JP2010500764A - 複数の半導体ダイを分離する方法 - Google Patents
複数の半導体ダイを分離する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010500764A JP2010500764A JP2009523967A JP2009523967A JP2010500764A JP 2010500764 A JP2010500764 A JP 2010500764A JP 2009523967 A JP2009523967 A JP 2009523967A JP 2009523967 A JP2009523967 A JP 2009523967A JP 2010500764 A JP2010500764 A JP 2010500764A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- die
- semiconductor
- cutting
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 82
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 77
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 101
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 101
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims abstract description 49
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 48
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims abstract description 34
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 27
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 224
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 41
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 32
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 22
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 22
- 229910017709 Ni Co Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 229910003267 Ni-Co Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 229910003262 Ni‐Co Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 17
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 15
- -1 Si 3 N 4 Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 10
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 10
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims description 9
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 9
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 claims description 9
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 9
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 9
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 8
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 7
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 claims description 7
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 6
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 claims description 6
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 claims description 6
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 claims description 6
- 229910017816 Cu—Co Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 claims description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims description 3
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 claims 3
- 239000012815 thermoplastic material Substances 0.000 claims 3
- 239000001993 wax Substances 0.000 claims 2
- 238000004093 laser heating Methods 0.000 abstract description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 26
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 19
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 17
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 14
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 13
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 12
- 239000002365 multiple layer Substances 0.000 description 5
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 3
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 3
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 2
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000013043 chemical agent Substances 0.000 description 2
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003266 NiCo Inorganic materials 0.000 description 1
- QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N [Co].[Ni] Chemical compound [Co].[Ni] QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000010944 silver (metal) Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000003631 wet chemical etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/005—Processes
