JP2011103441A - 半導体装置とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面に複数の第1の電極22が形成された第1の回路基材20と、第1の回路基材20の上方に設けられ、第1の電極22の各々の上方に第1の貫通孔30aと第2の貫通孔30bとが形成された第2の回路基材30と、第2の回路基材30の上方に設けられた半導体パッケージ50と、第1の貫通孔30aと第2の貫通孔30b内に設けられ、第1の電極22と半導体パッケージ50とを接続する複数の第1のバンプ51とを有する半導体装置による。
【選択図】図7
Description
図2〜図7は、本実施形態に係る半導体装置の製造途中の断面図である。
次に、第2実施形態について説明する。
上記した第2実施形態では、図12に示したように、第2の回路基材30の二つの主面のうち、第1の回路基材20に対向する面側に第2のはんだバンプ61を設けることで、第1の回路基材20の第3の電極23同士の間隔Pを詰めるようにした。
第1実施形態では、図5に示したように、第1の回路基材20に半導体パッケージ50を実装するに際し、半導体パッケージ50にのみ第1のはんだバンプ51を設け、第1の回路基材20にははんだバンプを設けなかった。
図19は、本実施形態に係る半導体装置の断面図である。なお、図19において第1実施形態でしたのと同じ要素には第1実施形態と同じ符号を付し、以下ではその説明を省略する。
前記第1の回路基材の上方に設けられ、前記複数の第1の電極の各々の上方に第1の貫通孔と第2の貫通孔とが形成された第2の回路基材と、
前記第2の回路基材の上方に設けられ、表面に複数の第2の電極が形成された半導体部品と、
前記第1の貫通孔内と前記第2の貫通孔内に設けられ、前記第1の電極と前記第2の電極とを接続する複数の第1のバンプと、
を有することを特徴とする半導体装置。
前記第1の貫通孔の内面が絶縁材料によって前記配線から隔離されたことを特徴とする付記1に記載の半導体装置。
前記第2の貫通孔の内面に前記配線が露出し、該配線が前記第1のバンプに接続されたことを特徴とする付記1に記載の半導体装置。
前記第2の回路基材に形成された配線とを更に有し、
前記第2の回路基材の二つの主面のうち、前記第1の回路基材に対向する主面に凹部が形成されたと共に、
前記第1のバンプよりも直径が小さい第2のバンプが前記凹部に設けられ、前記第1の回路基材の前記第3の電極と前記第2の回路基材の前記配線とが、前記第2のバンプにより接続されたことを特徴とする付記1〜5のいずれかに記載の半導体装置。
前記回路基板に形成された配線とを更に有し、
前記第2の回路基材の二つの主面のうち、前記半導体部品に対向する主面に凹部が形成されたと共に、
前記第1のバンプよりも直径が小さい第2のバンプが前記凹部に設けられ、前記半導体部品の前記第4の電極と前記第2の回路基材の前記配線とが、前記第2のバンプにより接続されたことを特徴とする付記1〜5のいずれかに記載の半導体装置。
半導体部品の複数の第2の電極の各々の上に形成された複数の第1のバンプを前記第1の貫通孔と前記第2の貫通孔に通し、前記第1の回路基材の複数の前記第1の電極に前記複数の第1のバンプを当接させる工程と、
前記第1のバンプを加熱して溶融させ、前記第1の電極に前記第1のバンプを接合させる工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
前記凹部に、前記第1のバンプよりも直径が小さい第2のバンプを設け、前記配線と前記第2のバンプとを接続する工程とを更に有し、
前記複数の第1の電極に前記複数の第1のバンプを当接させる工程において、前記第1の回路基材の前記表面に形成された第3の電極に前記第2のバンプを当接させ、
前記第1の電極に前記第1のバンプを接合させる工程において、前記第3の電極に前記第2のバンプを接合させることを特徴とする付記11に記載の半導体装置の製造方法。
前記凹部に、前記第1のバンプよりも直径が小さい第2のバンプを設け、前記配線と前記第2のバンプとを接続する工程とを更に有し、
前記複数の第1の電極に前記複数の第1のバンプを当接させる工程において、前記半導体部品の前記表面に形成された第4の電極に前記第2のバンプを当接させ、
前記第1の電極に前記第1のバンプを接合させる工程において、前記第4の電極に前記第2のバンプを接合させることを特徴とする付記11に記載の半導体装置の製造方法。
前記回路基材の前記複数の貫通孔の各々に、半導体部品が備える複数の第2のバンプの各々を嵌合させる工程と、
