JP2012244097A - 現像装置 - Google Patents

Abstract

【課題】バッチ方式のＵＦ濾過装置を用いた現像液循環方式の現像装置において、ＵＦ停止時も定期的に逆洗浄動作を実施する事により、ＵＦ膜の閉塞防止が可能となり、濾過装置の停止有無に関らず安定的な濾過流量の確保が可能となる機構を有する現像装置を提供する。
【解決手段】バッチ方式のＵＦ濾過装置を用いた現像液循環方式の現像装置であって、少なくとも、現像ユニットと、濾過ユニットと、現像液濃度調整ユニットと、現像液循環ユニットと、から構成される現像装置において、ＵＦ濾過フィルタ毎に逆洗浄する手段は、濾過ユニットと現像ユニット間の全体流量フローが一時停止した時点においても、自動的に定期的なＵＦ濾過フィルタ毎の逆洗浄動作を実施する自動逆洗浄機構を具備している。
【選択図】なし

Description

本発明は、現像装置に係り、カラーフィルタ製造において、ブラックマトリスク、着色画素などの現像工程で使用される、バッチ方式の限外濾過フィルタ装置を用いた現像液循環方式の現像装置に関する。

カラー液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタは、透明ガラス基板を構造的支持体として備え、その画面観察者側の反対側（背面側）は多数の画素領域に区分され、画素領域と画素領域の境界に位置する画素間部位には遮光層（ブラックマトリクス：以下ＢＭと略称する）のパターンが設けられ、画素領域のそれぞれには着色画素が配置されている。着色画素は、画素ごとに透過光を着色するもので、一般に、光の三原色に相当する赤色（Ｒ），緑色（Ｇ），青色（Ｂ）の三色の着色画素を配列している。

カラーフィルタ基板の代表的な製造方法としては、ガラス等の透明基板上に感光性樹脂に顔料を分散した感光性色材（着色レジスト）を塗布し、パターン露光後に現像するフォトリソグラフィー工程を含む場合が一般的であって、各色について同様のプロセスが繰り返される。一般的な製造工程としては、ガラス基板の投入からはじまり、ＢＭの形成、Ｒ，Ｇ、Ｂ各着色画素の形成へと進むが、各色それぞれの工程において、ガラス基板の事前洗浄、感光性樹脂液の塗布、溶剤の乾燥、プレベーク、パターン露光、現像、ポストベーク、検査が繰り返される。以下、カラーフィルタ製造における従来の現像工程について説明する。

現像工程は、露光後の未硬化レジストの溶解、剥離除去を目的とし、フォトリソグラフィーの中でも、形成するパターンの形状品質を左右する重要な工程である。現像工程で管理される項目としては、現像時間、現像液の温度等があり、現像槽の構成や方式によっても異なるが、全ては使用する現像液の現像力が１つの基準となる。

現像液は無機・有機アルカリ成分から構成されるものが多い。現像液中のアルカリ成分は、感光性樹脂組成物中に含まれる高分子の酸価を有する官能基と反応して、露光工程で未硬化であった感光性樹脂組成物を溶解除去する働きがある。また、現像液はアルカリ成分のほかに、界面活性剤を添加されているものが多い。界面活性剤が添加されることで、感光性樹脂組成物への現像液成分の浸透性を向上させ、これによって現像速度の向上、パターン形状の良化といった効果がある。

従来の現像工程に使用される現像装置において、現像液の使用方法としては、使用した現像液をそのまま廃棄する方法と、使用した現像液を循環させて繰り返し使用する方法がある。使用した現像液をそのまま廃棄する現像液の使用方法では、液汚染のない現像液（現像新液）を用いるため、現像液濃度が適切に管理されていることで工程管理が容易であり、また、液汚染が無いことで品質不良の発生しにくい方法といえる。しかし、常に現像新液を供給する必要があるため、現像液の使用量は膨大でランニングコストが高いという欠点がある。

