JP2011003426A - 電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子線を出射する電子線源1と、該電子線源1から出射される電子線を集束させる電磁レンズと、該電磁レンズを通過した電子線の光軸調整を行なうアライメントコイルと、試料近傍の雰囲気を制御する制御装置と、鏡筒の所定の箇所に少なくとも一つ設けられた排気ポンプと、試料近傍に設けられたガス導入装置12と、試料に電子線を照射して該照射領域からの信号に基づいて画像を構成する画像構成装置35と、画像を記録及び表示する画像出力装置と、これら各構成要素を制御するコンピュータ50とを搭載した電子顕微鏡において、前記コンピュータ50は、ガス種と試料近傍の圧力とから、高圧タンクを放電させない圧力を維持できるオリフィスの数及びこれらオリフィスの径を求めるように構成される。
【選択図】図1
Description
(1)請求項1記載の発明は、電子線を出射する電子線源と、該電子線源から出射される電子線を集束させる電磁レンズと、該電磁レンズを通過した電子線の光軸を調整するアライメントコイルと、試料近傍の雰囲気を制御する制御装置と、鏡筒の所定の箇所に少なくとも一つ設けられた排気ポンプと、試料近傍に設けられたガス導入装置と、試料に電子線を照射して該照射領域からの信号に基づいて画像を構成する画像構成装置と、画像を記録及び表示する画像出力装置と、これら各構成要素を制御するコンピュータとを搭載した電子顕微鏡において、前記コンピュータは、ガス種と試料近傍の圧力とから、高圧タンクを放電させない圧力を維持できるオリフィスの数及びこれらオリフィスの径を求めることを特徴とする。
(4)請求項4記載の発明は、前記試料近傍の雰囲気条件をコンピュータの操作部から指定すると、該コンピュータは指定された条件に付随してオリフィスの挿入と選択及び排気シーケンスを選択することを特徴とする。
(6)請求項6記載の発明は、前記オリフィスは、光路上の異なる位置に2個以上設置されていることを特徴とする。
(6)請求項6記載の発明によれば、光路上の異なる位置に2個以上のオリフィスを設置することにより、試料近傍の雰囲気を指定された条件に合わせることができる。
図1は本発明に係る電子顕微鏡の構成例を示す図である。ここでは、透過型電子顕微鏡(TEM)を示している。図において、1は電子線を発生する電子線源、2は発生した電子線を加速する加速管、25は電子線の中心である光軸である。3,4は電子線の光軸を調整するアライメントコイル1,2である。5は電子線を集束させる電磁レンズ1である。60は鏡筒、31は鏡筒60内に設置されたオリフィス1である。このオリフィス1は円盤状をなしており、真ん中に開口が穿たれている。開口の形状は、例えば円形状が用いられる。
図2は本発明の制御装置の構成例を示す図である。図1と同一のものは、同一の符号を付して示す。図において、36は排気ポンプ・弁群であり、42は該排気ポンプ・弁群36の動作を制御する排気制御装置である。37はアライメントコイル群であり、43は該アライメントコイル群37を制御するアライメントコイル制御装置である。
また、オリフィスの挿入と選択及び排気シーケンスの選択を、ガス種と試料近傍の圧力及び観察時の最低倍率で定義することができる。
また、異なる系の組合わせのオリフィスを光路上の異なる位置に設置することで、試料近傍の雰囲気を指定された条件に合わせることができる。
2 加速管
3 アライメントコイル1
4 アライメントコイル2
5 電磁レンズ1
6 電磁レンズ2
7 電磁レンズ3
8 アライメントコイル3
9 アライメントコイル4
10 電子レンズ
11 試料
12 ガス導入機構
13 電磁レンズ5
14 電磁レンズ6
15 アライメントコイル5
16 電磁レンズ7
17 電磁レンズ8
18 アライメントコイル6
19 電磁レンズ9
20 イオンポンプ
21 ターボ分子ポンプ1
