JP5477531B2 - 現像装置および現像方法 - Google Patents
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Description
(1)現像液を収容する現像タンクと、
前記現像タンク内の現像液を現像処理が行われる現像槽に送る経路と、
前記現像槽において現像処理に使用された後の現像液を前記現像タンクに戻す経路と、
前記現像タンクに貯留された現像液を限外濾過循環タンクに送液する経路と、
(2)前記限外濾過循環タンク内の現像液を濾過するため、複数の限外濾過フィルタに送液する経路と、
濾液を濾液リザーブタンクに送る経路と、
(3)前記濾液リザーブタンクに送液された濾液の濃度を測定する手段と、
前記濾液の濃度を調整するため現像液原液を原液タンクから前記濾液リザーブタンクに送液する経路と、
(4)原液タンクから調合タンクに現像液原液を供給する経路と、
前記調合タンクを通じて現像液(新液)が供給されているリザーブタンクに、前記濾液リザーブタンクから濃度調整された現像液(濾液)を送液する経路と、
前記リザーブタンクから前記現像タンクに送液する経路と、
前記リザーブタンク内の現像液濃度が一定となるよう測定する手段とを
具備する現像装置であって、
複数の前記限外濾過フィルタが分画分子量1000以上の限外濾過フィルタであることを特徴とする現像装置である。
して現像タンク4に供給される。現像はクリーンルーム内のクローズ化された状態で、現像タンク4から送液経路25を通して現像液吐出機構1から現像液を吐出し、現像槽2で、対象とするアクリル樹脂系感光性樹脂が塗布・パターン露光された被現像ガラス基板に対して実施する。図1中、現像液吐出機構1をシャワーリング工程としているが、この方法に限定されるものではない。現像処理後の現像液は、現像液リターン経路24を経て現像タンク4中に貯留された後、送液経路5によって限外濾過循環タンク6に運ばれる。現像を繰り返すことで現像タンク4内の感光性樹脂組成物濃度が増加し続けることを防ぐため、ドレイン経路7を用いて一定量の現像液をドレインし、減少した分はリザーブタンク40から現像タンク4へ現像新液供給管路3を通して新液が補充される。
れぞれ、以下に示す運用フローとなっており、UF−2〜UF−5はUF−2が逆洗浄の通常の運用フローである。UF−1では薬液洗浄が選択され、薬液タンクA側から薬液を送液して、UF−1の循環out側から薬液がフィルタ内に送液されて、循環in側から廃液する。UF−2〜UF−5のサイクルが1周している間にUF−1の薬液洗浄と水洗が行われて、その後、後記する運用フローサイクルの(STEP2)へと移行する。
・UF−1:薬剤洗浄(循環out→循環in)and水洗
・UF−2:逆洗浄→濾液供給→濾液供給→濾液供給
・UF−3:濾液供給→逆洗浄→濾液供給→濾液供給
・UF−4:濾液供給→濾液供給→逆洗浄→濾液供給
・UF−5:濾液供給→濾液供給→濾液供給→逆洗浄
図3(b)は以下に示す運用フロー例で、(STEP2)の状態を示したものである。5本の限外濾過フィルタUF−1〜UF−5はそれぞれ、以下に示す運用フローとなっており、この場合も前記と同様に、UF−2〜UF−5はUF−2が逆洗浄の通常の運用フローである。UF−1では薬液洗浄が選択され、このサイクルでは薬液タンクB側から薬液を送液して、UF−1の濾過out側から薬液がフィルタ内に送液されて、循環out又は循環in側から廃液する。このサイクルを1サイクル以上一定時間行い、充分に水洗して置換を実施した後、次の段階としてUF−2の薬剤洗浄へと移行する。
・UF−1:薬剤洗浄(循環out→循環in)and水洗→薬剤洗浄(濾過out→循環out又は循環in)
・UF−2:逆洗浄→濾液供給→濾液供給→濾液供給→逆洗浄
・UF−3:濾液供給→逆洗浄→濾液供給→濾液供給→濾液供給
・UF−4:濾液供給→濾液供給→逆洗浄→濾液供給→濾液供給
・UF−5:濾液供給→濾液供給→濾液供給→逆洗浄→濾液供給
4・・・現像タンク 5・・・送液経路 6・・・限外濾過循環タンク
7・・・ドレイン経路 8・・・送液経路 9・・・濾過ユニット
10・・・薬液タンク 11・・・送液経路 12・・・濾液リザーブタンク
13・・・逆洗浄タンク 21・・・限外濾過フィルタ濃縮液循環管路
22・・・送液経路 24・・・現像液リターン経路 25・・・送液経路
40・・・リザーブタンク 41・・・調合タンク 42・・・原液タンク
50・・・薬液供給経路 51・・・温水供給経路52・・・純水供給経路
53・・・エアー供給経路
Claims (2)
- 少なくとも、現像液循環方式を用いたカラーフィルタ製造の現像工程で使用される現像装置であって、
(1)現像液を収容する現像タンクと、
前記現像タンク内の現像液を現像処理が行われる現像槽に送る経路と、
前記現像槽において現像処理に使用された後の現像液を前記現像タンクに戻す経路と、
前記現像タンクに貯留された現像液を限外濾過循環タンクに送液する経路と、
(2)前記限外濾過循環タンク内の現像液を濾過するため、複数の限外濾過フィルタに送液する経路と、
濾液を濾液リザーブタンクに送る経路と、
(3)前記濾液リザーブタンクに送液された濾液の濃度を測定する手段と、
前記濾液の濃度を調整するため現像液原液を原液タンクから前記濾液リザーブタンクに送液する経路と、
(4)原液タンクから調合タンクに現像液原液を供給する経路と、
前記調合タンクを通じて現像液(新液)が供給されているリザーブタンクに、前記濾液リザーブタンクから濃度調整された現像液(濾液)を送液する経路と、
前記リザーブタンクから前記現像タンクに送液する経路と、
前記リザーブタンク内の現像液濃度が一定となるよう測定する手段とを
具備する現像装置であって、
複数の前記限外濾過フィルタが分画分子量1000以上の限外濾過フィルタであることを特徴とする現像装置。 - 請求項1に記載する現像装置を用い、前記現像槽において、前記リザーブタンクから送られた現像液(新液+濾液)を用いて、被現像体の現像処理を行うことを特徴とする現像方法。
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