JP2011036974A - 研磨加工方法および研磨加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】研磨加工面の一部に曲率半径が小さな凹部を有する被加工物でも、研磨加工面の全体を安定して精度良く均一に研磨加工することが可能な研磨加工技術を提供する。
【解決手段】円環形状の弾性体6aからなる加工作用部6bを備えた研磨工具6を用い、被加工物1の主軸回転軸Aと、研磨工具6の工具回転軸Bとが、被加工物1の研磨加工面1aの研磨加工点kにおける傾斜角α(x)(接線の傾き)から所定の角度β(x)を減算して得られる研磨角度θとなるように制御し、円環形状の加工作用部6bが三日月形状の領域で部分的に研磨加工面1aに接触するようにして、研磨加工面1aの一部に曲率半径が小さな凹部を有する被加工物1でも、研磨加工面1aの全体を安定して均一に研磨加工することを可能にした。
【選択図】図1
【解決手段】円環形状の弾性体6aからなる加工作用部6bを備えた研磨工具6を用い、被加工物1の主軸回転軸Aと、研磨工具6の工具回転軸Bとが、被加工物1の研磨加工面1aの研磨加工点kにおける傾斜角α(x)(接線の傾き)から所定の角度β(x)を減算して得られる研磨角度θとなるように制御し、円環形状の加工作用部6bが三日月形状の領域で部分的に研磨加工面1aに接触するようにして、研磨加工面1aの一部に曲率半径が小さな凹部を有する被加工物1でも、研磨加工面1aの全体を安定して均一に研磨加工することを可能にした。
【選択図】図1
Description
本発明は、研磨加工方法および研磨加工装置に関する。
回転軸対称形状を呈するレンズ、プリズムなどの光学部品やその成形金型は、光学特性を劣化させないようにするため高精度な形状や面粗さが必要とされている。特に、面粗さやうねりは光学特性の劣化の一因となるため、所望の精度で除去されていることが望まれている。
このような要求に対応する研磨方法が、特許文献1に開示されている。すなわち、図7に示すように、回転軸101の一端に回転軸101より大きな直径を有する円盤形状の弾性部材102を貼付け、更に前記弾性部材102のもう一方の面に固定砥粒フィルム103を貼付けたスムージング工具を用いて、被加工物105の加工面に固定砥粒フィルム103の表面の全体を接触させて加工することにより、うねりや前加工の挽き目を除去するスムージング方法が開示されている。
しかしながら、例えば研磨加工面の一部に曲率半径が小さな凹部を有する場合、上述の従来技術によるスムージング方法にて当該部位を研磨加工すると、スムージング工具の固定砥粒フィルム103の全面が均等に接触せず、スムージング工具の研磨作用面(固定砥粒フィルム103)の外周部が、被加工物105における前記凹部の周囲の研磨加工面に強く接触することとなる。
このため、被加工物105のスムージング工具が強く接触した部分は、大きく削れてしまうため所望の形状にならないといった技術的課題があった。
本発明の目的は、研磨加工面の一部に曲率半径が小さな凹部を有する被加工物でも、研磨加工面の全体を安定して精度良く均一に研磨加工することが可能な研磨加工技術を提供することにある。
本発明の第1の観点は、回転する回転軸対称形状の被加工物の子午線上を、研磨工具の円環形状を有する加工作用部の一部を当該被加工物に接触させつつ走査移動させる研磨加工方法を提供する。
本発明の第2の観点は、円環形状を有する加工作用部を備えた研磨工具と、
前記研磨工具を保持して回転させる工具保持手段と、
回転軸対称形状の被加工物を保持して回転させる被加工物保持手段と、
前記工具保持手段および前記被加工物保持手段を制御して、回転する前記被加工物の子午線上を、前記研磨工具の円環形状を有する前記加工作用部の一部を当該被加工物に接触させつつ走査移動させる加工制御手段と、
を含む研磨加工装置を提供する。
前記研磨工具を保持して回転させる工具保持手段と、
回転軸対称形状の被加工物を保持して回転させる被加工物保持手段と、
前記工具保持手段および前記被加工物保持手段を制御して、回転する前記被加工物の子午線上を、前記研磨工具の円環形状を有する前記加工作用部の一部を当該被加工物に接触させつつ走査移動させる加工制御手段と、
を含む研磨加工装置を提供する。
