JP2010238800A - 表示装置用Al合金膜、薄膜トランジスタ基板および表示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】Al合金膜とTFTの半導体層との間のバリアメタル層を省略可能な新規のSiダイレクトコンタクト技術を提供する。詳細には、Al合金膜をTFTの半導体層と直接接続しても、AlとSiの相互拡散を防止でき、良好なTFT特性が得られると共に、TFTの製造工程でAl合金膜に約100〜300℃の熱履歴が加わった場合でも、低い電気抵抗と優れた耐熱性が得られる新規なSiダイレクトコンタクト技術を提供する。
【解決手段】本発明の表示装置用Al合金膜は、表示装置の基板上で、薄膜トランジスタの半導体層と直接接続されるAl合金膜であって、上記Al合金膜は、Geを0.1〜4原子%;La、GdおよびNdよりなる群から選ばれる少なくとも1種を0.1〜1原子%;並びにTa、Nb、Re、ZrおよびTiよりなる群から選ばれる少なくとも1種を含有する。
【選択図】なし
【解決手段】本発明の表示装置用Al合金膜は、表示装置の基板上で、薄膜トランジスタの半導体層と直接接続されるAl合金膜であって、上記Al合金膜は、Geを0.1〜4原子%;La、GdおよびNdよりなる群から選ばれる少なくとも1種を0.1〜1原子%;並びにTa、Nb、Re、ZrおよびTiよりなる群から選ばれる少なくとも1種を含有する。
【選択図】なし
Description
本発明は、表示装置用Al合金膜、薄膜トランジスタ基板および表示装置に関するものである。詳細には、薄膜トランジスタの半導体層と直接接続することができ、好ましくは更に透明導電膜と直接接続することも可能な表示装置用Al合金膜に関するものである。本発明のAl合金膜は、例えば、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ(表示装置)などに適用することができる。
液晶ディスプレイなどのアクティブマトリクス型の液晶表示装置においては、薄膜トランジスタ:Thin Film Transistor(以下「TFT」という)がスイッチング素子として用いられる。図1に従来のTFT基板の基本的な構造を示す。図1に示すように、TFT素子は、ガラス基板1上に形成されたTFTのオン・オフを制御するゲート電極2と、ゲート絶縁膜3を介して設けられた半導体シリコン層4と、それに接続するドレイン電極5とソース電極6とを有する。ドレイン電極5には、更に液晶表示部の画素電極に使用される透明導電膜(透明画素電極)7が接続される。ゲート電極2や、ドレイン電極5およびソース電極6に用いられる配線金属には、電気抵抗(比抵抗)が低く、加工が容易であるなどの理由により、Al合金が汎用されている。
従来、Al合金配線(Al合金膜)と透明導電膜7との界面、及び/又はAl合金膜とTFTの半導体シリコン層4との界面には、これらが直接接触しないよう、Mo、Cr、Ti、W等の高融点金属からなるバリアメタル層11を設けていた。バリアメタル層11を介在させずにAl合金膜をTFTの半導体層に直接接続させると、その後の工程(例えば、TFTの上に形成する絶縁層などの成膜工程や、シンタリングやアニーリングなどの熱工程など)における熱履歴によって、Alが半導体層中に拡散してTFT特性が低下したり、Al合金の電気抵抗が増大するためである。例えば、Al合金膜の形成後、CVD法などによってシリコン窒化膜(保護膜)が約100〜300℃の温度で成膜されるが、Alは非常に酸化され易いため、バリアメタル層11がないと、Al合金膜の表面にヒロックと呼ばれるコブ状の突起が形成され、画面の表示品位が低下するなどの問題が生じる。また、バリアメタル層11がないと、液晶表示装置の成膜工程で生じる酸素や成膜時に添加する酸素などによってAlが容易に酸化され、Al合金膜と透明導電膜(画素電極)との界面や、Al合金膜と半導体層との界面にAl酸化物の絶縁層が生成し、接触抵抗(コンタクト抵抗)が増大することもある。
しかし、バリアメタル層11を形成するためには、ゲート電極2やソース電極6、更にはドレイン電極5の形成に必要な成膜用スパッタ装置に加えて、バリアメタル形成用の成膜チャンバーを余分に装備しなければならない。液晶ディスプレイの大量生産に伴い低コスト化が進むにつれて、バリアメタル層の形成に伴う製造コストの上昇や生産性の低下は軽視できなくなっている。
そこで、Al合金膜と半導体層との間のバリアメタル層を省略しても、AlとSiとの相互拡散などに起因するTFT特性の低下や、電気抵抗の増大などの上記問題を解決することが可能なSiダイレクトコンタクト技術が提案されている(例えば特許文献1〜3)。このうち特許文献1には、Niを0.1〜6原子%含むAl合金を用い、半導体層との界面にAlとSiの拡散を防止するシリサイド等のNi含有析出物を形成させた技術が開示されている。また、特許文献2には、Niに、Si及びLaを更に含むAl合金が開示されており、Siの添加によってAlとSiの相互拡散抑制効果が一層向上し、Laの添加によってAl−Ni−Si合金の耐ヒロック性が向上することが記載されている。また、特許文献3には、Al合金膜と半導体層の界面に窒化層(窒素含有層)を設けることによってAlとSiの相互拡散を防止する技術が開示されている。
