KR102560722B1 - 검사 롤러를 구비하는 기판검사장치 - Google Patents

검사 롤러를 구비하는 기판검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명에서는 기판검사장치가 개시된다. 상기 기판검사장치는, 서로 다른 제1, 제2 폭의 양면기판모체에 대한 호환적인 비전 검사를 수행하도록, 서로 다른 제1, 제2 폭의 양면기판모체에 대응하여, 제1 패턴 폭으로 배열된 제1 기공과, 상기 제1 패턴 폭과 다른 제2 패턴 폭으로 배열된 제2 기공이 형성된 검사 롤러를 포함한다.
본 발명에 의하면, 다수의 검사유닛이 배열된 검사 롤러에 대한 양면기판모체의 완만한 접근이 이루어짐과 아울러 검사 롤러로부터의 양면기판모체의 이탈이 용이하게 이루어지고, 양면기판모체의 위치 어긋남, 구겨짐, 뒤틀림과 같은 흡착 불량이 방지됨으로써, 다수의 검사유닛에 의한 비전 검사가 안정적으로 수행될 수 있는 기판검사장치가 제공된다.

Description

검사 롤러를 구비하는 기판검사장치{Inspection apparatus for substrate having inspection roller}
본 발명은 검사 롤러를 구비하는 기판검사장치에 관한 것이다.
기판검사장치는, 가요성의 절연필름을 지지 기반으로 하여, 절연필름의 서로 반대되는 제1, 제2 면 상에 형성된 도전패턴을 포함할 수 있으며, 단위기판으로 절단되기 이전의 연속적인 릴 형태로 형성된 양면기판모체에 대한 자동화된 비전 검사를 수행할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태는 다수의 검사유닛이 배열된 검사 롤러에 대한 양면기판모체의 완만한 접근이 이루어짐과 아울러 검사 롤러로부터의 양면기판모체의 이탈이 용이하게 이루어지고, 양면기판모체의 위치 어긋남, 구겨짐, 뒤틀림과 같은 흡착 불량이 방지됨으로써, 다수의 검사유닛에 의한 비전 검사가 안정적으로 수행될 수 있는 기판검사장치를 포함한다.
상기와 같은 목적 및 그 밖의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 기판검사장치는,
서로 다른 제1, 제2 폭의 양면기판모체에 대한 호환적인 비전 검사를 수행하도록, 서로 다른 제1, 제2 폭의 양면기판모체에 대응하여, 제1 패턴 폭으로 배열된 제1 기공과, 상기 제1 패턴 폭과 다른 제2 패턴 폭으로 배열된 제2 기공이 형성된 검사 롤러를 포함한다.
예를 들어, 상기 기판검사장치는, 상기 검사 롤러와 동축으로 조립된 고정자(stator)로 형성되는 것으로, 상기 검사 롤러의 제1, 제2 기공과 각각 연결되며, 서로로부터 이격된 제1, 제2 흡기 슬롯이 형성된 흡기 디스크를 더 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 제1, 제2 흡기 슬롯은, 상기 흡기 디스크와 동심원 형태로 형성되되, 각각 흡기 디스크의 내측 및 외측에 형성되도록 서로 다른 반경을 따라 형성되며, 반경 방향을 따라 서로로부터 이격될 수 있다.
예를 들어, 상기 흡기 디스크는, 상기 검사 롤러의 회전 방향을 따라 상기 제1, 제2 흡기 슬롯과 서로 다른 각도 범위에 걸쳐서 형성된 릴리스 슬롯을 더 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 릴리스 슬롯은, 적어도 상기 제1, 제2 기공과 연결되어 제1, 제2 기공에 대해 양압을 설정해줄 수 있다.
예를 들어, 상기 릴리스 슬롯은,
상기 제1, 제2 기공과 연결되어 제1, 제2 기공에 대해 대기압을 설정해주는 제1 릴리스 슬롯; 및
상기 제1, 제2 기공과 연결되어 제1, 제2 기공에 대해 양압을 설정하며 상기 검사 롤러를 냉각시키는 제2 릴리스 슬롯을 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 검사 롤러의 외주를 따라서는, 양면기판모체에 대한 비전 검사를 위한 다수의 검사유닛과, 양면기판모체가 배제된 검사 롤러에 대한 클리닝을 수행하기 위한 드럼 클리너가 배치되며,
상기 제2 릴리스 슬롯은 상기 드럼 클리너가 배치된 각도 범위에 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 검사 롤러의 외주를 따라서는, 검사 롤러의 팽창에 따른 검사 롤러의 외주면의 위치 변화를 포착하기 위한 변위 센서가 배치되고,
상기 기판검사장치는, 상기 변위 센서의 출력에 따라 상기 제2 릴리스 슬롯에 연결된 유체 펌프의 송풍 유량 또는 송풍 온도를 가감 제어하기 위한 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에 따른 기판검사장치는, 양면기판모체에 대한 비전 검사를 위하여 다수의 검사유닛이 배열된 검사영역과 양면기판모체의 공급 및 배출이 이루어지는 비검사영역을 포함하는 검사 롤러의 외주면을 따라 다수의 기공을 형성하며, 검사영역에 속하는 기공에 대해서는 선택적으로 흡기 슬롯과 유체적으로 연결하여 흡착력을 발휘하고, 비검사영역에 속하는 기공에 대해서는 선택적으로 릴리스 슬롯과 유체적으로 연결하여 음압을 해소시킴으로써, 비검사영역에서는 검사 롤러에 대한 양면기판모체의 완만한 접근이 이루어짐과 아울러 검사 롤러로부터의 양면기판모체의 이탈이 용이하게 이루어질 수 있으며, 검사영역에서는 양면기판모체의 위치 어긋남, 구겨짐, 뒤틀림과 같은 흡착 불량을 방지할 수 있으며, 검사영역에 배열된 다수의 검사유닛에 의한 비전 검사가 안정적으로 수행될 수 있다.
도 1에는 제1 방향을 따라 배열된 서로 다른 스테이지를 포함하는 기판검사장치의 전체적인 구성을 보여주는 도면이 도시되어 있다.
도 2a 및 도 2b에는 각각 도 1에 도시된 제1, 제2 검사 롤러의 주변에 배치된 구성과, 제1, 제2 검사 롤러의 주변으로 형성된 검사영역 및 비검사영역을 도시한 도면이 도시되어 있다.
도 3에는 도 1에 도시된 검사 롤러에 의한 양면기판모체의 흡착 기구(mechanism)를 설명하기 위한 도면으로, 도 1에 도시된 검사 롤러 및 검사 롤러와 유체적 및/또는 물리적으로 연결되는 구성들을 함께 도시한 사시도가 도시되어 있다.
도 4a 및 도 4b에는 도 3에 도시된 흡기 디스크의 사시도 및 흡기 디스크의 제2 면 측을 도시한 평면도가 도시되어 있다.
도 5a 내지 도 5c에는 도 3에 도시된 유로 디스크의 사시도, 유로 디스크의 제1 면 측을 도시한 평면도, 그리고, 도 5b의 B-B 선을 따라 취한 단면도가 도시되어 있다.
도 6 및 도 7에는 도 3에 도시된 검사 롤러의 사시도 및 기공의 배열을 보여주는 평면도가 도시되어 있다.
도 8a에는 본 발명의 다른 실시형태에 따른 검사 롤러의 흡착 기구(mechanism)에 적용되는 흡기 디스크의 사시도가 도시되어 있다.
도 8b에는 도 8a에 도시된 흡기 디스크의 제2 면 측을 도시한 평면도가 도시되어 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시형태에 관한 기판검사장치에 대해 설명하기로 한다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판검사장치는, 공급 릴에 권취된 양면기판모체(10)가 연속적으로 풀리면서 기판검사장치에 로딩되는 로딩 스테이지(LS)와, 양면기판모체(10)의 제1 면을 비전 검사하는 제1 검사 스테이지(IS1)와, 양면기판모체(10)의 제1 면과 반대되는 제2 면을 비전 검사하는 제2 검사 스테이지(IS2)와, 검사 완료된 양면기판모체(10)가 회수 릴에 권취되는 언로딩 스테이지(US)를 포함할 수 있다.
상기 로딩 스테이지(LS), 제1 검사 스테이지(IS1), 제2 검사 스테이지(IS2) 및 언로딩 스테이지(US)는, 제1 방향(Z1)을 따라 순차적으로 배열될 수 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, 상기 제1 방향(Z1)은 기판검사장치의 지지 기반을 제공하는 베이스 플레이트(70)의 장변부 방향에 해당될 수 있으며, 대체로 양면기판모체(10)의 이송 방향에 해당될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 일 실시형태에서, 상기 제1 방향(Z1)을 따라 전방 측에 배치된 스테이지(LS,IS1,IS2,US)는 기판검사장치의 상류 측을 형성할 수 있고, 상기 제1 방향(Z1)을 따라 후방 측에 배치된 스테이지(LS,IS1,IS2,US)는 기판검사장치의 하류 측을 형성할 수 있다.