- H01L33/0095—Post-treatment of devices, e.g. annealing, recrystallisation or short-circuit elimination
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/005—Processes
- H01L33/0093—Wafer bonding; Removal of the growth substrate
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
【選択図】図9
Description
Claims (46)
- 複数の半導体ダイを製造する方法であって、
基板上に1以上の半導体層を形成するステップと、
前記半導体層内に、複数の半導体ダイを、ダイ通路により分離されるように定めて配置するステップと、
前記半導体ダイおよび前記ダイ通路の上において、前記半導体層上に薄型処理構造体を形成するステップと、
前記半導体ダイの上において、前記ダイ通路の上を回避して前記薄型処理構造体上に厚型処理構造体を形成するステップと、
前記基板を除去するステップと、
前記半導体ダイ間の前記ダイ通路に沿って前記薄型処理構造体を切断するステップと、
を含んでいることを特徴とする方法。 - 前記薄型処理構造体は、前記基板を除去するステップの後に、前記複数の半導体ダイの処理が可能となるように設計されていることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記薄型処理構造体の硬度は、100HVを超えることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記薄型処理構造体の厚さは、1μmを超えることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記薄型処理構造体は、複数の金属層を含んで成ることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記薄型処理構造体は、Cu、Ni、Mo、W、Co、Pd、Pt、Ni-Co、Ag、Au、Cu-Co、Cu-Mo、Cu/Ni、Cu/Ni-Co、Cu/Ni-Co/Cu、Cu/Ni-Co/Cu/Ni-Co、Cu/Ni/Cu-Moまたはそれらの合金から選択される少なくとも一種の金属を含んで成ることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記薄型処理構造体を形成するステップは、電解メッキ処理、無電解メッキ処理または金属ボンディング処理から選択される少なくとも一種の処理を含んでいることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記基板を除去するステップに先立って、前記厚型処理構造体および前記薄型処理構造体の上において、バリア層を積層するステップをさらに含んでいることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記バリア層は、Cr/Au、Ni/Au、Ti/Au、Al/Ti、Ag/Ti、Cr/Au/Ti/Ni/Au、Ti/Ni/Au、Ni-Co/Au、W/AuまたはMo/Auから選択される少なくとも一種を含んで成ることを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 前記バリア層は、Si、GaAs、GaPまたはInPから選択される少なくとも一種を含んで成る半導体であることを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 前記バリア層はポリマー、ポリイミド、エポキシ、パリレン、レジスト、ドライフィルムレジスト、熱可塑材、SiO2、Si3N4、ZnO、Ta2O5、TiO2、HfOまたはMgOから選択される少なくとも一種を含んで成る絶縁体であることを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 前記薄型処理構造体を切断するステップに先立って、前記基板の除去によって露出した前記半導体層の表面に保護層を形成するステップと、
前記切断するステップの後に、前記保護層を除去するステップと、
をさらに含んでいることを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記保護層はワックス、エポキシ、ポリマー、熱可塑材、ポリイミド、パリレン、レジスト、SiO2、Si3N4、ZnO、Ta2O5、TiO2、HfOまたはMgOから選択される少なくとも一種を含んで成ることを特徴とする請求項12に記載の方法。
- 前記薄型処理構造体を切断するステップは、レーザ切断、鋸切断またはウォータジェット切断から選択される少なくとも一種によって実行されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記厚型処理構造体を形成するステップは、
前記薄型処理構造体の上において、前記ダイ通路内に電解メッキ(EP)防止領域を形成するステップと、
前記EP防止領域が前記ダイ通路の少なくとも一部への金属堆積を防止しつつ、前記厚型処理構造体としての1層以上の金属層を積層するステップと、
前記薄型処理構造体を切断するステップに先立って、前記EP防止領域を除去するステップと、
を含んでいることを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記1層以上の金属層を積層するステップは、物理蒸着(PVD)、真空蒸着、プラズマスプレー、化学蒸着(CVD)または無電解メッキから選択される少なくとも一種によって実施されることを特徴とする請求項15に記載の方法。
- 前記厚型処理構造体の厚さは、5μmから700μmの範囲であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 複数の半導体ダイを製造する方法であって、
基板上に1以上の半導体層を形成するステップと、
前記半導体層内に、複数の半導体ダイを、ダイ通路により分離されるように定めて配置するステップと、
前記半導体層の上に1層以上の処理層を形成するステップと、
前記ダイ通路内に電解メッキ(EP)防止領域を形成するステップと、
前記EP防止領域が前記ダイ通路の少なくとも一部への金属堆積を防止しつつ、前記処理層の上に複数の金属層を積層するステップと、
前記EP防止層を除去するステップと、
前記半導体層の表面を露出させるために前記基板を除去するステップと、
前記金属層が積層されていないダイ間において、前記ダイ通路の一部に沿って、前記処理層を切断するステップと、
を含んでいることを特徴とする方法。 - 前記処理層を形成するステップに先立って、前記半導体層の上に1層以上の接続導電層を積層するステップと、
前記処理層を切断する時に、前記接続導電層を切断するステップと、
をさらに含んでいることを特徴とする請求項18に記載の方法。 - 前記処理層は、前記基板を除去するステップの後に、前記複数の半導体ダイの処理を可能にすることを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 前記処理層の硬度は、100HVを超えることを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 前記処理層の厚さは、1μmを超えることを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 前記処理層は、Cu、Ni、Mo、W、Co、Pd、Pt、Ni-Co、Ag、Au、Cu-Co、Cu-Mo、Cu/Ni、Cu/Ni-Co、Cu/Ni-Co/Cu、Cu/Ni-Co/Cu/Ni-Co、Cu/Ni/Cu-Moまたはそれらの合金から選択される少なくとも一種の金属を含んで成ることを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 前記処理層を形成するステップは、電解メッキ処理、無電解メッキ処理または金属ボンディング処理から選択される少なくとも一種の処理によって実施されることを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 前記基板を除去するステップに先立って、前記複数の金属層の上において、バリア層を積層するステップをさらに含んでいることを特徴とする請求項15に記載の方法。
