JP2010145919A - 現像装置および現像方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(1)現像ユニットと、(2)複数の限外濾過フィルタを使用して現像液を濾過する濾過ユニットと、(3)濾液の濃度を測定し、現像液原液を補充して濃度を調整する現像液濃度調整ユニットと、(4)濃度調整された現像液(濾液)を再度現像に供するため、リザーブタンクに送液し、現像タンクに送液して再利用する手段とを備えた現像液循環ユニットと、から構成される現像液循環方式の現像装置において、濾過ユニットの限外濾過フィルタ毎に、周波数増減で各々の限外濾過フィルタの流量を目標流量に調整する自動流量調整用ポンプを具備する。
【選択図】図2
Description
濾過フィルタの高寿命化が実現できる現像方法を提供することを課題としている。
、UF−2:5×10-3m3/min、UF−3:10×10-3m3/min、UF−4:15×10-3m3/min、UF−5:30×10-3m3/minとし、限外濾過フィルタ一本当りの理想の濾液流量を10×10-3m3/min、濾過ユニット全体の濾液流量の目標(設定)値を50×10-3m3/minとする。図2(a)に示す従来の濾過ユニットでは、既に濾液流量合計が61×10-3m3/minとなり、自動フィードバック制御により、循環送液経路で使用している循環ポンプの周波数は減少していく。ここで、循環ポンプの周波数増減が全ての限外濾過フィルタの流量増減に影響するため、濾過ユニット全体の濾液流量が目標値に達した時には、UF−1、UF−2は濾液流量がまったく出ない状況になってしまう。
4・・・現像タンク 5・・・送液経路 6・・・限外濾過循環タンク
7・・・ドレイン経路 8・・・送液経路 9・・・濾過ユニット
10・・・自動流量調整用ポンプ(限外濾過フィルタ毎)
11・・・送液経路 12・・・濾液リザーブタンク
13・・・逆洗浄タンク 21・・・限外濾過フィルタ濃縮液循環管路
22・・・送液経路 24・・・現像液リターン経路 25・・・送液経路
40・・・リザーブタンク 41・・・調合タンク 42・・・原液タンク
Claims (3)
- 少なくとも、
(1)現像処理が行われる現像槽と、現像液を収容する現像タンクと、前記現像タンク内の現像液を前記現像槽に送る手段と、前記現像槽において現像処理に使用された後の現像液を前記現像タンクに戻す手段と、前記現像タンクに貯留された現像液を限外濾過循環タンクに送液する手段とを備えた現像ユニットと
(2)複数の限外濾過フィルタを使用して前記現像液循環タンク内の現像液を濾過する手段と、限外濾過フィルタ毎に逆洗浄する手段と、濾液を濾液リザーブタンクに送る手段とを備えた濾過ユニットと、
(3)前記濾液リザーブタンクに送液された濾液の濃度を測定する手段と、現像液原液を補充して濃度を調整する手段とを備えた現像液濃度調整ユニットと、
(4)濃度調整された現像液(濾液)を再度現像に供するため、原液タンクから調合タンクを通じて現像液(新液)が供給されているリザーブタンクに、前記濾液リザーブタンクから現像液(濾液)を送液する手段と、更に前記現像ユニットの前記現像タンクに送液して再利用する手段とを備えた現像液循環ユニットと、
から構成される現像液循環方式を用いたカラーフィルタ製造の現像工程で使用される現像装置において、
前記濾過ユニットの前記限外濾過フィルタのモジュール毎に、周波数増減で各々の限外濾過フィルタの流量を目標流量に調整する自動流量調整用ポンプを具備することを特徴とする現像装置。 - 前記自動流量調整用ポンプの周波数増減幅を、それぞれの前記限外濾過フィルタのモジュールの逆洗浄動作時の動作時間及び動作方法へフィードバック可能としたことを特徴とする請求項1に記載する現像装置。
- 請求項1又は2に記載する現像装置を用い、前記現像槽において、前記現像タンクから送られた現像液(新液+濾液)を用いて、被現像体の現像処理を行うことを特徴とする現像方法。
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