一方、特許文献4〜6には、Al合金膜と透明導電膜との間のバリアメタル層を省略するITOダイレクトコンタクト技術として、Niなどの合金成分を含有するAl合金が開示されている。
本発明の目的は、Al合金膜とTFTの半導体層との間のバリアメタル層を省略可能な新規のSiダイレクトコンタクト技術を提供することにある。詳細には、Al合金膜をTFTの半導体層と直接接続しても、AlとSiの相互拡散を防止でき、良好なTFT特性が得られると共に、TFTの製造工程でAl合金膜に約100〜300℃の熱履歴が加わった場合でも、低い電気抵抗と優れた耐熱性が得られる新規なSiダイレクトコンタクト技術を提供することにある。
本発明の他の目的は、好ましくは、上記Al合金膜を透明導電膜と直接接続しても、低い電気抵抗を維持でき、良好な耐熱性が確保される新規なITOダイレクトコンタクト技術を提供することにある。
本発明の更に他の目的は、上記Siダイレクトコンタクト技術またはITOダイレクトコンタクト技術に好適に用いられるスパッタリングターゲットを提供することにある。
上記課題を達成することができた本発明の表示装置用Al合金膜は、表示装置の基板上で、薄膜トランジスタの半導体層と直接接続されるAl合金膜であって、上記Al合金膜は、Geを0.1〜4原子%;La、GdおよびNdよりなる群から選ばれる少なくとも1種を0.1〜1原子%;並びにTa、Nb、Re、ZrおよびTiよりなる群から選ばれる少なくとも1種を含有するところに要旨を有している。
好ましい実施形態において、上記Al合金膜は、更にNiおよび/またはCoを0.1〜6原子%含有する。
好ましい実施形態において、上記Al合金膜は、Ta、Nb、Re、ZrおよびTiよりなる群から選ばれる少なくとも1種を0.05〜2原子%含有する。
好ましい実施形態において、上記半導体層は多結晶シリコンまたはアモルファスシリコンである。
好ましい実施形態において、上記Al合金膜は、更に透明導電膜と直接接続されている。
本発明には、上記の表示装置用Al合金膜を有する薄膜トランジスタ基板や、上記の薄膜トランジスタ基板を備えた表示装置も包含される。
また、上記課題を達成することができた本発明に係るAl合金膜形成用のスパッタリングターゲットは、Geを0.1〜4原子%;La、GdおよびNdよりなる群から選ばれる少なくとも1種を0.1〜1原子%;並びにTa、Nb、Re、ZrおよびTiよりなる群から選ばれる少なくとも1種を含有するところに要旨を有している。
好ましい実施形態において、上記スパッタリングターゲットは、更にNiおよび/またはCoを0.1〜6原子%含有するAl合金からなる。
好ましい実施形態において、上記スパッタリングターゲットは、Ta、Nb、Re、ZrおよびTiよりなる群から選ばれる少なくとも1種を0.05〜2原子%含有するAl合金からなる。
本発明では、TFTの半導体層との直接接続が可能な配線用Al合金膜として、Geと、La、GdおよびNdよりなる群(以下「グループX」と略称する)から選ばれる少なくとも1種と、Ta、Nb、Re、ZrおよびTiよりなる群(以下「グループY」と略称する)から選ばれる少なくとも1種とを含有するAl−Ge−X−Y合金膜を使用しているため、Al合金膜と半導体層との界面におけるAlとSiとの相互拡散防止、および低い電気抵抗を達成できると共に、耐熱性も高められる。そのため、本発明のAl合金膜を用いれば、表示品位の信頼性および耐熱性に優れた薄膜トランジスタ基板を提供することができる。
更に上記Al合金膜に、Niおよび/またはCo(以下「グループZ」と略称する)を含有するAl−Ge−X−Y−Z合金膜を使用すれば、AlとSiの相互拡散が一層抑制されると共に、Al合金膜と半導体層との接触抵抗や、Al合金膜と透明導電膜との接触抵抗が低減[←1)]され、Al合金膜と、半導体層および/または透明導電膜との界面の安定性が更に向上する。
本発明は、TFTの半導体層とAl合金膜との間のバリアメタル層を省略することが可能なSiダイレクトコンタクト技術に関し、ソース−ドレイン電極などの配線用Al合金として、Al−Ge−X−Y合金膜(グループX:La、GdおよびNd、グループY:Ta、Nb、Re、ZrおよびTi)を用いたところに特徴を有している。
