WO2019244291A1 - 光偏向器、および走査型レーザ顕微鏡 - Google Patents

光偏向器、および走査型レーザ顕微鏡 Download PDF

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mirror
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一大 菅
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オリンパス株式会社
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    • G02B21/00—Microscopes
    • G—PHYSICS
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    • G—PHYSICS
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    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems

Definitions

  • the present invention relates to an optical deflector and a scanning laser microscope.
  • Patent Literature 1 has a problem that the resonance frequency cannot be sufficiently increased because the shape of the stress relaxation portion is not optimal.
  • the mirror and the oscillating portion that joins the mirror are medium. Due to the dense structure, the stress of the torsion beam portion is directly transmitted to the mirror, and it is difficult to completely prevent the deformation of the mirror.
  • the present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide an optical deflector and a scanning laser microscope capable of suppressing dynamic distortion of a reflecting surface of a movable unit even when a resonance frequency is increased. Aim.
  • an optical deflector includes a mirror unit having an optical reflection surface, a movable unit having a mirror holding unit having a hollow structure for holding the mirror unit, and a pair of elastic members.
  • Each of the elastic members is provided on each of both sides of the movable portion, supports the movable portion so as to be able to swing around a swing axis, and has a first end and a second end.
  • each connecting portion connects the mirror holding portion and the first end of the elastic member, and the length of each connecting portion in the swing axis direction Includes a pair of connecting portions shorter than a maximum length in a direction orthogonal to the swing axis, and a supporting portion connected to the second end of the elastic member and supporting the elastic member.
  • the mirror section has a first rib on a back surface of the optical reflection surface.
  • the mirror holding portion has a second rib intersecting with the swing axis inside the hollow structure.
  • the first rib is parallel to the swing axis.
  • connection portion has a first fillet portion at a connection position with the first end of the elastic member.
  • connection portion has a second fillet portion at a connection position with the mirror holding portion.
  • connection portion may include a first fillet portion provided at a connection position with the first end of the elastic member, and the mirror holding portion.
  • a second fillet provided at the connection position; and a rounded corner provided between the first fillet and the second fillet.
  • a length of the connection portion in a direction orthogonal to the oscillation axis is shorter than a length of the movable portion in a direction orthogonal to the oscillation axis, It is longer than the length of the elastic member in the direction orthogonal to the swing axis.
  • a length of the connection portion in the swing axis direction is shorter than a length of the elastic member in the swing axis direction.
  • a length of the connection portion in a direction orthogonal to the oscillation axis is shorter than a length of the movable portion in a direction orthogonal to the oscillation axis
  • a length of the elastic member in a direction orthogonal to the swing axis and a length of the connection portion in the swing axis direction are shorter than a length of the elastic member in the swing axis direction.
  • the optical deflector according to the present invention in the above invention, has a third fillet portion at a connection position between the support portion and the second end of the elastic member.
  • a scanning laser microscope according to the present invention includes the optical deflector described above.
  • the optical deflector and the scanning laser microscope according to the present invention are configured such that the movable section includes a mirror section having an optical reflection surface, and a mirror holding section having a hollow structure that holds the mirror section,
  • the length of the swing axis direction is shorter than a length in a direction orthogonal to the swing portion, so that when the movable portion swings, It is possible to reduce the stress transmitted from the member to the movable portion, and to suppress the dynamic distortion of the optical reflection surface.
  • FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a scanning laser microscope according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view schematically showing a configuration of an optical deflector used in the scanning laser microscope of FIG.
  • FIG. 3 is a plan view (top view) of the optical deflector of FIG.
  • FIG. 4 is an exploded perspective view of a movable portion of the optical deflector shown in FIG. 2, wherein (a) is a mirror portion and (b) is a mirror holding portion.
  • FIG. 5 is a plan view schematically showing the shape of the connection portion according to the first modification of the embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a plan view schematically showing a shape of a connection portion according to a second modification of the embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a scanning laser microscope according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view schematically showing a configuration of an optical deflector used in the scanning laser microscope of
  • FIG. 7 is a plan view schematically showing a shape of a connection portion according to a third modification of the embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a plan view schematically showing the shape of the connection portion according to Modification 4 of the embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a perspective view schematically showing a holding surface of a mirror holding portion of the optical deflector according to the fifth modification of the embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is an exploded plan view of an optical deflector according to Modification 6 of the embodiment of the present invention, where (a) is a mirror unit and (b) is a mirror holding unit.
  • FIG. 11 is a perspective view schematically showing a holding surface of a mirror holding unit of the optical deflector according to the sixth modification of the embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a scanning laser microscope 10 according to an embodiment of the present invention.
  • the scanning laser microscope 10 includes a microscope main body 11, a controller 12, an input device 13, a display device 14, and a sample table 15.
  • the microscope main body 11 includes an objective lens 21, a revolver 22, beam splitters 23, 28, and 38, an illumination lens 24, a collector lens 25, a white light source 26, an imaging lens 27, a quarter-wave plate 29, a pupil projection lens 30, Optical deflector 100, polarizing beam splitter 32, condenser lenses 33 and 37, laser light source 34, video camera lens 35, CCD camera 36 for video image acquisition, pinhole 39, detector 40 for confocal image acquisition, non-confocal An image acquisition detector 41 and a Z moving mechanism 50 are provided.
  • the confocal image acquisition detector 40 and the non-confocal image acquisition detector 41 for example, a photomultiplier is used.
  • the white light source 26 for example, a fiber light source for white illumination is used.
  • a laser beam (illumination light) emitted from a laser light source 34 is condensed with a condenser lens 33, a polarizing beam splitter 32, an optical deflector 100, a pupil projection lens 30,
  • the light is condensed on the sample 16 placed on the sample table 15 via the optical path including the ⁇ wavelength plate 29, the beam splitter 28, the imaging lens 27, the beam splitter 23, and the objective lens 21, and is spotted. Irradiate as light.
  • the spot light on the sample 16 becomes two orthogonal directions XY in a plane perpendicular to the direction of the optical axis of the objective lens 21 (Z direction). Scan in the direction.
  • the reflected light from the sample 16 is guided in the opposite direction from the objective lens 21 to the polarization beam splitter 32 in the optical path, and is guided to the condenser lens 37 by the polarization beam splitter 32.
  • the reflected light that has passed through the condenser lens 37 is split into two by a beam splitter 38, one of which is incident on a confocal image acquisition detector 40 via a pinhole 39, and the other is non-focused.
  • the light enters the confocal image acquisition detector 41.
  • the sample 16 When acquiring a color video image, the sample 16 is illuminated by passing illumination light emitted from the white light source 26 through an optical path including the collector lens 25, the illumination lens 24, the beam splitter 23, and the objective lens 21. At this time, the reflected light from the sample 16 enters the video image acquisition CCD camera 36 via the objective lens 21, the beam splitter 23, the imaging lens 27, the beam splitter 28, and the video camera lens 35.
  • the confocal optical system including the confocal image acquisition detector 40 and the non-confocal image acquisition detector 41
  • the confocal system in which the pinhole 39 is inserted and the non-confocal system without the pinhole 39 have a beam. It is arranged to simultaneously detect the reflected light after passing through the splitter 38.
  • the output signals of the confocal image acquisition detector 40 and the non-confocal image acquisition detector 131 are sent to the controller 12 as a pair of two-channel LSM output signals.
  • a video image of the sample 16 illuminated with the illumination light from the white light source 26 is obtained. Then, a signal representing this video image is sent from the video image acquisition CCD camera 36 to the controller 12 as a video output signal.
  • the controller 12 includes a calculation unit 61, a control unit 62, and a storage unit 63.
  • the controller 12 for example, an information processing device such as a personal computer is used.
  • the arithmetic unit 61 includes an MPU (arithmetic processing device) and a memory including a ROM (Read Only Memory) and a RAM (Random Access Memory).
  • a predetermined basic control program is recorded in the ROM in advance, and the MPU reads out and executes the basic control program when the arithmetic unit 61 is started, so that the operation of each component of the arithmetic unit 61 can be controlled.
  • the RAM is used as a work storage area as needed when the MPU executes various control programs.
  • the arithmetic unit 61 scans the CCD camera 36 for acquiring a video image, the detector 40 for acquiring a confocal image, the detector 41 for acquiring a non-confocal image, the optical deflector 100, the laser light source 34, and the like shown in FIG.
  • the control of the laser microscope 10 is performed via the control unit 62.
  • the calculation unit 61 also performs a storage control process for storing the confocal image and the video image acquired by the microscope main body 11 in the storage unit 63, and a display for displaying these images being stored in the storage unit 63.
  • Various control processes such as a control process are performed.
  • the input device 13 is, for example, a pointing device such as a keyboard device and a mouse device, and a touch panel.
  • the input device 13 constitutes a graphical user interface (GUI) in cooperation with an operation screen displayed on a monitor screen 51 of the display device 14, and inputs instructions and information by a user of the scanning laser microscope 10 in FIG. Is acquired using this GUI and passed to the controller 12.
  • GUI graphical user interface
  • FIG. 2 is a perspective view schematically showing a configuration of the optical deflector 100 used in the scanning laser microscope 10 of FIG.
  • FIG. 3 is a plan view (top view) of the optical deflector 100 of FIG.
  • FIG. 4 is an exploded perspective view of the movable part 110 of the optical deflector 100 shown in FIG. 2, wherein (a) is a mirror part 112 and (b) is a mirror holding part 120.
