JP2010199323A - 現像装置及び現像方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スピンチャック11に保持されたウエハWを回転させた状態で、現像液ノズル30をウエハWの周縁部上方から中心部上方へ移動させながら当該現像液ノズル30よりウエハWへ現像液の吐出を行う。そして、現像液ノズル30がウエハWの中心部上方に配置されたときにウエハWの回転数を例えば100rpmの低速回転として、ウエハWの中央部に現像液の液溜まりを形成する。その後、ウエハの回転数を例えば2000rpm程度の高速回転として、瞬時に現像液の液溜まりをウエハWの表面全体へ広げる。
【選択図】図7
Description
基板保持部に保持された基板を回転させながら現像液ノズルから当該基板に現像液を吐出する現像方法において、
前記基板を第1の回転数で回転させながら、前記現像液の吐出位置が基板の周縁部から中心部へ移動するように現像液ノズルを操作する工程と、
次いで前記現像液が基板の中心部に吐出されている状態で、少なくとも基板の中心部に液溜まりを形成するために基板の回転数を前記第1の回転数よりも低い第2の回転数で回転させる工程と、
その後、基板を前記第2の回転数より高い第3の回転数で回転させて、現像液を基板の表面に広げる工程と、を備えたことを特徴とする。
前記基板はその表面の水の接触角が85度以上である構成。
前記第1の回転数は500〜1500rpmである構成。
前記第2の回転数は50〜500rpmである構成。
前記第3の回転数は1000〜2500rpmである構成。
基板保持部に保持された基板を回転させながら現像液ノズルから当該基板に現像液を吐出する現像装置において、
基板を保持する基板保持部と、
この基板保持部を鉛直軸回りに回転させる回転駆動部と、
前記基板保持部に保持された基板へ現像液を塗布する現像液ノズルと、
この現像液ノズルを操作する操作機構と、
前記基板を第1の回転数で回転させながら、前記現像液の吐出位置が基板の周縁部から中心部へ移動するように現像液ノズルを操作するステップと、
次いで前記現像液が基板の中心部に吐出されている状態で、少なくとも基板の中心部に液溜まりを形成するために基板の回転数を前記第1の回転数よりも低い第2の回転数で回転させるステップと、
その後、基板を前記第2の回転数より高い第3の回転数で回転させて、現像液を基板の表面に広げるステップと、を実行するように制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする。
11 スピンチャック
13 回転駆動部
20 カップ体
30 現像液ノズル
30a 吐出孔
32 現像液供給源
40 洗浄液ノズル
42 洗浄液供給源
50 制御部
52a プログラム
56 ノズル駆動系
D 現像液
Claims (6)
- 基板保持部に保持された基板を回転させながら現像液ノズルから当該基板に現像液を吐出する現像方法において、
前記基板を第1の回転数で回転させながら、前記現像液の吐出位置が基板の周縁部から中心部へ移動するように現像液ノズルを操作する工程と、
次いで前記現像液が基板の中心部に吐出されている状態で、少なくとも基板の中心部に液溜まりを形成するために基板の回転数を前記第1の回転数よりも低い第2の回転数で回転させる工程と、
その後、基板を前記第2の回転数より高い第3の回転数で回転させて、現像液を基板の表面に広げる工程と、を備えたことを特徴とする現像方法。 - 前記基板はその表面の水の接触角が85度以上であることを特徴とする請求項1に記載の現像方法。
- 前記第1の回転数は500〜1500rpmであることを特徴とする請求項1または2に記載の現像方法。
- 前記第2の回転数は50〜500rpmであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の現像方法。
- 前記第3の回転数は1000〜2500rpmであることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の現像方法。
- 基板保持部に保持された基板を回転させながら現像液ノズルから当該基板に現像液を吐出する現像装置において、
基板を保持する基板保持部と、
この基板保持部を鉛直軸回りに回転させる回転駆動部と、
前記基板保持部に保持された基板へ現像液を塗布する現像液ノズルと、
この現像液ノズルを操作する操作機構と、
前記基板を第1の回転数で回転させながら、前記現像液の吐出位置が基板の周縁部から中心部へ移動するように現像液ノズルを操作するステップと、
次いで前記現像液が基板の中心部に吐出されている状態で、少なくとも基板の中心部に液溜まりを形成するために基板の回転数を前記第1の回転数よりも低い第2の回転数で回転させるステップと、
その後、基板を前記第2の回転数より高い第3の回転数で回転させて、現像液を基板の表面に広げるステップと、を実行するように制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする現像装置。
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