そこで、通常の現像装置は、バッチ式、枚葉式を問わず、現像槽と現像タンクにより構成され、両者をつなぐ配管と送液ポンプの動作により、現像液の循環を行う。使用した現像液を循環させて繰り返し使用する方法は、使用した現像液をそのまま廃棄する方法と比較して低ランニングコストである。しかし、現像液を循環させて繰り返し使用することは、現像液中に溶解した感光性樹脂組成物成分が徐々に増加することを意味しており、現像液中の該成分が許容量を越えると製品不良が発生するという問題がある。また、使用した現像液を循環させて繰り返し使用することによって、液成分が減少するという欠点もある。現像液濃度が適切に管理できないことは現像速度などに影響を与えるため、工程管理が困難になる。

現像液の循環は、現像性の安定化、現像タンクの汚染度維持、ランニングコストを考慮し、定期的に適量を循環する事により現像工程での現像処理安定化を実現しているが、近年のディスプレイ市場の大型化と大量需要に伴い、カラーフィルタ製造ラインの大型化が進んでいる状況では現像性の変化、現像タンク汚染度増加の問題、更にはランニングコスト増大といった諸問題が発生してくる。

従来の現像工程に使用される現像装置の構造では、現像液をポンプにより現像タンクから現像フィルタを介して現像槽へ送液している。現像フィルタが詰まり始めると、現像液の流量・圧力が低下していき、管理値の下限となった所でフィルタの交換を行っている。従来の現像装置での現像フィルタの構造では、現像液の送液方向が一方向のみである為、現像液内の汚れや、いわゆるレジカス等によりフィルタ詰まりが生じる。フィルタが詰まると現像液の圧力や流量が低下してしまい安定して現像液を供給できない問題点があった。

上記問題の解決策の1つとして、特許文献１には、現像に供せられた現像液を、限外濾過フィルタ（ＵＦ：Ｕｌｔｒａ Ｆｉｌｔｒａｔｉｏｎ Ｍｅｍｂｒａｎｅ：以下ＵＦと略称する）により処理して、濾液を再利用するとともに、濃縮液を循環させる現像装置、現像方法が開示されている。ＵＦ濾過装置の主な特徴は，再生液使用によるランニングコストの大幅削減と，汚染タンク運用(ＵＦ循環タンク)によって実現可能となる現像液循環量アップによる現像タンクの汚染度低減が挙げられる。このＵＦ濾過装置には、連続濾過方式やバッチ方式と呼ばれるものが存在する。

バッチ方式のＵＦ濾過装置の特徴は、連続濾過方式とは違い、濾過液の濃度安定化を最優先としている為、濾液作製に時間が必要となる(連続濾過方式は濾過・濃度調整・送液が同時)。その濾液作製時間の短縮、連続濾過動作の実施の為、濾液供給タンクを２基以上所有し、各タンクで「濾液供給→濃度測定・補給→送液」のサイクルを実施する事により、連続濾過方式の欠点である濃度安定化を達成した濾過装置である。また、この特徴以外は、クロスフロー原理、逆洗機構、濃度測定・補給方式等は連続濾過方式と同様である。

ＷＯ２００５／０４０９３０号公報

バッチ方式のＵＦ濾過装置では、現像装置、ＵＦ濾過装置の稼働状況・送液流量等により、濾過液を貯める２基以上のタンク(以下濾液タンクと称す)が現像装置への濾過液送液中もしくは，再生濾過液作製中(濾過液貯蔵→濃度測定→現像液原液補給の動作中)となった場合に、現像−ＵＦ濾過装置の全体フローが一時的に停止する事がある。従来のバッチ方式のＵＦ濾過装置では、ＵＦ濾過装置内のＵＦ循環タンクの液面上昇時にＵＦ循環タンク内の液供給動作が不可となる事により、ＵＦ濾過装置と現像装置間の全体流量フローが一時停止し、通常稼働時は定期的に実施している逆洗浄動作は実施されず、ＵＦ膜の閉塞化が発生し、濾過流量低下となる。連続稼動時は一定周期で、濾過と逆方向に濾液等の清
浄な液を通液し、濾過膜に付着または蓄積した微粒子や不純物の汚れを除去し、濾過膜の閉塞を防ぐ逆洗浄動作を実施しているが、上記した一時停止が発生する事により、これまでのバッチ方式のＵＦ濾過装置では逆洗浄動作なしの待機となってしまう。この待機時間が長ければ長いほど(逆洗浄動作レス)、濾過膜の閉塞問題が深刻化し、流量の不安定化を招くことになる。ＵＦ濾過装置は濾過動作の安定化が基本となる為、濾過膜閉塞が発生した場合は、ＵＦ濾過装置として本来のパフォーマンスを発揮する事が不可能となる問題が発生する。