  • the optical deflector 100 includes a movable section 110 having an optical reflection surface 114, elastic members 132 and 134 for supporting the movable section 110 so as to be swingable about a swing axis, and a movable section 110. Connecting portions 150 and 152 arranged at connecting positions between the elastic members 132 and 134, and supporting portions 142 and 146 for supporting the elastic members 132 and 134.
  • the pair of elastic members 132 and 134 has a rectangular cross section, and symmetrically extend from the movable portion 110 to both sides via connecting portions 150 and 152 described below.
  • the elastic members 132 and 134 have first ends 132a and 134a and second ends 132b and 134b, and the first ends 132a and 134a are connected to the connection parts 150 and 152, respectively.
  • the two ends 132b and 134b are connected to the supports 142 and 146, respectively.
  • the movable portion 110 is swingably supported by the support portions 142 and 146 around a swing axis passing through the inside of the elastic members 132 and 134.
  • the movable section 110 has a mirror section 112 having an optical reflection surface 114 and a mirror holding section 120 having a driving force generation surface 128.
  • the mirror section 112 and the mirror holding section 120 are joined so that the optical reflection surface 114 and the driving force generation surface 128 are arranged on the outside on the opposite side. It is preferable that both the optical reflecting surface 114 and the driving force generating surface 128 have high flatness.
  • the side surface of the mirror unit 112 is orthogonal to the optical reflection surface 114, and the side surface of the mirror holding unit 120 is orthogonal to the driving force generation surface 128.
  • the optical reflecting surface 114 has an area smaller than the driving force generating surface 128.
  • a driving force generating member for swinging the movable portion 110 is provided on the driving force generating surface 128 of the mirror holding portion 120.
  • the driving force generating member differs depending on the driving method of the optical deflector 100.
  • the driving force generating member is a driving coil that goes around the edge of the movable portion 110
  • the driving force generating member is a pair of a pair extending substantially over the entire surface of the movable portion 110. It is a drive electrode.
  • the movable portion 110 swings about a swing axis by a driving force generation member provided on the driving force generation surface 128. Due to this swing, light incident on the optical reflection surface 114 is operated.
  • the driving force generating surface 128 has a rectangular outline, and the optical reflecting surface 114 has an elliptical outline.
  • the driving force generating surface 128 is long in a direction orthogonal to the swing axis, and the optical reflecting surface 114 has a long diameter in a direction orthogonal to the swing axis.
  • the elliptical shape of the optical reflecting surface 114 preferably has a contour substantially inscribed in the rectangle of the driving force generating surface 128 as shown in FIG. 2, but is not limited thereto.
  • the optical deflector 100 is formed from a single crystal silicon substrate using, for example, a semiconductor process.
  • Single-crystal silicon has high rigidity and low internal attenuation of the material, so that it is suitable for the material of the elastic members 132 and 134 for resonance driving, and also the material of the support portions 142 and 146 bonded to the external member. Are suitable.
  • the mirror section 112 has a first rib 116 formed on the back surface of the optical reflection surface 114.
  • the first rib 116 protrudes from the back surface of the optical reflection surface 114, and extends in a direction parallel to the swing axis of the elastic members 132 and 134.
  • the mirror section 112 is a three-dimensional body whose end face is the contour shape of the elliptical optical reflection surface 114, and has a first frame 118 formed on the outer periphery of the contour shape.
  • the first frame 118 protrudes from the back surface of the optical reflection surface 114, like the first rib 116.
  • the mirror holding section 120 is formed of the same layer as the elastic members 132 and 134 and the connecting sections 150 and 152.
  • the mirror holding unit 120 has a driving force generation surface 128 and a second rib 122 formed on a back surface of the driving force generation surface 128, that is, a holding surface in contact with the first rib 116.
  • the second rib 122 protrudes from the back surface of the driving force generating surface 128 and extends in a direction orthogonal to the swing axis of the elastic members 132 and 134.
  • the first rib 116 of the mirror section 112 and the second rib 122 of the mirror holding section 120 extend in a three-dimensional manner.
  • the expression that the first rib 116 and the second rib 122 extend three-dimensionally intersect means that the first rib 116 is located on the second rib 122 and the second rib 122 It extends across the ribs 122 and means that the second ribs 122 are located below and extend across the first ribs 116.
  • the first rib 116 and the second rib 122 are joined at a portion where they intersect.
  • the mirror holding section 120 has a second frame 124 joined to the mirror section 112. That is, the second frame 124 has the same elliptical contour shape as the first frame 118 of the mirror section 112.
  • the mirror holding section 120 is a three-dimensional body having a rectangular outline shape as an end face, and has a third frame 126 formed on an outer peripheral portion of the outline shape.
  • the second frame 124 and the third frame 126 protrude from the back surface of the driving force generation surface 128 similarly to the second rib 122.
  • connection portions 150 and 152 are arranged at the connection positions between the mirror holding portion 120 and the first ends 132a and 134a of the elastic members 132 and 134.
  • the connection parts 150 and 152 are formed symmetrically with respect to the movable part 110.
  • the connection portions 150 and 152 have a length r1 in the swing axis direction shorter than a maximum length r2 in a direction orthogonal to the swing axis.
  • the length r2 of the connecting portions 150 and 152 in the direction orthogonal to the swing axis is shorter than the length r3 of the movable portion 110 in the direction orthogonal to the swing axis, and is shorter than the length r3 of the elastic members 132 and 134.
  • the length r4 in the orthogonal direction is longer than the length r4 in the orthogonal direction.
  • the length r2 of the connection portions 150 and 152 in the direction orthogonal to the swing axis is shorter than r3 and longer than r4, the stress transmitted from the elastic members 132 and 134 to the connection portions 150 and 152 is reduced. , 152 and a decrease in resonance frequency due to an increase in the moment of inertia.
  • the length r1 of the connecting portions 150 and 152 in the swing axis direction is shorter than the length r5 of the elastic members 132 and 134 in the swing axis direction, that is, the elastic force of the connecting portions 150 and 152 in the swing axis direction is smaller. It is preferable that the elastic members 132 and 134 generate the oscillation by making the elastic members 132 and 134 larger in elastic force in the oscillation axis direction.
  • connection portions 150 and 152 have first fillet portions 150a and 152a at positions where the elastic members 132 and 134 are connected to the first ends 132a and 134a.
  • the first fillet portions 150a, 152a are rounded at the connection positions between the connection portions 150, 152 and the elastic members 132, 134, and the first fillet portions 150a, 152a swing the elastic member 132,
  • the stress generated in 134 is confined in elastic members 132 and 134, and the stress transmitted to connecting portions 150 and 152 can be reduced.
  • connection portions 150 and 152 have second fillet portions 150b and 152b at the connection positions with the mirror holding portion 120.
  • the second fillet portions 150b and 152b are rounded portions formed at the connection positions between the connection portions 150 and 152 and the mirror holding portion.
  • the second fillet portions 150b and 152b allow the connection portions 150 and 152 to be connected to the mirror holding portion.
  • the transmission of the stress to the mirror 120 becomes continuous, preventing the stress from being concentrated on the connection position between the mirror holding unit 120 and the connection units 150 and 152, and preventing the connection portion from being broken.
  • connection portions 150 and 152 have rounded corner portions 154 and 156 between the first fillet portions 150a and 152a and the second fillet portions 150b and 152b.
  • the rounded corners 154 and 156 are roundings formed at the corners of the connection parts 150 and 152, and by forming the rounded corners 154 and 156, a part not involved in stress transmission is removed. The mass of the optical deflector 100 can be reduced, and the moment of inertia can be minimized. Note that the formation of the rounded corners 154 and 156 does not reduce the stress relaxation effect of the connection parts 150 and 152.
  • a rounded corner generally has a rounded corner called a corner R or a corner R. That is, the rounded corner portion is a portion whose outer peripheral portion has a shape constituted by straight lines connected smoothly without a curve or a singular point.
  • the optical deflector 100 has third fillet portions 158 and 160 at the connection positions between the support portions 142 and 146 and the second ends 132b and 134b of the elastic members 132 and 134.
  • connection portions 150 and 152 are formed of the same layer as the mirror holding portion 120 and the elastic members 132 and 134, and are provided symmetrically with respect to the mirror holding portion 120 and the swing axis. I have.
  • the first fillet portions 150a and 152a, the second fillet portions 150b and 152b, and the rounded corner portions 154 and 156 are elastically formed with the corner portions of the originally rectangular connection portions 150 and 152, that is, the connection portions 150 and 152. Corners between the members 132 and 134, corners between the connection portions 150 and 152 and the mirror holding portion 120, and corners independently of the connection portions 150 and 152 (first fillet portions 150a and 152a).
  • first and second fillet portions 150b and 152b Corners between the first and second fillet portions 150b and 152b), the first fillet portions 150a and 152a, the second fillet portions 150b and 152b, and the rounded corner portions 154 and 156. Is provided, the transmission of the stress generated by the swing to the mirror unit 112 can be suppressed, and the distortion of the optical reflection surface 114 of the mirror unit 112 can be suppressed. .
  • the movable part 110 of the optical deflector 100 has the first rib 116 in which the mirror part 112 extends in parallel with the swing axis of the elastic members 132 and 134, and the mirror holding part 120 has Has a second rib 122 extending in a direction orthogonal to the swing axis of the elastic members 132 and 134, but the mirror section 112 and the mirror holding section 120 are parallel to the swing axis of the elastic members 132 and 134.
  • the optical reflection surface is smaller than the configuration in which the elastic members 132 and 134 are formed on the mirror unit 112 having the optical reflection surface 114.
  • the reaction force of the elastic members 132 and 134 transmitted to the 114 can be reduced.
  • the first rib 116 and the mirror holding section 120 are provided on the back surface of the optical reflection surface 114 of the mirror section 112.