詳細には、本発明は、Al−Ge−X合金において、AlとSiとの相互拡散を一層抑制することが可能な第4の元素(グループYの元素)の種類を特定したところに最大の特徴がある。本発明において、Siダイレクトコンタクトに用いられるAl合金膜として、特にAl−Ge−X合金の3元系合金膜に着目したのは、GeはSiとAlとの相互拡散防止に極めて有用な元素であり、また、グループXに属するLa、Gd、Ndの元素は、耐熱性向上元素として知られている希土類元素のなかでも特にヒロックの生成防止効果が大きいからである。後記する実施例で実証したように、Al−Ge−X合金におけるAl−Si相互拡散抑制効果を一層高めるためには、Al−Si相互拡散防止作用などが知られている元素のなかでも特に、本発明で規定するグループYの元素(Ta、Nb、Re、ZrおよびTi)を用いることが極めて有用であり、上記グループY以外の元素は、Al−Ge−X合金に限って言えば、上記効果に劣るか、または、上記効果を有するが当該Al−Ge−X合金の電気抵抗を増大させることが初めて明らかになった。
例えば、前述した特許文献1〜3は、本発明と同様、Siダイレクトコンタクト技術に関するものであるが、このうち特許文献1には、SiとAlの相互拡散防止作用に寄与する元素として、「グループα」の元素が開示されている。このグループαは、本発明で規定するグループXの元素と、更にV、Mo、Hf、Wの元素とから構成されている。また、特許文献3には、ヒロック抑制元素として「グループX1」の元素が開示されている。このグループX1は、本発明で規定するグループXと、更にV、Mo、Hf、Wの元素から構成されている。ところが、本発明者らによる多くの基礎実験によれば、上記「グループα」の元素や上記「グループX1」の元素のうち、本発明で規定する「グループY」以外の元素(V、Moなど)は、Al−Ge−X合金のAl−Si相互拡散防止抑制効果に劣るか、またはAl合金の電気抵抗を増大させてしまうことが判明した。すなわち、上記「グループα」の元素や上記「グループX1」の元素は、特許文献1や特許文献3に開示されているAl合金との関係では、良好な作用を発揮するものであるが、本発明で特定した「Al−Ge−X合金」においては、その作用が有効に発揮されず、逆に、高温での安定性などが阻害されてTFT素子の信頼性が損なわれてしまうことが判明した。本発明は、このような基礎実験に基づき、Al−Ge−X−Y合金の種類を特定した次第である。
また、本発明で規定するグループZの元素(Ni及び/又はCo)は、上記Al−Ge−X−Y合金におけるAlとSiとの相互拡散を更に一層防止するのに有用であることも、本発明者の実験結果によって判明した(後記する実施例を参照)。グループZの元素は、これまでにも、Siダイレクトコンタクト用Al合金膜に用いられており、Niが上記作用を有していることは知られていたが、本発明で規定するAl−Ge−X−Y合金においても、同様の作用が有効に発揮されることが判明し、本発明で選択元素として規定した次第である。
以下、本発明のAl合金膜を構成する元素について、詳しく説明する。
Geは、Al合金膜の結晶を微細化し、結晶粒界で原子の動きを止めることによって、AlとSiとの相互拡散を抑制する作用を有する。このような作用を充分に発揮させるために、Ge量は、おおむね、0.1原子%以上、好ましくは0.2原子%以上、より好ましくは0.4原子%以上である。しかしGe量が過剰であると、材料コストが増大する。そこでGe量は、おおむね、4原子%以下、好ましくは2原子%以下、より好ましくは1原子%以下である。
グループXの元素(La、Gd、Nd)は、Al合金膜表面のヒロック生成を防止し、耐熱性を向上させる作用を有する。グループXの元素は単独で含まれていても良いし、2種以上が含まれていても良い。このような作用を充分に発揮させるためにグループXの元素の合計量は、通常0.1原子%以上、好ましくは0.2原子%以上である。しかしグループXの元素の合計量が過剰になると、Al合金膜は、その電気抵抗が大きくなり、薄膜トランジスタの性能が低下する。そこでグループXの元素の合計量は、おおむね、1原子%以下、好ましくは0.6原子%以下、より好ましくは0.4原子%以下である。グループXの元素のうち、好ましいのはLa、Ndであり、より好ましくはNdである。
グループYの元素(Ta、Nb、Re、Zr、Ti)は、本発明のAl−Ge−X−Y合金膜を最も特徴付ける成分であり、Al−Ge−X合金におけるAlとSiとの相互拡散を一層抑制し得る元素として、多数の元素のなかから選択されたものである。グループYの元素による上記作用は、Al合金膜と半導体層との界面にシリサイド化合物の層が形成されてSi原子およびAl原子の拡散バリアとして機能することによって発揮されると考えられる。グループYの元素は単独でも用いても良いし、2種以上を併用しても良い。グループYの元素のうち、好ましいのはTa、Zr、Tiであり、より好ましくはTaである。
上記シリサイド化合物の生成量を充分に確保し、高温での安定性や表示品位の信頼性を高めるためには、グループYに属する元素の合計量を、適切に制御することが好ましい。具体的には、グループYの元素(Ta、Nb、Re、Zr、Ti)の合計量は、好ましくは0.05原子%以上(より好ましくは0.3原子%以上、更に好ましくは0.5原子%以上)であり、好ましくは2原子%以下(より好ましくは1.5原子%以下、更に好ましくは1.2原子%以下)である。
