JP2011036847A - 塗膜形成法およびスピンコータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 塗膜形成方法では、基材5表面に塗膜を形成する塗膜形成方法であって、基材5の上面に塗膜を形成するための塗液21を配置する塗膜配置工程と、基材5を所定の軸回りに回転させる基材回転工程と、基材5の上部から基材の上面周縁部にエアを吹き付けるエア吹き付け工程とを備え、エア吹き付け工程では、基材5の中心部から当該基材の外側に向けてエアを吹き付ける。
【選択図】 図5
Description
高精度の膜厚が要求されるため、膜厚の誤差を、所望の厚さに対して±数μm程度に抑える必要があるが、従来のスピンコート法では、周縁部の盛上り中央部に比べ数十μm以上厚くなるため、誤差を±数μm程度に抑えることができなかった。
上述した問題点を解決するためになされたものであり、形成しようとする膜の厚さや使用する塗液の粘度に関わらず、基材の周縁部に生じる盛り上がりを除去して、均一な膜厚を有する塗膜を形成することができる塗膜形成方法、及びこのような塗膜形成方法において用いられるスピンコータを提供することを目的とする。
ステージの間に形成された流路を介してエアを基材の下面に吹き付ける。
また、基材の上面にエアを吹き付けるのと同時に、下エア吹き付け部からも基材の下面にもエアを吹き付けることで、基材の上面から飛ばされた塗液が、基材の下面に回り込むのを防止することができる。
。
尚、DVD等の中心部に孔が開いている基材に塗膜処理を施すためのスピンコータに関しては、ステージの中心部にセンターピンを設け、このセンターピンを利用して基材をステージに固定する構成としてもよい。
尚、エア吹出筒13によるエアの吹き付けだけは、塗膜を形成した後ではなく、ステージ3を回転させて塗液21を広げている間に開始することが好ましい。これにより、塗液21を広げている間、塗液21が円形板7の縁を回り込んで流路19に入り込むのを防止することができる。
尚、下側エア吹出部35によるエアの吹き付けは、ステージ3を回転させて塗膜を形成している間も吹き付けを行っても良い。これにより、塗液を広げている間の回り込みを防止することができる。
(1)エアノズルの設置
実施形態1(図1参照)において詳述したスピンコータを用いた。このとき、エアノズルは、スリット幅が0.1mm、エア吹き出し方向の角度は基材の上面の垂線に対して60度となるものを用いた。またエアノズルと基材の距離を、0.5mmに設置し、エアノズルから吹き付けたエアが基材に当たる位置と基材との縁との距離を、5mmに設置した。
上述のようなスピンコータのステージ上に基材を真空吸着によって固定した後、スポイトを用いて塗布面の中心付近に塗液50ml程度を垂らし、エア吹出筒から吹き出すエアの風速が30m/sとなるようにした。そして、エア吹出筒からエアが吹き出している状態で、ステージを600rpmで30秒間回転させ、膜厚が70μmとなるように制御した。
ステージの回転を停止させた以降のエアによる処理を行わない以外は実施例1と同様に処理を行った。
(1)エアノズルの設置
実施例2では、実施形態2において詳述したスピンコータを用いた。このとき、上側エア吹出部および下側エア吹出部には、武蔵エンジニアリング(株)製の特殊ニードル(ニードル型式:SNA−18G)を用い、エア吹き出し方向の角度は,基材の上面の垂線に対して80度となるように曲げ加工を行ったものを用いた。また上エア吹出部の吹出口の最下面と基材の上面との距離を0.5mmに,下側エア吹出部の吹出口の最上面と基材の下面までの距離を0.5mmとした。さらに上下側エア吹出部の吹出口の先端面と基材の縁との距離を2mmに設置した。
前記スピンコータのステージ上に基材を真空吸着によって固定した後、スポイトを用いて塗布面の中心付近に塗液50ml程度を垂らし、ステージを600rpmで30秒間回転させながら、膜厚を70μmとした。
(比較例2)
上下エア吹出部の下側エア吹出部からのエアの吹き付けを行わない以外は,実施例2と同様の処理を行った。
3 ステージ
5 基材
11 エアノズル
13 エア吹出筒
Claims (7)
- 基材表面に塗膜を形成する塗膜形成方法であって、
前記基材の上面に塗膜を形成するための塗液を配置する塗膜配置工程と、
前記基材を所定の軸回りに回転させる基材回転工程と、
前記基材の上部から前記基材の上面周縁部にエアを吹き付けるエア吹き付け工程とを備え、
前記エア吹き付け工程では、前記基材の中心部から当該基材の外側に向う方向に沿って,エアを吹き付けること、
を特徴とする塗膜形成方法。 - 前記エア吹き付け工程では、前記基材の上面にエアを吹き付けるのと同時に、前記基材の中心部から基材の外側に向う方向に沿って、前記基材の下面にエアを吹き付ける請求項1に記載の塗膜形成方法。
- 基材表面に塗膜を形成するためのスピンコータであって、
塗膜が形成される基材を保持し、且つ該基材を所定の軸回りに回転させるステージと、
前記基材の上部から前記基材の上面周縁部にエアを吹き付ける上エア吹き付け部とを備え、
該上エア吹き付け部は、前記基材の中心部から当該基材の外側に向う方向に沿って、エアを吹き付けること、
を特徴とするスピンコータ。 - 基材の中心部から基材の外側に向う方向に沿って、前記基材の下面にエアを吹き付ける下エア吹き付け部をさらに備える請求項3に記載のスピンコータ。
- 前記上エア吹き付け部は、円板形状を有し、その外周全周に沿って形成された吹出口を備える請求項3に記載のスピンコータ。
- 前記下エア吹き付け部は、前記ステージとの間に所定の間隔をもって前記ステージを囲む筒状体を備え、この筒状体と前記ステージの間に形成された流路を介して前記エアを前記基材の下面に吹き付ける請求項4に記載のスピンコータ。
- 前記上エア吹き付け部及び/又は下エア吹き付け部は、先端が前記基材の上面及び/又は下面に向けて配置されたチューブ状部材によって構成されている請求項3に記載のスピンコータ。
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