本発明によれば、研磨加工面の一部に曲率半径が小さな凹部を有する被加工物でも、研磨加工面の全体を安定して均一に研磨加工することが可能な研磨加工技術を提供することができる。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
[実施の形態1]
図1は、本発明の一実施の形態である研磨加工方法を実施する研磨加工装置の作用の一例を示す概念図である。
[実施の形態1]
図1は、本発明の一実施の形態である研磨加工方法を実施する研磨加工装置の作用の一例を示す概念図である。
図2は、本発明の一実施の形態である研磨加工方法における加工部位を拡大して例示した概念図である。
図3は、本発明の一実施の形態である研磨加工方法を実施する研磨加工装置の構成の一例を示す斜視図である。
図3は、本発明の一実施の形態である研磨加工方法を実施する研磨加工装置の構成の一例を示す斜視図である。
図4は、本発明の一実施の形態である研磨加工方法を実施する研磨加工装置に備えられた研磨工具の一例を示す斜視図である。
[構成]
まず、図3を参照して、本実施の形態1の研磨加工装置Mの構成を説明する。
[構成]
まず、図3を参照して、本実施の形態1の研磨加工装置Mの構成を説明する。
図3に例示された本実施の形態の研磨加工装置Mは、回転軸対称の被加工物1を加工するための研磨加工装置である。
本実施の形態の研磨加工装置Mには、鉛直方向に設けられた主軸回転軸A(被加工物の回転軸)に対し高精度に軸回転し、回転数を制御できる主軸スピンドル2と、上記主軸スピンドル2の先端に被加工物1を保持する被加工物保持機構3(被加工物保持手段)が備え付けられている。
本実施の形態の研磨加工装置Mには、鉛直方向に設けられた主軸回転軸A(被加工物の回転軸)に対し高精度に軸回転し、回転数を制御できる主軸スピンドル2と、上記主軸スピンドル2の先端に被加工物1を保持する被加工物保持機構3(被加工物保持手段)が備え付けられている。
研磨工具6の側には、工具回転軸B(研磨工具の回転軸)に対し高精度に軸回転し、回転数を制御できる工具スピンドル4が設けられ、この工具スピンドル4の先端には、研磨工具6を把持する工具保持機構5(工具保持手段)が備え付けられている。
研磨加工中の研磨工具6に一定荷重を掛けることができるように、工具保持機構5を支持する荷重装置8(工具保持手段)が設けられている。この荷重装置8は、工具保持機構5をZ方向の下方に付勢するエアスライド、エアシリンダー、スプリングなどで構成されている。
更に、研磨工具6の側には、被加工物1に対する研磨工具6の位置を調整する位置調整機構9(工具保持手段)が設けられている。
この位置調整機構9は、コラム9a、ベーステーブル9b、回転テーブル9c、スライドテーブル9d、支持アーム9eを備えている。
この位置調整機構9は、コラム9a、ベーステーブル9b、回転テーブル9c、スライドテーブル9d、支持アーム9eを備えている。
すなわち、工具保持機構5は、荷重装置8を介して位置調整機構9の垂直な支持アーム9eに支持され、この支持アーム9eは、X−Y平面内で移動可能なスライドテーブル9dに搭載されている。
さらに、スライドテーブル9dは、回転テーブル9cに搭載されて、Z軸の回りに回転される。
回転テーブル9cは、研磨加工装置Mの筐体の底板20に垂直に設けられたコラム9aの側面に突設されたベーステーブル9bの下面に下向きに搭載されている。
回転テーブル9cは、研磨加工装置Mの筐体の底板20に垂直に設けられたコラム9aの側面に突設されたベーステーブル9bの下面に下向きに搭載されている。
また、研磨加工装置MはNC装置等からなる制御装置11(加工制御手段)によりX軸方向とZ軸方向に移動できるスライド移動機構10(被加工物保持手段)を備え、被加工物1と研磨工具6とを相対的に移動できるようにしている。
すなわち、スライド移動機構10は、Z方向移動テーブル10a、X方向移動テーブル10b、ベーステーブル10cを備えている。
被加工物保持機構3は、X方向移動テーブル10bに搭載されてZ方向に移動するZ方向移動テーブル10aに搭載されている。
被加工物保持機構3は、X方向移動テーブル10bに搭載されてZ方向に移動するZ方向移動テーブル10aに搭載されている。