本発明で用いるAl合金膜の基本成分は上記の通りであり、残部はAlおよび不可避不純物である。更にAl合金膜は、本発明の効果を阻害しない範囲で、他の選択成分(合金元素)を含んでいても良い。
例えば、Al−Ge−X−Y合金におけるAlとSiの相互拡散抑制作用を一層高める目的で、更にグループZの元素(Ni、Co)を含有するAl−Ge−X−Y−Z合金膜を用いても良い。グループZの元素による上記作用は、Al合金膜と半導体層との界面に濃化してシリサイド化合物層を形成することによって発揮されると考えられる。また、グループZの元素は、Al合金膜と、半導体層および/または透明導電膜との接触抵抗を低減する作用を有している。グループZの元素は、単独で添加しても良いし、両方を用いても良い。グループZの元素のうち、好ましいのはNiである。
これらの作用を充分に発揮させるために、グループZの元素の合計量は、好ましくは0.1原子%以上、より好ましくは0.5原子%以上、更に好ましくは1.0原子%以上である。しかしグループZの元素量が過剰になると、Al合金膜は、その電気抵抗が大きくなり、配線材料として適さなくなる。そこでグループZの元素の合計量は、6原子%以下、より好ましくは4原子%以下、更に好ましくは3原子%以下である。
本発明のAl合金膜は、スパッタリング法にてスパッタリングターゲット(以下「ターゲット」ということがある)を用いて形成することが好ましい。イオンプレーティング法や電子ビーム蒸着法、真空蒸着法で形成された薄膜よりも、成分や膜厚の膜面内均一性に優れた薄膜を容易に形成できるからである。
好ましいスパッタリング条件は、以下のとおりである。
また、上記スパッタリング法を用いて本発明のAl合金膜を形成するには、上記ターゲットとして、本発明のAl合金膜と同じ組成(Al−Ge−X−Y合金、好ましくはAl−Ge−X−Y−Z合金であり、残部:Alおよび不可避不純物)のAl合金スパッタリングターゲットを用いることが好ましく、これにより、所望とする組成を実質的に満足するAl合金膜が得られる。上記組成のターゲットも本発明の技術的範囲に包含される。
上記ターゲットの形状は、スパッタリング装置の形状や構造に応じて任意の形状(角型プレート状、円形プレート状、ドーナツプレート状など)に加工したものが含まれる。
上記ターゲットの製造方法としては、溶解鋳造法や粉末焼結法、スプレイフォーミング法で、Al基合金からなるインゴットを製造して得る方法や、Al基合金からなるプリフォーム(最終的な緻密体を得る前の中間体)を製造した後、該プリフォームを緻密化手段により緻密化して得られる方法などが挙げられる。
(TFT基板または表示装置)
本発明には、上記Al合金膜を含むTFT基板や、上記TFT基板を備えた表示装置も包含される。具体的には、上記Al合金膜がTFTのソース電極および/またはドレイン電極並びに信号線に用いられた表示装置;更に、ドレイン電極が透明導電膜に直接接続された表示装置;更に、上記Al合金膜がゲート電極および走査線に用いられた表示装置などが挙げられる。
本発明には、上記Al合金膜を含むTFT基板や、上記TFT基板を備えた表示装置も包含される。具体的には、上記Al合金膜がTFTのソース電極および/またはドレイン電極並びに信号線に用いられた表示装置;更に、ドレイン電極が透明導電膜に直接接続された表示装置;更に、上記Al合金膜がゲート電極および走査線に用いられた表示装置などが挙げられる。
ここで、上記ゲート電極および走査線と、上記ソース電極および/またはドレイン電極ならびに信号線は、同一組成のAl合金膜であることが好ましい。
前述したとおり、本発明はAl合金膜の組成を特定したところに特徴があり、Al合金膜以外の、TFT基板や表示装置を構成する要件は特に限定されず、これらの分野で通常用いられるものを本発明でも採用することができる。
例えば、TFT基板に用いられる半導体層としては、多結晶シリコンまたはアモルファスシリコンが挙げられる。また、TFT基板に用いられる透明導電膜(透明画素電極)としては、酸化インジウム錫(ITO)または酸化インジウム亜鉛(IZO)が挙げられる。TFT基板に用いられる基板も特に限定されず、ガラス基板またはシリコン基板などが挙げられる。
本発明に係る表示装置の製造方法は特に限定されず、例えば、Siダイレクトコンタクト技術に関する前述した特許文献1〜3に記載の製造方法を参考にして、製造することができる。
以下、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例によって制限されず、上記・下記の趣旨に適合し得る範囲で変更を加えて実施することも可能であり、それらはいずれも本発明の技術的範囲に包含される。
なお以下では「原子%」を「at%」と略称する。
なお以下では「原子%」を「at%」と略称する。
以下の実施例では、下記方法により、熱処理後の半導体層中へのAlの拡散の程度、Al合金膜自体の電気抵抗(比抵抗)および透明導電膜(ITO)とAl合金膜との接触抵抗(コンタクト抵抗率)を調べた。