참고로, 본 명세서를 통하여 제2 방향(Z2)이란 상기 제1 방향(Z1)과 교차하는 방향에 해당되며, 베이스 플레이트(70)의 단변부 방향에 해당될 수 있다. 후술하는 바와 같이, 상기 로딩 스테이지(LS)와 제1 검사 스테이지(IS1) 사이, 제1 검사 스테이지(IS1)와 제2 검사 스테이지(IS2) 사이, 그리고, 제2 검사 스테이지(IS2)와 언로딩 스테이지(US) 사이에 각각 개재된 제1 내지 제3 이송제어기구(M1,M2,M3)에 마련된 댄서 롤러는, 제2 방향(Z2)을 따라 승하강 하면서 축적되어 있던 양면기판모체(10)를 공급하여 양면기판모체(10)의 부족분을 해소하거나 또는 잉여의 양면기판모체(10)를 축적할 수 있다.
참고로, 본 명세서를 통하여 제3 방향(Z3)이란 제1, 제2 방향(Z1,Z2)과 교차하는 방향을 의미할 수 있으며, 예를 들어, 베이스 플레이트(70)의 장변부 방향(제1 방향, Z1) 및 베이스 플레이트(70)의 단변부 방향(제2 방향, Z2)과 교차하면서 베이스 플레이트(70)로부터 돌출되는 모터 축(X, 도 3) 방향을 의미할 수 있다. 후술하는 바와 같이, 상기 제1, 제2 검사 스테이지(IS1,IS2)의 제1, 제2 검사 롤러(I1,I2)는 베이스 플레이트(70)로부터 제3 방향(Z3)을 따라 돌출된 모터 축(X, 도 3)에 연결되어 모터 축(X)을 중심으로 동력 회전될 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 각각의 스테이지(LS,IS1,IS2,US), 그러니까, 로딩 스테이지(LS), 제1 검사 스테이지(IS1), 제2 검사 스테이지(IS2) 및 언로딩 스테이지(US)에는 양면기판모체(10)의 이송 방향을 따라 이송력을 제공하기 위한 구동 롤러가 배치될 수 있으며, 각각의 로딩 스테이지(LS), 제1 검사 스테이지(IS1), 제2 검사 스테이지(IS2) 및 언로딩 스테이지(US)에는, 구동 롤러로서, 각각 로딩 롤러(LR), 제1 검사 롤러(I1), 제2 검사 롤러(I2), 언로딩 롤러(UR)가 배치될 수 있다. 본 명세서를 통하여 상기 로딩 롤러(LR), 제1 검사 롤러(I1), 제2 검사 롤러(I2) 및 언로딩 롤러(UR)는, 양면기판모체(10)에 대해 이송력을 제공하도록 구동 회전되는 것으로, 이들 롤러는 모두 구동 롤러로 통칭될 수 있다. 예를 들어, 제1 검사 스테이지(IS1)의 구동 롤러란 제1 검사 롤러(I1)를 의미할 수 있고, 제2 검사 스테이지(IS2)의 구동 롤러란 제2 검사 롤러(I2)를 의미할 수 있다. 또한 로딩 스테이지(LS)의 구동 롤러란 로딩 롤러(LR)를 의미할 수 있으며, 언로딩 스테이지(US)의 구동 롤러란 언로딩 롤러(UR)를 의미할 수 있다. 도 3을 참조하면, 상기 제1, 제2 검사 롤러(I1,I2)는 서보 모터(110)와 연결되어 베이스 플레이트(70)로부터 돌출된 모터 축(X)을 중심으로 동력 회전될 수 있다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 발명의 일 실시형태에서, 각각의 제1, 제2 검사 스테이지(IS1,IS2)에 구비된 제1, 제2 검사 롤러(I1,I2)의 외주를 따라서는, 양면기판모체(10)의 제1, 제2 면에 대한 검사가 수행되는 검사영역(IC)과 양면기판모체(10)에 대한 공급(공급 롤러 I11,I12) 및 배출(배출 롤러 I12,I22)이 이루어지면서 공급 및 배출 사이에서 제1, 제2 검사 롤러(I1,I2)에 대한 클리닝(드럼 클리너 G) 및 냉각(제2 릴리스 슬롯 2282, 도 8a)이 이루어지는 비검사영역(NIC)이 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 검사 롤러(I1,I2)의 외주면은 외주면 상에 감겨진 양면기판모체(10)에 대한 흡착력을 통하여 양면기판모체(10)를 외주면 상에 흡착시키는 흡착면으로 형성될 수 있다. 상기 검사영역(IC)에서는 상기 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에 양면기판모체(10)가 흡착되어 제1 내지 제5 검사유닛(U1,U2,U3,U4,U5)을 통과하면서 비전 검사가 수행될 수 있으며, 상기 검사 롤러(I1,I2)의 외주면에는 양면기판모체(10)의 흡착을 위한 다수의 기공(P, 도 3)이 형성될 수 있다. 즉, 상기 검사영역(IC)에서는 검사 롤러(I1,I2)의 외주면에 형성된 기공(P)을 통하여 전달되는 대기압 보다 낮은 음압의 작용으로, 양면기판모체(10)가 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에 흡착된 상태로 슬립 없이 외주면과 함께 회전되면서 양면기판모체(10)의 제1 면 또는 제2 면에 대한 비전 검사가 수행될 수 있다.
상기 검사영역(IC)에서와 달리, 비검사영역(NIC)에서는 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에 양면기판모체(10)가 흡착되지 않을 수 있다. 즉, 상기 비검사영역(NIC)에서는 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에 양면기판모체(10)를 흡착할 필요가 없으며, 오히려 검사 롤러(I1,I2)의 외주면으로부터 양면기판모체(10)의 이탈이 허용되도록, 검사 롤러(I1,I2)의 외주면을 대기압으로 유지할 필요가 있다.
도 3에는, 검사 롤러(I1,I2)에 의한 양면기판모체(10)의 흡착 기구(mechanism)를 설명하기 위한 도면으로, 검사 롤러(I1,I2) 및 검사 롤러(I1,I2)와 유체적 및/또는 물리적으로 연결되는 구성들을 함께 도시한 사시도가 도시되어 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 검사 롤러(I1,I2)를 구동하는 서보 모터(110)의 모터 축(X) 상에는, 검사 롤러(I1,I2)와 함께, 검사 롤러(I1,I2)와 유체적으로 연결되는 유로 디스크(150) 및 흡기 디스크(120)가 동축으로 조립될 수 있다. 상기 흡기 디스크(120), 유로 디스크(150) 및 검사 롤러(I1,I2)는, 서로 유체적으로 연결되어, 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에 형성된 기공(P)과 연결되는 압력 전달 경로를 형성할 수 있으며, 상기 압력 전달 경로는 흡기 디스크(120)를 일단으로 하고, 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에 형성된 기공(P)을 타단으로 하여, 흡기 디스크(120)와 검사 롤러(I1,I2) 사이에 걸쳐서 형성될 수 있으며, 검사 롤러(I1,I2)의 기공(P)에 대해 음압 또는 대기압을 설정하여 양면기판모체(10)에 대한 흡착력을 제공하거나 또는 양면기판모체(10)에 대한 흡착력을 해제할 수 있다.
본 명세서를 통하여 압력 전달 경로란, 흡기 디스크(120)를 일단으로 하고, 검사 롤러(I1,I2)의 기공(P)을 타단으로 하여, 흡기 디스크(120)로부터 검사 롤러(I1,I2)의 기공(P)에 이르기까지 형성된 유로를 의미할 수 있으며, 압력 전달 경로 또는 유로는 실질적으로 동일한 의미로 사용될 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 서보 모터(110)의 모터 축(X) 상에 동축으로 조립되는 흡기 디스크(120), 유로 디스크(150) 및 검사 롤러(I1,I2) 중에서, 흡기 디스크(120)는 모터 축(X)의 회전에도 불구하고 회전되지 않는 고정자(stator)를 형성할 수 있으며, 서보 모터(110)와 함께 베이스 플레이트(70) 상에 고정적으로 지지될 수 있고, 모터 축(X)을 둘러싸는 푸쉬 디스크(111) 상에 밀착되어 회전되지 않을 수 있다. 한편, 상기 유로 디스크(150) 및 검사 롤러(I1,I2)는 모터 축(X)의 회전에 따라 일체로 회전되는 회전자(rotator)를 형성할 수 있으며, 상기 유로 디스크(150)는 모터 축(X)과 일체로 회전되는 검사 롤러(I1,I2)에 체결되어 검사 롤러(I1,I2)와 함께 회전하는 회전자(rotator)를 형성할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 고정자(stator)를 형성하는 흡기 디스크(120)와 회전자(rotator)를 형성하는 검사 롤러(I1,I2) 및 유로 디스크(150)는 각각, 모터 축(X)의 축 방향을 따라 서로 마주하는 제1, 제2 면(120a,120b,150a,150b,Ia,Ib)을 포함할 수 있으며, 제1, 제2 면(120a,120b,150a,150b,Ia,Ib) 사이를 연결해주는 원주면을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 면(120a,150a,Ia)이란, 각각의 흡기 디스크(120), 유로 디스크(150) 및 검사 롤러(I1,I2) 중에서, 서보 모터(110)를 향하는 면을 의미할 수 있으며, 제2 면(120b,150b,Ib)이란, 각각의 흡기 디스크(120), 유로 디스크(150) 및 검사 롤러(I1,I2) 중에서, 서보 모터(110)와 반대되는 면을 의미할 수 있다. 또한, 본 명세서를 통하여 흡기 디스크(120)와 유로 디스크(150)와 검사 롤러(I1,I2)의 원심 내지는 중심이란, 모터 축(X)과 연결되거나 또는 모터 축(X)이 관통하는 등과 같이, 모터 축(X)과 대응되는 위치를 의미할 수 있다.