X方向移動テーブル10bの全体は、ベーステーブル10cの上をX方向に移動する構成となっている。
このスライド移動機構10に搭載されることにより、被加工物1を保持した被加工物保持機構3は、Z−X平面内の任意の位置に移動される。
このスライド移動機構10に搭載されることにより、被加工物1を保持した被加工物保持機構3は、Z−X平面内の任意の位置に移動される。
また、被加工物1の姿勢を、X軸―Z軸平面に垂直なY方向に平行な旋回軸Cの回りに回転でき、主軸回転軸Aと工具回転軸Bとの角度を相対的に変更できるよう、回転位置制御装置7(被加工物保持手段)を主軸側に設けている。
すなわち、上述のスライド移動機構10の全体は、回転位置制御装置7に搭載されて旋回軸Cの回りに回転される構成となっている。
回転位置制御装置7は、研磨加工装置Mの筐体の底板20に垂直に設けられたコラム7aの側面に、旋回軸CがY方向に水平になるように支持されている。
回転位置制御装置7は、研磨加工装置Mの筐体の底板20に垂直に設けられたコラム7aの側面に、旋回軸CがY方向に水平になるように支持されている。
図4に例示されるように、本実施の形態の研磨工具6は、先端部に、円環部の幅の中央における直径dの円環形状の加工作用部6bが設けられ、この加工作用部6bは、たとえば、ゴム、樹脂やスポンジなどからなる弾性体6aで構成されている。
研磨工具6の加工作用部6bには、研磨加工できる状態にするため、たとえば、ダイヤモンド、立方晶窒化硼素焼結体(CBN)、グリーンカーボン(GC)、ホワイトアルミナ(WA)や酸化セリウム等からなる砥粒を固定した固定砥粒が貼り付けられている。
あるいは、同様に加工作用部6bに研磨作用を持たせるために上述の砥粒を遊離状態で塗布してもよい。
図1は、研磨加工時の被加工物1と研磨工具6の接触状態を示している。また、図2には、図1における被加工物1と研磨工具6の接触部が拡大して示されている。
図1は、研磨加工時の被加工物1と研磨工具6の接触状態を示している。また、図2には、図1における被加工物1と研磨工具6の接触部が拡大して示されている。
研磨工具6の先端の加工作用部6bは、上述のように円環形状を呈し、ゴム、樹脂やスポンジなどからなる弾性体6aで構成されているため、被加工物1の研磨加工面1aにおける凹凸や加工抵抗に応じて適宜変形する。
また、本実施の形態の場合には、後述のように研磨工具6の円環形状の加工作用部6bの全周の一部が、被加工物1の被加工面である研磨加工面1aに接するように制御される。
上述の被加工物保持機構3の側の主軸スピンドル2、回転位置制御装置7およびスライド移動機構10と、研磨工具6の側の工具スピンドル4、位置調整機構9の動作は、制御装置11によって統括して制御される。
この制御装置11は、たとえば、同時多軸制御のNC装置で構成され、制御プログラム12(加工制御手段)によって動作する。
[作用]
本実施の形態1の研磨加工装置Mの作用を、図1乃至図4を用いて説明する。
[作用]
本実施の形態1の研磨加工装置Mの作用を、図1乃至図4を用いて説明する。
以下に本実施の形態1の作用を具体的に説明するが、これらは本発明を限定するものではない。
本実施の形態の場合、被加工物1は、図1に示すように、たとえば、凸形の非球面形状の研磨加工面1aを有するレンズである。
本実施の形態の場合、被加工物1は、図1に示すように、たとえば、凸形の非球面形状の研磨加工面1aを有するレンズである。
初めに、被加工物1を被加工物保持機構3にて保持する。この時、被加工物1の主軸回転軸Aに対する回転偏心精度を50μm以下にするように予め調整を行っておく。
次に研磨工具6を工具保持機構5にて把持する。このとき、研磨工具6の回転偏心を工具回転軸Bに対し、50μm以下となるように保持させる。
次に研磨工具6を工具保持機構5にて把持する。このとき、研磨工具6の回転偏心を工具回転軸Bに対し、50μm以下となるように保持させる。
次に、位置調整機構9にて旋回軸Cと研磨工具6の工具回転軸Bが交わるように研磨工具6の位置を調整する。
その後、上記位置調整機構9もしくはスライド移動機構10のX軸方向の変位にて研磨工具6の円環形状の加工作用部6bの半径分(d/2)の距離を移動させ、X軸方向の原点として設定する。
