
乾式減湿装置で減湿し、２段目の乾式減湿装置で減湿さ
せた空気を３段目の乾式減湿装置で減湿するように構成
され、 さらに２段目及び３段目の各乾式減湿装置における各ロ
ータの端面側に位置する空気の通過域は、少なくとも減
湿区域と再生区域とパージ区域とに仕切られて、ロータ
の回転によって再生区域から減湿区域に移行する前にパ
ージ区域が位置するように構成され、 ２段目の乾式減湿装置のロータの減湿区域を通過した空
気の一部は、当該２段目の乾式減湿装置のロータのパー
ジ区域に導入されるように構成されると共に、当該パー
ジ区域を通過した空気は、２段目の乾式減湿装置のロー
タの再生区域に導入するように構成され、さらに当該２
段目の乾式減湿装置のロータの再生区域を通過した空気
は、前記１段目の乾式減湿装置のロータの再生区域に導
入するように構成され、 ３段目の乾式減湿装置のロータの減湿区域を通過した空
気の一部は、当該３段目の乾式減湿装置のロータのパー
ジ区域に導入されるように構成されると共に、当該パー
ジ区域を通過した空気は、当該３段目の乾式減湿装置の
ロータの再生区域に導入されるように構成され、さらに
３段目の乾式減湿装置の当該ロータの再生区域を通過し
た空気は、前記２段目の乾式減湿装置のロータの再生区
域に導入されるように構成されたことを特徴とする、乾
式減湿システム。 - 【請求項４】 目的空間に低露点空気を供給するために
用いる減湿システムであって、 回転自在なロータ内に処理空気を通過させて当該処理空
気を減湿させる乾式減湿装置を３段直列に系統接続し
て、１段目の乾式減湿装置で減湿させた空気を２段目の
乾式減湿装置で減湿し、２段目の乾式減湿装置で減湿さ
せた空気を３段目の乾式減湿装置で減湿するように構成
され、 さらに２段目及び３段目の各乾式減湿装置における各ロ
ータの端面側に位置する空気の通過域は、少なくとも減
湿区域と再生区域とパージ区域とに仕切られて、ロータ
の回転によって再生区域から減湿区域に移行する前にパ
ージ区域が位置するように構成され、 ２段目の乾式減湿装置のロータの減湿区域を通過した空
気の一部は、当該ロータのパージ区域に導入されるよう
に構成されると共に、当該パージ区域を通過した空気
は、２段目の乾式減湿装置のロータの再生区域を通過し
た空気と混合されて前記１段目の乾式減湿装置のロータ
の再生区域に導入するように構成され、 ３段目の乾式減湿装置のロータの減湿区域を通過した空
気の一部は、当該ロータのパージ区域に導入されるよう
に構成されると共に、減湿区域を通過した別の空気の一
部は、当該ロータの再生区域に導入され、当該パージ区
域と当該再生区域を通過した空気は混合されて前記２段
目の乾式減湿装置のロータの再生区域に導入されるよう
に構成されたことを特徴とする、乾式減湿システム。 - 【請求項５】 ２段目の乾式減湿装置のロータのパージ
区域を通過した空気は、２段目の乾式減湿装置のロータ
の再生区域を通過した空気と混合され、当該混合された
空気の一部は前記１段目の乾式減湿装置のロータの再生
区域に導入されるように構成され、残りの一部は２段目
の乾式減湿装置のロータの再生区域に導入されるように
構成されたことを特徴とする、請求項４に記載の乾式減
湿システム。 - 【請求項６】 目的空間からの還気の露点温度に応じ
て、当該還気が１段目、２段目又は３段目の乾式減湿装
置のロータの減湿区域の入口側に戻されるように構成さ
れたことを特徴とする、請求項１、２、３、４又は５の
いずれかに記載の乾式減湿システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36757797A JP3483752B2 (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 乾式減湿システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36757797A JP3483752B2 (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 乾式減湿システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11188224A true JPH11188224A (ja) | 1999-07-13 |
| JP3483752B2 JP3483752B2 (ja) | 2004-01-06 |
Family
ID=18489661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36757797A Expired - Lifetime JP3483752B2 (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 乾式減湿システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3483752B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7217313B2 (en) | 2002-05-30 | 2007-05-15 | Tokyo Electron Limited | Dehumidification system and dehumidification method |
| JP2007175602A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 低露点空調システム |