도 3 내지 도 4b를 함께 참조하면, 상기 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에 형성된 다수의 기공(P) 중에서 어느 일 기공(P)은, 검사 롤러(I1,I2)의 회전 각도에 따라 흡기 디스크(120)에 형성된 흡기 슬롯(125), 솔리드부(127) 및 릴리스 슬롯(128)과 순차적으로 연결될 수 있으며, 보다 구체적으로, 상기 일 기공(P)은, 흡기 슬롯(125)과 유체적으로 연결되면서 흡착력을 발휘하다가, 솔리드부(127)에 의해 일시적으로 폐쇄되었다가 릴리스 슬롯(128)과 연결되면서 흡착력이 해소되어 대기압으로 전환될 수 있다.
도 4b를 참조하면, 상기 흡기 디스크(120)의 제2 면(120b) 상에는, 대체로 검사영역(IC)의 각도 범위에 걸쳐서 형성된 흡기 슬롯(125)과, 대체로 비검사영역(NIC)의 각도 범위에 걸쳐서 형성된 릴리스 슬롯(128)이, 흡기 디스크(120)의 원주 방향을 따라 서로 겹쳐지지 않는 각도 범위에 걸쳐서 형성될 수 있다. 그리고, 상기 흡기 슬롯(125)과 릴리스 슬롯(128) 사이에는 흡기 슬롯(125)과 릴리스 슬롯(128)을 서로로부터 이격시키는 솔리드부(127)가 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 흡기 슬롯(125)은, 일단의 흡기 개시점(125a)으로부터 타단의 흡기 종료점(125b)까지에 걸쳐서 형성될 수 있는데, 양면기판모체(10)의 이송 방향을 따라 상기 흡기 개시점(125a)은 제1 검사유닛(U1)이 배치된 검사 개시점(S) 보다 선행하는 위치에 형성될 수 있으며, 검사 개시점(S)에 배치된 제1 검사유닛(U1) 보다 선행하는 흡기 개시점(125a)에서 양면기판모체(10)에 대한 흡착력을 제공함으로써, 검사 개시점(S)에 선행하여, 양면기판모체(10)가 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에 견고하게 흡착된 상태에서 슬립 없이 이송되면서 제1 검사유닛(U1, 검사 개시점 S)에 의한 비전 검사가 수행될 수 있다. 다시 말하면, 상기 제1 검사유닛(U1)이 배치된 검사 개시점(S)에 선행하여 흡기 개시점(125a)을 형성하도록, 상기 흡기 슬롯(125)은 양면기판모체(10)의 이송 방향을 따라 검사영역(IC)이 시작되는 검사 개시점(S) 보다 선행하는 흡기 개시점(125a)을 포함할 수 있다. 본 명세서를 통하여 흡기 개시점(125a)이란 양면기판모체(10)의 이송 방향을 따라 양면기판모체(10)가 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에 흡착(또는 접촉)이 시작되는 위치를 의미하기 보다는, 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에 대한 완만한 접근을 형성하도록, 양면기판모체(10)가 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에 흡착(또는 접촉)되기 이전에, 검사 롤러(I1,I2)에 대한 인력으로 작용하는 흡착력을 제공함으로써, 검사 롤러(I1,I2)에 대한 인력으로 작용하는 흡착력과 검사 롤러(I1,I2)에 대한 척력으로 작용하는 양면기판모체(10)의 자중 간의 균형을 통하여 검사 롤러(I1,I2)에 대한 양면기판모체(10)의 접촉이 서서히 이루어지도록 하고, 급격한 접촉에 따른 양면기판모체(10)의 위치 어긋남, 구겨짐, 뒤틀림과 같은 흡착 불량을 방지하도록 한다는 의미에서, 상기 흡기 개시점(125a)은, 양면기판모체(10)의 이송 방향을 따라, 상기 검사 롤러(I1,I2)에 대한 양면기판모체(10)의 접촉이 시작되는 위치 보다 선행할 수 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, 상기 흡기 개시점(125a)은, 양면기판모체(10)의 이송 방향을 따라 검사 개시점(S) 보다 대략 20도 ~ 25도 각도만큼 선행할 수 있으며, 예를 들어, 상기 흡기 슬롯(125)은 일단의 검사 개시점(S)으로부터 타단의 검사 종료점(F)까지에 걸쳐서 형성된 180도의 검사영역(IC) 보다 20도 ~ 25도 각도만큼 확장된 200도 ~ 205도의 범위로 형성될 수 있다.
한편, 양면기판모체(10)의 이송 방향을 따라 흡기 슬롯(125)의 타단을 형성하는 흡기 종료점(125b)은, 제5 검사유닛(U5)이 배치된 검사 종료점(F)과 같은 위치에 형성될 수 있다. 본 발명의 일 실시형태에서는, 양면기판모체(10)의 이탈을 방해하지 않도록, 흡기 종료점(125b)은 검사영역(IC)의 검사 종료점(F)과 같은 위치에 형성될 수 있다.
도 4b를 참조하면, 상기 흡기 디스크(120)의 제2 면(120b) 상에는 대체로 검사영역(IC)에 대응되는 흡기 슬롯(125)과 함께, 대체로 비검사영역(NIC)에 대응되는 릴리스 슬롯(128)이 형성될 수 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, 상기 릴리스 슬롯(128)은, 흡기 슬롯(125)과 중첩되지 않는 각도 범위에서 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 흡기 슬롯(125)과 릴리스 슬롯(128)은, 서로로부터 공간적으로 및 유체적으로 분리될 수 있으며, 본 발명의 일 실시형태에서, 상기 흡기 슬롯(125)과 릴리스 슬롯(128)은 흡기 디스크(120)와 동심원 형태로 연장되는 원호 궤적을 따라 형성될 수 있는데, 서로 동일한 반경을 갖는 원호 궤적을 따라 형성되면서, 흡기 슬롯(125) 및 릴리스 슬롯(128) 사이에 형성된 솔리드부(127)에 의해 서로로부터 이격된 형태로 형성될 수 있다.
상기 솔리드부(127)는 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에 형성된 기공(P)을 일시적으로 폐쇄하여 음압과 대기압 사이에서 압력의 누설을 방지할 수 있으며, 예를 들어, 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에 형성된 기공(P 또는 상기 기공 P과 연결되는 유로 디스크 150의 통공 155, 도 5b)이 음압이 설정된 흡기 슬롯(125)과 대기압이 설정된 릴리스 슬롯(128) 사이에 걸쳐지면서, 이들 흡기 슬롯(125)과 릴리스 슬롯(128)이 서로 연결되는 것을 차단할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 흡기 슬롯(125)과 릴리스 슬롯(128) 사이에 형성된 솔리드부(127)는, 유로 디스크(150)에 형성된 통공(155, 도 5b)의 직경을 초과하는 각도 범위로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 솔리드부(127)와 중첩되게 배치된 유로 디스크(150)의 통공(155)은, 흡기 슬롯(125)과 릴리스 슬롯(128)으로부터 차단될 수 있으며, 예를 들어, 유로 디스크(150)의 통공(155)이 솔리드부(127)를 가로질러 흡기 슬롯(125) 및 릴리스 슬롯(128)에 다 함께 연결될 수 없도록 상기 솔리드부(127)는 유로 디스크(150)의 통공(155)과 비교하여 충분한 원호 상의 길이로 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서는, 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에 형성된 일 기공(P)은 검사 롤러(I1,I2)의 회전 각도에 따라 흡기 슬롯(125)과 유체적으로 연결되면서 흡착력을 발휘하다가, 솔리드부(127)에 의해 일시적으로 폐쇄되었다가 릴리스 슬롯(128)과 연결되면서 흡착력이 해소되어 대기압으로 전환될 수 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에 형성된 기공(P)은, 흡기 슬롯(125)과 연결된 제1 상태, 솔리드부(127)에 의해 폐쇄된 제2 상태, 릴리스 슬롯(128)과 연결된 제3 상태를 순환할 수 있으며, 도 4b를 참조하면, 검사영역(IC)에서는 제1 상태(흡기 슬롯 125과 연결)를 유지하고 비검사영역(NIC)에서는 제2 상태(솔리드부 127에 의해 폐쇄) 또는 제3 상태(릴리스 슬롯 128과 연결)를 유지할 수 있으며, 부가적으로, 비검사영역(NIC)에서는 제2, 제3 상태와 더불어, 검사영역(IC)과 경계를 이루는 일부 비검사영역(NIC)에서는 제1 상태(흡기 슬롯 125과 연결)를 유지할 수 있다.