- 前記バリア層は、Cr/Au、Ni/Au、Ti/Au、Al/Ti、Ag/Ti、Cr/Au/Ti/Ni/Au、Ti/Ni/Au、Ni-Co/Au、W/AuまたはMo/Auから選択される少なくとも一種を含んで成る導体であることを特徴とする請求項25に記載の方法。
- 前記バリア層は、Si、GaAs、GaPまたはInPから選択される少なくとも一種を含んで成る半導体であることを特徴とする請求項25に記載の方法。
- 前記バリア層は、ポリマー、ポリイミド、エポキシ、パリレン、レジスト、ドライフィルムレジスト、熱可塑材、SiO2、Si3N4、ZnO、Ta2O5、TiO2、HfOまたはMgOから選択される少なくとも一種を含んで成る絶縁体であることを特徴とする請求項25に記載の方法。
- 粘着性材料を前記バリア層に付着させるステップと、
前記複数の半導体ダイを分離するために前記粘着性材料を膨張させるステップと、
をさらに含んでいることを特徴とする請求項25に記載の方法。 - 前記粘着性材料を前記半導体層の露出表面または前記複数の金属層の表面に付着させるステップと、
前記切断するステップの後に、前記複数の半導体ダイを分離するために前記粘着性材料を膨張させるステップと、
をさらに含んでいることを特徴とする請求項18に記載の方法。 - 前記粘着性材料は、紫外線硬化性(UV)テープまたは金属テープを含んでなることを特徴とする請求項30に記載の方法。
- 前記金属層を積層するステップは、物理蒸着(PVD)、真空蒸着、プラズマスプレー、化学蒸着(CVD)または無電解メッキから選択される少なくとも一種によって実施されることを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 前記EP防止領域は、ポリマー、ポリイミド、エポキシ、レジスト、熱可塑材、パリレン、ドライフィルムレジスト、SU-8またはNR7から選択される少なくとも一種を含んで成ることを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 前記処理層と前記接続導電層とを切断するステップは、レーザ切断、鋸切断またはウォータジェット切断から選択される少なくとも一種によって実行されることを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 前記処理層を切断するステップは、レーザ切断するステップと、レーザ切断された前記処理層を合体するステップとを含んでいることを特徴とする請求項18に記載の方法。
- ブレーカ、エアナイフまたはウォータジェットによって、合体された前記処理層を分割するステップをさらに含んでいることを特徴とする請求項35に記載の方法。
- 前記EP防止領域を除去するステップは、ウェットエッチングによって実行されることを含んでいることを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 前記半導体層の露出表面に、接着パッドまたは回路パターンを加えるステップをさらに含んでいることを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 前記処理層と前記接続導電層を切断するステップに先立って、前記接着パッドまたは回路パターンの上に保護層を形成するステップと、
前記切断するステップの後に、前記保護層を除去するステップと、
をさらに含んでいることを特徴とする請求項38に記載の方法。 - 前記保護層は、ワックス、エポキシ、ポリマー、熱可塑材、ポリイミド、パリレン、レジスト、SiO2、Si3N4、ZnO、Ta2O5、TiO2、HfOまたはMgOから選択される少なくとも一種を含んで成ることを特徴とする請求項38に記載の方法。
- 前記複数の半導体ダイは、縦型発光ダイオード(VLED)ダイであることを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 複数の半導体ダイを製造する方法であって、
ダイ通路で分離されて基板上に配置される複数の半導体ダイを有する構造体を供給するステップと、
前記複数の半導体ダイと前記ダイ通路の上に1層以上の処理層を積層するステップと、
前記半導体ダイの上において、前記ダイ通路の上を回避して前記処理層上に1層以上の導電金属層を積層するステップと、
前記構造体から前記基板を除去するステップと、
前記半導体ダイを分離させるために、当該半導体ダイ間の前記ダイ通路に沿って前記処理層を切断するステップと、
を含んでおり、前記処理層は、前記基板を除去するステップの後に、前記構造体を処理可能にすることを特徴とする方法。 - 前記処理層の硬度は、100HVを超えることを特徴とする請求項42に記載の方法。
- 前記構造体の処理中に応力を低減させるために、バリア層を追加するステップをさらに含んでおり、前記処理層を切断するステップに先立って、当該バリア層は前記導電金属層と前記ダイ通路の上において追加されることを特徴とする請求項42に記載の方法。
- 前記導電金属層を積層するステップは、
前記ダイ通路にEP防止領域を形成するステップと、
前記EP防止領域が前記ダイ通路の少なくとも一部への金属堆積を防止しつつ、前記処理層の上において前記導電金属層を積層するステップと、
前記EP防止領域を除去するステップと、
を含んでいることを特徴とする請求項42に記載の方法。 - 前記基板を除去するステップによって露出された前記半導体ダイの表面に粘着性材料を付着するステップと、
前記切断するステップの後に、前記複数の半導体ダイを分離するために前記粘着性材料を膨張させるステップと、
をさらに含んでいることを特徴とする請求項42に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US82160806P | 2006-08-07 | 2006-08-07 | |
PCT/US2007/075402 WO2008019377A2 (en) | 2006-08-07 | 2007-08-07 | Method of separating semiconductor dies |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010500764A true JP2010500764A (ja) | 2010-01-07 |
Family
ID=39033620
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009523967A Pending JP2010500764A (ja) | 2006-08-07 | 2007-08-07 | 複数の半導体ダイを分離する方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7829440B2 (ja) |
EP (1) | EP2122670A4 (ja) |
JP (1) | JP2010500764A (ja) |
WO (1) | WO2008019377A2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011258746A (ja) * | 2010-06-09 | 2011-12-22 | Nichia Chem Ind Ltd | 半導体発光素子の製造方法 |
JP2015531691A (ja) * | 2012-07-24 | 2015-11-05 | マイカーティス・エヌフェー | マイクロキャリアの製造方法 |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009031482A1 (en) * | 2007-09-07 | 2009-03-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
US7951688B2 (en) * | 2007-10-01 | 2011-05-31 | Fairchild Semiconductor Corporation | Method and structure for dividing a substrate into individual devices |
JP5307612B2 (ja) * | 2009-04-20 | 2013-10-02 | 株式会社ディスコ | 光デバイスウエーハの加工方法 |