| JP2011149661A (ja) * | 2010-01-25 | 2011-08-04 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | クリーンルームシステム及びその運転方法 |
| EP2623179A1 (en) * | 2012-02-06 | 2013-08-07 | Cotes A/S | A rotary air drying apparatus |
| JP2014208345A (ja) * | 2014-06-03 | 2014-11-06 | 株式会社西部技研 | 除湿装置 |
| WO2015133199A1 (ja) * | 2014-03-05 | 2015-09-11 | 荏原実業株式会社 | 空調システム及び空調方法 |
| WO2021085307A1 (ja) * | 2019-10-29 | 2021-05-06 | 五和工業株式会社 | 除湿システム |
| EP3945253A4 (en) * | 2019-03-29 | 2022-05-18 | Nihon Spindle Manufacturing Co., Ltd. | DEHUMIDIFICATION DEVICE FOR DEW POINT TEMPERATURE ADJUSTMENT |
| WO2023025435A1 (en) * | 2021-08-23 | 2023-03-02 | Munters Europe Aktiebolag | Gas sorption system |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5464393B2 (ja) * | 2007-09-27 | 2014-04-09 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 低露点空気製造装置 |
| JP4827906B2 (ja) * | 2008-10-03 | 2011-11-30 | 新晃工業株式会社 | パージゾーンのない超低露点温度の乾燥空気を供給するデシカント空調機。 |
| JP4947739B2 (ja) * | 2009-09-18 | 2012-06-06 | 新晃工業株式会社 | 超低露点温度の乾燥空気を供給するデシカント空調機 |
-
1997
- 1997-12-26 JP JP36757797A patent/JP3483752B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7217313B2 (en) | 2002-05-30 | 2007-05-15 | Tokyo Electron Limited | Dehumidification system and dehumidification method |
| JP2007175602A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 低露点空調システム |
| JP4596370B2 (ja) * | 2005-12-27 | 2010-12-08 | 株式会社日立プラントテクノロジー | 低露点空調システム |
| JP2011149661A (ja) * | 2010-01-25 | 2011-08-04 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | クリーンルームシステム及びその運転方法 |
| EP2623179A1 (en) * | 2012-02-06 | 2013-08-07 | Cotes A/S | A rotary air drying apparatus |
| WO2015133199A1 (ja) * | 2014-03-05 | 2015-09-11 | 荏原実業株式会社 | 空調システム及び空調方法 |
| JP2015180843A (ja) * | 2014-03-05 | 2015-10-15 | 清水建設株式会社 | 空調システム及び空調方法 |
| JP2014208345A (ja) * | 2014-06-03 | 2014-11-06 | 株式会社西部技研 | 除湿装置 |
| EP3945253A4 (en) * | 2019-03-29 | 2022-05-18 | Nihon Spindle Manufacturing Co., Ltd. | DEHUMIDIFICATION DEVICE FOR DEW POINT TEMPERATURE ADJUSTMENT |
| US11874019B2 (en) | 2019-03-29 | 2024-01-16 | Nihon Spindle Manufacturing Co., Ltd. | Dehumidifying device for dew point temperature adjustment |
| WO2021085307A1 (ja) * | 2019-10-29 | 2021-05-06 | 五和工業株式会社 | 除湿システム |
| WO2023025435A1 (en) * | 2021-08-23 | 2023-03-02 | Munters Europe Aktiebolag | Gas sorption system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3483752B2 (ja) | 2004-01-06 |
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