도 3 및 도 5b를 함께 참조하면, 상기 흡기 디스크(120)와 유로 디스크(150)는 서로 마주하게 배치될 수 있으며, 예를 들어, 흡기 디스크(120)의 제2 면(120b)과 유로 디스크(150)의 제1 면(150a)이 서로 마주하게 배치되면서, 흡기 디스크(120)와 유로 디스크(150)가 서로 유체적으로 연결될 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 흡기 디스크(120)의 제2 면(120b) 상에 형성된 흡기 슬롯(125) 및 릴리스 슬롯(128)은, 유로 디스크(150)의 제1 면(150a) 상에 형성된 통공(155)과 서로 마주하면서 통공(155)과 유체적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 상기 유로 디스크(150)의 통공(155)과, 흡기 디스크(120)의 흡기 슬롯(125) 및 릴리스 슬롯(128)은, 모터 축(X)을 중심으로 서로 동일한 반경의 원호 궤적을 추종하도록 형성되면서, 서로 유체적으로 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 검사 롤러(I1,I2)의 기공(P)은 유로 디스크(150)의 통공(155)과 연결될 수 있으며, 상기 검사 롤러(I1,I2)의 기공(P) 중에서 일부 기공(P)은, 유로 디스크(150)의 통공(155)을 경유하여 흡기 디스크(120)의 흡기 슬롯(125)과 연결될 수 있고, 검사 롤러(I1,I2)의 기공(P) 중에서 다른 일부 기공(P)은, 유로 디스크(150)의 통공(155)을 경유하여 흡기 디스크(120)의 릴리스 슬롯(128)과 연결될 수 있으며, 상기 검사 롤러(I1,I2)의 기공(P) 중에서 또 다른 일부 기공(P)은, 유로 디스크(150)의 통공(155)을 경유하여 흡기 디스크(120)의 솔리드부(127)에 의해 폐쇄될 수 있다.
도 3을 참조하면, 서로 유체적으로 연결되는 검사 롤러(I1,I2), 유로 디스크(150) 및 흡기 디스크(120) 각각에는 유로 피팅(F1,F2,F3)이 형성될 수 있다. 상기 검사 롤러(I1,I2), 유로 디스크(150) 및 흡기 디스크(120)의 외주를 따라 방사상으로 형성된 유로 피팅(F1,F2,F3)은, 검사 롤러(I1,I2)와 유로 디스크(150) 사이의 유체적인 연결을 형성하거나 또는 흡기 디스크(120)와 유체 펌프(미도시) 사이의 유체적인 연결을 형성할 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 검사 롤러(I1,I2) 및 유로 디스크(150)의 유로 피팅(F2,F3)은 방사상을 따라 서로 마주하는 방향으로 연장되면서 검사 롤러(I1,I2) 및 유로 디스크(150) 사이의 유체적인 연결을 형성할 수 있고, 상기 흡기 디스크(120)의 유로 피팅(F1)은 유체 펌프(미도시)의 배관이 접속되는 접속구 기능을 수행할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에 따른 기판검사장치는, 서로 다른 제1, 제2 폭의 양면기판모체(10)에 대한 비전 검사를 수행할 수 있으며, 서로 다른 제1, 제2 폭의 양면기판모체(10)에 대한 상호 호환적인 비전 검사를 제공하면서도, 서로 다른 부품, 예를 들어, 서로 다른 제1, 제2 폭의 양면기판모체(10)의 비전 검사를 위하여 서로 다른 검사 롤러(Ia,Ib)로의 교체가 요구되지 않을 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판검사장치는, 48mm 폭을 갖는 양면기판모체(10)와 70mm 폭을 갖는 양면기판모체(10)에 대한 비전 검사를 수행할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에는 서로 다른 폭으로 연장되는 기공 패턴이 형성될 수 있으며, 예를 들어, 본 발명의 일 실시형태에서, 상기 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에는 제1 폭의 양면기판모체(10)에 대응되는 제1 기공 패턴(다수의 제1 기공 P1)과 제2 폭의 양면기판모체(10)에 대응되는 제2 기공 패턴(다수의 제2 기공 P2)이 함께 형성될 수 있으며, 양면기판모체(10)의 폭 방향을 따라 제1 기공 패턴(다수의 제1 기공 P1)은 상대적으로 좁게 연장되면서, 검사 롤러(I1,I2)의 제1 면(Ia) 위치로부터 검사 롤러(I1,I2)의 제2 면(Ib)을 향하여 상대적으로 좁은 제1 패턴 폭으로 형성될 수 있다. 상기 제1 기공 패턴(다수의 제1 기공 P1)과 달리, 상기 제2 기공 패턴(다수의 제2 기공 P2)은 양면기판모체(10)의 폭 방향을 따라 상대적으로 넓게 연장되면서, 검사 롤러(I1,I2)의 제1 면(Ia) 위치로부터 검사 롤러(I1,I2)의 제2 면(Ib)을 향하여 상대적으로 넓은 제2 패턴 폭으로 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 검사 롤러(I1,I2)의 제1 면(Ia)은, 서로 다른 제1, 제2 폭을 갖는 양면기판모체(10)의 정렬 기준으로 제공될 수 있으며, 폭 방향을 따라 검사 롤러(I1,I2)의 제1 면(Ia)에 위치 정렬된 제1 폭의 양면기판모체(10)는 제2 면(Ib)을 향하여 상대적으로 좁은 제1 폭으로 연장되면서, 상대적으로 좁은 제1 패턴 폭으로 형성된 제1 기공(P1)과 마주하며, 이와 달리, 폭 방향을 따라 검사 롤러(I1,I2)의 제1 면(Ia)에 위치 정렬된 제2 폭의 양면기판모체(10)는 제2 면(Ib)을 향하여 상대적으로 넓은 제2 폭으로 연장되면서, 상대적으로 넓은 제2 패턴 폭으로 형성된 제2 기공(P2)과 마주할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 제1, 제2 기공(P1,P2)이 연장되는 제1, 제2 패턴 폭은, 검사 롤러(I1,I2)의 제1 면(Ia) 측 보다는, 제2 면(Ib) 측에서 제1, 제2 패턴 폭의 차이가 드러날 수 있다. 예를 들어, 상기 제1, 제2 기공(P1,P2)은, 제1 면(Ia) 측으로부터 제1 패턴 폭 내에서는 함께 형성되다가, 제1 패턴 폭을 벗어난 제2 패턴 폭에서는 제2 기공(P2)만이 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 양면기판모체(10)의 이송 방향을 따라 검사 롤러(I1,I2)의 외주면을 따라서는 상기 제1 기공(P1)과 제2 기공(P2)이 서로 번갈아 교번되게 배치될 수 있으며, 검사 롤러(I1,I2)의 외주 방향을 따라 일정한 간격을 두고 제1, 제2 기공(P1,P2)이 번갈아 배치될 수 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, 제1 면(Ia)에 대해 정렬된 제1, 제2 기공(P1,P2)은, 제2 면(Ib) 측에서 서로 다른 제1, 제2 패턴 폭에 따라 교번되게 볼록-오목한 패턴을 형성할 수 있다. 본 명세서를 통하여, 제1, 제2 기공(P1,P2)이 검사 롤러(I1,I2)의 제1 면(Ia)을 기준으로 정렬된다는 것은, 제1, 제2 기공(P1,P2)이 검사 롤러(I1,I2)의 제1 면(Ia)에 위치 정렬된다는 것을 의미하기 보다는, 서로 다른 제1, 제2 패턴 폭으로 배열되는 제1, 제2 기공(P1,P2)이, 검사 롤러(I1,I2)의 제1 면(Ia) 측에서는 대체로 평평한 패턴을 형성하되, 검사 롤러(I1,I2)의 제2 면(Ib) 측에서는 서로 다른 제1, 제2 패턴 폭에 따라 볼록-오목한 패턴을 형성한다는 것을 의미할 수 있고, 상대적으로 좁은 제1 패턴 폭으로 배열되는 제1 기공(P1)이 오목한 패턴을 형성한다면, 상대적으로 넓은 제2 패턴 폭으로 배열되는 제2 기공(P2)이 볼록한 패턴을 형성한다고 할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 제1 기공(P1)은 양면기판모체(10)의 폭 방향을 따라 서로로부터 상대적으로 좁게 밀집된 형태로 배열될 수 있고, 상기 제2 기공(P2)은 양면기판모체(10)의 폭 방향을 따라 서로로부터 상대적으로 넓게 확산된 형태로 배열될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 기공(P1)과 제2 기공(P2)은 대략 동등한 개수로 형성될 수 있으며, 제1 기공(P1)은 상대적으로 폭 좁게 밀집된 형태로 배열되는 반면에, 제2 기공(P2)은 상대적으로 폭 넓게 확산된 형태로 배열될 수 있다. 이에 따라, 서로 다른 폭의 양면기판모체(10)에 대한 전체적인 흡착력은 폭의 상이함에도 불구하고 서로 동등한 수준으로 유지될 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 검사 롤러(I1,I2)의 제1, 제2 기공(P1,P2)과 유체적으로 연결되는 유로 디스크(150)의 유로 피팅(F2)은, 제1, 제2 열의 유로 피팅(F21,F22)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 유로 디스크(150)의 외주면 상에는, 서보 모터(110)로부터 근거리에서 외주면 상을 일주하도록 배열되는 제1 열의 유로 피팅(F21, 도 5a)과, 서보 모터(110)로부터 원거리에서 외주면 상을 일주하도록 배열되는 제2 열의 유로 피팅(F22, 도 5a)이 형성될 수 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, 유로 디스크(150)의 외주면 상에서 복 열로 배열된 제1, 제2 열의 유로 피팅(F21,F22)은, 각각 검사 롤러(I1,I2)의 제1, 제2 기공(P1,P2)과 유체적으로 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 서보 모터(110)로부터 근거리에 형성된 제1 열의 유로 피팅(F21)은, 서보 모터(110)로부터 원거리의 제2 면(Ib) 측에 치우치게 배치된 제2 기공(P2)과 유체적으로 연결될 수 있고, 서보 모터(110)로부터 원거리에 형성된 제2 열의 유로 피팅(F22)은, 서보 모터(110)로부터 근거리의 제1 면(Ia) 측에 치우치게 배치된 제1 기공(P1)과 유체적으로 연결될 수 있다.
