JP6776899B2 - シート状物の検査装置およびシート状物の検査方法 - Google Patents
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Description
・前記データ処理手段が検出する欠点が、前記シート状物の搬送方向と同一方向に延びる凹凸状の形状である。
・前記シート状物の走行面に平行な面と、前記照射手段の長手方向に平行な線とが平行である。
・前記照射手段、前記投影手段および前記撮像手段が、前記シート状物のシート幅を維持して、該シート状物の走行面に対して垂直な方向に延びる領域の外側に設置されている。
・前記シート状物の搬送方向と同一方向に延びる凹凸状の形状を前記欠点として検出する。
・前記線光源から照射される光の光軸が、前記シート状物の搬送方向に対して垂直となるように光を照射する。
・前記シート状物のシート幅を維持して、該シート状物の走行面に対して垂直な方向に延びる領域の外側から光を照射し、前記領域の外側において透過光または反射光の投影像を投影する。
以下に本実施形態の実施例1として、照射手段の長手方向の長さによる検出感度の違いを調べた。
以下に本実施形態の実施例2として、照射手段の長手方向とシート状物の搬送方向の関係による検出感度の違いを調べた。
以下に本実施形態の実施例3として、照射手段の光軸とシート状物の搬送方向の関係による検出感度の違いを調べた。
2:欠点
3:照射手段
4:投影手段
5:撮像手段
6:データ処理手段
7:投影像
8:光軸
Claims (8)
- 一方向に延びる線光源であり、連続的に搬送されるシート状物に対して照射光を照射する照射手段と、
前記シート状物からの透過光または反射光を投影する投影手段と、
前記投影手段に投影された投影像を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段が撮像した画像データから前記シート状物に存在する欠点を検出するデータ処理手段と、を有し、
前記照射手段は、前記シート状物の走行面に垂直な方向からみたその長手方向が前記シート状物の搬送方向と同一方向であり、前記シート状物のシート幅方向に広がる光を照射する、シート状物の検査装置。 - 前記データ処理手段が検出する欠点が、前記シート状物の搬送方向と同一方向に延びる凹凸状の形状である、請求項1に記載のシート状物の検査装置。
- 前記シート状物の走行面に平行な面と、前記照射手段の長手方向に平行な線とが平行である、請求項1または2に記載のシート状物の検査装置。
- 前記照射手段、前記投影手段および前記撮像手段が、前記シート状物のシート幅を維持して、該シート状物の走行面に対して垂直な方向に延びる領域の外側に設置されている、請求項1から3のいずれか一つに記載のシート状物の検査装置。
- 連続的に搬送されるシート状物に対して、このシート状物に垂直な方向からみて前記シート状物の搬送方向と同一方向に延びる線光源から、シート幅方向に広がる光を照射し、
前記照射された光が前記シート状物を透過した透過光、または前記照射された光が前記シート状物の表面で反射した反射光の投影像から前記シート状物に存在する欠点を検出する、シート状物の検査方法。 - 前記シート状物の搬送方向と同一方向に延びる凹凸状の形状を前記欠点として検出する、請求項5に記載のシート状物の検査方法。
- 前記線光源から照射される光の光軸が、前記シート状物の搬送方向に対して垂直となるように光を照射する、請求項5または6に記載のシート状物の検査方法。
- 前記シート状物のシート幅を維持して、該シート状物の走行面に対して垂直な方向に延びる領域の外側から光を照射し、前記領域の外側において透過光または反射光の投影像を投影する、請求項5から7のいずれか一つに記載のシート状物の検査方法。
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JP2005134362A (ja) * | 2003-05-07 | 2005-05-26 | Nippon Steel Corp | 表面凹凸の検査方法及び検査装置 |
JP2005257681A (ja) * | 2004-02-10 | 2005-09-22 | Showa Denko Kk | 表面検査方法および同装置 |
JP2005241586A (ja) | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Advanced Display Inc | 光学フィルムの検査装置および光学フィルムの検査方法 |
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