JP2010112716A - 半導体試験装置、半導体試験方法および半導体試験プログラム - Google Patents
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Abstract
【課題】被試験デバイスの試験に要する時間をより詳細に測定して、試験速度の高速化および生産性の向上を図ることを目的とする。
【解決手段】DUT2のテストを行う1または複数の制御カード1と当該制御カード1の制御を行うコントローラ3とを備える半導体試験装置であって、制御カード1に備えられ、この制御カード1に設けたテスト実行部13を制御するために要する制御時間TBを計測するカード側タイマ12と、コントローラ3に備えられ、カード側タイマ12が測定する制御時間TBに基づいてテスト実行部13がDUT2のテストを行うために確保される待機時間TWを変更する待機時間変更部24と、を備えている。
【選択図】 図1
【解決手段】DUT2のテストを行う1または複数の制御カード1と当該制御カード1の制御を行うコントローラ3とを備える半導体試験装置であって、制御カード1に備えられ、この制御カード1に設けたテスト実行部13を制御するために要する制御時間TBを計測するカード側タイマ12と、コントローラ3に備えられ、カード側タイマ12が測定する制御時間TBに基づいてテスト実行部13がDUT2のテストを行うために確保される待機時間TWを変更する待機時間変更部24と、を備えている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、被試験デバイスの試験を行う半導体試験装置、半導体試験方法および半導体試験プログラムに関するものである。
ICやLSI、メモリ等の被試験デバイス(以下、DUT)に所定の試験を行って良否判定を行う半導体試験装置がある。近年のDUTは高集積化や大容量化の傾向にあり、その個数も飛躍的に増加していることから、1つのDUTに対して要する試験速度を高速化して生産性を向上させることが要求されている。このため、DUT
の試験に要する試験時間を測定および分析して、試験時間の短縮化を図るようにしている。
の試験に要する試験時間を測定および分析して、試験時間の短縮化を図るようにしている。
図5は従来の半導体試験装置の構成の一例を示している。この半導体試験装置は複数枚の制御カード101(図5では3枚の制御カード101A〜101Cを示している)と制御カード101ごとに接続されるDUT102と各制御カード101に接続されるコントローラ103とを備えて概略構成している。
制御カード101はカード側CPU110(図5ではカード側CPU110A〜110Cとして示している)とテスト部111(図5ではテスト部111A〜111Cとして示している)とを備えて概略構成している。カード側CPU110は制御カード101の全体の制御を行う制御部である。テスト部111はDUT102に対して実際に試験を行うためのハードウェア機構であり、例えば図6に示すように電圧印加ドライバ112と測定器113とリレー114とを備えている。電圧印加ドライバ112はDUT102に対して電圧を印加するための駆動装置であり、測定器113はDUT102から出力される電圧を測定するための測定装置である。リレー114はテスト部111とDUT102とを接続状態または非接続状態に切り替えるリレースイッチである。
図5に戻って、コントローラ103は複数の制御カード101に接続されており、全ての制御カード101の制御を行っているコンピュータである。コントローラ103はコントローラ側CPU120とプログラム記憶部121とタイマ122とを備えて概略構成している。コントローラ側CPU120はコントローラ103全体の制御を行う制御部である。プログラム記憶部121はコントローラ側CPU120が行う制御の実行手順が記述されたプログラム(テストプログラム)を記憶する記憶部である。タイマ122はコントローラ側CPU120の制御により時間を計測する時間計測手段である。