도 3, 도 4a 및 도 5b를 함께 참조하면, 상기 흡기 디스크(120, 흡기 슬롯 125, 릴리스 슬롯 128)와 연결된 일단으로부터 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에 형성된 기공(P)과 연결된 타단 사이에서 음압 또는 대기압을 전달하는 압력 전달 경로는, 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에서 교번되게 번갈아 배치된 제1, 제2 기공(P1,P2)과 각각 연결되는 제1, 제2 압력 전달 경로를 포함할 수 있다.
상기 제1 기공(P1)과 연결되는 제1 압력 전달 경로에 대해 살펴보면, 상기 흡기 디스크(120)의 제2 면(120b) 상에서 상대적으로 내측에 형성된 제1 흡기 슬롯(1251, 도 4a)은 흡기 디스크(120)의 제2 면(120b)과 마주하는 유로 디스크(150)의 제1 면(150a) 상에서 상대적으로 내측에 형성된 제1 통공(1551, 도 5b)과 연결되며, 상기 제1 통공(1551)은 유로 디스크(150)의 외주면 상에 형성된 제2 열의 유로 피팅(F22)과 연결되고, 상기 제2 열의 유로 피팅(F22)은 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에서 제1 패턴 폭으로 배열된 제1 기공(P1)과 연결될 수 있다.
상기 제2 기공(P2)과 연결되는 제2 압력 전달 경로에 대해 살펴보면, 상기 흡기 디스크(120)의 제2 면(120b) 상에서 상대적으로 외측에 형성된 제2 흡기 슬롯(1252)은 흡기 디스크(120)의 제2 면(120b)과 마주하는 유로 디스크(150)의 제1 면(150a) 상에서 상대적으로 외측에 형성된 제2 통공(1552)과 연결되며, 상기 제2 통공(1552)은 유로 디스크(150)의 외주면 상에 형성된 제1 열의 유로 피팅(F21)과 연결되고, 상기 유로 디스크(150)의 제1 열의 유로 피팅(F21)은, 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에서 제2 패턴 폭으로 배열된 제2 기공(P2)과 형성될 수 있다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 상기 흡기 디스크(120)에는 각각의 제1, 제2 기공(P1,P2)과 유체적으로 연결되는 제1, 제2 흡기 슬롯(1251,1252)이 각각 상대적으로 내측 및 외측 위치에 형성될 수 있으며, 이들 제1, 제2 흡기 슬롯(1251,1252)은 흡기 디스크(120)와 동심원 형태로 연장되되, 각각 흡기 디스크(120)의 내측 및 외측에 형성되도록 서로 다른 반경으로 형성되며 반경 방향을 따라 서로로부터 간격을 두고 이격된 동심원의 원형 궤적을 따라 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1, 제2 흡기 슬롯(1251,1252)은 흡기 디스크(120)의 반경 방향을 따라 동등한 선폭으로 형성될 수 있으며, 상기 제1, 제2 흡기 슬롯(1251,1252)의 선폭과 이들 사이의 간격을 합산한 선폭으로 릴리스 슬롯(128)이 형성될 수 있다. 이와 같이, 본 발명의 일 실시형태에서, 상기 흡기 슬롯(125)은, 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에 형성된 제1, 제2 기공(P1,P2)과 각각 연결되는 제1, 제2 흡기 슬롯(1251,1252)을 포함할 수 있으며, 상기 릴리스 슬롯(128)은 제1, 제2 기공(P1,P2)과 함께 연결되는 하나의 릴리스 슬롯(128)을 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시형태에서는, 흡기 슬롯(125)을 통하여 음압을 전달하는 유체 펌프(미도시)의 구동 부하를 줄이기 위하여, 흡기 슬롯(125)을 서로 다른 제1, 제2 흡기 슬롯(1251,1252)으로 분할하고, 각각의 제1, 제2 흡기 슬롯(1251,1252)의 선폭을 릴리스 슬롯(128)의 선폭 보다 좁게 형성할 수 있으며, 예를 들어, 제1, 제2 흡기 슬롯(1251,1252)의 각각의 선폭을 더한 합산 선폭 보다 넓게 릴리스 슬롯(128)의 선폭을 형성할 수 있다. 이때, 상기 흡기 디스크(120)의 외주면으로부터 원심을 향하여 방사상으로 연장되는 유로 피팅(F1) 또는 유로 피팅(F1)이 끼워진 내부유로(F1`)는 제1, 제2 흡기 슬롯(1251,1252)을 함께 가로질러 연장되면서, 제1, 제2 흡기 슬롯(1251,1252) 중 적어도 하나의 흡기 슬롯(1251,1252)에 연결될 수 있다.
상기 흡기 디스크(120)에는 흡기 디스크(120)의 외주면으로부터 원심을 향하여 방사상으로 연장되는 내부유로(F1`,F1``)가 형성될 수 있으며, 상기 흡기 디스크(120)의 내부유로(F1`,F1``)는, 유체 펌프(미도시)가 접속된 유로 피팅(F1)이 끼워지면서 유체 펌프(미도시)와 제1, 제2 흡기 슬롯(1251,1252)을 서로 유체적으로 연결해주기 위한 내부유로(F1`)와, 릴리스 슬롯(128)과 대기압 상태의 외부를 서로 연결해주기 위한 내부유로(F1``)를 포함할 수 있다. 상기 내부유로(F1`,F1``)에는 각각 제1, 제2 흡기 슬롯(1251,1252) 및 릴리스 슬롯(128)과 연결되는 압력 전달공(129)이 형성될 수 있으며, 유체 펌프(미도시)와 연결된 압력 전달공(129)을 통하여 상기 제1, 제2 릴리스 슬롯(1251,1252)에는 음압이 설정될 수 있으며, 대기압 상태의 외부와 연결된 압력 전달공(129)을 통하여 상기 릴리스 슬롯(128)에는 대기압이 설정될 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 제1, 제2 흡기 슬롯(1251,1252)에 연결되는 내부유로(F1`)는 흡기 슬롯(125)의 원호 궤적을 따라 일단의 흡기 개시점(125a)과 타단의 흡기 종료점(125b)에 인접한 양편 가장자리 위치를 제외한 중심 위치(흡기 슬롯 125의 양편 가장자리 위치를 제외한 중심 위치에 해당되는 각도 범위)에 배치될 수 있으며, 흡기 슬롯(125)의 원호 궤적을 따라 서로 교번되도록 제1 제2 흡기 슬롯(1251,1252)과 유체적으로 연결될 수 있다(제1, 제2 흡기 슬롯 1251,1252과 연결되는 압력 전달공 129). 본 발명의 일 실시형태에서, 상기 제1 흡기 슬롯(1251)과 연결되는 내부유로(F1`)의 개수와 제2 흡기 슬롯(1252)과 연결되는 내부유로(F1`)의 개수는 서로 상이할 수 있으나, 상기 제1 흡기 슬롯(1251)과 연결되는 압력 전달공(129)의 개수와 제2 흡기 슬롯(1252)과 연결되는 압력 전달공(129)의 개수는 서로 동등하게 설계될 수 있으며(예를 들어, 각각 4개씩), 이에 따라, 제1, 제2 기공(P1,P2)에서의 음압이 균형적으로 형성될 수 있다.
도 5a 내지 도 5c를 참조하면, 상기 흡기 디스크(120)의 제2 면(120b)과 마주하게 배치된 유로 디스크(150)의 제1 면(150a) 상에는 제1 흡기 슬롯(1251)에 대응되는 반경을 따라 원호 궤적으로 형성된 내측의 제1 통공(1551)과, 제2 흡기 슬롯(1252)에 대응되는 반경을 따라 원호 궤적으로 형성된 외측의 제2 통공(1552)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1, 제2 통공(1551,1552)은, 각각 제1, 제2 흡기 슬롯(1251,1252)과 대응되는 원호 궤적을 따라 일 열로 배열될 수 있다. 상기 제1, 제2 통공(1551,1552)은 각각 유로 디스크(150)의 원주 방향을 따라 일주하도록 일 열로 배열될 수 있으며, 서로 같은 각도 위치에 배치되어 전체적으로 동수의 제1, 제2 통공(1551,1552)을 포함할 수 있다.