  • the second rib 122 is formed on the holding surface, and the first rib 116 and the second rib 122 adopt a configuration in which the first rib 116 and the second rib 122 intersect three-dimensionally and extend. Dynamic distortion can be suppressed, and both the optical reflecting surface 114 and the driving force generating surface 128 of the movable section 110 can be flat, so that the optical deflector 100 can be reduced in size.
  • connection portions 150 and 152 at the connection positions between the elastic members 132 and 134 and the mirror holding portion 120, transmission of stress to the mirror portion 112 can be suppressed.
  • the first rib 116 is formed on the back surface of the optical reflection surface 114 of the mirror unit 112 to reduce the mass of the movable unit 110, but the distortion of the optical reflection surface 114 is suppressed. In view of the above, it is not necessary to form a rib on the mirror portion 112.
  • connection portions 150 and 152 have the first fillet portions 150a and 152a, the second fillet portions 150b and 152b, and the rounded corner portions 154 and 156.
  • the present invention is not limited thereto, and even if the connection portions 150 and 152 do not have the first fillet portions 150a and 152a, the second fillet portions 150b and 152b, and the rounded corner portions 154 and 156, the elastic member may be used. The transmission of stress from the mirrors 132 and 134 to the mirror 112 can be suppressed, and the distortion of the optical reflecting surface 114 can be prevented.
  • FIG. 5 is a plan view schematically showing the shape of the connection part 150A according to the first modification of the embodiment of the present invention.
  • connection portion 150A is disposed at a connection position between the mirror holding portion 120 and the elastic member 132.
  • a connection portion 152A is also provided at a connection position between the mirror holding portion 120 and the elastic member 134, and the connection portions 150A and 152A are formed symmetrically with respect to the movable portion 110.
  • the connecting portions 150A and 152A have a tapered shape (triangular shape) whose length on the mirror holding portion 120 side is longer than the length on the elastic members 132 and 134.
  • connection portions 150A and 152A have second fillet portions 150b and 152b at the connection positions with the mirror holding portion 120.
  • the second fillet portions 150b and 152b By the second fillet portions 150b and 152b, the transmission of stress from the connection portions 150A and 152A to the mirror holding portion 120 becomes continuous, and the concentration of stress at the connection position between the mirror holding portion 120 and the connection portions 150A and 152A is prevented. Thus, it is possible to prevent the connection portion from being broken.
  • FIG. 6 is a plan view schematically showing the shape of the connection portion 150B according to the second modification of the embodiment of the present invention.
  • connection portion 150B is disposed at a connection position between the mirror holding portion 120 and the elastic member 132.
  • a connection portion 152B is also provided at a connection position between the mirror holding portion 120 and the elastic member 134, and the connection portions 150B and 152B are formed symmetrically with respect to the movable portion 110.
  • connection portions 150B, 152B have a semicircular shape protruding from the mirror holding portion 120 side, and have first fillet portions 150a, 152a at connection positions with the elastic members 132, 134.
  • first fillet portions 150a, 152a By the first fillet portions 150a, 152a, the stress generated in the elastic members 132, 134 due to the swing is confined in the elastic members 132, 134, and the stress transmitted to the connection portions 150B, 152B can be reduced.
  • connection portions 150B and 152B have second fillet portions 150b and 152b at the connection positions with the mirror holding portion 120.
  • the second fillet portions 150b, 152b the transmission of stress from the connection portions 150B, 152B to the mirror holding portion 120 becomes continuous, and the concentration of stress at the connection position between the mirror holding portion 120 and the connection portions 150B, 152B is prevented.
  • FIG. 7 is a plan view schematically showing the shape of the connection portion 150D according to the third modification of the embodiment of the present invention.
  • connection portion 150D is disposed at a connection position between the mirror holding portion 120 and the elastic member 132.
  • a connection portion 152D is also provided at a connection position between the mirror holding portion 120 and the elastic member 134, and the connection portions 150D and 152D are formed symmetrically with respect to the movable portion 110.
  • connection portions 150D and 152D have a rectangular shape, and have first fillet portions 150a and 152a at connection positions with the elastic members 132 and 134.
  • first fillet portions 150a and 152a By the first fillet portions 150a and 152a, the stress generated in the elastic members 132 and 134 due to the swing is confined in the elastic members 132 and 134, and the stress transmitted to the connection portions 150D and 152D can be reduced.
  • connection portions 150D and 152D have second fillet portions 150b and 152b at the connection positions with the mirror holding portion 120.
  • the second fillet portions 150b, 152b the transmission of stress from the connection portions 150D, 152D to the mirror holding portion 120 becomes continuous, and the concentration of stress at the connection position between the mirror holding portion 120 and the connection portions 150D, 152D is prevented.
  • FIG. 8 is a plan view schematically showing the shape of the connection portion 150E according to Modification 4 of the embodiment of the present invention.
  • connection portion 150E is arranged at a connection position between mirror holding portion 120 and elastic member 132.
  • a connection portion 152E is also provided at a connection position between the mirror holding portion 120 and the elastic member 134, and the connection portions 150E and 152E are formed symmetrically with respect to the movable portion 110.
  • connection portions 150E and 152E have a step shape, and have first fillet portions 150a and 152a at connection positions with the elastic members 132 and 134.
  • first fillet portions 150a, 152a By the first fillet portions 150a, 152a, the stress generated in the elastic members 132, 134 due to the swing is confined in the elastic members 132, 134, and the stress transmitted to the connection portions 150E, 152E can be reduced.
  • connection portions 150E and 152E have second fillet portions 150b and 152b at the connection positions with the mirror holding portion 120.
  • the transmission of stress from the connection portions 150E and 152E to the mirror holding portion 120 becomes continuous, and concentration of stress at the connection position between the mirror holding portion 120 and the connection portions 150E and 152E is prevented.
  • concentration of stress at the connection position between the mirror holding portion 120 and the connection portions 150E and 152E is prevented.
  • connection parts 150E and 152E have the fourth fillet parts 150d and 152d at the corners between the steps.
  • the fourth fillet portions 150d and 152d can suppress the concentration of stress on the corners and prevent the connection portions 150E and 152E from being broken.
  • the connection units 150E and 152E are configured by two steps, but may be configured by three or more steps.
  • FIG. 9 is a perspective view schematically showing a holding surface of a mirror holding portion 120F of the optical deflector according to the fifth modification of the embodiment of the present invention.
  • the mirror holding section 120F has a hollow structure 130 without the second rib 122 formed on the holding surface in contact with the mirror section 112.
  • the mirror holding unit 120F includes a second frame 124 joined to the mirror unit 112 and a three-dimensional frame having a rectangular outline shape as an end face, and a third frame 126 formed on the outer periphery of the outline shape. Have. The second frame 124 and the third frame 126 project from the back surface of the driving force generating surface 128.
  • the mirror holding unit 120F By forming the hollow structure 130 in the mirror holding unit 120F, the mirror holding unit 120F can be more easily deformed, and the stress transmitted to the mirror holding unit 120 that cannot be alleviated by the connection units 150 and 152 can be undertaken by the mirror holding unit 120F. In addition, transmission of stress to the mirror unit 112 can be suppressed.
  • the mirror unit used together with the mirror holding unit 120F according to Modification Example 5 may be the mirror unit 112 having the first rib 116 according to the embodiment, or may be the mirror unit having no first rib.
  • the driving force generating surface 128 can be a flat surface, and the size of the optical deflector can be reduced. Further, by providing the connection portions 150 and 152 at the connection positions between the elastic members 132 and 134 and the mirror holding portion 120F, transmission of stress to the mirror portion can be suppressed.
  • FIG. 10 is an exploded plan view of an optical deflector according to Modification 6 of the embodiment of the present invention, in which (a) a mirror unit 212 and (b) a mirror holding unit 220.
  • the optical deflector according to Modification 6 includes a movable section 210 having an optical reflecting surface 214, elastic members 232 and 234 that support the movable section 210 so as to be swingable about a swing axis, and elastic members 232 and 234. At least support portions 242 and 246 for supporting are provided.
  • the movable section 210 is formed by a mirror section 212 and a mirror holding section 220 that holds the mirror section.
  • the mirror section 212 has an optical reflection surface 214 having an elliptical contour and a first rib 216 formed on the back surface of the optical reflection surface 214.
  • the first rib 216 protrudes from the back surface of the optical reflecting surface 214, and has an intersection P1 between the outer periphery of the elliptical optical reflecting surface 214 and the major axis, and an intersection P2 between the outer periphery of the elliptical optical reflecting surface 214 and the minor axis. Extend in a direction parallel to the line connecting.
  • the mirror holding section 220 is formed from the same layer as the elastic members 232 and 234. Further, the mirror holding section 220 has a second rib 222 formed on the back surface of the driving force generation surface 128, that is, on the holding surface in contact with the first rib 216. The second rib 222 protrudes from the back surface of the driving force generation surface 228 and extends in a direction parallel to a rectangular diagonal line circumscribing the elliptical optical reflection surface 214.
  • the first rib 216 and the second rib 222 extend three-dimensionally and intersect, and a part of the first rib 216 and a part of the second rib 222 are joined.
  • the mirror section 212 is a three-dimensional body whose end face is the contour shape of the elliptical optical reflection surface 214, and has a first frame 218 formed on the outer peripheral portion of the contour shape.
  • the first frame 218 protrudes from the back surface of the optical reflection surface 214, similarly to the first rib 216.
  • the mirror holder 220 has a second frame 224 joined to the first frame 218. That is, the second frame 224 has the same elliptical contour shape as the first frame 218.