以上の構成における動作について説明する。テスト部111が図6のような構成の場合、テスト部111は主に3つのテスト動作を行う。1つ目はリレー114をオフからオンに切り替えてテスト部111とDUT102とを接続する動作(リレー接続動作)、2つ目は電圧印加ドライバ112からDUT102に対して電圧を印加する動作(電圧印加動作)、3つ目はDUT102から出力される電圧を測定器113が測定する動作(測定動作)である。
テストプログラムには最初にリレー接続動作に関する命令が記述されており、コントローラ側CPU120は当該命令の解読および実行を行い、制御カード101に対して命令(動作命令)の出力を行う。制御カード101のカード側CPU110は当該動作命令を入力して動作命令の解析を行い、リレー接続動作に関する内容であると認識を行なう。実際にリレー接続動作を行うのはテスト部111であるため、カード側CPU110はテスト部111に対してリレー114を接続する制御を行う制御命令を出力する。テスト部111はカード側CPU110から出力された制御命令の内容にしたがって、リレー114の接続を行う。
そして、リレー114の接続動作が終了した後に、テスト部111はカード側CPU110に対して動作が終了した旨を出力し、カード側CPU110はコントローラ103のコントローラ側CPU120に対して、リレー接続動作が終了した旨の通知(動作終了通知)を出力する。コントローラ側CPU120は動作終了通知を入力したときにリレー接続動作が終了したことを認識する。以上が1つのテスト動作の流れであり、電圧印加動作および測定動作においても同様のテスト動作が行われる。
コントローラ側CPU120は制御カード101に対して動作命令を出力するときに、タイマ122を制御して時間計測を開始させる。そして、制御カード101から動作終了通知を入力したときに、タイマ122を制御して時間計測を終了させる。これにより、1つのテスト動作に要する時間(テスト時間)を計測することができるようになる。計測したテスト時間は、例えばディスプレイ等の表示装置に表示するようにする。従って、DUT102の試験に要するテスト時間を把握でき、テスト時間の分析を行うことができるようになる。
この他に、テスト時間を計測して表示する技術としては、例えば特許文献1がある。特許文献1の技術では、1つのICに対して複数回行われるテストについて、テスト毎に所要時間を計測および記憶し、その結果を表示器により表示するようにしている。
特開平7−128397号公報
前述した従来の技術においては、コントローラ103にタイマ122を設けることで、1つのテスト動作に要するテスト時間を計測することができる。ただし、このテスト時間は1回のテストに要する時間であり、1回のテストにおける詳細な内訳を把握することはできない。また、特許文献1の技術においても1つのテスト動作に要する時間を計測することができるが、テスト動作の内訳の時間を認識しているわけではない。
1つのテスト動作の中においても、コントローラ103だけでなく制御カード101も動作を行っている。従って、1つのテスト動作の中の詳細な時間の内訳を計測することで、さらに試験速度の高速化を図れる場合もある。特に、近年では、DUT102の高集積化や大容量化の傾向が顕著になっており、その個数も飛躍的に増加していることから、試験速度の効率化は重要な課題になっている。このため、1つのテスト動作の中の詳細な時間を計測することで、試験速度を大幅に向上させて生産性の向上を図ることは必須の課題である。
そこで、本発明は、被試験デバイスの試験に要する時間をより詳細に測定して、試験速度の高速化および生産性の向上を図ることを目的とする。
以上の課題を解決するため、本発明の請求項1の半導体試験装置は、被試験デバイスのテストを行う1または複数の制御カードと当該制御カードの制御を行うコントローラとを備える半導体試験装置であって、前記制御カードに備えられ、この制御カードに設けたテスト実行部を制御するために要する制御時間を計測するカード側タイマと、前記コントローラに備えられ、前記カード側タイマが測定する前記制御時間に基づいて前記テスト実行部が前記被試験デバイスのテストを行うために確保される待機時間を変更する待機時間変更部と、を備えたことを特徴とする。