상기 유로 디스크(150)의 외주면 상에는 제1, 제2 통공(1551,1552)과 각각 유체적으로 연결된 제1, 제2 열의 유로 피팅(F21,F22)이 형성될 수 있으며, 예를 들어, 본 발명의 일 실시형태에서, 상기 제1, 제2 열의 유로 피팅(F21,F22)은, 유로 디스크(150)의 외주면으로부터 유로 디스크(150)의 원심을 향하여 방사상으로 형성된 내부유로(F2`), 그러니까, 각각 서보 모터(110)로부터의 거리에 따라 서로 다른 근거리 및 원거리에 형성된 제1, 제2 내부유로(F21`.F22`)에 끼워질 수 있다.
도 3을 참조하면, 상기 유로 디스크(150)의 외주면 상에 형성된 제1, 제2 열의 유로 피팅(F21,F22)은, 검사 롤러(I1,I2)의 원주 방향을 따라 형성된 유로 피팅(F3)과 각각 유체적으로 연결될 수 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, 서로를 향하여 마주하도록 내측 방사상으로 연장되는 검사 롤러(I1,I2)의 유로 피팅(F3)과 외측으로 방사상으로 연장되는 유로 디스크(150)의 제1, 제2 열의 유로 피팅(F21,F22)은, 적어도 일부에서 유연하게 변형 가능한 플랙서블 배관(미도시) 등으로 연결될 수 있다.
상기 유로 피팅(F3)은 검사 롤러(I1,I2)의 제1 면(Ia) 상에 형성될 수 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, 상기 유로 피팅(F3)은 수직으로 절곡된 엘보 피팅(elbow fitting)으로 형성될 수 있으며, 엘보 피팅(elbow fitting)으로 형성된 유로 피팅(F3)을 통하여 검사 롤러(I1,I2)에 형성된 제1, 제2 기공(P)과 유로 디스크(150)의 제1, 제2 열의 유로 피팅(F21,F22)을 서로 유체적으로 연결해줄 수 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, 상기 검사 롤러(I1,I2)의 유로 피팅(F3)과 유로 디스크(150)의 유로 피팅(F2)은, 서로 일대일로 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 유로 피팅(F3)은, 검사 롤러(I1,I2)의 원주 방향을 따라 검사 롤러(I1,I2)를 일주하도록 일 열로 배열될 수 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, 각각의 제1, 제2 기공(P1,P2)과 연결되는 유로 피팅(F3)은, 검사 롤러(I1,I2)의 원주 방향을 따라 교번되게 배열된 제1, 제2 기공(P1,P2)과 정합되도록, 검사 롤러(I1,I2)의 원주 방향을 따라 교번되게 배열될 수 있다. 그리고, 제1, 제2 기공(P1,P2)과 각각 연결되는 유로 피팅(F3)은, 유로 디스크(150)의 제1 열의 유로 피팅(F21) 및 제2 열의 유로 피팅(F22)과 각각 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 제1, 제2 기공(P1,P2)과 연결되는 검사 롤러(I1,I2)의 유로 피팅(F3)과 유로 디스크(150)의 제1 열, 제2 열의 유로 피팅(F21,F22)은, 서로 일대일로 연결되도록 전체적으로는 서로 같은 동수로 마련될 수 있으나, 각각 제1, 제2 기공(P1,P2)과 연결되는 검사 롤러(I1,I2)의 유로 피팅(F3)은 일 열로 배열되는데 반하여, 유로 디스크(150)의 제1 열, 제2 열의 유로 피팅(F21,F22)은 복 열로 배열되므로, 이들 간의 일대일 연결에서, 적어도 각각의 제1, 제2 기공(P1,P2)과 연결되는 검사 롤러(I1,I2)의 유로 피팅(F3)과 유로 디스크(150)의 제1 열, 제2 열의 유로 피팅(F21,F22)은 나란하게 연결되기 보다는 엇갈리는 패턴으로 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에서 일 열로 배열된 유로 피팅(F3)의 개수는 유로 디스크(150)의 외주면 상에서 복 열로 배열된 제1 열, 제2 열의 유로 피팅(F21,F22)의 개수와 전체적으로는 같지만, 원주 방향을 따라서만 볼 때, 일 열로 배열된 검사 롤러(Ia,Ib)의 유로 피팅(F3)의 개수는, 복 열로 배열된 제1 열, 제2 열의 유로 피팅(F21,F22)의 개수의 배수에 해당될 수 있다.
도 8a에는 본 발명의 다른 실시형태에 따른 검사 롤러(I1,I2)의 흡착 기구(mechanism)에 적용되는 흡기 디스크(220)의 사시도가 도시되어 있다. 도 8b에는 도 8a에 도시된 흡기 디스크(220)의 제2 면(220b) 측을 도시한 평면도가 도시되어 있다.
도 3과 더불어, 도 8a 및 도 8b를 함께 참조하면, 상기 흡기 디스크(220)의 제2 면(220b)에는 흡기 디스크(220)의 외주면을 따라 동심원 형태의 원호 궤적을 따라 흡기 슬롯(225)이 형성될 수 있으며, 양면기판모체(10)의 이송 방향을 따라 원호 궤적의 흡기 슬롯(225)이 시작되는 지점은 흡착 개시점(225a)을 형성할 수 있고, 양면기판모체(10)의 이송 방향을 따라 원호 궤적의 흡기 슬롯(225)이 종단(terminate)되는 지점은 흡기 종료점(225b)을 형성할 수 있다.
상기 흡기 슬롯(225)은 검사 롤러(I1,I2)의 회전 방향을 따라 흡기 개시점(225a)과 흡기 종료점(225b) 사이에서 흡기 디스크(220)의 중앙을 원심으로 하는 원호 궤적을 따라 나란하게 형성되는 것으로, 각각 흡기 디스크(220)의 제2 면(220b) 상에서 내측 및 외측에 형성되도록 서로 다른 반경의 원호 궤적을 따라 나란하게 형성된 제1, 제2 흡기 슬롯(2251,2252)을 포함할 수 있으며, 각각의 제1, 제2 흡기 슬롯(2251,2252)은 검사 롤러(I1,I2)의 제1, 제2 기공(P1,P2)과 연결될 수 있다.
상기 흡기 디스크(220)의 제2 면(220b) 상에는, 제1, 제2 기공(P1,P2)에 대해 음압을 전달하기 위한 흡기 슬롯(2251,2252)과 더불어, 대기압을 전달하기 위한 릴리스 슬롯(228)이 함께 형성될 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 흡기 슬롯(225)과 릴리스 슬롯(228)은, 흡기 디스크(220)의 원주 방향을 따라 서로 다른 각도 위치에 형성될 수 있으며, 이들 흡기 슬롯(225)과 릴리스 슬롯(228)은 이들 사이에 솔리드부(227)를 개재하여 서로 다른 음압 및 대기압 사이의 압력 누수를 차단할 수 있다.
도 8a 및 도 8b에 도시된 실시형태에서, 상기 릴리스 슬롯(228)은 제1, 제2 기공(P1,P2)에 대해 음압을 해제하고 대기압을 설정하기 위한 제1 릴리스 슬롯(2281)과, 제1, 제2 기공(P1,P2)에 대한 송풍을 통하여 검사 롤러(I1,I2)를 냉각시키기 위한 제2 릴리스 슬롯(2282)을 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, 이들 흡기 슬롯(225)과 제1 릴리스 슬롯(2281)과 제2 릴리스 슬롯(2282)은, 흡기 디스크(220)의 원주 방향을 따라 서로 반대편에 형성된 흡기 슬롯(225)과 제2 릴리스 슬롯(2282) 사이로 제1 릴리스 슬롯(2281)이 개재되도록 배열될 수 있으며, 이들 흡기 슬롯(225)과 제1 릴리스 슬롯(2281) 및 제2 릴리스 슬롯(2282)이 서로로부터 독립적으로 서로 다른 압력을 설정할 수 있도록, 서로 이웃하게 배열된 흡기 슬롯(225)과 제1 릴리스 슬롯(2281) 사이에는 제1 솔리드부(2271)가 개재되어 이들 간의 압력 전달을 차단할 수 있으며, 유사하게, 서로 이웃하게 배열된 제1 릴리스 슬롯(2281)과 제2 릴리스 슬롯(2282) 사이에는 제2 솔리드부(2272)가 개재되어 이들 간의 압력 전달을 차단할 수 있다.