22 ターボ分子ポンプ2
23 ターボ分子ポンプ3
24 ターボ分子ポンプ4
25 光軸
26 弁1
27 弁2
28 弁3
29 弁4
30 弁5
31 オリフィス1
32 オリフィス2
33 オリフィス3
34 オリフィス4
35 画像構成装置
Claims (7)
- 電子線を出射する電子線源と、
該電子線源から出射される電子線を集束させる電磁レンズと、
該電磁レンズを通過した電子線の光軸調整を行なうアライメントコイルと、
試料近傍の雰囲気を制御する制御装置と、
鏡筒の所定の箇所に少なくとも一つ設けられた排気ポンプと、
試料近傍に設けられたガス導入装置と、
試料に電子線を照射して該照射領域からの信号に基づいて画像を構成する画像構成装置と、
画像を記録及び表示する画像出力装置と、
これら各構成要素を制御するコンピュータと、
を搭載した電子顕微鏡において、
前記コンピュータは、ガス種と試料近傍の圧力とから、高圧タンクを放電させない圧力を維持できるオリフィスの数及びこれらオリフィスの径を求めることを特徴とする電子顕微鏡。 - 電子線を出射する電子線源と、
該電子線源から出射される電子線を集束させる電磁レンズと、
該電磁レンズを通過した電子線の光軸調整を行なうアライメントコイルと、
試料近傍の雰囲気を制御する制御装置と、
鏡筒の所定の箇所に少なくとも一つ設けられた排気ポンプと、
試料近傍に設けられたガス導入装置と、
試料に電子線を照射して該照射領域からの信号に基づいて画像を構成する画像構成装置と、
画像を記録及び表示する画像出力装置と、
これら各構成要素を制御するコンピュータと、
を搭載した電子顕微鏡において、
試料から画像構成装置までの圧力を十分な透過能と分解能を維持できる圧力とするため、前記コンピュータは、ガス種と試料近傍の圧力とから、試料と画像構成装置との間に設置されるオリフィスの数及びこれらオリフィスの径を求めることを特徴とする電子顕微鏡。 - 電子線を出射する電子線源と、
該電子線源から出射される電子線を集束させる電磁レンズと、
該電磁レンズを通過した電子線の光軸調整を行なうアライメントコイルと、
試料近傍の雰囲気を制御する制御装置と、
鏡筒の所定の箇所に少なくとも一つ設けられた排気ポンプと、
試料近傍に設けられたガス導入装置と、
試料に電子線を照射して該照射領域からの信号に基づいて画像を構成する画像構成装置と、
画像を記録及び表示する画像出力装置と、
これら各構成要素を制御するコンピュータと、
を搭載した電子顕微鏡において、
前記コンピュータは、ガス種と試料近傍の圧力とから、高圧タンクを放電させない圧力を維持できるオリフィスの数及びこれらオリフィスの径を求めると同時に、試料から画像構成装置までの圧力を十分な透過能と分解能を維持できる圧力とするため、前記コンピュータは、ガス種と試料近傍の圧力とから、試料と画像構成装置との間に設置されるオリフィスの数及びこれらオリフィスの径を求めることを特徴とする電子顕微鏡。 - 前記試料近傍の雰囲気条件をコンピュータの操作部から指定すると、該コンピュータは指定された条件に付随してオリフィスの挿入と選択及び排気シーケンスを選択することを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の電子顕微鏡。
- 前記オリフィスの挿入と選択及び排気シーケンスの選択は、ガス種と試料近傍の圧力及び観察時の最低倍率で定義されることを特徴とする請求項4記載の電子顕微鏡。
- 前記オリフィスは、光路上の異なる位置に2個以上設置されていることを特徴とした請求項1乃至3の何れか1項に記載の電子顕微鏡。
- 前記オリフィスは、異なる径の組み合せを光路上の異なる位置に2個以上設置されていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の電子顕微鏡。
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