本発明は、係る問題点に鑑みてなされたものであり、カラーフィルタ製造に用いられるバッチ方式のＵＦ濾過装置を用いた現像液循環方式の現像装置において、ＵＦ膜の閉塞防止が可能となり、濾過装置の停止有無に関らず安定的な濾過流量の確保が可能となる機構を有する現像装置を提供することを課題とする。

本発明の請求項１に係る発明は、バッチ方式のＵＦ濾過装置を用いた現像液循環方式の現像装置であって、少なくとも、
（１）現像処理が行われる現像槽と、現像液を収容する現像タンクと、前記現像タンク内の現像液を前記現像槽に送る手段と、前記現像槽において現像処理に使用された後の現像液「古液」を濾過ユニット側に送液する手段とを備えた現像ユニットと、
（２）前記現像ユニットから送液された現像液「古液」を貯留する定量ドレイン機構を有するＵＦ濾過循環タンクと、複数のＵＦ濾過フィルタを使用して前記ＵＦ濾過循環タンク内の現像液「古液」を濾過する手段と、前記ＵＦ濾過フィルタ毎に逆洗浄する手段と、濾過された現像液「濾液」を交互に運転される複数の濾液タンクのいずれかに送る手段と、現像液「濾液」を貯留する前記複数の濾液タンクとを備えた濾過ユニットと、
（３）前記複数の濾液タンクに送液された現像液「濾液」の濃度を測定する手段と、前記複数の濾液タンクに現像液原液を補充して濃度を調整する手段とを備えた現像液濃度調整ユニットと、
（４）濃度調整された現像液「濾液」を再度現像に供するため、リザーブタンクに、前記複数の濾液タンクのいずれかから現像液「濾液」を送液する手段と、更に前記リザーブタンクの現像液を前記現像ユニットの前記現像タンクに送液して再利用する手段とを備えた現像液循環ユニットと、から構成される現像装置において、
前記ＵＦ濾過フィルタ毎に逆洗浄する手段は、前記濾過ユニットと前記現像ユニット間の全体流量フローが一時停止した時点においても、自動的に定期的な前記ＵＦ濾過フィルタ毎の逆洗浄動作を実施する自動逆洗浄機構を具備していることを特徴とする現像装置である。

また、本発明の請求項２に係る発明は、前記自動逆洗浄機構は、搭載されている前記複数のＵＦ濾過フィルタを自動選択し、順次逆洗浄動作を行う機能を具備していることを特徴とする請求項１に記載する現像装置である。

また、本発明の請求項３に係る発明は、前記自動逆洗浄機構は、逆洗浄動作条件として少なくとも、逆洗浄時間、圧力、流量、送液量を、それぞれ所望する値に設定可能な機能を有することを特徴とする請求項１または２に記載する現像装置である。

また、本発明の請求項４に係る発明は、前記自動逆洗浄機構は、逆洗浄動作履歴を監視する機能を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか1項に記載する現像装置である。

また、本発明の請求項５に係る発明は、前記自動逆洗浄機構は、逆洗浄動作実施時に使用する複数のポンプを備え、前記ポンプのいずれかを任意に選択し、その動作周波数変更
を可能とする機能を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか1項に記載する現像装置である。