이와 같이, 상기 흡기 슬롯(225), 제1 릴리스 슬롯(2281) 및 제2 릴리스 슬롯(2282)은, 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상의 일 기공(P)에 대해 서로 다른 압력 상태를 설정해줄 수 있는데, 예를 들어, 상기 흡기 슬롯(225)과 연결된 기공(P)은 음압으로 설정될 수 있으며, 상기 제1 릴리스 슬롯(2281)과 연결된 기공(P)은 대기압으로 설정될 수 있고, 상기 제2 릴리스 슬롯(2282)과 연결된 기공(P)은 양압으로 설정될 수 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, 음압의 설정을 위하여 상기 흡기 슬롯(225)은 석션(suction) 타입의 유체 펌프(미도시)와 연결될 수 있고, 양압의 설정을 위하여 상기 제2 릴리스 슬롯(2282)은 블로워(blower) 타입의 유체 펌프(미도시)와 연결될 수 있으며, 대기압의 설정을 위하여 상기 제1 릴리스 슬롯(2281)은 별도의 유체 펌프(미도시)와 연결되지 않고 흡기 디스크(220)의 외부와 유체적으로 연결될 수 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, 상기 흡기 슬롯(225) 및 제2 릴리스 슬롯(2282)이 이들과 연결된 각각의 기공(P)에 대해 음압 또는 양압을 설정해준다는 것은, 대기압을 기준으로 상대적으로 낮은 압력 상태 또는 상대적으로 높은 압력 상태를 설정해준다는 것을 의미할 수 있으며, 또한, 상기 흡기 슬롯(225) 및 제2 릴리스 슬롯(2282)이 이들과 각각 연결된 기공(P)을 통하여, 흡기 디스크(220)의 내측을 향하여 공기를 흡입하는지 또는 흡기 디스크(220)의 외측을 향하여 공기를 송풍하는지를 의미할 수 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, 상기 흡기 슬롯(225)은 이와 연결된 기공(P)에 대해 음압을 설정해줌으로써, 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에 형성된 기공(P)을 통하여 양면기판모체(10)에 대해 흡착력을 발휘할 수 있고, 상기 제2 릴리스 슬롯(2282)은 이와 연결된 기공(P)에 대해 양압을 설정해줌으로써, 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에 형성된 기공(P)을 통하여 양면기판모체(10)가 배제된 흡기 디스크(220)를 냉각시킬 수 있다.
도 8b에 도시된 실시형태에서, 상기 흡기 디스크(220)의 원주 방향을 따라 흡기 슬롯(225)이 형성된 각도 범위 및 상기 제1, 제2 릴리스 슬롯(2281,2282)을 포괄하는 릴리스 슬롯(228)이 형성된 각도 범위는, 도 4b에 도시된 실시형태와 유사하게 설정될 수 있으며, 보다 구체적으로, 상기 흡기 슬롯(225)은, 검사 롤러(I1,I2)의 회전 방향을 따라 대체로 검사영역(IC)에 걸쳐서 형성될 수 있으며, 검사영역(IC)을 포함하여 비검사영역(NIC)의 일부까지 확장될 수 있고, 이에 대해서는 도 4b에 도시된 실시형태를 참조하여 설명된 바와 실질적으로 유사하므로, 중복적인 설명은 생략하기로 한다. 한편, 도 4b에 도시된 실시형태를 참조하여 설명된 바와 같이, 도 8b에 도시된 실시형태에서도, 상기 제1, 제2 릴리스 슬롯(2281,2282)을 포괄하는 릴리스 슬롯(228)은 검사 롤러(I1,I2)의 회전 방향을 따라 비검사영역(NIC)에 걸쳐서 형성될 수 있다.
도 8b의 실시형태에서는, 도 4b의 실시형태와 달리, 검사 롤러(I1,I2)의 기공(P)에 대해 양압을 설정해주기 위한 제2 릴리스 슬롯(2282)을 더 포함하지만, 상기 제2 릴리스 슬롯(2282)은 제1 릴리스 슬롯(2281)과 함께, 도 4b에 도시된 릴리스 슬롯(228)과 같은 각도 범위에서 형성될 수 있다. 상기 제2 릴리스 슬롯(2282)은 양면기판모체(10)가 배제된 각도 범위, 예를 들어 양면기판모체(10)가 배제된 검사 롤러(I1,I2)의 외주면에 대한 클리닝이 이루어지는 드럼 클리너(G, 도 2a)가 배치된 영역에 형성되므로, 제2 릴리스 슬롯(2282)의 유무에 따라 양면기판모체(10)에 설정되는 압력 상태가 변하지 않으며, 상기 제2 릴리스 슬롯(2282)은 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에 형성된 기공에 대해 양압을 설정해주지만(양압의 설정을 통한 송풍), 양면기판모체(10)에 대해 압력을 설정해주거나 또는 양면기판모체(10)에 대한 흡착력의 유무에 영향을 주지 않는다. 이와 같은 연유로, 도 8b의 실시형태에서, 서로 다른 압력 상태, 그러니까, 각각 대기압 및 양압을 설정해주는 제1, 제2 릴리스 슬롯(2281,2282)을 포함하는 릴리스 슬롯(228)은, 도 4b의 실시형태에서 대기압을 설정해주는 릴리스 슬롯(128)과 같은 각도 범위에 걸쳐서 형성될 수 있다.
도 8b의 실시형태에서 제1, 제2 릴리스 슬롯(2281,2282)은 서로 다른 형태로 형성될 수 있으며, 제1 릴리스 슬롯(2281)은 제1 기공(P1)과 연결되도록 흡기 디스크(220)의 상대적으로 내측 위치에 형성된 제1-1 릴리스 슬롯(2281a)과, 제2 기공(P2)과 연결되도록 흡기 디스크(220)의 상대적으로 외측 위치에 형성된 제1-2 릴리스 슬롯(2281b)을 포함할 수 있다. 상기 제1-1 릴리스 슬롯(2281a) 및 제1-2 릴리스 슬롯(2281b)은, 흡기 디스크(220)와 동심원 형태로 연장되되, 각각 흡기 디스크(220)의 내측 및 외측에 형성되도록 서로 다른 반경으로 형성되며 반경 방향을 따라 서로로부터 간격을 두고 이격된 동심원 형태의 원형 궤적을 따라 형성될 수 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, 상기 제1-1 릴리스 슬롯(2281a)은 흡기 디스크(220)의 내측에 형성된 제1 흡기 슬롯(2251)과 같은 원형의 궤적을 따라 형성될 수 있으며, 검사 롤러(I1,I2)의 회전 방향을 따라 서로 다른 회전 각도에서 제1 기공(P1)과 연결될 수 있다. 상기 제1-2 릴리스 슬롯(2281b)은 흡기 디스크(220)의 외측에 형성된 제2 흡기 슬롯(2252)과 같은 원형의 궤적을 따라 형성될 수 있으며, 검사 롤러(I1,I2)의 회전 방향을 따라 서로 다른 회전 각도에서 제2 기공(P2)과 연결될 수 있다.
상기 제2 릴리스 슬롯(2282)은 상대적으로 광폭으로 형성될 수 있으며, 상대적으로 협폭으로 형성된 제1-1 릴리스 슬롯(2281a) 및 제1-2 릴리스 슬롯(2281b)의 선폭과, 상기 제1-1 릴리스 슬롯(2281a) 및 제1-2 릴리스 슬롯(2281b) 사이의 간격을 합산한 선폭으로 상대적으로 넓게 형성될 수 있으며, 본 발명의 일 실시형태에서 상대적으로 넓게 형성된 제2 릴리스 슬롯(2282)은 제1, 제2 기공(P1,P2)에 함께 연결될 수 있다. 상기 제2 릴리스 슬롯(2282)은 블로워(blower) 타입의 유체 펌프(미도시)와 연결되어 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에 형성된 기공(P)을 통하여 송풍을 제공할 수 있으며, 송풍을 통하여 검사 롤러(I1,I2)를 냉각시킬 수 있고, 송풍에 따른 유동 저항을 줄이기 위한 목적으로, 상대적으로 넓은 폭으로 형성될 수 있다.