その後、上記位置調整機構9もしくはスライド移動機構10のX軸方向の変位にて研磨工具6の円環形状の加工作用部6bの半径分(d/2)の距離を移動させ、X軸方向の原点として設定する。
Z軸方向の原点は被加工物1の主軸回転軸Aと研磨加工面1aとの交点(すなわち頂点(面頂1b))が旋回軸C上にくる位置とし、回転位置制御装置7の原点座標は、主軸回転軸Aと工具回転軸Bとが平行となる位置に設定する。
研磨加工では、主軸スピンドル2を回転させ被加工物1を主軸回転軸A回りに回転させる。また、工具スピンドル4によって研磨工具6を工具回転軸Bの回りに回転させる。
この状態で荷重装置8にて研磨工具6を被加工物1へ一定荷重で押圧することで研磨を行うことができる。
この状態で荷重装置8にて研磨工具6を被加工物1へ一定荷重で押圧することで研磨を行うことができる。
また、制御装置11は、常に研磨加工点kが旋回軸C上に位置するように、X方向移動テーブル10bのX軸方向の変位、Z方向移動テーブル10aのZ軸方向の変位と、回転位置制御装置7の回転位置の変化を行わせるNC制御にて、一定もしくは被加工物1の形状と研磨加工条件に基づいた移動速度で、被加工物1の研磨加工面1aの子午線に沿って、研磨工具6を相対的に走査移動させる。
被加工物1の研磨加工面1aの形状が回転軸対称の非球面形状で、研磨加工面1aの面頂1bをX軸、Z軸の原点とした場合、研磨加工面1aの形状は次の数1の(イ)式で与えられる。
ここでf(x)は研磨加工面1aの非球面形状の子午線における輪郭形状を定義する設計式、xはX軸方向の座標点、Rは曲率半径係数、Pはコーニック係数、A2iは非球面係数を示している。
また、本実施の形態では、制御装置11(制御プログラム12)は、回転位置制御装置7の回転により、主軸回転軸Aと工具回転軸Bのなす研磨角度θは、次式から求める。
θ=g(x)=α(x)−β(x) ………(ロ)
α(x)=f’(x) ………(ハ)
β(x)=sin−1{r(x)/(d/2)} ………(二)
ここで、α(x)は被加工物1の傾斜角度の正接、β(x)はX座標点での被加工物1の曲率半径と研磨工具6の円環部と被加工物1とが接触した円弧半径が一致する角度(特定角度)、f’(x)は非球面設計式f(x)の微分式(研磨加工点kで接線の傾き)、r(x)はX座標点での被加工物1の曲率半径、dは研磨工具6の直径を示している。
θ=g(x)=α(x)−β(x) ………(ロ)
α(x)=f’(x) ………(ハ)
β(x)=sin−1{r(x)/(d/2)} ………(二)
ここで、α(x)は被加工物1の傾斜角度の正接、β(x)はX座標点での被加工物1の曲率半径と研磨工具6の円環部と被加工物1とが接触した円弧半径が一致する角度(特定角度)、f’(x)は非球面設計式f(x)の微分式(研磨加工点kで接線の傾き)、r(x)はX座標点での被加工物1の曲率半径、dは研磨工具6の直径を示している。
尚、被加工物1の研磨加工面1aの子午線に対する研磨工具6の相対的な走査移動は、上記(イ)式、(ロ)式にて算出される、X、Z、θになるように、スライド移動機構10によるX軸方向およびZ軸方向の移動(X、Z)と、回転位置制御装置7による旋回軸Cの回りの回転(研磨角度θ)にて実現させる。
これにより、研磨工具6の加工作用部6bの円環形状と被加工物1とが接触した円弧の半径と被加工物1の曲率半径r(x)とが一致するため、研磨工具6の加工作用部6bは被加工物1に対して三日月状に接触する。
更に、研磨工具6の弾性体6aの弾性により、円環形状を有する加工作用部6bが、研磨加工点kの内部でも被加工物1の研磨加工面1aの形状に倣うため、長い円弧の接触となる。これにより、研磨加工面1aに対する加工作用部6bの接触面積が大きくなり、単位時間当たりの研磨量も大きく稼ぐことができる。
更に、この長い円弧をもった三日月状の加工作用部6bの接触が、研磨加工面1aにおける既存のうねりの複数の周期を跨ぐことで、うねりの面頂から研磨加工され、前工程で発生した研磨加工面1aのうねりを研磨加工装置Mにて除去することができる。
図5は、上述の制御動作を行う制御装置11の制御プログラム12の作用の一例を示すフローチャートである。
制御装置11(制御プログラム12)は、上述の各種の原点の設定を行う(ステップ201)。