US8202786B2 (en) | 2010-07-15 | 2012-06-19 | Infineon Technologies Austria Ag | Method for manufacturing semiconductor devices having a glass substrate |
US9029200B2 (en) * | 2010-07-15 | 2015-05-12 | Infineon Technologies Austria Ag | Method for manufacturing semiconductor devices having a metallisation layer |
US8865522B2 (en) | 2010-07-15 | 2014-10-21 | Infineon Technologies Austria Ag | Method for manufacturing semiconductor devices having a glass substrate |
US8686461B2 (en) | 2011-01-03 | 2014-04-01 | SemiLEDs Optoelectronics Co., Ltd. | Light emitting diode (LED) die having stepped substrates and method of fabrication |
US9165895B2 (en) | 2011-11-07 | 2015-10-20 | Infineon Technologies Ag | Method for separating a plurality of dies and a processing device for separating a plurality of dies |
JP2013105975A (ja) * | 2011-11-16 | 2013-05-30 | Mitsubishi Electric Corp | 光半導体装置の製造方法 |
CN103241707A (zh) * | 2012-02-07 | 2013-08-14 | 中国科学院上海微***与信息技术研究所 | 砷化镓图像传感器圆片级芯片尺寸封装方法及其结构 |
TWI528578B (zh) * | 2012-03-28 | 2016-04-01 | 鴻海精密工業股份有限公司 | 發光二極體製造方法 |
US9368404B2 (en) | 2012-09-28 | 2016-06-14 | Plasma-Therm Llc | Method for dicing a substrate with back metal |
DE102012111358A1 (de) * | 2012-11-23 | 2014-05-28 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Verfahren zum Vereinzeln eines Verbundes in Halbleiterchips und Halbleiterchip |
DE102013103079A1 (de) * | 2013-03-26 | 2014-10-02 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelektronischer Halbleiterchip und Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterchips |
CN105458517B (zh) * | 2015-12-08 | 2018-04-13 | 英诺激光科技股份有限公司 | 晶圆激光划片与裂片方法及*** |
JP6671794B2 (ja) * | 2016-05-11 | 2020-03-25 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
KR102320673B1 (ko) * | 2016-12-28 | 2021-11-01 | 인벤사스 본딩 테크놀로지스 인코포레이티드 | 적층된 기판의 처리 |
CN107910295B (zh) * | 2017-12-27 | 2023-12-05 | 江阴长电先进封装有限公司 | 一种晶圆级芯片封装结构及其封装方法 |
DE102018002895A1 (de) * | 2018-04-09 | 2019-10-10 | 3-5 Power Electronics GmbH | Stapelförmiges III-V-Halbleiterbauelement |
DE102018003982A1 (de) | 2018-05-17 | 2019-11-21 | 3-5 Power Electronics GmbH | Halbleiterbauelementherstellungsverfahren und Halbleiterbauelement |
KR102563570B1 (ko) | 2018-10-24 | 2023-08-04 | 삼성전자주식회사 | 반도체 레이저 장치 |
TWI784639B (zh) * | 2021-07-27 | 2022-11-21 | 宏捷科技股份有限公司 | 垂直共振腔面射型雷射二極體晶粒陣列的切割方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09210614A (ja) * | 1996-01-31 | 1997-08-12 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 薄膜歪ゲージ |
JP2002329684A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 窒化物半導体チップ及びその製造方法 |
JP2005012188A (ja) * | 2003-05-22 | 2005-01-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体素子の製造方法 |
US6884646B1 (en) * | 2004-03-10 | 2005-04-26 | Uni Light Technology Inc. | Method for forming an LED device with a metallic substrate |
US20060105542A1 (en) * | 2004-11-15 | 2006-05-18 | Yoo Myung C | Method for fabricating and separating semiconductor devices |
JP2007103934A (ja) * | 2005-10-05 | 2007-04-19 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 垂直構造発光ダイオードの製造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2609212B1 (fr) * | 1986-12-29 | 1989-10-20 | Thomson Semiconducteurs | Procede de decoupe collective, par voie chimique, de dispositifs semiconducteurs, et dispositif decoupe par ce procede |
US5157001A (en) * | 1989-09-18 | 1992-10-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of dicing semiconductor wafer along protective film formed on scribe lines |
US5552345A (en) * | 1993-09-22 | 1996-09-03 | Harris Corporation | Die separation method for silicon on diamond circuit structures |
US6562648B1 (en) * | 2000-08-23 | 2003-05-13 | Xerox Corporation | Structure and method for separation and transfer of semiconductor thin films onto dissimilar substrate materials |