(1)熱処理後の半導体層中へのAlの拡散の評価
以下の評価用試料を作製し、光学顕微鏡による観察または二次イオン質量分析(SIMS分析)により、TFT性能に悪影響を与えるAlとSiとの相互拡散を調べた。
以下の評価用試料を作製し、光学顕微鏡による観察または二次イオン質量分析(SIMS分析)により、TFT性能に悪影響を与えるAlとSiとの相互拡散を調べた。
まず、Si基板を用意し、プラズマCVD法により、Si窒化膜を膜厚100nmで形成した(基板温度:280℃)。次に、プラズマCVD法により、Si窒化膜の上にPが高濃度でドープされたn型のアモルファスシリコン膜(以下「a−Si膜」と略称する)を膜厚400nmで形成した(基板温度:280℃)。
次いで、直流スパッタリング法により、a−Si膜上にAl合金膜を膜厚約300nmで形成した。スパッタリング条件は、雰囲気ガスAr、圧力約2mTorr、基板温度約25℃(室温)とした。その後、フォトリソグラフィによるAl合金膜のパターニングを行った。
パターニング後、TFT形成プロセスを模擬した熱処理を窒素ガス雰囲気(大気圧)中270℃×30分間施し、評価用の試料を作製した。
このようにして得られた評価用試料を用い、Al合金膜をリン酸・硝酸水溶液(=「リン酸、硝酸および純水の混合溶液」)で除去した後のa−Si膜表面を、光学顕微鏡(倍率1,000倍)で観察し、a−Si膜表面に変色や斑点が認められないもの(即ちAl原子の拡散が抑制されているもの)を○と、変色等が軽微なものを△と、明らかに変色等が起こっているものを×と判定した。
また、一部の試料について、更にSIMS分析を行なった。SIMS分析は、試料表面のAl合金膜をリン酸・硝酸水溶液で除去した後、a−Si膜表面側から行った。SIMS分析は、以下の測定条件で行なった:
1次イオン照射条件:照射イオンO2 +、加速電圧:3keV
2次イオン極性:正
1次イオン照射条件:照射イオンO2 +、加速電圧:3keV
2次イオン極性:正
(2)Al合金膜の電気抵抗(比抵抗)の評価
直流スパッタリング法により、ガラス基板に膜厚約300nmのAl合金膜を形成して評価用試料を作製した。スパッタリング条件は、雰囲気ガスAr、圧力約2mTorr、基板温度約25℃(室温)とした。また、Al合金膜の形成には、真空溶解法で作製した種々の組成のAl合金ターゲットをスパッタリングターゲットとして用いた。使用したAl合金ターゲットの組成は、成膜したいAl合金膜の組成と同じにした。
直流スパッタリング法により、ガラス基板に膜厚約300nmのAl合金膜を形成して評価用試料を作製した。スパッタリング条件は、雰囲気ガスAr、圧力約2mTorr、基板温度約25℃(室温)とした。また、Al合金膜の形成には、真空溶解法で作製した種々の組成のAl合金ターゲットをスパッタリングターゲットとして用いた。使用したAl合金ターゲットの組成は、成膜したいAl合金膜の組成と同じにした。
上記Al合金膜に対し、10μm幅のラインアンドスペースパターンを形成し、不活性ガス雰囲気中、270℃で30分間の熱処理を施してから、4端子法で比抵抗を測定した。そして下記基準で、熱処理後のAl合金膜自体の比抵抗の良否を判定した。以下の実施例では、バリアメタル層として用いられるCrの比抵抗(20μΩcm)を評価基準として用い、20μΩcm以下を○と、これを超える場合を×と判定した。
(3)透明導電膜とAl合金膜との接触抵抗(コンタクト抵抗率)の評価
Al合金膜を透明導電膜に直接接続したときの接触抵抗を測定した。透明導電膜は酸化インジウムに10質量%の酸化スズを加えた酸化インジウム錫(ITO)を使用した。ITO成膜前のAl合金膜の加熱条件は270℃×30分とした。
Al合金膜を透明導電膜に直接接続したときの接触抵抗を測定した。透明導電膜は酸化インジウムに10質量%の酸化スズを加えた酸化インジウム錫(ITO)を使用した。ITO成膜前のAl合金膜の加熱条件は270℃×30分とした。
図3に示すケルビンパターン(コンタクトホールサイズ:10μ角)を作製し、4端子測定(ITO−Al合金膜に電流を流し、別の端子でITO−Al合金膜間の電圧降下を測定する方法)を行った。本測定では、図7のI1−I2間に電流Iを流し、V1−V2間の電圧Vをモニターすることによって、接触部Cのコンタクト抵抗率Rを下記計算式から求めた:
R=(V2−V1)/I2
R=(V2−V1)/I2
以下の実施例では、Cr薄膜とITOとのコンタクト抵抗率(2×10-4Ωcm2)を基準値とし、2×10-4Ωcm2以下を○と、これを超える場合を×と判定した。
また、実施例で用いたAl合金膜における各合金元素の含有量は、ICP発光分析(誘導結合プラズマ発光分析)法によって求めた。
(実施例1)
まず図4〜図7を参照しながら、AlとSiの拡散防止作用について、詳細に説明する。
まず図4〜図7を参照しながら、AlとSiの拡散防止作用について、詳細に説明する。