  • the mirror holding section 220 is a three-dimensional body having a rectangular outline shape as an end face, and has a third frame 226 formed on an outer peripheral portion of the outline shape. The second frame 224 and the third frame 226 protrude from the back surface of the driving force generation surface 228, similarly to the second rib 222.
  • connection portions 250 and 252 are arranged at the connection positions between the mirror holding portion 220 and the first ends 232a and 234a of the elastic members 232 and 234.
  • the connection parts 250 and 252 are formed symmetrically with respect to the movable part 210.
  • connection portions 250 and 252 have first fillet portions 250a and 252a at positions where the elastic members 232 and 234 are connected to the first ends 232a and 234a.
  • first fillet portions 250a and 252a By the first fillet portions 250a and 252a, the stress generated in the elastic members 232 and 234 due to the rocking is confined in the elastic members 232 and 234, and the stress transmitted to the connection portions 250 and 252 can be reduced.
  • connection portions 250 and 252 have second fillet portions 250b and 252b at the connection positions with the mirror holding portion 220.
  • the second fillet portions 250b and 252b By the second fillet portions 250b and 252b, the transmission of stress from the connection portions 250 and 252 to the mirror holding portion 220 becomes continuous, and the concentration of stress at the connection position between the mirror holding portion 220 and the connection portions 250 and 252 is prevented. Thus, it is possible to prevent the connection portion from being broken.
  • connection portions 250 and 252 have rounded corner portions 254 and 256 between the first fillet portions 250a and 252a and the second fillet portions 250b and 252b.
  • the optical deflector 100 has third fillet portions 158 and 160 at the connection positions between the support portions 142 and 146 and the second ends 132b and 134b of the elastic members 132 and 134.
  • the driving force generation surface 228 can be a flat surface, and the size of the optical deflector can be reduced. Further, by providing the connection portions 250 and 252 at the connection positions between the elastic members 232 and 234 and the mirror holding portion 220, transmission of stress to the mirror portion 212 can be suppressed.
  • FIG. 11 is a perspective view schematically showing a holding surface of the mirror holding section 320 of the optical deflector according to the sixth modification of the embodiment of the present invention.
  • the mirror holding section 220 has a hollow structure 330 without a second rib formed on the holding surface in contact with the mirror section. Further, the mirror holding section 220 has a second frame 324 joined to the mirror section, and does not have a third frame having a rectangular outline shape. The second frame 324 protrudes from the back surface of the driving force generation surface 328.
  • the mirror holding section 320 is more easily deformed, and the stress transmitted to the mirror holding section 320 that cannot be alleviated by the connection sections 350 and 352 is undertaken by the mirror holding section 320. In addition, transmission of stress to the mirror portion can be suppressed.
  • connection portions 350 and 352 have first fillet portions 350a and 352a at positions where the elastic members 332 and 334 are connected to the first ends 332a and 334a.
  • first fillet portions 350a and 352a By the first fillet portions 350a and 352a, the stress generated in the elastic members 332 and 334 due to the swing is confined in the elastic members 332 and 334, and the stress transmitted to the connection portions 350 and 352 can be reduced.
  • connection portions 350 and 352 have second fillet portions 350b and 352b at connection positions with the mirror holding portion 320.
  • the second fillet portions 350b, 352b By the second fillet portions 350b, 352b, the transmission of stress from the connection portions 350, 352 to the mirror holding portion 320 becomes continuous, and concentration of stress at the connection position between the mirror holding portion 320 and the connection portions 350, 352 is prevented. Thus, it is possible to prevent the connection portion from being broken.
  • connection portions 350 and 352 have corner portions 354 and 356 that are rounded between the first fillet portions 350a and 352a and the second fillet portions 350b and 352b.
  • corner portions 354 and 356 are rounded between the first fillet portions 350a and 352a and the second fillet portions 350b and 352b.