この半導体試験装置によれば、制御カードにカード側タイマを設けて制御時間を計測し、計測した制御時間に基づいて待機時間を変更している。待機時間は被試験デバイスの仕様等から予め定められているが、制御時間を待機時間として利用できる。このため、もともと設定されていた待機時間から制御時間を減じた時間を待機時間として設定できるため、全体としての処理時間を大幅に短縮でき、試験速度の大幅な高速化および生産性の飛躍的な向上を図ることができるようになる。
本発明の請求項2の半導体試験装置は、請求項1記載の半導体試験装置において、前記待機時間変更部は、予め設定された設定時間から前記カード側タイマが測定する前記制御時間を減じた時間に前記待機時間を変更することを特徴とする。
この半導体試験装置によれば、待機時間変更部が設定時間(予め設定されていた待機時間)から制御時間を減じた時間を待機時間に設定しているため、自動的に待機時間の変更がされるようになる。
本発明の請求項3の半導体試験装置は、請求項1記載の半導体試験装置において、前記カード側タイマが計測する前記制御時間を表示する表示装置と、前記表示装置に表示される前記制御時間に基づいて前記待機時間を変更する入力装置と、を備えたことを特徴とする。
この半導体試験装置によれば、操作者が表示装置の内容を確認しながら入力装置を用いて手動で待機時間を変更することができるようになる。自動的な待機時間の変更を制限する要請がある場合には、手動による変更手段を設けることで、運用上の要請に柔軟に対応することができるようになる。
本発明の請求項4の半導体試験装置は、請求項3記載の半導体試験装置において、前記コントローラは、前記被試験デバイスに対する1回のテストに要するテスト時間を計測するコントローラ側タイマを備え、前記表示装置に前記テスト時間と前記制御時間とを表示することを特徴とする。
この半導体試験装置によれば、コントローラにコントローラ側タイマを設けることで、表示装置に制御時間だけではなくテスト時間を表示することができる。画面上に表示される内容に基づいて手動で待機時間を変更する場合には、制御時間だけではなくテスト時間の表示も行うことで、操作者が視覚的により多くの情報を把握することができるようになる。
本発明の請求項5の半導体試験方法は、被試験デバイスに接続される1または複数の制御カードと当該制御カードの制御を行うコントローラとを用いて前記被試験デバイスのテストを行う半導体試験方法であって、前記制御カードに設けたテスト実行部を制御するために要する制御時間を計測するステップと、前記制御時間に基づいて前記テスト実行部が前記被試験デバイスのテストを行うために確保される待機時間を変更するステップと、変更された待機時間に基づいて前記被試験デバイスのテストを行うステップと、を有することを特徴とする。
本発明の請求項6の半導体試験プログラムは、被試験デバイスに接続される1または複数の制御カードと当該制御カードの制御を行うコントローラとを用いて前記被試験デバイスのテストを行う半導体試験プログラムを、前記制御カードに設けたテスト実行部を制御するために要する制御時間を計測させる手段、前記制御時間に基づいて前記テスト実行部が前記被試験デバイスのテストを行うために確保される待機時間を変更する手段、変更された待機時間に基づいて前記被試験デバイスのテストを行う手段、として機能させることを特徴とする。
本発明は、制御カードにカード側タイマを設けてカード側CPUの制御時間を計測しており、待機時間変更部が予め設定されていた待機時間から制御時間を減じた時間に待機時間を変更している。これにより、制御時間に要する時間を短縮できるため、試験速度の大幅な向上および生産性の飛躍的な向上を図ることができるようになる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。図1に示すように、本発明の半導体試験装置は、3枚の制御カード1(1A〜1Cとしている)と各制御カード1に接続されるDUT2と各制御カード1に接続されるコントローラ3とを備えて概略構成している。図1においては、3枚の制御カード1を例示しているが、制御カード1の枚数は1枚であっても、複数枚であってもよい。