図4は、Al−2at%Ni−1.68at%Ge−0.35at%La−1.38at%Zr合金膜、Al−2at%Ni−1.41at%Ge−0.35at%La−0.3at%Re合金膜、Al−2at%Ni−1.0at%Ge−0.35at%La合金膜、およびAl−2at%Ni−0.35at%La合金膜を用いた試料についてSIMS分析の結果を示すグラフである。図4の横軸は試料表面からのa−Si膜の深さ(nm)を、縦軸はAl原子濃度(atoms/cm3)を意味し、試料表面から深さ約400nmまでの領域がa−Si膜である。
図4に示すように、本発明で規定するグループYの元素を含有するAl合金膜を使用した試料では、1016(atoms/cm3)程度の検出限界でしか、a−Si膜中にAlが検出されず、Alの拡散が抑制されていることが分かる。これに対し、グループYの元素を含有しないAl合金膜を使用した試料では、a−Si膜中にAlが検出されており、Alの拡散が起こっていることが確認された。
図5は、GeおよびグループYの元素の両方を含有しないAl−2at%Ni−0.35at%La合金膜を用いたときの光学顕微鏡写真である(図5(a)は熱処理せずにAl合金膜を除去したa−Si膜表面の光学顕微鏡写真であり、図5(b)は熱処理後のAl合金膜を除去したa−Si膜表面の光学顕微鏡写真である)。図5中の点線はAl合金膜をパターニングした境界を示しており、点線から右側がAl合金膜が存在していた領域である。
熱処理をしていないときは、図5(a)に示すように、a−Si膜のAl合金膜境界にコントラストの変化は見られなかったのに対し、熱処理を行うと、図5(b)に示すように、上記境界にコントラストの変化が見られた。これは、熱処理によってa−Si膜中にAl原子が拡散し、コントラストが変化したためであると考えられる。
図6は、Al−2at%Ni−0.35at%La合金膜およびAl−2at%Ni−1at%Ge−0.35at%La合金膜(図6の左側)、並びにAl−2at%Ni−1at%Ge−0.35at%La−1.0at%Y(Y=Ta、Nb、Re、ZrまたはTi)合金(図6の右側)の試料について、熱処理後のa−Si膜表面のコントラスト変化を示す光学顕微鏡写真である。図7は、図6の拡大図であり、表面に現れる斑点はAl原子の拡散を示している。
図6および図7に示すように、本発明で規定するグループYの元素を含有するAl合金膜を形成したa−Si膜では、コントラスト変化がみられず、a−Si膜中へのAlの拡散が抑制されていることが確認された。これに対し、グループYの元素を含有しないAl合金膜では、a−Si膜表面にコントラストの変化が見られ、a−Si膜中にAlが拡散していることが推察された。
以上のSIMS分析および光学顕微鏡観察の結果(図4〜図7)から、a−Si膜表面のコントラスト変化がa−Si膜中へのAl拡散が原因で生じることが確認された。
次に表1に示す種々の組成のAl合金膜を用い、Al合金膜中におけるグループYの元素(Ta、Nb、Re、ZrまたはTi)が、AlとSiの相互拡散の程度やAl合金膜の比抵抗に及ぼす影響を調べた。これらの結果を表1に示す。表1の最右欄には「総合判定」の欄を設け、AlとSiの拡散防止効果および比抵抗の両方が良好なものに「○」を、少なくともいずれか一方が悪いものに「×」を付している。
表1より、次のように考察することができる。まず、本発明で規定するグループYの元素(Ta、Nb、Re、Zr、Ti)を含有するNo.1〜10は、AlとSiの相互拡散防止に優れた効果を発揮する。但しNo.4はTa含有量が過剰であるため、比抵抗が高くなっている。これに対し、本発明で規定するグループYを含有しないNo.11および12は、Al合金膜の比抵抗は良好であったが、AlとSiの相互拡散が見られた。
(実施例2)
本実施例では、Ge量の至適範囲およびTa量(下限)の至適範囲の検討を行なった。詳細には、Ge含有例として、Al−2.0at%Ni−(0〜6.0at%)Ge−0.3at%La−0.05at%Ta合金膜の試料No.3〜6を用い、Ge非含有例として、Al−2.0at%Ni−0.3at%La−(0.05〜0.1at%)Ta合金膜の試料No.1、2を用い、それぞれについて、a−Si膜中へのAlの拡散の程度および配線抵抗(比抵抗)を調べた。これらの結果を表2に示す。
本実施例では、Ge量の至適範囲およびTa量(下限)の至適範囲の検討を行なった。詳細には、Ge含有例として、Al−2.0at%Ni−(0〜6.0at%)Ge−0.3at%La−0.05at%Ta合金膜の試料No.3〜6を用い、Ge非含有例として、Al−2.0at%Ni−0.3at%La−(0.05〜0.1at%)Ta合金膜の試料No.1、2を用い、それぞれについて、a−Si膜中へのAlの拡散の程度および配線抵抗(比抵抗)を調べた。これらの結果を表2に示す。