制御装置11(制御プログラム12)は、上述の各種の原点の設定を行う(ステップ201)。
次に、制御プログラム12は、被加工物1と研磨工具6の回転を開始させる(ステップ202)。
その後、制御プログラム12は、研磨加工点kが子午線上の加工開始点となるようにx座標値Xを設定する(ステップ203)。
その後、制御プログラム12は、研磨加工点kが子午線上の加工開始点となるようにx座標値Xを設定する(ステップ203)。
そして、制御プログラム12は、このXの値に基づいて、上述の(イ)式および(ロ)式によってθとZを決定し、このθとZが実現されるように、回転位置制御装置7、スライド移動機構10を制御して研磨加工を実行する(ステップ204)。
そして、制御プログラム12は、x座標を、子午線上の加工終端点方向に向かって所定の大きさのΔxだけ増加させ(ステップ205)、加工終端点に到達したか判別する(ステップ206)。
制御プログラム12は、更新後のx座標が加工終端点に到達していないと判定された場合には(ステップ207)、上述のステップ204に戻ってθ、Zの値を更新して子午線上の走査移動による研磨加工を継続する。
制御プログラム12は、ステップ206で子午線上の加工終端点に到達したと判定された場合には、加工完了か判別し(ステップ207)、未完の場合には、上述のステップ203に戻って、子午線上の加工開始点から再度研磨加工を行う。
なお、このとき、子午線上を、加工終端点から加工開始点に向かって逆行するように(x−Δx)として反復走査してもよい。
制御プログラム12は、ステップ207で研磨加工が完了したと判定された場合には、加工を終了する。
[効果]
本実施の形態1によれば、被加工物1の曲率半径に応じて研磨工具6と被加工物1の研磨角度θを変化させているので、被加工物1の研磨加工面1aに極小の曲率半径の凹部が存在していても、弾性体6aからなる加工作用部6bが、その曲率半径に応じた研磨角度θに設定されるので、凹部の周囲が過度に研磨される等の不具合を生じることなく、研磨加工面1aの全体を安定して研磨することが出来る。
制御プログラム12は、ステップ207で研磨加工が完了したと判定された場合には、加工を終了する。
[効果]
本実施の形態1によれば、被加工物1の曲率半径に応じて研磨工具6と被加工物1の研磨角度θを変化させているので、被加工物1の研磨加工面1aに極小の曲率半径の凹部が存在していても、弾性体6aからなる加工作用部6bが、その曲率半径に応じた研磨角度θに設定されるので、凹部の周囲が過度に研磨される等の不具合を生じることなく、研磨加工面1aの全体を安定して研磨することが出来る。
更に、研磨工具6の弾性体6aからなる加工作用部6bと被加工物1とが接触する面積を大きくとることができ、単位時間当たりの研磨量を大きく稼ぐことができ、加工所要時間を短縮できる。
[実施の形態2]
図6は、本発明の他の実施の形態である研磨加工装置に備えられた研磨工具の構成例を示す斜視図である。
図6は、本発明の他の実施の形態である研磨加工装置に備えられた研磨工具の構成例を示す斜視図である。
[構成]
本実施の形態2では、研磨工具6の先端の加工作用部6bを円環形状とし、ゴム、樹脂やスポンジなどからなる弾性体6aで構成するとともに、この加工作用部6bの内部には、研磨作用を実現するため、たとえばダイヤモンド、CBN、GC、WAや酸化セリウム等の砥粒を埋め込んで構成した点、および先端の加工作用部6bに、円環形状の直径方向に多数の切込み6cを形成した点が、上述の実施の形態1と異なり、他の構成は同様である。
本実施の形態2では、研磨工具6の先端の加工作用部6bを円環形状とし、ゴム、樹脂やスポンジなどからなる弾性体6aで構成するとともに、この加工作用部6bの内部には、研磨作用を実現するため、たとえばダイヤモンド、CBN、GC、WAや酸化セリウム等の砥粒を埋め込んで構成した点、および先端の加工作用部6bに、円環形状の直径方向に多数の切込み6cを形成した点が、上述の実施の形態1と異なり、他の構成は同様である。
また、加工作用部6bに切込み6cが形成されていることにより、加工作用部6bが研磨加工面1aの形状に沿って変形しやすくなり、研磨加工面1aの全体の更なる安定な加工を実現できる。
[作用]