制御カード1はDUT2の試験を行うために設けた回路基板であり、カード側CPU11(11A〜11Cとしている)とカード側タイマ12(12A〜12Cとしている)とテスト部13(13A〜13Cとしている)とを備えて概略構成している。カード側CPU11は制御カード1の動作制御を行う制御部であり、カード側タイマ12とテスト部13との制御を行う。カード側タイマ12はカード側CPU11の制御により時間を計測する時間計測手段である。テスト部13はDUT2に対して接続され、実際にDUT2の試験を行うハードウェア機構である。
テスト部13が行う試験としては種々のものがあるが、ここでは図6で示した構成によりDUT2に対して行う動作であるものとする。従って、テスト部13は、1)リレー114を制御してオフからオンに切り替える動作(リレー接続動作)、2)電圧印加ドライバ112によりDUT2に対して電圧を印加する動作(電圧印加動作)、3)DUT2から出力される電圧を測定器113により測定する動作(測定動作)、の3つの動作を行う。これら各動作は、それぞれが1つのテスト動作であり、カード側CPU11からの制御命令に基づいてテスト部13が行う。勿論、前記の3つのテスト動作以外のテスト動作を行うものであってもよい。
DUT2はICやLSI或いはメモリ等の被試験デバイスであり、制御カード1のテスト部13により種々の試験が行われる。図1では、DUT2に対して個別的に制御カード1が接続されているものを例示しているが、1つのDUT2に対して複数のテスト部13が接続されるものであってもよい。また、制御カード1に複数のテスト部13を設けておき、DUT2の複数の接続ピンに対してそれぞれテスト部13を接続するようにしてもよい。
コントローラ3は各制御カード1の制御を行うコンピュータであり、コントローラ側CPU20とプログラム記憶部21とコントローラ側タイマ22と待機時間記憶部23と待機時間変更部24とを備えて概略構成している。コントローラ側CPU20は制御カード1の全体の制御を行う制御部であり、プログラム記憶部21に記憶されているプログラム(テストプログラム)の内容を実行して制御を行う。プログラム記憶部21に記憶されているテストプログラムにはDUT2の試験を行うための実行手順が記述されており、コントローラ側CPU20はこのテストプログラムに記述されている内容を実行する。テスト部13が図6の構成の場合には、テストプログラムにはリレー接続動作と電圧印加動作と測定動作との動作を行う命令が記述されている。ここでは、テストプログラムには、以下のようにリレー接続動作、電圧印加動作、測定動作の順番に動作を行う命令が記述されているものとする。
CONN=FC // リレー接続動作
Wait(TW1) // 待機動作
V=5[v] // 電圧印加動作
Wait(TW2) // 待機動作
Meas(VM) // 測定動作
Wait(TW3) // 待機動作
CONN=FC // リレー接続動作
Wait(TW1) // 待機動作
V=5[v] // 電圧印加動作
Wait(TW2) // 待機動作
Meas(VM) // 測定動作
Wait(TW3) // 待機動作
このテストプログラムには各テスト動作の命令の後に待機時間TW1〜TW3(総称して待機時間TWとする)を設けている。この待機時間TWの詳細については後述する。なお、上記のテストプログラムはあくまでも一例であり、他の実行手順が記述されているテストプログラムを使用するものであってもよい。ただし、何らかのテスト動作を行った後には待機時間が設けられているものとする。また、コントローラ側CPU20はプログラム記憶部21から読み込んだプログラムを実行するための図示しないメモリを備えており、このメモリに読み込んだプログラムを展開して実行を行う。
コントローラ側タイマ22はコントローラ側CPU20の制御により時間の計測を行う。そして、計測した時間をコントローラ側CPU20に対して出力を行う。待機時間記憶部23は予め設定された待機時間を記憶するための記憶部である。なお、待機時間TWはコントローラ側CPU20のメモリに記憶させるものであってもよい。待機時間変更部24は待機時間記憶部23に記憶されている待機時間TWを自動的に変更するものであるが、手動で変更する場合には、待機時間変更部24に接続される入力装置26により変更することもできる。表示装置25はコントローラ側CPU20に接続されるディスプレイであり、コントローラ側CPU20の制御により画面レイアウトを作成して種々の情報の表示を行う。