従来のバッチ方式のＵＦ濾過装置においては、濾過ユニット内のＵＦ濾過循環タンクの液面上昇時にＵＦ濾過循環タンク内への現像液「古液」供給動作が不可となる事により、濾過ユニットと現像ユニット間の全体流量フローが一時停止し、通常稼働時は定期的に実施している逆洗動作は実施されず、ＵＦ膜の閉塞化が発生し、濾過流量低下となる。それに対して、本発明の現像装置によれば、ＵＦ停止時も定期的に逆洗浄動作を実施する事により、ＵＦ膜の閉塞防止が可能となり、濾過装置の停止有無に関らず安定的なろ過流量の確保が可能となる。

本発明の現像装置の一実施形態の全体構成を示す概略説明図である。

以下、本発明の現像装置について、フォトリソグラフィー方式でのカラーフィルタ製造に用いられる現像液循環方式を用いた現像装置の、一実施形態例に基づいて説明する。

図１は、本発明の現像装置の一実施形態の全体構成を示す概略説明図である。本発明の現像装置は、バッチ方式のＵＦ濾過装置を用いた現像液循環方式の現像装置であって、少なくとも、現像ユニット１０と、濾過ユニット２０と、現像液濃度調整ユニット３０と、現像液循環ユニット４０と、から構成され、濾過ユニット２０にはＵＦ濾過フィルタ毎に逆洗浄する自動逆洗浄機構２３を備えている。図１に示した実施形態例では、現像槽１２−１の現像タンク１１−１に現像液を供給するリザーブタンク４１−１、現像槽１２−２、１２−３、１２−４のそれぞれの現像タンク１１−２、１１−３、１１−４に現像液を供給するリザーブタンク４１−２と、バッチ方式のＵＦ濾過装置として現像液「濾液」を貯留し供給する複数の濾液タンク２６−１、２６−２を備えている。

本発明の現像装置はバッチ方式のＵＦ濾過方式であり、ＵＦ濾過循環タンクに貯留された現像液「古液」は、ＵＦ濾過フィルタ毎に逆洗浄する自動逆洗浄機構２３を備えている濾過ユニット２０で濾過動作を受け、濾液タンク２６−１、２６−２に貯留される。各濾液タンクでは交互に、濾液供給、濃度測定、原液補給で濃度調整され、その後リザーブタンクへの送液によって再度現像液として循環利用される。

図１に示すように、炭酸ナトリウム（Ｎａ_２ＣＯ_３）を現像液主成分とする現像液は、現像液循環ユニット４０のリザーブタンク４１−1、４１−２から現像新液供給管路４２−１、４２−２を通して現像槽１２−１及び１２−２，１２−３，１２−４の現像タンク１１−１及び、１１−２，１１−３，１１−４に供給される。現像ユニット１０の個別・詳細は図示しないが、現像はクリーンルーム内のクローズ化された状態で、現像タンク１１から、現像液を複数の現像フィルタを介して該現像フィルタに対応する個々の送液ポンプにより送液経路を通して現像液吐出機構から現像液を吐出し、現像槽１２で、対象とするアクリル樹脂系感光性樹脂が塗布・パターン露光された被現像ガラス基板に対して実施される。現像槽１２において現像処理に使用された後の現像液「古液」は、現像液リターン経路を経て現像タンク１１中に貯留された後、現像液「古液」送液手段１３によって濾過ユニット２０側に送られる。

濾過ユニット２０は、現像ユニット１０から送液された現像液「古液」を貯留する定量ドレイン機構２２を有するＵＦ濾過循環タンク２１と、複数のＵＦ濾過フィルタ２４を使
用してＵＦ濾過循環タンク２１内の現像液「古液」を濾過する手段と、ＵＦ濾過フィルタ毎に逆洗浄する自動逆洗浄機構２３と、濾過された現像液「濾液」を交互に運転される複数の濾液タンク２６のいずれかに送る送液手段と、現像液「濾液」を貯留する複数の濾液タンク２６とを備えている。