本実施の形態2によれば、上述の実施の形態1と同等の作用をなすとともに、研磨加工により研磨工具6の加工作用部6bが磨耗しても、加工作用部6bの内部に埋まっている新たな砥粒が加工作用部6bの表面に露出し、研磨能力が経時的に変化しにくいので、安定した研磨量で加工することができる。
本実施の形態2によれば、上述の実施の形態1と同等の作用をなすとともに、研磨加工により研磨工具6の加工作用部6bが磨耗しても、加工作用部6bの内部に埋まっている新たな砥粒が加工作用部6bの表面に露出し、研磨能力が経時的に変化しにくいので、安定した研磨量で加工することができる。
[効果]
本実施の形態2によれば、上述の実施の形態1の場合と同様の効果がえられるとともに、さらに、研磨工具6の加工作用部6bが磨耗しても安定した研磨量で加工を行うため、一つの研磨工具6で多数の被加工物1を安定して研磨加工することができる。
本実施の形態2によれば、上述の実施の形態1の場合と同様の効果がえられるとともに、さらに、研磨工具6の加工作用部6bが磨耗しても安定した研磨量で加工を行うため、一つの研磨工具6で多数の被加工物1を安定して研磨加工することができる。
以上説明したように、本発明の各実施の形態によれば、研磨加工中に、被加工物1の研磨加工面1aの曲率半径が部分的に変化する場合でも、研磨加工面1aの全面を均一に安定して研磨でき、更に単位時間当たりの研磨量の向上を実現できる。
すなわち、研磨加工面の一部に曲率半径が小さな凹部を有する被加工物でも、研磨加工面の全体を安定して均一に研磨加工することが可能な研磨加工技術を提供することができる。
なお、本発明は、上述の実施の形態に例示した構成に限らず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
[付記1]
回転軸対称形状の被加工物の子午線上を円環形状の研磨工具を走査移動させて行う回転軸対称物の研磨加工方法において、
研磨工具の加工作用点は円環の一部とし、加工作用点における被加工物の回転軸と研磨工具の回転軸とのなす角を被加工物の加工点における傾斜角度からある特定の角度を減算した角度に保ちながら加工することを特徴とする、回転軸対称物の研磨方法。
[付記1]
回転軸対称形状の被加工物の子午線上を円環形状の研磨工具を走査移動させて行う回転軸対称物の研磨加工方法において、
研磨工具の加工作用点は円環の一部とし、加工作用点における被加工物の回転軸と研磨工具の回転軸とのなす角を被加工物の加工点における傾斜角度からある特定の角度を減算した角度に保ちながら加工することを特徴とする、回転軸対称物の研磨方法。
[付記2]
付記1に記載する回転軸対称物の研磨方法において、
前記特定の角度とは、研磨工具の円環部の半径を、前記特定の角度の三角関数で除算した値と、研磨加工点における被加工物の曲率半径と、が一致するように求められることを特徴とする、回転軸対称物の研磨方法。
付記1に記載する回転軸対称物の研磨方法において、
前記特定の角度とは、研磨工具の円環部の半径を、前記特定の角度の三角関数で除算した値と、研磨加工点における被加工物の曲率半径と、が一致するように求められることを特徴とする、回転軸対称物の研磨方法。
[付記3]
付記1に記載する回転軸対称物の研磨方法において、
前記研磨工具の研磨作用点部は弾性体からなることを特徴とする、回転軸対称物の研磨方法。
付記1に記載する回転軸対称物の研磨方法において、
前記研磨工具の研磨作用点部は弾性体からなることを特徴とする、回転軸対称物の研磨方法。
[付記4]
付記1に記載する回転軸対称物の研磨方法において、
前記研磨工具の研磨作用点部は弾性体に砥粒を埋め込みした砥石からなることを特徴とする、回転軸対称物の研磨方法。
付記1に記載する回転軸対称物の研磨方法において、
前記研磨工具の研磨作用点部は弾性体に砥粒を埋め込みした砥石からなることを特徴とする、回転軸対称物の研磨方法。
1 被加工物
1a 研磨加工面
1b 面頂
2 主軸スピンドル
3 被加工物保持機構
4 工具スピンドル
5 工具保持機構
6 研磨工具
6a 弾性体
6b 加工作用部
6c 切込み
7 回転位置制御装置
7a コラム
8 荷重装置
9 位置調整機構
9a コラム
9b ベーステーブル
9c 回転テーブル
9d スライドテーブル
9e 支持アーム