まず、Ge含むNo.3〜6と、Geを含まないNo.1を対比し、Geの添加効果について検討する。Ge量を0.1〜6.0at%の範囲で含むNo.3〜6は、a−Si膜中へのAlの拡散の程度および比抵抗の両方に優れているのに対し、Geを含まないNo.1はa−Si膜中へAlが拡散した。よって、Geを0.1〜6.0at%の範囲内で添加すれば、これらの両特性が向上することが分かる。ただし、Geは高価な元素であり、Ge量の添加量が増加するにつれ、比抵抗が増加する傾向が見られること(No.5と6を参照)、一方、AlとSiの相互拡散抑制効果は、Ge量を少なくとも0.1at%以上添加すれば有効に発揮されることを考慮し、本発明では、Ge量の至適範囲を0.05〜4原子%に設定した。
次に、上記のNo.3と、Geを含まないNo.1、2とを対比する。Geを含むNo.3では、Taを0.05at%添加するだけでAlとSiの相互拡散を抑制できたのに対し、Geを含まないNo.1ではAlとSiの相互拡散抑制効果が発揮されず、No.2のようにTaを0.1at%添加して初めてAlとSiの相互拡散抑制効果が発揮された。よって、本発明のGe含有Al合金膜では、TaなどのグループYの含有量の下限を0.05at%に設定できることが確認された。
(実施例3)
本実施例では、Al−1.0at%Ge−0.3at%La−(1at%又は2at%)Y合金膜(Y=Ta、Nb、Re、ZrまたはTi)の試料No.1〜8を用い、a−Si膜中へのAlの拡散の程度および配線抵抗(比抵抗)を調べた。参考のため、グループYの元素を含有しないAl合金膜(試料No.9)についても、同様の実験を行なった。これらの結果を表3に示す。
本実施例では、Al−1.0at%Ge−0.3at%La−(1at%又は2at%)Y合金膜(Y=Ta、Nb、Re、ZrまたはTi)の試料No.1〜8を用い、a−Si膜中へのAlの拡散の程度および配線抵抗(比抵抗)を調べた。参考のため、グループYの元素を含有しないAl合金膜(試料No.9)についても、同様の実験を行なった。これらの結果を表3に示す。
表3に示すように、本発明で規定するグループYの元素を含有するNo.1〜8は、いずれもa−Si膜中へのAl拡散防止効果が良好で、且つ、Al合金膜の比抵抗も低く(総合判定:○)、TFT基板に好適に使用できることが分かる。これに対し、グループYの元素を含有しないNo.9は、AlとSiの拡散防止効果に劣っていた。
(実施例4)
本実施例では、Al−2.0at%Co−1.0at%Ge−0.3at%La−(1.0at%又は2.0at%)Y合金膜(Y=Ta、Nb、Re、ZrまたはTi)の試料No.1〜9を用い、a−Si膜中へのAlの拡散の程度および配線抵抗(比抵抗)を調べた。参考のため、GeおよびグループYの元素の両方を含有しないAl合金膜(試料No.9)、およびグループYの元素を含有しないAl合金膜(試料No.10)についても、同様の実験を行なった。これらの結果を表4に示す。
本実施例では、Al−2.0at%Co−1.0at%Ge−0.3at%La−(1.0at%又は2.0at%)Y合金膜(Y=Ta、Nb、Re、ZrまたはTi)の試料No.1〜9を用い、a−Si膜中へのAlの拡散の程度および配線抵抗(比抵抗)を調べた。参考のため、GeおよびグループYの元素の両方を含有しないAl合金膜(試料No.9)、およびグループYの元素を含有しないAl合金膜(試料No.10)についても、同様の実験を行なった。これらの結果を表4に示す。
表4に示すように、本発明で規定するグループYの元素を、本発明の好ましい範囲で含有するNo.1〜8は、いずれもa−Si膜中へのAl拡散防止効果が良好で、且つ、Al合金膜の比抵抗も低く(総合判定:○)、TFT基板に好適に使用できることが分かる。これに対し、グループYの元素を含有しないNo.9および10は、AlとSiの拡散防止効果に劣っていた。
(実施例5)
本実施例では、グループXの元素(La、Gd、Nd)の量および種類を変化させて、a−Si膜中へのAlの拡散および配線抵抗(比抵抗)を調べた。より詳しくは、Al−2.0at%Ni−1.0%Ge−(0.1〜1.0at%)La−1.0at%Ta合金膜、及びAl−2.0at%Ni−1.0%Ge−0.3at%X−1.0at%Y合金膜(X=NdまたはGd、Y=TaまたはTi)の試料を用いた。これらの結果を表5に示す。
本実施例では、グループXの元素(La、Gd、Nd)の量および種類を変化させて、a−Si膜中へのAlの拡散および配線抵抗(比抵抗)を調べた。より詳しくは、Al−2.0at%Ni−1.0%Ge−(0.1〜1.0at%)La−1.0at%Ta合金膜、及びAl−2.0at%Ni−1.0%Ge−0.3at%X−1.0at%Y合金膜(X=NdまたはGd、Y=TaまたはTi)の試料を用いた。これらの結果を表5に示す。
表5に示すように、本発明で規定するグループXおよびグループYの元素を含有するNo.1〜7は、いずれもa−Si膜中へのAl拡散防止効果が良好で、且つ、Al合金膜の比抵抗も低く(総合判定:○)、TFT基板に好適に使用できることが分かる。
(実施例6)