  • third fillet portions 358 and 360 are provided at connection positions between the support portions 342 and 346 and the second ends 332b and 334b of the elastic members 332 and 334.
  • the driving force generation surface 328 can be made flat, and the size of the optical deflector can be reduced. Further, by providing the connection portions 350 and 352 at the connection positions between the elastic members 332 and 334 and the mirror holding portion 320, transmission of stress to the mirror portion can be suppressed.

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Abstract

光学反射面（１１４）を有するミラー部（１１２）、および前記ミラー部を保持する中空構造のミラー保持部（１２０）を有する可動部（１１０）と、揺動軸を中心として前記可動部を揺動可能に支持し第１の端部（１３２ａ，１３４ａ）と第２の端部（１３２ｂ，１３４ｂ）とを有する一対の弾性部材（１３２，１３４）と、前記ミラー保持部（１２０）と前記弾性部材の前記第１の端部（１３２ａ，１３４ａ）との接続位置に配置され各接続部の前記揺動軸方向の長さ（ｒ２）が前記揺動軸と直交する方向の最大長さ（ｒ１）よりも短い一対の接続部（１５０，１５２）と、前記弾性部材の前記第２の端部（１３２ｂ，１３４ｂ）に連結され前記弾性部材を支持する支持部（１４２）を備え、可動部の反射面の動的な歪みを抑えるとともに小型化可能な光偏向器および走査型レーザ顕微鏡。

Description

光偏向器、および走査型レーザ顕微鏡
　本発明は、光偏向器、および走査型レーザ顕微鏡に関するものである。
　従来、励起光であるレーザ光を試料に照射しつつ走査し、試料から発する蛍光画像を取得する走査型レーザ顕微鏡が多用されている。近年、このような走査型レーザ顕微鏡等に使用される光偏向器として、経年劣化に伴う共振周波数の低下を防ぐ目的で、ミラーを固定する揺動部分と捻れ梁部分との間に応力緩和部を設けたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特開２０１３－６４８４３号公報
　しかしながら、特許文献１では、応力緩和部の形状が最適でないため、十分に共振周波数を上げることができないという問題を有している、また、ミラー、およびミラーを接合している揺動部分が中密構造のため、捻れ梁部分の応力がミラーに直接伝わる構造となりミラーの変形を完全に防ぐことが困難であった。
　本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、共振周波数を上げても可動部の反射面の動的な歪みを抑えることが可能な光偏向器および走査型レーザ顕微鏡を提供することを目的とする。
　上記目的を達成するために、本発明に係る光偏向器は、光学反射面を有するミラー部、および前記ミラー部を保持する中空構造のミラー保持部を有する可動部と、一対の弾性部材であって、各弾性部材は、前記可動部の両側のそれぞれに設けられ、揺動軸を中心として前記可動部を揺動可能に支持し、第１の端部と第２の端部とを有する一対の弾性部材と、一対の接続部であって、各接続部は、前記ミラー保持部と前記弾性部材の前記第１の端部とを接続し、各接続部の前記揺動軸方向の長さが前記揺動軸と直交する方向の最大長さよりも短い一対の接続部と、前記弾性部材の前記第２の端部に連結され、前記弾性部材を支持する支持部と、を備える。
　また、本発明に係る光偏向器は、上記発明において、前記ミラー部は、前記光学反射面の裏面に第１のリブを有している。
　また、本発明に係る光偏向器は、上記発明において、前記ミラー保持部は、前記中空構造の内部に前記揺動軸と交差する第２のリブを有する。
　また、本発明に係る光偏向器は、上記発明において、前記第１のリブは、前記揺動軸と平行である。
　また、本発明に係る光偏向器は、上記発明において、前記接続部は、前記弾性部材の前記第１の端部との接続位置に第１のフィレット部を有する。
　また、本発明に係る光偏向器は、上記発明において、前記接続部は、前記ミラー保持部との接続位置に第２のフィレット部を有する。
　また、本発明に係る光偏向器は、上記発明において、前記接続部は、前記弾性部材の前記第１の端部との接続位置に設けた第１のフィレット部と、前記ミラー保持部との接続位置に設けた第２のフィレット部と、前記第１のフィレット部と前記第２のフィレット部との間に設けた丸められた角部とを有する。
　また、本発明に係る光偏向器は、上記発明において、前記接続部の前記揺動軸と直交する方向の長さは、前記可動部の前記揺動軸と直交する方向の長さよりも短く、前記弾性部材の前記揺動軸と直交する方向の長さより長い。
　また、本発明に係る光偏向器は、上記発明において、前記接続部の前記揺動軸方向の長さは、前記弾性部材の前記揺動軸方向の長さより短い。
　また、本発明に係る光偏向器は、上記発明において、前記接続部の前記揺動軸と直交する方向の長さは、前記可動部の前記揺動軸と直交する方向の長さよりも短く、前記弾性部材の前記揺動軸と直交する方向の長さより長く、且つ前記接続部の前記揺動軸方向の長さは、前記弾性部材の前記揺動軸方向の長さより短い。
　また、本発明に係る光偏向器は、上記発明において、前記支持部と前記弾性部材の前記第２の端部との接続位置に第３のフィレット部を有する。
　また、本発明に係る走査型レーザ顕微鏡は、上記に記載の光偏向器を備える。
　本発明に係る光偏向器および走査型レーザ顕微鏡は、可動部を、光学反射面を有するミラー部と、前記ミラー部を保持する中空構造のミラー保持部と、から構成し、前記可動部と、前記可動部を揺動可能に支持する弾性部材の接続位置に、揺動軸方向の長さが直交する方向の長さより短い接続部を設けることにより、前記可動部を揺動する際、前記弾性部材から前記可動部に伝わる応力を緩和し、光学反射面の動的な歪みを抑制することが可能となる。
図１は、本発明の実施の形態に係る走査型レーザ顕微鏡の構成を示す図である。 図２は、図１の走査型レーザ顕微鏡に使用される光偏向器の構成を模式的に示す斜視図である。 図３は、図２の光偏向器の平面図（上面図）である。 図４は、図２の光偏向器の可動部の分解斜視図であり、（ａ）ミラー部、（ｂ）ミラー保持部である。 図５は、本発明の実施の形態の変形例１に係る接続部の形状を模式的に示す平面図である。 図６は、本発明の実施の形態の変形例２に係る接続部の形状を模式的に示す平面図である。 図７は、本発明の実施の形態の変形例３に係る接続部の形状を模式的に示す平面図である。 図８は、本発明の実施の形態の変形例４に係る接続部の形状を模式的に示す平面図である。 図９は、本発明の実施の形態の変形例５に係る光偏向器のミラー保持部の保持面を模式的に示す斜視図である。 図１０は、本発明の実施の形態の変形例６に係る光偏向器の分解平面図であり、（ａ）ミラー部、（ｂ）ミラー保持部である。 図１１は、本発明の実施の形態の変形例６に係る光偏向器のミラー保持部の保持面を模式的に示す斜視図である。
　以下、本発明を実施するための形態（以下、「実施の形態」という）として、光偏向器を備えた走査型レーザ顕微鏡について説明する。また、この実施の形態により本発明が限定されるものではない。さらに、以下の説明において参照する各図は、本発明の内容を理解でき得る程度に形状、大きさ、および位置関係を概略的に示してあるに過ぎない。すなわち、本発明は、各図で例示された形状、大きさおよび位置関係のみに限定されるものではない。さらにまた、図面の相互間においても、互いの寸法や比率が異なる部分が含まれている。
（実施の形態）
　図１は、本発明の実施の形態に係る走査型レーザ顕微鏡１０の構成を示す図である。走査型レーザ顕微鏡１０は、顕微鏡本体１１、コントローラ１２、入力装置１３、表示装置１４、及び試料台１５を備えている。
　顕微鏡本体１１は、対物レンズ２１、レボルバ２２、ビームスプリッタ２３、２８、及び３８、照明レンズ２４、コレクタレンズ２５、白色光源２６、結像レンズ２７、１／４波長板２９、瞳投影レンズ３０、光偏向器１００、偏光ビームスプリッタ３２、集光レンズ３３及び３７、レーザ光源３４、ビデオカメラレンズ３５、ビデオ画像取得用ＣＣＤカメラ３６、ピンホール３９、共焦点画像取得用検出器４０、非共焦点画像取得用検出器４１、並びにＺ移動機構５０を備える。ここで、共焦点画像取得用検出器４０及び非共焦点画像取得用検出器４１としては、例えば、フォトマルチプライヤが用いられる。また、白色光源２６としては、例えば、白色照明用ファイバ光源が用いられる。
　共焦点画像及び非共焦点画像を取得する場合には、レーザ光源３４から発せられるレーザ光（照明光）を、集光レンズ３３、偏光ビームスプリッタ３２、光偏向器１００、瞳投影レンズ３０、１／４波長板２９、ビームスプリッタ２８、結像レンズ２７、ビームスプリッタ２３、及び対物レンズ２１からなる光路を経由させて、試料台１５上に載置されている試料１６上に集光させ、スポット光として照射する。ここで、照明光を光偏向器１００により二次元走査させると、試料１６上のスポット光は、対物レンズ２１の光軸の方向（Ｚ方向）に垂直な平面上の直交する２方向であるＸＹ方向に走査する。このとき、試料１６からの反射光は、上記光路における対物レンズ２１から偏光ビームスプリッタ３２まで逆向きに経由して、偏光ビームスプリッタ３２により集光レンズ３７の方へ導かれる。そして、集光レンズ３７を通過した反射光が、ビームスプリッタ３８により２つに分岐して、その一方がピンホール３９を経由して共焦点画像取得用検出器４０に入射し、もう一方は非共焦点画像取得用検出器４１に入射する。
　カラービデオ画像を取得する場合には、白色光源２６から発せられる照明光を、コレクタレンズ２５、照明レンズ２４、ビームスプリッタ２３、及び対物レンズ２１からなる光路を経由させて、試料１６を照明する。このとき、試料１６からの反射光は、対物レンズ２１、ビームスプリッタ２３、結像レンズ２７、ビームスプリッタ２８、及びビデオカメラレンズ３５を経由して、ビデオ画像取得用ＣＣＤカメラ３６に入射する。
