JP2011060530A - マイクロ波処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本加熱に入る前に、半導体素子が全反射しても破壊しない程度の微小電力で透過波/反射波検出手段1において、透過電力信号Vfと反射電力信号Vrの比が最小となる反射最小周波数を制御部2で検出・選択し、反射の影響を極小化する。本動作をプリサーチと呼び、本加熱後も適宜プリサーチを実施し、反射最小周波数を修正することにより、反射波から半導体素子を保護する信頼性の高いマイクロ波処理装置をアイソレータ無しで提供するものである。
【選択図】図1
Description
る反射波が全反射してもパワーユニットの半導体が破壊しない程度の低出力で所要周波数バンド内を周波数掃引し反射度合いを検出し最低反射度合いとなる周波数を決定するプリサーチを行った後本来の加熱に進行する。しかし加熱が進行すると被加熱物への吸収度合いが変化して最低反射度合いとなる周波数も徐々に変化していく。
が破壊しない程度の低出力で所定周波数バンド内を周波数掃引し反射度合いを検出し、最低反射度合いとなる周波数を決定するプリサーチ期間と実際に被加熱物を加熱する本加熱期間を設けるとともに加熱進行後も適宜プリサーチを実行し、最適周波数再選択をおこなっているため、定格出力の大きい本加熱中でも、反射波の極めて少ない反射最低周波数で動作させることができ、半導体素子が加熱中に反射波で破壊するのを防止することができる。
図1は、本発明の第1の実施形態におけるマイクロ波処理装置の要部ブロック図である。図1において本実施の形態の構成について説明する。発振部3は2400〜2500MHzの帯域の元信号を発振する。パワーユニット4は発振部3からのマイクロ波電力を増幅する機能を有し半導体素子を用いて構成した。
細については別図面で後述する。
ここでは発振部3の後段に電力分配部17を備え複数のパワーユニットに電力を分配し、複数の給電部からマイクロ波を照射する構成としている。図8に基づいて本実施の形態の構成を説明する。
電し、1つのパワーユニットが扱う電力を小さくし、空間合成して所望の高周波出力を得ようとするものである。出力段12の利得は17dBと小さくできる。電力分配部17は小電力系統の発振部後段に配する。
位相可変器18a、18bを用いて、各給電部間の位相を変えることを行っている。電力分配部17で2分配した系統の後段に位相可変部18a、18bを設けている。その後段については、実施の形態2と同様のため説明を割愛する。
を利用した加熱装置や生ゴミ処理機、あるいは半導体製造装置であるプラズマ電源のマイクロ波電源などの用途にも適用できる。
2 制御部
3 発振部
5 給電部
Claims (6)
- 被加熱物を収容する加熱室と、発振部と、前記発振部の出力を半導体素子で電力増幅するパワーユニットと、前記パワーユニットから伝播される電力で前記パワーユニット方向にはね返ってくるマイクロ波電力と透過するマイクロ波電力を検出する透過波/反射波検出手段と、前記透過波/反射波検出手段から透過してきたマイクロ波電力を前記加熱室内に放射する給電部と、前記透過波/反射波検出手段の出力を受け、前記発振部の発振周波数を制御するとともに前記発振部の出力レベルを制御する制御部からなり、前記制御部は、被加熱物を加熱開始する前に前記給電部から戻る反射波が大きくなっても、前記パワーユニットの半導体素子が破壊しない程度の出力で所定周波数バンド内を周波数掃引し反射度合いを検出し、最低反射度合いとなる周波数を決定するプリサーチ期間と実際に被加熱物を加熱する本加熱期間を設けるとともに加熱進行後もプリサーチを実行し、最適周波数再選択を行い、半導体素子が加熱中に反射波で破壊するのを防止する構成としたマイクロ波処理装置。
- 本加熱実施後、一定インターバルでプリサーチを繰り返す構成とした請求項1に記載のマイクロ波処理装置。
- 本加熱実施後、反射波を監視し所定値を超えるとプリサーチを再度実施する構成とした請求項1に記載のマイクロ波処理装置。
- プリサーチを実行した後、給電部から放射される電力を調整し、パワーユニットの半導体素子が加熱中に反射波で破壊するのを防止する構成とした請求項1から請求項3に記載のマイクロ波処理装置。
- 発振部の後段に電力分配部を備え、複数のパワーユニットに電力を分配し、複数の給電部からマイクロ波を照射する構成とした請求項1から4のいずれか1項に記載のマイクロ波処理装置。
- 複数のパワーユニットに供給するマイクロ波電力の位相を可変する位相可変部を備える構成とした請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のマイクロ波処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009207711A JP2011060530A (ja) | 2009-09-09 | 2009-09-09 | マイクロ波処理装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2011060530A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3435737A4 (en) * | 2016-03-25 | 2019-04-10 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | MICROWAVE HEATING DEVICE |
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JPS56134491A (en) * | 1980-03-26 | 1981-10-21 | Hitachi Netsu Kigu Kk | High frequency heater |
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-
2009
- 2009-09-09 JP JP2009207711A patent/JP2011060530A/ja active Pending
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