10 スライド移動機構
10a Z方向移動テーブル
10b X方向移動テーブル
10c ベーステーブル
11 制御装置
12 制御プログラム
20 底板
A 主軸回転軸
B 工具回転軸
C 旋回軸
M 研磨加工装置
1a 研磨加工面
1b 面頂
2 主軸スピンドル
3 被加工物保持機構
4 工具スピンドル
5 工具保持機構
6 研磨工具
6a 弾性体
6b 加工作用部
6c 切込み
7 回転位置制御装置
7a コラム
8 荷重装置
9 位置調整機構
9a コラム
9b ベーステーブル
9c 回転テーブル
9d スライドテーブル
9e 支持アーム
10 スライド移動機構
10a Z方向移動テーブル
10b X方向移動テーブル
10c ベーステーブル
11 制御装置
12 制御プログラム
20 底板
A 主軸回転軸
B 工具回転軸
C 旋回軸
M 研磨加工装置
Claims (10)
- 回転する回転軸対称形状の被加工物の子午線上を、研磨工具の円環形状を有する加工作用部の一部を当該被加工物に接触させつつ走査移動させることを特徴とする研磨加工方法。
- 請求項1記載の研磨加工方法において、
前記被加工物の回転軸と前記研磨工具の回転軸とのなす研磨角度を、前記被加工物の前記加工作用部の一部が接する加工作用点における傾斜角度(接線の傾き)から特定角度を減算した角度に保ちながら加工することを特徴とする研磨加工方法。 - 請求項2記載の研磨加工方法において、
前記特定角度は、前記研磨工具の前記加工作用部の半径で、前記加工作用点における前記被加工物の曲率半径を除した値の逆正弦関数値として求められることを特徴とする研磨加工方法。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の研磨加工方法において、
前記研磨工具の前記加工作用部は弾性体からなることを特徴とする研磨加工方法。 - 請求項4記載の研磨加工方法において、
前記研磨工具の前記加工作用部には、放射状に複数の切込みが形成されていることを特徴とする研磨加工方法。 - 円環形状を有する加工作用部を備えた研磨工具と、
前記研磨工具を保持して回転させる工具保持手段と、
回転軸対称形状の被加工物を保持して回転させる被加工物保持手段と、
前記工具保持手段および前記被加工物保持手段を制御して、回転する前記被加工物の子午線上を、前記研磨工具の円環形状を有する前記加工作用部の一部を当該被加工物に接触させつつ走査移動させる加工制御手段と、
を含むことを特徴とする研磨加工装置。 - 請求項6記載の研磨加工装置において、
前記加工制御手段は、前記被加工物の回転軸と前記研磨工具の回転軸とのなす研磨角度を、前記被加工物の前記加工作用部の一部が接する加工作用点における傾斜角度(接線の傾き)から特定角度を減算した角度に保ちながら加工することを特徴とする研磨加工装置。 - 請求項7記載の研磨加工装置において、
前記加工制御手段は、前記特定角度を、前記研磨工具の前記加工作用部の半径で、前記加工作用点における前記被加工物の曲率半径を除した値の逆正弦関数値として決定することを特徴とする研磨加工装置。 - 請求項6から請求項8のいずれか1項に記載の研磨加工装置において、
前記研磨工具の前記加工作用部は弾性体からなることを特徴とする研磨加工装置。 - 請求項9記載の研磨加工装置において、
前記研磨工具の前記加工作用部には、放射状に複数の切込みが形成されていることを特徴とする研磨加工装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2014138962A (ja) * | 2013-01-21 | 2014-07-31 | Nexsys Corp | 研削装置及び研削方法 |
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CN114473719A (zh) * | 2022-02-21 | 2022-05-13 | 南京理工大学 | 一种基于局域剪切增稠的微结构抛光方法 |
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2009
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