　共焦点画像取得用検出器４０及び非共焦点画像取得用検出器４１を含む共焦点光学系では、ピンホール３９が挿入された共焦点系とピンホール３９のない非共焦点系とが、ビームスプリッタ３８を通過後の反射光を同時に検出するように配置されている。そして、２チャンネル１組のＬＳＭ出力信号として、共焦点画像取得用検出器４０及び非共焦点画像取得用検出器１３１の各々の出力信号がコントローラ１２へ送られる。
　ビデオ画像取得用ＣＣＤカメラ３６を含むビデオ光学系では、白色光源２６からの照明光で照明されている試料１６のビデオ画像が取得される。そして、ビデオ出力信号として、このビデオ画像を表している信号がビデオ画像取得用ＣＣＤカメラ３６からコントローラ１２へ送られる。
　コントローラ１２は、演算部６１、制御部６２、及び記憶部６３を備える。コントローラ１２は、例えば、パーソナルコンピュータ等の情報処理装置が用いられる。ここで、演算部６１は、ＭＰＵ（演算処理装置）と、ＲＯＭ（Read　Only　Memory）及びＲＡＭ（Random　Access　Memory）を含むメモリとを備えている。ＲＯＭには、所定の基本制御プログラムが予め記録されており、ＭＰＵが、この基本制御プログラムを演算部６１の起動時に読み出して実行することにより、演算部６１の各構成要素の動作制御が可能になる。また、ＲＡＭは、ＭＰＵが各種の制御プログラムを実行する際に、必要に応じて作業用記憶領域として使用する。
　演算部６１は、ビデオ画像取得用ＣＣＤカメラ３６、共焦点画像取得用検出器４０、非共焦点画像取得用検出器４１、光偏向器１００、及びレーザ光源３４等の、図１に示した走査型レーザ顕微鏡１０の制御を、制御部６２を介して行う。また、演算部６１は、顕微鏡本体１１により取得した共焦点画像及びビデオ画像を記憶部６３で保存させるための保存制御処理や、記憶部６３で保存中のこれらの画像の表示を行うための表示制御処理などといった各種の制御処理を行う。
　入力装置１３は、例えば、キーボード装置、マウス装置等のポインティングデバイス、タッチパネル等である。入力装置１３は、表示装置１４のモニタ画面５１に表示される操作画面との連携によりグラフィカル・ユーザ・インタフェース（ＧＵＩ）を構成し、図１の走査型レーザ顕微鏡１０のユーザによる指示や情報の入力を、このＧＵＩを利用して取得してコントローラ１２に渡す。
　次に、走査型レーザ顕微鏡１０で使用される光偏向器１００について説明する。図２は、図１の走査型レーザ顕微鏡１０に使用される光偏向器１００の構成を模式的に示す斜視図である。図３は、図２の光偏向器１００の平面図（上面図）である。図４は、図２の光偏向器１００の可動部１１０の分解斜視図であり、（ａ）ミラー部１１２、（ｂ）ミラー保持部１２０である。
　図２に示すように、光偏向器１００は、光学反射面１１４を有する可動部１１０と、可動部１１０を揺動軸を中心に揺動可能に支持する弾性部材１３２、１３４と、可動部１１０と弾性部材１３２、１３４との接続位置に配置されている接続部１５０、１５２と、弾性部材１３２、１３４を支持する支持部１４２、１４６とを少なくとも備えている。
　一対の弾性部材１３２、１３４は矩形の断面を有し、後述する接続部１５０、１５２を介して可動部１１０から両側に対称的に延びている。弾性部材１３２、１３４は、第１の端部１３２ａ、１３４ａと、第２の端部１３２ｂ、１３４ｂとを有し、第１の端部１３２ａ、１３４ａが接続部１５０、１５２とそれぞれ接続され、第２の端部１３２ｂ、１３４ｂが支持部１４２、１４６とそれぞれ接続されている。可動部１１０は、支持部１４２、１４６に対して、弾性部材１３２、１３４の内部を通る揺動軸の周りに、揺動可能に支持されている。
　可動部１１０は、光学反射面１１４を有するミラー部１１２と、駆動力発生面１２８を有するミラー保持部１２０とを有している。ミラー部１１２とミラー保持部１２０は、光学反射面１１４と駆動力発生面１２８とが反対側の外側に配置されるように接合されている。光学反射面１１４と駆動力発生面１２８はいずれも高い平面性を有していることが好ましい。
　ミラー部１１２の側面は光学反射面１１４に直交し、ミラー保持部１２０の側面は駆動力発生面１２８に直交している。光学反射面１１４は駆動力発生面１２８よりも小さい面積を有している。
　ミラー保持部１２０の駆動力発生面１２８には、可動部１１０を揺動させる駆動力発生部材が設けられている。駆動力発生部材は、光偏向器１００の駆動方式に応じて異なる。例えば、電磁駆動方式においては、駆動力発生部材は、可動部１１０の縁を周回する駆動コイルであり、静電駆動方式においては、駆動力発生部材は、可動部１１０のほぼ全面に広がる一対の駆動電極である。可動部１１０は、駆動力発生面１２８に設けられた駆動力発生部材によって、揺動軸を中心として揺動する。この揺動によって、光学反射面１１４に入射した光が操作される。
　駆動力発生面１２８は長方形の輪郭を有しており、光学反射面１１４は楕円形の輪郭を有している。例えば、駆動力発生面１２８は揺動軸と直交する方向に長く、光学反射面１１４は揺動軸と直交する方向に長径を有している。光学反射面１１４の楕円形は、図２に示すように、駆動力発生面１２８の長方形にほぼ内接する輪郭を有していることが好ましいが、これに限定されるものではない。
　光偏向器１００は、例えば、半導体プロセスを利用して、単結晶シリコン基板から形成される。単結晶シリコンは、高い剛性を有し、材料の内部減衰が少ないため、共振駆動用の弾性部材１３２、１３４の材料に適しており、外部部材に接着される支持部１４２、１４６の材料にも適している。
　ミラー部１１２は、光学反射面１１４の裏面に形成されている第１のリブ１１６を有している。第１のリブ１１６は、光学反射面１１４の裏面から突出しており、弾性部材１３２、１３４の揺動軸と平行する方向に延びている。
　また、ミラー部１１２は、楕円形の光学反射面１１４の輪郭形状を端面とする立体であり、輪郭形状の外周部に形成された第１の枠１１８を有している。第１の枠１１８は、第１のリブ１１６と同様に、光学反射面１１４の裏面から突出している。
　ミラー保持部１２０は、弾性部材１３２、１３４および接続部１５０、１５２と同一の層から形成されている。またミラー保持部１２０は、駆動力発生面１２８と、駆動力発生面１２８の裏面、すなわち第１のリブ１１６と接する保持面に形成された第２のリブ１２２を有している。第２のリブ１２２は、駆動力発生面１２８の裏面から突出しており、弾性部材１３２、１３４の揺動軸と直交する方向に延びている。ミラー保持部１２０の第２のリブ１２２を形成することによりミラー保持部１２０を変形しやすくし、接続部１５０、１５２で緩和しきれずミラー保持部１２０に伝達した応力をミラー保持部１２０で請け負うことで、ミラー部１１２への応力の伝達を抑制することができる。
　ミラー部１１２の第１のリブ１１６と、ミラー保持部１２０の第２のリブ１２２とは立体的に交差して延びている。本明細書において、第１のリブ１１６と第２のリブ１２２が立体的に交差して延びているとは、第１のリブ１１６が、第２のリブ１２２の上に位置し、第２のリブ１２２を横切って延びており、かつ、かつ第２のリブ１２２が、第１のリブ１１６の下に位置し、第１のリブ１１６を横切って延びていることを意味している。第１のリブ１１６と第２のリブ１２２は、両者が交差する部分において接合されている。
　ミラー保持部１２０は、ミラー部１１２と接合されている第２の枠１２４を有している。すなわち、第２の枠１２４は、ミラー部１１２の第１の枠１１８と同じ楕円形の輪郭形状を有している。またミラー保持部１２０は、矩形の輪郭形状を端面とする立体であり、輪郭形状の外周部に形成された第３の枠１２６を有している。第２の枠１２４と第３の枠１２６は、第２のリブ１２２と同様に、駆動力発生面１２８の裏面から突出している。
　接続部１５０、１５２は、ミラー保持部１２０と弾性部材１３２、１３４の第１の端部１３２ａ、１３４ａとの接続位置に配置されている。接続部１５０、１５２は、可動部１１０を挟んで、左右対称に形成されている。接続部１５０、１５２は、揺動軸方向の長さｒ１が、揺動軸と直交する方向の最大長さｒ２よりも短い。また、接続部１５０、１５２の揺動軸と直交する方向の長さｒ２は、可動部１１０の揺動軸と直交する方向の長さｒ３よりも短く、弾性部材１３２、１３４の揺動軸と直交する方向の長さｒ４より長い。接続部１５０、１５２の揺動軸と直交する方向の長さｒ２を、ｒ３より短く、かつｒ４より長くすることで、弾性部材１３２、１３４から接続部１５０、１５２に伝達した応力が接続部１５０、１５２内で緩和されるとともに、慣性モーメントの増大による共振周波数の低下を抑えることができる。また、接続部１５０、１５２の揺動軸方向の長さｒ１は、弾性部材１３２、１３４の揺動軸方向の長さｒ５より短い、つまり接続部１５０、１５２の揺動軸方向の弾性力が弾性部材１３２、１３４の揺動軸方向の弾性力より大きくすることで、弾性部材１３２、１３４で揺動を発生させることが好ましい。
　接続部１５０、１５２は、弾性部材１３２、１３４の第１の端部１３２ａ、１３４ａとの接続位置に、第１のフィレット部１５０ａ、１５２ａを有する。第１のフィレット部１５０ａ、１５２ａは、接続部１５０、１５２と弾性部材１３２、１３４との接続位置に形成された丸みであり、第１のフィレット部１５０ａ、１５２ａにより、揺動により弾性部材１３２、１３４に発生した応力が、弾性部材１３２、１３４内に閉じ込められ、接続部１５０、１５２に伝わる応力を低減することができる。
　また、接続部１５０、１５２は、ミラー保持部１２０との接続位置に第２のフィレット部１５０ｂ、１５２ｂを有する。第２のフィレット部１５０ｂ、１５２ｂは、接続部１５０、１５２とミラー保持部との接続位置に形成された丸みであり、第２のフィレット部１５０ｂ、１５２ｂにより、接続部１５０、１５２からミラー保持部１２０への応力の伝達が連続となり、ミラー保持部１２０と接続部１５０、１５２との接続位置への応力の集中を防止し、接続部分の破壊を防止することができる。