次に、図2を用いて、DUT2の試験を行うためのテスト動作について説明する。テストプログラムには前記したような実行手順が記述されているため、リレー接続動作、電圧印加動作、測定動作の順番で行われる。DUT2に対しては繰り返しテスト動作が行われるため、この一連の動作が繰り返して行われる。リレー接続動作、電圧印加動作、測定動作はそれぞれ1つのテスト動作を構成する。
コントローラ側CPU20はテストプログラムをプログラム記憶部21から読み出して、テストプログラムの解読および実行を行う。テストプログラムには、最初にリレー接続動作が記述されているため、コントローラ側CPU20は制御カード1のテスト部13にリレー接続動作を実行させるべく、動作内容の命令(動作命令)をカード側CPU11に対して出力する(ステップS1)。コントローラ側CPU20は動作命令を出力したときに、コントローラ側タイマ22を制御して時間計測を開始させる(ステップS2)。
カード側CPU11はコントローラ側CPU20から動作命令を入力したときにカード側タイマ12を制御して時間計測を開始させる(ステップS3)。次に、カード側CPU11は動作命令の解析を行い(ステップS4)、動作命令がリレー接続動作に関する内容であることを認識する。リレー接続動作を実際に行うのは、テスト部13のリレー114であるため、カード側CPU11はテスト部13に動作命令の内容を実行させるべく、テスト部13を制御する命令(制御命令)を出力する(ステップS5)。ここでは、リレー接続動作であるため、制御命令はリレー114をオフからオンに切り替える命令になる。カード側CPU11が制御命令をテスト部13に対して出力したときに、カード側タイマ12を制御して時間計測を終了させる(ステップS6)。
このときにカード側タイマ12が計測した時間を制御時間TBとする。そして、カード側CPU11はカード側タイマ12から制御時間TBを取得する。この制御時間はカード側CPU11が動作命令を入力および解析してから制御命令を出力するまでの動作(制御動作)を行う時間であり、カード側CPU11がテスト部13を制御する時間になる。
テスト部13は制御命令を入力した後に、当該制御命令に基づいてリレー114をオフからオンに切り替えるリレー接続動作を行う(ステップS7)。リレー接続動作を行うのはテスト部13であり、この間カード側CPU11はリレー接続動作に関与しない。従って、テスト部13がリレー接続動作を終了するまでの間、カード側CPU11は待機した状態になる(ただし、テスト部13に影響を与えない範囲内で他の処理を行ってもよい)。テスト部13がリレー接続動作を終了したときには、テスト部13からカード側CPU11にリレー接続動作が終了した旨が知らされる。そして、カード側CPU11はコントローラ3のカード側CPU11に対して、リレー接続動作が終了した旨の動作終了通知およびカード側タイマ12が計測した制御時間TBを出力する(ステップS8)。動作終了通知を入力したカード側CPU11は、カード側タイマ12の時間計測を終了させる(ステップS9)。
このときにコントローラ側タイマ22が計測した時間は1つのテスト動作を行うために要するテスト時間(以下、テスト時間TAとする)になる。コントローラ側CPU20はコントローラ側タイマ22からテスト時間TAを取得する。以上により1つのテスト動作が終了する。テストプログラムには次に待機動作が記述されているため、コントローラ側CPU20は時間TW1だけ待機する。時間TW1を待機した後、ステップS1〜S9に従って電圧印加動作を行い、その後に時間TW2だけ待機を行う。時間TW2の待機を行った後に、ステップS1〜S9に従って測定動作を行い、時間TW3だけ待機を行う。以上により、テストプログラムに記述されている内容の実行が終了する。DUT2の試験を行うときには、この一連のテスト動作が繰り返し行われる。
コントローラ3は、制御カード1から出力される制御時間TBとコントローラ側タイマ22が計測するテスト時間TAとを取得する。従って、各テスト動作を1回行った後には、リレー接続動作のテスト時間TA1および制御時間TB1、電圧印加動作のテスト時間TA2および制御時間TB2、測定動作のテスト時間TA3およびTB3を取得することができる。コントローラ3は、各テスト動作のテスト時間TA(TA1〜TA3)だけではなく、制御時間TB(TB1〜TB3)を入力しているため、より詳細な時間を把握することができるようになる。
