JP2010258168A - デバイス製造装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】制御対象の駆動の際に熱を発生する駆動部を含むウェハステージ機構10と、駆動部が発生した熱を回収するための冷媒が流れる管路32と、管路32を流れる冷媒30を冷却する熱交換器(冷却器)24と、熱交換器24と駆動部との間に配置されて熱交換器24によって冷却された冷媒30を加熱する加熱器28と、駆動部を制御するための制御情報に応じて熱交換器24による冷却を制御するステージ制御装置13とを備える。
【選択図】図1
Description
Claims (10)
- 制御対象の駆動の際に熱を発生する駆動部を有するデバイス製造装置であって、
前記駆動部が発生した熱を回収するための冷媒が流れる管路と、
前記管路を流れる冷媒を冷却する冷却器と、
前記冷却器と前記駆動部との間に配置されて前記冷却器によって冷却された冷媒を加熱する加熱器と、
前記駆動部を制御するための制御情報に応じて前記冷却器による冷却を制御する制御部と、
を備えることを特徴とするデバイス製造装置。 - 前記制御部は、前記制御情報に応じて前記冷却器による冷却の目標温度を設定する、
ことを特徴とする請求項1に記載のデバイス製造装置。 - 前記制御部は、前記制御情報に基づいて予測される前記駆動部の発熱量に応じて前記冷却器による冷却の目標温度を設定する、
ことを特徴とする請求項1に記載のデバイス製造装置。 - 前記駆動部またはその周辺の温度と目標温度との偏差に応じて前記冷却器による冷却を制御するための操作量を出力するPID補償器を含む温度制御部と、
前記制御情報に応じて前記操作量に対してオフセットを加算する加算器と、
を更に備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のデバイス製造装置。 - 動作モードとして、
前記駆動部またはその周辺の温度と目標温度との偏差に基づいて前記冷却器による冷却を制御しつつ前記加熱器による加熱を停止する第1モードと、
前記冷却器と前記加熱器との間における冷媒の温度と第1目標温度との偏差に基づいて前記冷却器による冷却を制御しつつ前記駆動部またはその周辺の温度と第2目標温度との偏差に基づいて前記加熱器による加熱を制御する第2モードと、
を含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のデバイス製造装置。 - 前記制御情報に応じて前記動作モードが決定される、
ことを特徴とする請求項5に記載のデバイス製造装置。 - コンソールからの指令に応じて前記動作モードが決定される、
ことを特徴とする請求項5に記載のデバイス製造装置。 - コンソールからの指令に応じて冷媒の流量を制御する流量制御器を更に備える、
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のデバイス製造装置。 - 露光装置として構成されていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のデバイス製造装置。
- 請求項9に記載のデバイス製造装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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