前記第1のバンプと前記第2のバンプの各々を加熱して溶融し、該第1のバンプと該第2のバンプの各々を介して前記第1の回路基材と前記半導体部品とを電気的かつ機械的に接続する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
Claims (10)
- 表面に複数の第1の電極が形成された第1の回路基材と、
前記第1の回路基材の上方に設けられ、前記複数の第1の電極の各々の上方に第1の貫通孔と第2の貫通孔とが形成された第2の回路基材と、
前記第2の回路基材の上方に設けられ、表面に複数の第2の電極が形成された半導体部品と、
前記第1の貫通孔内と前記第2の貫通孔内に設けられ、前記第1の電極と前記第2の電極とを接続する複数の第1のバンプと、
を有することを特徴とする半導体装置。 - 前記第2の回路基材は配線を有し、
前記第1の貫通孔の内面が絶縁材料によって前記配線から隔離されたことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第2の回路基材は配線を有し、
前記第2の貫通孔の内面に前記配線が露出し、該配線が前記第1のバンプに接続されたことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第2の回路基材において前記配線が二本設けられ、二本の前記配線が対となって差動配線として機能することを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。
- 前記第1の回路基材の前記表面に形成された第3の電極と、
前記第2の回路基材に形成された配線とを更に有し、
前記第2の回路基材の二つの主面のうち、前記第1の回路基材に対向する主面に凹部が形成されたと共に、
前記第1のバンプよりも直径が小さい第2のバンプが前記凹部に設けられ、前記第1の回路基材の前記第3の電極と前記第2の回路基材の前記配線とが、前記第2のバンプにより接続されたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記半導体部品の前記表面に形成された第4の電極と、
前記回路基板に形成された配線とを更に有し、
前記第2の回路基材の二つの主面のうち、前記半導体部品に対向する主面に凹部が形成されたと共に、
前記第1のバンプよりも直径が小さい第2のバンプが前記凹部に設けられ、前記半導体部品の前記第4の電極と前記第2の回路基材の前記配線とが、前記第2のバンプにより接続されたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 表面に複数の第1の電極が形成された第1の回路基材の上方に、第1の貫通孔と第2の貫通孔とが形成された第2の回路基材を配する工程と、
半導体部品の複数の第2の電極の各々の上に形成された複数の第1のバンプを前記第1の貫通孔と前記第2の貫通孔に通し、前記第1の回路基材の複数の前記第1の電極に前記複数の第1のバンプを当接させる工程と、
前記第1のバンプを加熱して溶融させ、前記第1の電極に前記第1のバンプを接合させる工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第2の回路基材の二つの主面のうち、前記半導体部品に対向する主面に凹部を形成し、該凹部に前記第2の回路基材の配線を露出させる工程と、
前記凹部に、前記第1のバンプよりも直径が小さい第2のバンプを設け、前記配線と前記第2のバンプとを接続する工程とを更に有し、
前記複数の第1の電極に前記複数の第1のバンプを当接させる工程において、前記半導体部品の前記表面に形成された第4の電極に前記第2のバンプを当接させ、
前記第1の電極に前記第1のバンプを接合させる工程において、前記第4の電極に前記第2のバンプを接合させることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。 - 第1の回路基材が備える複数の第1のバンプの各々に、第2の回路基材の複数の貫通孔の各々を嵌合させる工程と、
前記回路基材の前記複数の貫通孔の各々に、半導体部品が備える複数の第2のバンプの各々を嵌合させる工程と、
前記第1のバンプと前記第2のバンプの各々を加熱して溶融し、該第1のバンプと該第2のバンプの各々を介して前記第1の回路基材と前記半導体部品とを電気的かつ機械的に接続する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記貫通孔の直径は、前記第1のバンプと前記第2のバンプの各々の直径よりも小さいことを特徴とする請求項9に記載の半導体装置の製造方法。
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