ＵＦ（限外濾過）モード使用時は現像タンク１１からＵＦ濾過循環タンク２１へ使用済み現像液「古液」を大量に送液しているので、全体の循環フローにより現像タンク１１の汚染度は通常時より良化する。また、現像タンク１１からは基板上の持ち出し以外には一切ドレインされない。ＵＦ濾過フィルター２４で濾過された濃縮現像液がＵＦ濾過循環タンク２１にリターンされることで、ＵＦ濾過循環タンク２１の汚染度が最も高くなるために、定量ドレイン経路２２を用いて一定量の現像液をドレインする。循環量のバランスがとれている場合、減少した分は現像タンク１１からの流入量で調整され、供給と廃液が過不足とならない様に、全体の流量が調整される。

ＵＦ濾過循環タンク２１の現像液は、送液経路２５を経て、本実施形態例では５本のＵＦ濾過フィルタ２４を備え、かつ、各ＵＦ濾過フィルタを逆洗浄するための逆洗浄タンク２９等の逆洗浄機構２３を含むＵＦ濾過ユニット２０に送られ、ＵＦ濾過を行う。その後、ＵＦ濾過フィルタ２４を透過した濾液は濾液送液経路２８により濾液タンク２６に送液され、ＵＦ濾過フィルタ２４を透過しない成分が増加した残りの濃縮液はＵＦ濾過フィルタ濃縮液循環管路２７を通ってＵＦ濾過循環タンク２１に戻される。

現像液濃度調整ユニット３０では、複数のそれぞれの濾液タンク２６毎に、送液された現像液「濾液」の現像主成分（Ｎａ_２ＣＯ_３）濃度を濃度測定機で測定し、一定の濃度となるように濾液タンク２６に現像液原液タンク３１から現像液原液を補充して濃度を調整する。濃度調整された現像液「濾液」は再度現像に供するため、現像液循環ユニット４０のリターン送液経路４３を通してクリーンルーム内のリザーブタンク４１へ送られる。これで、現像液は循環することになる。

従来のバッチ方式のＵＦ濾過装置を用いた現像液循環方式の現像装置での動作フローでは、（イ）濾液タンク２６−２がリザーブタンク４１−２に濾液から濃度調整された現像液を送液中で、且つ、（ロ）濾液タンク２６−１は濾液の濃度調整中であり現像液作製準部中となる場合がある。この場合、（ハ）ＵＦ濾過フィルタ２４を透過した濾液は、濾液タンク２６−１および２６−２いずれにも送液ができない状態となる。そこで、（ニ）濾液タンク２６への送液が不可となりＵＦ濾過循環タンク２１の液面が上昇する。ＵＦ濾過循環タンク２１からは定量ドレイン機構２２によって一定的に定量ドレインを実施しているが、定量ドレインの廃液能力と各現像装置からの液送液の比率が異なる為、ＵＦ濾過循環タンク２１は即満了となる。（ホ）ＵＦ濾過循環タンク２１の液面満了により、現像ユニット側からの送液(廃液処理)が不可となる。その結果、（ヘ）現像タンクからの送液(廃液処理)が出来ず、ＵＦ濾過装置と現像装置間の全体流量フローが一時停止し、濾過動作が停止し、それに伴い逆洗浄動作も停止する。（ト）この一時停止の間、逆洗浄動作が実施されず、待機時間が長引けば、ＵＦ濾過フィルタ２４の閉塞が発生する。（チ）この閉塞が発生すると、再稼動時に正常な濾過動作が実施不可となり、濾液流量の不安定化となり、現像工程の不安定化とそれに伴う品質不良が発生することになる。

上記した、従来のバッチ方式のＵＦ濾過装置を用いた現像液循環方式の現像装置でのトラブルを回避するために、本発明の現像装置は、濾過ユニット２０において、ＵＦ濾過フィルタ毎に逆洗浄する手段は、濾過ユニットと現像ユニット間の全体流量フローが一時停止し、濾過動作が停止した時点においても、自動的に選択された設定のもとにＵＦ濾過フィルタ毎の逆洗浄動作を実施する自動逆洗浄機構２３を具備している。ここで、逆洗浄動作に使用するのは濾過液で、濾過液の精製は逆洗浄選択されたＵＦ濾過フィルタ２４にて
実施する。本発明の現像装置での動作フローを以下説明する。