本実施例では、Al−2.0at%Ni−1.0%Ge−0.3at%La−1.0at%Y合金膜(Y=Ta、Nb、Re、ZrまたはTi)の試料No.1〜5を用い、a−Si膜中へのAlの拡散、配線抵抗(比抵抗)および接触抵抗(コンタクト抵抗率)を調べた。これらの結果を表6に示す。
本実施例では、Al−2.0at%Ni−1.0%Ge−0.3at%La−1.0at%Y合金膜(Y=Ta、Nb、Re、ZrまたはTi)の試料No.1〜5を用い、a−Si膜中へのAlの拡散、配線抵抗(比抵抗)および接触抵抗(コンタクト抵抗率)を調べた。これらの結果を表6に示す。
表6に示すように、本発明の規定を満足するNo.1〜5は、いずれもa−Si膜中へのAl拡散防止効果が良好で、Al合金膜の比抵抗も低いことに加えて、コンタクト抵抗率もCr(2×10-4Ωcm2)よりも低く、TFT基板に好適に使用できることが分かる。
(実施例7)
本実施例では、Al−(0.1〜1.0at%)Ni−0.5%Ge−0.3at%Nd−1.0at%Ta合金膜、およびAl−(0.1〜1.0at%)Co−0.5%Ge−0.3at%Nd−1.0at%Ta合金膜の試料No.1〜6を用い、a−Si膜中へのAlの拡散、配線抵抗(比抵抗)および接触抵抗(コンタクト抵抗率)を調べた。これらの結果を表7に示す。
本実施例では、Al−(0.1〜1.0at%)Ni−0.5%Ge−0.3at%Nd−1.0at%Ta合金膜、およびAl−(0.1〜1.0at%)Co−0.5%Ge−0.3at%Nd−1.0at%Ta合金膜の試料No.1〜6を用い、a−Si膜中へのAlの拡散、配線抵抗(比抵抗)および接触抵抗(コンタクト抵抗率)を調べた。これらの結果を表7に示す。
表7に示すように、本発明で規定するグループXの元素(ここではNd)およびグループYの元素(ここではTa)の元素を含有すると共に、本発明で好ましく添加されるNiまたはCoを0.5〜1.0%程度の範囲で含むNo.1〜6は、いずれもa−Si膜中へのAl拡散防止効果が良好で、且つ、Al合金膜の比抵抗も低く(総合判定:○)、TFT基板に好適に使用できることが分かる。
1 ガラス基板
2 ゲート電極
2a ゲートパッド
3 ゲート絶縁膜
4 半導体シリコン層
5 ドレイン電極
6 ソース電極
7 透明導電膜(透明画素電極)
8 ソースタブ
9 ゲートタブ
10 保護絶縁層
11 バリアメタル層
2 ゲート電極
2a ゲートパッド
3 ゲート絶縁膜
4 半導体シリコン層
5 ドレイン電極
6 ソース電極
7 透明導電膜(透明画素電極)
8 ソースタブ
9 ゲートタブ
10 保護絶縁層
11 バリアメタル層
Claims (10)
- 表示装置の基板上で、薄膜トランジスタの半導体層と直接接続されるAl合金膜であって、
前記Al合金膜は、Geを0.1〜4原子%;La、GdおよびNdよりなる群から選ばれる少なくとも1種を0.1〜1原子%;並びにTa、Nb、Re、ZrおよびTiよりなる群から選ばれる少なくとも1種を含有することを特徴とする表示装置用Al合金膜。 - 前記Al合金膜は、更に、Niおよび/またはCoを0.1〜6原子%含有する請求項1に記載の表示装置用Al合金膜。
- 前記Al合金膜は、Ta、Nb、Re、ZrおよびTiよりなる群から選ばれる少なくとも1種を0.05〜2原子%含有する請求項1または2に記載の表示装置用Al合金膜。
- 前記半導体層は多結晶シリコンまたはアモルファスシリコンである請求項1〜3のいずれかに記載の表示装置用Al合金膜。
- 前記Al合金膜が、更に透明導電膜と直接接続されている請求項1〜4のいずれかに記載の表示装置用Al合金膜。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の表示装置用Al合金膜を有する薄膜トランジスタ基板。
- 請求項6に記載の薄膜トランジスタ基板を備えた表示装置。
- Geを0.1〜4原子%;La、GdおよびNdよりなる群から選ばれる少なくとも1種を0.1〜1原子%;並びにTa、Nb、Re、ZrおよびTiよりなる群から選ばれる少なくとも1種を含有するAl合金からなるAl合金膜形成用のスパッタリングターゲット。
- 前記Al合金は、更に、Niおよび/またはCoを0.1〜6原子%含有する請求項8に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記Al合金は、Ta、Nb、Re、ZrおよびTiよりなる群から選ばれる少なくとも1種を0.05〜2原子%含有する請求項8または9に記載のスパッタリングターゲット。
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-
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- 2009-03-30 JP JP2009083110A patent/JP2010238800A/ja active Pending
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