　さらに、接続部１５０、１５２は、第１のフィレット部１５０ａ、１５２ａと、第２のフィレット部１５０ｂ、１５２ｂとの間に丸められた角部１５４、１５６を有する。丸められた角部１５４、１５６は、接続部１５０、１５２の角部に形成された丸みであり、丸められた角部１５４、１５６を形成することにより、応力伝達に関与しない部分をそぎ落とし、光偏向器１００の質量を軽減するとともに、慣性モーメントを最大限低くすることができる。なお、丸められた角部１５４、１５６の形成により、接続部１５０、１５２の応力緩和効果が低減することはない。なお、本明細書において、丸められた角部とは、一般的には、角Ｒ、隅Ｒと呼ばれる角が丸められた構成である。すなわち、丸められた角部とは、その外周部が曲線又は特異点なく滑らかに接続された直線で構成された形状を有する部位のことである。
　また、光偏向器１００は、支持部１４２、１４６と弾性部材１３２、１３４の第２の端部１３２ｂ、１３４ｂとの接続位置に、第３のフィレット部１５８、１６０を有する。
　本発明の実施の形態において、接続部１５０、１５２は、ミラー保持部１２０、弾性部材１３２、１３４と同一の層から形成され、ミラー保持部１２０および揺動軸をはさんで対称に設けられている。第１のフィレット部１５０ａ、１５２ａ、第２のフィレット部１５０ｂ、１５２ｂ、丸められた角部１５４、１５６は、本来矩形状の接続部１５０、１５２の角部、すなわち、接続部１５０、１５２と弾性部材１３２、１３４との間の角部、接続部１５０、１５２とミラー保持部１２０との間の角部、接続部１５０、１５２に独立して存在する角部（第１のフィレット部１５０ａ、１５２ａと第２のフィレット部１５０ｂ、１５２ｂとの間の角部）に形成された丸みであり、第１のフィレット部１５０ａ、１５２ａ、第２のフィレット部１５０ｂ、１５２ｂ、丸められた角部１５４、１５６を設けることにより、揺動により発生した応力のミラー部１１２への伝達を抑制して、ミラー部１１２の光学反射面１１４の歪みを抑制することができる。 
　さらに、本実施形態１の光偏向器１００の可動部１１０は、ミラー部１１２が弾性部材１３２、１３４の揺動軸と平行に延びている第１のリブ１１６を有し、ミラー保持部１２０が、弾性部材１３２、１３４の揺動軸と直交する方向に延びている第２のリブ１２２を有しているが、ミラー部１１２およびミラー保持部１２０が弾性部材１３２、１３４の揺動軸と平行する方向に延びているリブと、弾性部材１３２、１３４の揺動軸と直交する方向に延びているリブの両方を有している可動部と比べて、慣性力による可動部の歪が小さく、慣性力に対する剛性を高くすることができる。
　さらにまた、弾性部材１３２、１３４はミラー保持部１２０と同一の層に形成されているため、光学反射面１１４を有するミラー部１１２に弾性部材１３２、１３４を形成する構成に比べて、光学反射面１１４に伝わる弾性部材１３２、１３４の反力を低減することができる。
　以上説明したように、本発明の実施の形態の光偏向器１００によれば、可動部１１０の構造において、ミラー部１１２の光学反射面１１４の裏面に第１のリブ１１６、ミラー保持部１２０の保持面に第２のリブ１２２を形成し、第１のリブ１１６と第２のリブ１２２とが立体的に交差して延びた構成を採用することで、慣性力に起因する光学反射面１１４の動的な歪を抑え、かつ、可動部１１０の光学反射面１１４と駆動力発生面１２８とを共に平面とすることができ、光偏向器１００の小型化が可能となる。また、弾性部材１３２、１３４をミラー保持部１２０と同一の層に形成することで、弾性部材１３２、１３４の反力に起因する光学反射面１１４の動的な歪を抑えることができる。さらに、弾性部材１３２、１３４とミラー保持部１２０との接続位置に接続部１５０、１５２を設けることにより、ミラー部１１２への応力の伝達を抑制することができる。
　なお、上記の実施の形態では、ミラー部１１２の光学反射面１１４の裏面に第１のリブ１１６を形成し、可動部１１０の質量の軽減を図っているが、光学反射面１１４の歪みの抑制の観点では、ミラー部１１２にリブを形成する必要はない。
　また、上記の実施の形態では、接続部１５０、１５２は、第１のフィレット部１５０ａ、１５２ａ、第２のフィレット部１５０ｂ、１５２ｂ、および丸められた角部１５４、１５６を有しているが、これに限定するものではなく、第１のフィレット部１５０ａ、１５２ａ、第２のフィレット部１５０ｂ、１５２ｂ、および丸められた角部１５４、１５６を有しない接続部１５０、１５２であっても、弾性部材１３２、１３４からのミラー部１１２への応力の伝達を抑制し、光学反射面１１４の歪みを防止することができる。
（変形例１）
　図５は、本発明の実施の形態の変形例１に係る接続部１５０Ａの形状を模式的に示す平面図である。
　本発明の実施の形態の変形例１では、接続部１５０Ａは、ミラー保持部１２０と弾性部材１３２との接続位置に配置されている。なお、図示していないが、ミラー保持部１２０と弾性部材１３４との接続位置に接続部１５２Ａも配置され、接続部１５０Ａと１５２Ａは、可動部１１０を挟んで、左右対称に形成されている。
　接続部１５０Ａ、１５２Ａは、ミラー保持部１２０側の長さが弾性部材１３２、１３４側の長さより長いテーパ形状（三角形状）をなしており、弾性部材１３２、１３４との接続位置に、第１のフィレット部１５０ａ、１５２ａを有する。第１のフィレット部１５０ａ、１５２ａにより、揺動により弾性部材１３２、１３４に発生した応力が、弾性部材１３２、１３４内に閉じ込められ、接続部１５０Ａ、１５２Ａに伝わる応力を低減することができる。
　また、接続部１５０Ａ、１５２Ａは、ミラー保持部１２０との接続位置に第２のフィレット部１５０ｂ、１５２ｂを有する。第２のフィレット部１５０ｂ、１５２ｂにより、接続部１５０Ａ、１５２Ａからミラー保持部１２０への応力の伝達が連続となり、ミラー保持部１２０と接続部１５０Ａ、１５２Ａとの接続位置への応力の集中を防止し、接続部分の破壊を防止することができる。
（変形例２）
　図６は、本発明の実施の形態の変形例２に係る接続部１５０Ｂの形状を模式的に示す平面図である。
　本発明の実施の形態の変形例２では、接続部１５０Ｂは、ミラー保持部１２０と弾性部材１３２との接続位置に配置されている。なお、図示していないが、ミラー保持部１２０と弾性部材１３４との接続位置に接続部１５２Ｂも配置され、接続部１５０Ｂと１５２Ｂは、可動部１１０を挟んで、左右対称に形成されている。
　接続部１５０Ｂ、１５２Ｂは、ミラー保持部１２０側から突出する半円形状をなしており、弾性部材１３２、１３４との接続位置に、第１のフィレット部１５０ａ、１５２ａを有する。第１のフィレット部１５０ａ、１５２ａにより、揺動により弾性部材１３２、１３４に発生した応力が、弾性部材１３２、１３４内に閉じ込められ、接続部１５０Ｂ、１５２Ｂに伝わる応力を低減することができる。
　また、接続部１５０Ｂ、１５２Ｂは、ミラー保持部１２０との接続位置に第２のフィレット部１５０ｂ、１５２ｂを有する。第２のフィレット部１５０ｂ、１５２ｂにより、接続部１５０Ｂ、１５２Ｂからミラー保持部１２０への応力の伝達が連続となり、ミラー保持部１２０と接続部１５０Ｂ、１５２Ｂとの接続位置への応力の集中を防止し、接続部分の破壊を防止することができる。
（変形例３）
　図７は、本発明の実施の形態の変形例３に係る接続部１５０Ｄの形状を模式的に示す平面図である。
　本発明の実施の形態の変形例３では、接続部１５０Ｄは、ミラー保持部１２０と弾性部材１３２との接続位置に配置されている。なお、図示していないが、ミラー保持部１２０と弾性部材１３４との接続位置に接続部１５２Ｄも配置され、接続部１５０Ｄと１５２Ｄは、可動部１１０を挟んで、左右対称に形成されている。
　接続部１５０Ｄ、１５２Ｄは、矩形形状をなし、弾性部材１３２、１３４との接続位置に、第１のフィレット部１５０ａ、１５２ａを有する。第１のフィレット部１５０ａ、１５２ａにより、揺動により弾性部材１３２、１３４に発生した応力が、弾性部材１３２、１３４内に閉じ込められ、接続部１５０Ｄ、１５２Ｄに伝わる応力を低減することができる。
　また、接続部１５０Ｄ、１５２Ｄは、ミラー保持部１２０との接続位置に第２のフィレット部１５０ｂ、１５２ｂを有する。第２のフィレット部１５０ｂ、１５２ｂにより、接続部１５０Ｄ、１５２Ｄからミラー保持部１２０への応力の伝達が連続となり、ミラー保持部１２０と接続部１５０Ｄ、１５２Ｄとの接続位置への応力の集中を防止し、接続部分の破壊を防止することができる。
（変形例４）
　図８は、本発明の実施の形態の変形例４に係る接続部１５０Ｅの形状を模式的に示す平面図である。
　本発明の実施の形態の変形例４では、接続部１５０Ｅは、ミラー保持部１２０と弾性部材１３２との接続位置に配置されている。なお、図示していないが、ミラー保持部１２０と弾性部材１３４との接続位置に接続部１５２Ｅも配置され、接続部１５０Ｅと１５２Ｅは、可動部１１０を挟んで、左右対称に形成されている。
　接続部１５０Ｅ、１５２Ｅは、階段状をなし、弾性部材１３２、１３４との接続位置に、第１のフィレット部１５０ａ、１５２ａを有する。第１のフィレット部１５０ａ、１５２ａにより、揺動により弾性部材１３２、１３４に発生した応力が、弾性部材１３２、１３４内に閉じ込められ、接続部１５０Ｅ、１５２Ｅに伝わる応力を低減することができる。
　また、接続部１５０Ｅ、１５２Ｅは、ミラー保持部１２０との接続位置に第２のフィレット部１５０ｂ、１５２ｂを有する。第２のフィレット部１５０ｂ、１５２ｂにより、接続部１５０Ｅ、１５２Ｅからミラー保持部１２０への応力の伝達が連続となり、ミラー保持部１２０と接続部１５０Ｅ、１５２Ｅとの接続位置への応力の集中を防止し、接続部分の破壊を防止することができる。
　また、接続部１５０Ｅ、１５２Ｅは、ステップ間の角部に第４のフィレット部１５０ｄ、１５２ｄを有する。第４のフィレット部１５０ｄ、１５２ｄにより、角部への応力の集中を抑制でき、接続部１５０Ｅ、１５２Ｅの破壊を防止することができる。変形例４では、２つのステップにより接続部１５０Ｅ、１５２Ｅを構成しているが、３つ以上のステップとしてもよい。
（変形例５）
　図９は、本発明の実施の形態の変形例５に係る光偏向器のミラー保持部１２０Ｆの保持面を模式的に示す斜視図である。
　ミラー保持部１２０Ｆは、ミラー部１１２と接する保持面に、第２のリブ１２２が形成されず、中空構造１３０を有している。また、ミラー保持部１２０Ｆは、ミラー部１１２と接合されている第２の枠１２４、および矩形の輪郭形状を端面とする立体であり、輪郭形状の外周部に形成された第３の枠１２６を有している。第２の枠１２４と第３の枠１２６は、駆動力発生面１２８の裏面から突出している。
　ミラー保持部１２０Ｆに中空構造１３０を形成することによりミラー保持部１２０Ｆをより変形しやすくし、接続部１５０、１５２で緩和しきれずミラー保持部１２０に伝達した応力をミラー保持部１２０Ｆで請け負うことで、ミラー部１１２への応力の伝達を抑制することができる。