本発明の、バッチ方式のＵＦ濾過装置を用いた現像液循環方式の現像装置での動作フローでは、上記した（イ）濾液タンク２６−２がリザーブタンク４１−２に濾液から濃度調整された現像液を送液中、且つ、（ロ）濾液タンク２６−１は濾液の濃度調整中であり現像液作製準部中。（ハ）ＵＦ濾過フィルタ２４を透過した濾液は、濾液タンク２６−１および２６−２いずれにも送液ができない状態となる。そして、（ニ）濾液タンク２６への送液が不可となりＵＦ濾過循環タンク２１の液面が上昇する。（ホ）ＵＦ濾過循環タンク２１の液面満了により、現像ユニット側からの送液(廃液処理)が不可となる。その結果、（ヘ）現像タンクからの送液(廃液処理)が出来ず、ＵＦ濾過装置と現像装置間の全体流量フローが一時停止し、濾過動作が停止し、それに伴い逆洗浄動作も停止する。ここまでの現象は同じである。

本発明においては、前記したように、濾過ユニット２０の、ＵＦ濾過フィルタ毎に逆洗浄する手段は、濾過ユニットと現像ユニット間の全体流量フローが一時停止し、濾過動作が停止した時点においても、自動的に選択された設定のもとにＵＦ濾過フィルタ毎の逆洗浄動作を実施する自動逆洗浄機構２３を具備している。そのため、所定の設定タイミングで逆洗浄動作を実施出来るので、前記した（ト）の現象は発生しない。

また、この自動逆洗浄機構２３は、所定のタイミングで各ＵＦ濾過フィルタ毎に逆洗浄するように設定可能である。そのため、各ＵＦ濾過フィルタの閉塞現象が発生しない様に予め条件出しすることで、適切な所定の設定で逆洗浄動作を実施出来る。

この、自動逆洗浄機構２３の逆洗浄動作を、図１に示す５つのＵＦ濾過フィルタ２４−１、２４−２，２４−３，２４−４，２４−５を有する濾過装置で実施する場合を説明する。（ａ）ＵＦ濾過フィルタ２４−１にて逆洗浄用タンク２９に濾過液を貯める。次に、逆洗浄用タンク２９から濾過液をＵＦ濾過フィルタ２４−１に送り逆洗浄する。なお、本発明に係るＵＦ濾過装置では、クロスフロー濾過方式を採用しており、逆洗浄動作においても、クロスフロー方式で、フィルター膜面の反対側から濾過液が供給されているかたちとなる。次に、ＵＦ濾過フィルタ２４−２，２４−３，２４−４，２４−５についても順に同様の逆洗浄動作を実施し、ＵＦ濾過フィルタ２４−１に戻り、これを繰り返すことになる。

本発明に係る自動逆洗浄機構は、搭載されている複数のＵＦ濾過フィルタを自動選択し、順次逆洗浄動作を行う機能を具備しており、また、逆洗浄動作条件として少なくとも、逆洗浄時間、圧力、流量、送液量を、それぞれ所望する値に設定可能な機能を有していることが好ましい。さらに、この自動逆洗浄機構は、逆洗浄動作履歴を監視する機能を有しているため、複数のＵＦ濾過フィルタのそれぞれの劣化状況の把握も出来るため、適切な交換時期の判断が可能である。

また、製造の都合で直ちに交換することが出来ない場合でも、本発明に係る自動逆洗浄機構は、逆洗浄動作実施時に使用する複数のポンプを備え、このポンプのいずれかを任意に選択し、その動作周波数変更を可能とする機能を有している。このことで、ＵＦ濾過フィルタのそれぞれの閉塞進行状況や、逆洗浄効果の把握が可能であり、閉塞気味のＵＦ濾過フィルタには逆洗浄時間を長くし、逆にリーク傾向にあるＵＦ濾過フィルタには逆洗浄時間を短くして、逆洗浄動作をより適切に行うことができる。また、このことで、ＵＦ濾過フィルタの高寿命化につながる。

