JP5195008B2 - マイクロ波加熱装置 - Google Patents
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Description
電力分配部の少なくともひとつの出力位相を可変する位相可変部と、前記電力分配部および/または位相可変部の出力をそれぞれ電力増幅する増幅部と、前記増幅部の出力を前記加熱室に供給する給電部と、前記それぞれの給電部から前記増幅部方向に反射するマイクロ波電力を検出する電力検出部と、前記発振部の発振周波数と前記位相可変部の位相量を制御する制御部とを備え、前記制御部は前記加熱室に収容された前記被加熱物を加熱処理する前段階で、前記給電部から前記増幅部方向に反射するマイクロ波電力が最小となる周波数を検出する予備検出動作を行う構成とし、前記それぞれの給電部から供給されるマイクロ波の位相差を略一致させる周波数として、前記発振部の発振周波数帯域の中央周波数を選定すると共に、前記発振部から前記給電部までの電気的線路長および、接続部品による位相ずれのそれぞれの経路間の差分を前記発振部の出力マイクロ波の周波数毎に補正して、前記位相可変部を制御して、前記それぞれの給電部から供給するマイクロ波の位相差を略一致させた後、前記予備検出動作を行う構成としたものであり、複数の給電部から放射するマイクロ波の位相差および周波数を反射電力が最小となるように制御することによって加熱室に放射したマイクロ波を有効に被加熱物に吸収させることができ、さまざまな形状・種類・量の異なる被加熱物を高効率に加熱することができる。特に、発振部から給電部までの電気的線路長は、伝播線路の長さや途中に接続される部品のばらつきにより位相ずれが発生し、複数の給電部間で位相差が発生することに対して、位相差が一致するように位相可変部を制御して電気的線路長のばらつき分を補正することが出来、より正しい条件での検出動作を実現し、検出精度を向上させ、再現性を高められる。
図1は、本発明の第1の実施形態におけるマイクロ波処理装置の構成図である。
ってもよいし、ブランチライン型やラットレース型のような出力間に位相差を生じる分配器であってもかまわない。この電力分配部2a、2cによって各々の出力には発振部1a、1cから入力されたマイクロ波電力の略1/2の電力が伝播される。
2a、2c 電力分配部
3a〜3d 位相可変部
4a〜4d 増幅部
5a〜5d 給電部
6a〜6d 電力検出部
7 制御部
8 加熱室
9 被加熱物
Claims (3)
- 被加熱物を収容する加熱室と、
発振部と、
前記発振部の出力を複数に分配して出力する電力分配部と、
前記電力分配部の少なくともひとつの出力位相を可変する位相可変部と、
前記電力分配部および/または位相可変部の出力をそれぞれ電力増幅する増幅部と、
前記増幅部の出力を前記加熱室に供給する給電部と、
前記それぞれの給電部から前記増幅部方向に反射するマイクロ波電力を検出する電力検出部と、
前記発振部の発振周波数と前記位相可変部の位相量を制御する制御部とを備え、
前記制御部は前記加熱室に収容された前記被加熱物を加熱処理する前段階で、前記給電部から前記増幅部方向に反射するマイクロ波電力が最小となる周波数を検出する予備検出動作を行う構成とし、
前記それぞれの給電部から供給されるマイクロ波の位相差を略一致させる周波数として、前記発振部の発振周波数帯域の中央周波数を選定すると共に、
前記発振部から前記給電部までの電気的線路長および、接続部品による位相ずれのそれぞれの経路間の差分を前記発振部の出力マイクロ波の周波数毎に補正して、
前記位相可変部を制御して、前記それぞれの給電部から供給するマイクロ波の位相差を略一致させた後、前記予備検出動作を行う構成としたマイクロ波処理装置。 - 複数有する前記加熱室へのマイクロ波供給経路の1経路を基準経路とし、
前記制御部は、前記基準経路の前記発振部から前記給電部までの電気的線路長および、接続部品による位相ずれに応じた補正後の位相値に対する各経路の前記発振部から前記給電部までの電気的線路長および、接続部品による位相ずれに応じた補正後の相対的な値で位相差の制御を行う構成とした請求項1に記載のマイクロ波処理装置。 - 前記制御部は、前記発振部から前記給電部までの電気的線路長および、接続部品による位相ずれに応じた位相補正値を機器毎に固有な値として記憶し、部品を交換により固有の位相補正値が変わる場合は、複数有する前記加熱室へのマイクロ波供給経路の前記基準経路に対する相対的な位相差を再現可能な負荷条件の基で検出し、記憶を更新する手段を有す
る構成とした請求項2に記載のマイクロ波処理装置。
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JP2008124326A JP5195008B2 (ja) | 2008-05-12 | 2008-05-12 | マイクロ波加熱装置 |
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