US6420206B1 (en) * | 2001-01-30 | 2002-07-16 | Axsun Technologies, Inc. | Optical membrane singulation process utilizing backside and frontside protective coating during die saw |
JP3928695B2 (ja) * | 2001-03-30 | 2007-06-13 | セイコーエプソン株式会社 | 面発光型の半導体発光装置およびその製造方法 |
KR101030068B1 (ko) * | 2002-07-08 | 2011-04-19 | 니치아 카가쿠 고교 가부시키가이샤 | 질화물 반도체 소자의 제조방법 및 질화물 반도체 소자 |
US7129114B2 (en) * | 2004-03-10 | 2006-10-31 | Micron Technology, Inc. | Methods relating to singulating semiconductor wafers and wafer scale assemblies |
US7452739B2 (en) * | 2006-03-09 | 2008-11-18 | Semi-Photonics Co., Ltd. | Method of separating semiconductor dies |
-
2007
- 2007-08-07 US US11/835,289 patent/US7829440B2/en active Active
- 2007-08-07 EP EP07840745.9A patent/EP2122670A4/en not_active Withdrawn
- 2007-08-07 WO PCT/US2007/075402 patent/WO2008019377A2/en active Application Filing
- 2007-08-07 JP JP2009523967A patent/JP2010500764A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09210614A (ja) * | 1996-01-31 | 1997-08-12 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 薄膜歪ゲージ |
JP2002329684A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 窒化物半導体チップ及びその製造方法 |
JP2005012188A (ja) * | 2003-05-22 | 2005-01-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体素子の製造方法 |
US6884646B1 (en) * | 2004-03-10 | 2005-04-26 | Uni Light Technology Inc. | Method for forming an LED device with a metallic substrate |
US20060105542A1 (en) * | 2004-11-15 | 2006-05-18 | Yoo Myung C | Method for fabricating and separating semiconductor devices |
JP2007103934A (ja) * | 2005-10-05 | 2007-04-19 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 垂直構造発光ダイオードの製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011258746A (ja) * | 2010-06-09 | 2011-12-22 | Nichia Chem Ind Ltd | 半導体発光素子の製造方法 |
JP2015531691A (ja) * | 2012-07-24 | 2015-11-05 | マイカーティス・エヌフェー | マイクロキャリアの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2122670A4 (en) | 2013-05-15 |
WO2008019377A2 (en) | 2008-02-14 |
US7829440B2 (en) | 2010-11-09 |
WO2008019377A3 (en) | 2008-06-05 |
US20080032488A1 (en) | 2008-02-07 |
EP2122670A2 (en) | 2009-11-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2010500764A (ja) | 複数の半導体ダイを分離する方法 | |
US7452739B2 (en) | Method of separating semiconductor dies | |
US8802469B2 (en) | Method of fabricating semiconductor die using handling layer | |
US7473571B2 (en) | Method for manufacturing vertically structured light emitting diode | |
US7442565B2 (en) | Method for manufacturing vertical structure light emitting diode | |
JP5247710B2 (ja) | ダイ分離法 | |
EP1727218B1 (en) | Method of manufacturing light emitting diodes | |
EP2404331B1 (en) | Method of bonding a semiconductor device using a compliant bonding structure | |
CN107706279B (zh) | 发光器件以及将发光器件附着到支撑衬底的方法 | |
TWI479685B (zh) | 垂直式發光二極體晶粒及其製作方法 | |
JP2006237056A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US8222064B2 (en) | Vertical light emitting diode device structure and method of fabricating the same | |
US20180366618A1 (en) | Optoelectronic Semiconductor Devices with Enhanced Light Output | |
KR100691186B1 (ko) | 수직구조 발광 다이오드의 제조 방법 | |
JP2011029574A (ja) | Iii族窒化物系化合物半導体素子の製造方法 | |
US9048381B1 (en) | Method for fabricating light-emitting diode device | |
TW201316504A (zh) | 用於連接一發光元件之電性絕緣接合 | |
CN108461408B (zh) | 形成安装在基板上的半导体器件的方法 | |
JP7174247B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP5115434B2 (ja) | Iii族窒化物系化合物半導体素子の製造方法 | |
TWI433349B (zh) | 垂直發光二極體裝置結構及其製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100806 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121211 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121213 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130308 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131001 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131202 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140513 |