도 8b의 실시형태에서, 검사 롤러(I1,I2)의 외주면 상에 형성된 일 기공(P)은, 검사 롤러(I1,I2)의 회전 각도에 따라, 흡기 슬롯(225)과 연결되어 음압으로 설정되는 제1 상태와, 제1 솔리드부(2271)에 의해 일시적으로 페쇄되는 제2 상태와, 제1 릴리스 슬롯(2281)과 연결되어 대기압으로 설정되는 제3 상태와, 제2 솔리드부(2272)에 의해 일시적으로 폐쇄되는 제4 상태와, 제2 릴리스 슬롯(2282)과 연결되어 양압으로 설정되는 제5 상태를 순환할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 흡기 슬롯(225)에는 석션(suction) 타입의 유체 펌프(미도시)가 연결될 수 있으며, 흡기 슬롯(225)에서의 압력 누수를 차단하도록 흡기 슬롯(225)과 이웃하는 제1 릴리스 슬롯(2281) 사이에는 제1 솔리드부(2271)가 개재될 수 있으며, 흡기 슬롯(225)의 압력 누수를 차단하여 유체 펌프(미도시)의 구동 효율을 높일 수 있다. 유사하게, 상기 제2 릴리스 슬롯(2282)은, 블로워(blower) 타입의 유체 펌프(미도시)와 연결될 수 있으며, 제2 릴리스 슬롯(2282)에서의 압력 누수를 차단하도록 제2 릴리스 슬롯(2282)과 이웃하는 제1 릴리스 슬롯(2281) 사이에는 제2 솔리드부(2272)가 개재될 수 있으며, 제2 릴리스 슬롯(2282)의 압력 누수를 차단하여 유체 펌프(미도시)의 구동 효율을 높일 수 있다. 예를 들어, 상기 검사 롤러(I1,I2)의 회전 방향을 따라, 제1 릴리스 슬롯(2281)은 제1 릴리스 슬롯(2281)의 일단 및 타단을 형성하는 제1, 제2 솔리드부(2271,2272)에 의해 정의될 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 제1 릴리스 슬롯(2281)은 양면기판모체(10)의 이송 방향을 따라 흡기 개시점(225a)의 선행 위치와 흡기 종료점(225b)의 후행 위치에 배치되는 한 쌍의 제1 릴리스 슬롯(2281)을 포함할 수 있다. 상기 제1 릴리스 슬롯(2281)은 양면기판모체(10)의 이송 방향을 따라 각각 흡기 슬롯(225)과 인접한 선행 위치 및 흡기 슬롯(225)과 인접한 후행 위치에 배치되어, 양면기판모체(10)의 흡기 개시점(225a) 이전과 흡기 종료점(225b) 이후의 대기압 상태를 형성해줄 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 흡기 슬롯(225) 및 제2 릴리스 슬롯(2282)은 제1, 제2 기공(P1,P2)에 대해 서로 다른 음압 및 양압을 설정해주기 위하여, 서로 다른 타입의 유체 펌프(미도시)와 연결될 수 있으며, 서로 다른 타입의 유체 펌프(미도시)는 흡기 디스크(220)의 외주면 상으로 돌출되도록 흡기 디스크(220)의 외주면 상에 끼워진 유로 피팅(F11, 도 8a)에 연결될 수 있으며, 유로 피팅(F11)을 통하여 서로 다른 타입의 유체 펌프(미도시)와 흡기 슬롯(225) 및 제2 릴리스 슬롯(2282)이 서로 연결될 수 있다. 상기 흡기 슬롯(225) 및 제2 릴리스 슬롯(2282)과 달리, 제1 릴리스 슬롯(2281)은 유체 펌프(미도시)와 연결되지 않으며, 이에 따라 유로 피팅(F11, 도 8a)을 통하지 않고 흡기 디스크(220)의 외부와 연결될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 릴리스 슬롯(2281)은 흡기 디스크(220)의 외주면으로부터 방사상 방향을 따라 흡기 디스크(220)의 원심을 향하여 연장되는 내부유로(F11`, 도 8b)를 통하여 흡기 디스크(220)의 외부와 연결될 수 있다.
도 8b를 참조하면, 상기 흡기 디스크(220)에는 흡기 디스크(220)의 외주면으로부터 흡기 디스크(220)의 원심을 향하여 방사상 방향으로 연장되는 다수의 내부유로(F11`)가 형성될 수 있으며, 예를 들어, 상기 내부유로(F11`)는 흡기 슬롯(225)과 연결되는 내부유로(F11`)와, 제1 릴리스 슬롯(2281)과 연결되는 내부유로(F11`)와, 제2 릴리스 슬롯(2282)과 연결되는 내부유로(F11`)를 포함할 수 있으며, 상기 흡기 슬롯(225)에 연결되는 내부유로(F11`)와 제2 릴리스 슬롯(2282)과 연결되는 내부유로(F11`)에는 유체 펌프(미도시)와의 연결을 위한 유로 피팅(F11, 도 8a)이 끼워질 수 있다.
상기 제2 릴리스 슬롯(2282)은 블로워(blower) 타입의 유체 펌프(미도시)와 연결될 수 있으며, 상기 블로워 타입의 유체 펌프(미도시)에 의해 제공되는 송풍 유량 및/또는 송풍 온도는 검사 롤러(I1,I2)의 팽창을 포착한 제어부(미도시)에 의해 가감 제어될 수 있다. 도 2a를 참조하면, 검사 롤러(I1,I2)의 외주면을 따라 적어도 일 개소에는 검사 롤러(I1,I2)의 팽창을 포착하기 위한 변위 센서(R)가 배치될 수 있으며, 상기 변위 센서(R)는 검사 롤러(I1,I2)의 과열에 따른 검사 롤러(I1,I2)의 외주면의 위치 변화를 포착할 수 있다. 상기 변위 센서(R)로부터의 전기적인 출력 신호에 따라 검사 롤러(I1,I2)의 팽창을 감지한 제어부(미도시)는, 제2 릴리스 슬롯(2282)에 연결되어 있는 유체 펌프(미도시)를 제어하며, 유체 펌프(미도시)에 의해 검사 롤러(I1,I2)의 기공(P)을 향하여 제공되는 송풍 유량 및/또는 송풍 온도를 가감 제어함으로써, 검사 롤러(I1,I2)의 과열을 해소하고 검사 롤러(I1,I2)의 팽창에 따라 검사 롤러(I1,I2)의 외주면의 위치가 검사유닛(U1,U2,U3,U4,U5)를 향하여 접근하면서 검사유닛(U1,U2,U3,U4,U5)의 초점 심도(depth of focus)를 벗어나는 아웃 포커스(out of focus)를 해소하고, 인 포커스(in focus)를 유지하도록 할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 제어부(미도시)는 검사 롤러(I1,I2)의 외주면의 위치 변화를 포착한 변위 센서(R)의 출력에 근거하여 제2 릴리스 슬롯(2282)과 연결된 유체 펌프(미도시)의 송풍 유량을 증가시키거나 또는 송풍 온도를 낮출 수 있으며, 과열된 검사 롤러(I1,I2)의 팽창 정도에 따라 더 많은 송풍 유량을 제공하거나 또는 더 낮은 온도의 송풍을 제공함으로써, 검사 롤러(I1,I2)의 과열 내지는 팽창을 신속하게 해소하여 검사 롤러(I1,I2)의 외주면의 위치를 과열 이전의 수준으로 복귀시킬 수 있다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다.
LS: 로딩 스테이지 LR: 로딩 롤러
US: 언로딩 스테이지 UR: 언로딩 롤러
IS1: 제1 검사 스테이지 IS2: 제2 검사 스테이지
I1: 제1 검사 롤러 I2: 제2 검사 롤러
M1,M2,M3: 제1 내지 제3 이송제어기구
U1~U5: 제1 내지 제5 검사유닛
R: 변위 센서 G: 드럼 클리너

Claims (8)

  1. 서로 다른 제1, 제2 폭의 양면기판모체에 대한 호환적인 비전 검사를 수행하도록, 서로 다른 제1, 제2 폭의 양면기판모체에 대응하여, 제1 패턴 폭으로 배열된 제1 기공과, 상기 제1 패턴 폭과 다른 제2 패턴 폭으로 배열된 제2 기공이 형성된 검사 롤러를 포함하고,
    상기 검사 롤러와 동축으로 조립된 고정자(stator)로 형성되는 것으로, 상기 검사 롤러의 제1, 제2 기공과 각각 연결되며, 서로로부터 이격된 제1, 제2 흡기 슬롯이 형성된 흡기 디스크를 더 포함하며,
    상기 제1, 제2 흡기 슬롯은, 상기 흡기 디스크와 동심원 형태로 형성되되, 각각 흡기 디스크의 내측 및 외측에 형성되도록 서로 다른 반경을 따라 형성되며, 반경 방향을 따라 서로로부터 이격되는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 흡기 디스크는, 상기 검사 롤러의 회전 방향을 따라 상기 제1, 제2 흡기 슬롯과 서로 다른 각도 범위에 걸쳐서 형성된 릴리스 슬롯을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 릴리스 슬롯은, 적어도 상기 제1, 제2 기공과 연결되어 제1, 제2 기공에 대해 양압을 설정해주는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 릴리스 슬롯은,
    상기 제1, 제2 기공과 연결되어 제1, 제2 기공에 대해 대기압을 설정해주는 제1 릴리스 슬롯; 및
    상기 제1, 제2 기공과 연결되어 제1, 제2 기공에 대해 양압을 설정하며 상기 검사 롤러를 냉각시키는 제2 릴리스 슬롯을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 검사 롤러의 외주를 따라서는, 양면기판모체에 대한 비전 검사를 위한 다수의 검사유닛과, 양면기판모체가 배제된 검사 롤러에 대한 클리닝을 수행하기 위한 드럼 클리너가 배치되며,
    상기 제2 릴리스 슬롯은 상기 드럼 클리너가 배치된 각도 범위에 형성되는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 검사 롤러의 외주를 따라서는, 검사 롤러의 팽창에 따른 검사 롤러의 외주면의 위치 변화를 포착하기 위한 변위 센서가 배치되고,
    상기 변위 센서의 출력에 따라 상기 제2 릴리스 슬롯에 연결된 유체 펌프의 송풍 유량 또는 송풍 온도를 가감 제어하기 위한 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
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