　なお、変形例５に係るミラー保持部１２０Ｆと共に使用するミラー部は、実施の形態に係る第１のリブ１１６を有するミラー部１１２でもよく、あるいは、第１のリブを有しないミラー部でもよい。
　変形例５では、駆動力発生面１２８を平面とすることができ、光偏向器の小型化が可能となる。また、弾性部材１３２、１３４とミラー保持部１２０Ｆとの接続位置に接続部１５０、１５２を設けることにより、ミラー部への応力の伝達を抑制することができる。
（変形例６）
　図１０は、本発明の実施の形態の変形例６に係る光偏向器の分解平面図であり、（ａ）ミラー部２１２、（ｂ）ミラー保持部２２０である。
　変形例６に係る光偏向器は、光学反射面２１４を有する可動部２１０と、可動部２１０を揺動軸を中心に揺動可能に支持する弾性部材２３２、２３４と、弾性部材２３２、２３４を支持する支持部２４２、２４６とを少なくとも備えている。可動部２１０は、ミラー部２１２と、ミラー部を保持するミラー保持部２２０とで形成されている。
　ミラー部２１２は、楕円形の輪郭を有する光学反射面２１４と、光学反射面２１４の裏面に形成された第１のリブ２１６を有している。第１のリブ２１６は、光学反射面２１４の裏面から突出しており、楕円形の光学反射面２１４の外周と長径の交点Ｐ１と、楕円形の光学反射面２１４の外周と短径の交点Ｐ２とを結ぶ線に平行する方向に延びている。
　ミラー保持部２２０は、弾性部材２３２、２３４と同一の層から形成されている。またミラー保持部２２０は、駆動力発生面１２８の裏面、すなわち第１のリブ２１６と接する保持面に形成された第２のリブ２２２を有している。第２のリブ２２２は、駆動力発生面２２８の裏面から突出しており、楕円形の光学反射面２１４に外接する長方形の対角線に平行する方向に延びている。
　第１のリブ２１６と第２のリブ２２２とは立体的に交差して延びており、第１のリブ２１６の一部と第２のリブ２２２の一部が接合されている。
　ミラー部２１２は、楕円形の光学反射面２１４の輪郭形状を端面とする立体であり、輪郭形状の外周部に形成された第１の枠２１８を有している。第１の枠２１８は、第１のリブ２１６と同様に、光学反射面２１４の裏面から突出している。
　ミラー保持部２２０は、第１の枠２１８と接合された第２の枠２２４を有している。すなわち、第２の枠２２４は、第１の枠２１８と同じ楕円形の輪郭形状を有している。またミラー保持部２２０は、矩形の輪郭形状を端面とする立体であり、輪郭形状の外周部に形成された第３の枠２２６を有している。第２の枠２２４と第３の枠２２６は、第２のリブ２２２と同様に、駆動力発生面２２８の裏面から突出している。
　さらに、変形例６では、接続部２５０、２５２が、ミラー保持部２２０と弾性部材２３２、２３４の第１の端部２３２ａ、２３４ａとの接続位置に配置されている。接続部２５０、２５２は、可動部２１０を挟んで、左右対称に形成されている。
　接続部２５０、２５２は、弾性部材２３２、２３４の第１の端部２３２ａ、２３４ａとの接続位置に、第１のフィレット部２５０ａ、２５２ａを有する。第１のフィレット部２５０ａ、２５２ａにより、揺動により弾性部材２３２、２３４に発生した応力が、弾性部材２３２、２３４内に閉じ込められ、接続部２５０、２５２に伝わる応力を低減することができる。
　また、接続部２５０、２５２は、ミラー保持部２２０との接続位置に第２のフィレット部２５０ｂ、２５２ｂを有する。第２のフィレット部２５０ｂ、２５２ｂにより、接続部２５０、２５２からミラー保持部２２０への応力の伝達が連続となり、ミラー保持部２２０と接続部２５０、２５２との接続位置への応力の集中を防止し、接続部分の破壊を防止することができる。
　さらに、接続部２５０、２５２は、第１のフィレット部２５０ａ、２５２ａと、第２のフィレット部２５０ｂ、２５２ｂとの間に丸められた角部２５４、２５６を有する。丸められた角部１５４、１５６を形成することにより、応力伝達に関与しない部分をそぎ落とし、光偏向器の質量を軽減するとともに、慣性モーメントを最大限低くすることができる。
　また、光偏向器１００は、支持部１４２、１４６と弾性部材１３２、１３４の第２の端部１３２ｂ、１３４ｂとの接続位置に、第３のフィレット部１５８、１６０を有する。
　変形例６では、駆動力発生面２２８を平面とすることができ、光偏向器の小型化が可能となる。また、弾性部材２３２、２３４とミラー保持部２２０との接続位置に接続部２５０、２５２を設けることにより、ミラー部２１２への応力の伝達を抑制することができる。
（変形例７）
　図１１は、本発明の実施の形態の変形例６に係る光偏向器のミラー保持部３２０の保持面を模式的に示す斜視図である。
　ミラー保持部２２０は、ミラー部と接する保持面に、第２のリブが形成されず、中空構造３３０を有している。また、ミラー保持部２２０は、ミラー部と接合されている第２の枠３２４を有し、矩形輪郭形状の第３の枠を有していない。第２の枠３２４は、駆動力発生面３２８の裏面から突出している。
　ミラー保持部３２０に中空構造３３０を形成することによりミラー保持部３２０をより変形しやすくし、接続部３５０、３５２で緩和しきれずミラー保持部３２０に伝達した応力をミラー保持部３２０で請け負うことで、ミラー部への応力の伝達を抑制することができる。
　接続部３５０、３５２は、弾性部材３３２、３３４の第１の端部３３２ａ、３３４ａとの接続位置に、第１のフィレット部３５０ａ、３５２ａを有する。第１のフィレット部３５０ａ、３５２ａにより、揺動により弾性部材３３２、３３４に発生した応力が、弾性部材３３２、３３４内に閉じ込められ、接続部３５０、３５２に伝わる応力を低減することができる。
　また、接続部３５０、３５２は、ミラー保持部３２０との接続位置に第２のフィレット部３５０ｂ、３５２ｂを有する。第２のフィレット部３５０ｂ、３５２ｂにより、接続部３５０、３５２からミラー保持部３２０への応力の伝達が連続となり、ミラー保持部３２０と接続部３５０、３５２との接続位置への応力の集中を防止し、接続部分の破壊を防止することができる。
　さらに、接続部３５０、３５２は、第１のフィレット部３５０ａ、３５２ａと、第２のフィレット部３５０ｂ、３５２ｂとの間に丸められた角部３５４、３５６を有する。丸められた角部３５４、３５６を形成することにより、応力伝達に関与しない部分をそぎ落とし、光偏向器の質量を軽減するとともに、慣性モーメントを最大限低くすることができる。
　また、変形例７では、支持部３４２、３４６と弾性部材３３２、３３４の第２の端部３３２ｂ、３３４ｂとの接続位置に、第３のフィレット部３５８、３６０を有する。
　変形例７では、駆動力発生面３２８を平面とすることができ、光偏向器の小型化が可能となる。また、弾性部材３３２、３３４とミラー保持部３２０との接続位置に接続部３５０、３５２を設けることにより、ミラー部への応力の伝達を抑制することができる。
　１０　走査型レーザ顕微鏡
　１１　顕微鏡本体
　１２　コントローラ
　１３　入力装置
　１４　表示装置
　１５　試料台
　１６　試料
　２１　対物レンズ
　２２　レボルバ
　２３、２８、３８　ビームスプリッタ
　２４　照明レンズ
　２５　コレクタレンズ
　２６　白色光源
　２７　結像レンズ
　２９　１／４波長板
　３０　瞳投影レンズ
　３２　偏光ビームスプリッタ
　３３、３７　集光レンズ
　３４　レーザ光源
　３５　ビデオカメラレンズ
　３６　ビデオ画像取得用ＣＣＤカメラ
　３９　ピンホール
　４０　共焦点画像取得用検出器
　４１　非共焦点画像取得用検出器
　１００　光偏向器
　１１０　可動部
　１１２　ミラー部
　１１４　光学反射面
　１１６　第１のリブ
　１１８　第１の枠
　１２０　ミラー保持部
　１２２　第２のリブ
　１２４　第２の枠
　１２６　第３の枠
　１２８　駆動力発生面
　１３０　中空構造
　１３２、１３４　弾性部材
　１４２、１４６　支持部
　１５０、１５２　接続部
　１５０ａ、１５２ａ　第１のフィレット部
　１５０ｂ、１５２ｂ　第２のフィレット部
　１５４、１５６　丸められた角部
　１５８、１６０　第３のフィレット部

Claims (12)

  1. 　光学反射面を有するミラー部、および前記ミラー部を保持する中空構造のミラー保持部を有する可動部と、
    　一対の弾性部材であって、各弾性部材は、前記可動部の両側のそれぞれに設けられ、揺動軸を中心として前記可動部を揺動可能に支持し、第１の端部と第２の端部とを有する一対の弾性部材と、
    　一対の接続部であって、各接続部は、前記ミラー保持部と前記弾性部材の前記第１の端部とを接続し、各接続部の前記揺動軸方向の長さが前記揺動軸と直交する方向の最大長さよりも短い一対の接続部と、
    　前記弾性部材の前記第２の端部に連結され、前記弾性部材を支持する支持部と、
    　を備える光偏向器。
  2. 　前記ミラー部は、前記光学反射面の裏面に第１のリブを有している請求項１に記載の光偏向器。
  3. 　前記ミラー保持部は、前記中空構造の内部に前記揺動軸と交差する第２のリブを有する請求項１に記載の光偏向器。
  4. 　前記第１のリブは、前記揺動軸と平行である請求項２に記載の光偏向器。
  5. 　前記接続部は、前記弾性部材の前記第１の端部との接続位置に第１のフィレット部を有する請求項１に記載の光偏向器。
  6. 　前記接続部は、前記ミラー保持部との接続位置に第２のフィレット部を有する請求項１に記載の光偏向器。
  7. 　前記接続部は、前記弾性部材の前記第１の端部との接続位置に設けた第１のフィレット部と、前記ミラー保持部との接続位置に設けた第２のフィレット部と、前記第１のフィレット部と前記第２のフィレット部との間に設けた丸められた角部とを有する請求項１に記載の光偏向器。
  8. 　前記接続部の前記揺動軸と直交する方向の長さは、前記可動部の前記揺動軸と直交する方向の長さよりも短く、前記弾性部材の前記揺動軸と直交する方向の長さより長い請求項１に記載の光偏向器。
  9. 　前記接続部の前記揺動軸方向の長さは、前記弾性部材の前記揺動軸方向の長さより短い請求項１に記載の光偏向器。
  10. 　前記接続部の前記揺動軸と直交する方向の長さは、前記可動部の前記揺動軸と直交する方向の長さよりも短く、前記弾性部材の前記揺動軸と直交する方向の長さより長く、且つ前記接続部の前記揺動軸方向の長さは、前記弾性部材の前記揺動軸方向の長さより短い請求項１に記載の光偏向器。
  11. 　前記支持部と前記弾性部材の前記第２の端部との接続位置に第３のフィレット部を有する請求項１に記載の光偏向器。
  12. 　請求項１に記載の光偏向器を備えるレーザ走査顕微鏡。
     
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