以上説明したとおり、本発明の現像装置によれば、濾過ユニットと現像ユニット間の全体流量フローが一時停止し場合にも、自動逆洗浄機構により逆洗浄動作が実施されるため
、ＵＦ濾過フィルタの閉塞現象が発生しない。その結果、バッチ方式のＵＦ濾過装置の特徴である濾過液の濃度安定化を図り、現像タンクの現像液の汚染度の安定化を図ることが可能となり、製品に対して安定した現像液が供給され品質の安定化が可能な現像装置となり品質事故防止となる。

１０・・現像ユニット
１１、１１−１、１１−２、１１−３、１１−４・・現像タンク
１２、１２−１、１２−２、１２−３、１２−４・・現像槽
１３・・現像古液送液手段
２０・・濾過ユニット ２１・・ＵＦ濾過循環タンク ２２・・定量ドレイン機構
２３・・自動逆洗浄機構 ２４・・ＵＦ濾過フィルタ ２５・・送液経路
２６、２６−１，２６−２・・濾液タンク ２７・・ＵＦ濾過フィルタ濃縮液循環管路
２８・・送液経路 ２９・・逆洗浄タンク
３０・・現像液濃度調整ユニット ３１・・原液タンク ３２・・濃度測定器
４０・・現像液循環ユニット ４１、４１−１，４１−２・・リザーブタンク
４２，４２−１，４２−２・・減増新液供給管路 ４３・・リターン送液経路

Claims (5)

1. バッチ方式のＵＦ濾過装置を用いた現像液循環方式の現像装置であって、少なくとも、（１）現像処理が行われる現像槽と、現像液を収容する現像タンクと、前記現像タンク内の現像液を前記現像槽に送る手段と、前記現像槽において現像処理に使用された後の現像液「古液」を濾過ユニット側に送液する手段とを備えた現像ユニットと、
   （２）前記現像ユニットから送液された現像液「古液」を貯留する定量ドレイン機構を有するＵＦ濾過循環タンクと、複数のＵＦ濾過フィルタを使用して前記ＵＦ濾過循環タンク内の現像液「古液」を濾過する手段と、前記ＵＦ濾過フィルタ毎に逆洗浄する手段と、濾過された現像液「濾液」を交互に運転される複数の濾液タンクのいずれかに送る手段と、現像液「濾液」を貯留する前記複数の濾液タンクとを備えた濾過ユニットと、
   （３）前記複数の濾液タンクに送液された現像液「濾液」の濃度を測定する手段と、前記複数の濾液タンクに現像液原液を補充して濃度を調整する手段とを備えた現像液濃度調整ユニットと、
   （４）濃度調整された現像液「濾液」を再度現像に供するため、リザーブタンクに、前記複数の濾液タンクのいずれかから現像液「濾液」を送液する手段と、更に前記リザーブタンクの現像液を前記現像ユニットの前記現像タンクに送液して再利用する手段とを備えた現像液循環ユニットと、から構成される現像装置において、
   前記ＵＦ濾過フィルタ毎に逆洗浄する手段は、前記濾過ユニットと前記現像ユニット間の全体流量フローが一時停止した時点においても、自動的に定期的な前記ＵＦ濾過フィルタ毎の逆洗浄動作を実施する自動逆洗浄機構を具備していることを特徴とする現像装置。
2. 前記自動逆洗浄機構は、搭載されている前記複数のＵＦ濾過フィルタを自動選択し、順次逆洗浄動作を行う機能を具備していることを特徴とする請求項１に記載する現像装置。
3. 前記自動逆洗浄機構は、逆洗浄動作条件として少なくとも、逆洗浄時間、圧力、流量、送液量を、それぞれ所望する値に設定可能な機能を有することを特徴とする請求項１または２に記載する現像装置。
4. 前記自動逆洗浄機構は、逆洗浄動作履歴を監視する機能を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか1項に記載する現像装置。
5. 前記自動逆洗浄機構は、逆洗浄動作実施時に使用する複数のポンプを備え、前記ポンプのいずれかを任意に選択し、その動作周波数変更を可能とする機能を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか1項に記載する現像装置。

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