図1に示すように、コントローラ側CPU20にはディスプレイ等の表示装置25が接続されており、コントローラ側CPU20は適宜の画面レイアウトを作成して、テスト時間TAおよび制御時間TBの表示を行う。これにより、1つのテスト動作のテスト時間TAと制御カード1の制御時間TBとをそれぞれ視覚的に認識することができるようになる。なお、各テスト動作をそれぞれ複数回行って、平均値を取ることにより、さらに高精度なテスト時間TAおよび制御時間TBを認識するようにしてもよい。
また、コントローラ3には3枚の制御カード1A〜1Cが接続されており、それぞれの制御カード1A〜1Cより制御時間TBを入力する。3枚の制御カード1A〜1Cはそれぞれ信号伝達のタイミングが異なるため、カード側CPU11A〜11Cの制御動作の開始時刻および終了時刻は異なる。そこで、各制御カード1A〜1Cにおいて、時間を計測するのではなく時刻を計測することにより、各制御カード1A〜1Cにおける制御動作の開始時刻および終了時刻のずれを認識できるようになる。
次に、テスト時間TAの短縮化について図3および図4を用いて説明する。図3はテスト時間TAを短縮化する前のタイミングを示しており、図4は短縮化した後のタイミングを示している。図3および図4において、リレー接続動作における「CONN=FC」はリレー114をオフからオンに切り替える動作を、電圧印加動作における「V=5[v]」は電圧印加ドライバ112が5ボルトの電圧を印加する動作を、測定動作における「VM」は測定を行う動作を示している。各動作の内容はテストプログラムの記述内容に準じている。図3および図4において、3枚の制御カード1の動作タイミングを示しているが、それぞれ若干のタイミングのずれを生じている。なお、図3および図4において、リレー接続動作、電圧印加動作、測定動作における各時間がそれぞれ同じものを示しているが、実際にはそれぞれのテスト動作により所要時間は異なる。
最初に、テスト時間TAを短縮化する前のタイミングについて図3を用いて説明する。図3に示すように、制御時間TB1〜TB3が経過した後にそれぞれ待機時間TW1〜TW3(総称して待機時間TWとする)が設けられている。待機時間TWはテスト部13による動作後の状態を安定化させるための時間(所謂セトリング時間)を考慮した待ち時間となっている。リレー接続動作であれば、リレー114をオフからオンに切り替えたとしても、テスト部13とDUT2とが即時に安定した接続状態にならず、所定時間を経過した後に安定した状態になる。電圧印加動作であれば、電圧印加ドライバ112から5ボルトの電圧を印加したとしても、即時に5ボルトには安定せず、所定時間経過後に5ボルトに安定する。測定動作であれば、測定器113が測定を開始した直後に即時に安定した3ボルトの電圧を測定できず、所定時間経過後に安定した3ボルトの電圧を測定できる。
従って、何れのテスト動作であってもセトリング時間を考慮した時間を待機時間TWとしなければならない。前記したテストプログラムにおいて各テスト動作の後に待機時間TWを挿入しているのはこのためである。待機時間TWはセトリング時間だけではなく実際にテスト部13が稼動している時間を含んでいるが、リレー114をオフからオンに切り替える動作、電圧印加ドライバ112から電圧を印加する動作、或いは測定器113により測定を行う動作にはそれほど長い時間を要することなく終了する。一方、状態安定化のためのセトリング時間には比較的長い時間が必要になり、従って待機時間TWの大部分はセトリング時間のための時間となる。
セトリング時間はDUT2の仕様等により予め固定的に定められており、このセトリング時間を考慮した待機時間が待機時間記憶部23に記憶されている。コントローラ側CPU20がテストプログラムに記述された待機動作の命令を実行するときには、待機時間TWを待機時間記憶部23から読み出して行う。待機時間記憶部23にはTW1〜TW3が記憶されており、各待機時間に応じてコントローラ側CPU20が待機を行う。なお、待機時間記憶部23がコントローラ側CPU20のメモリに記憶されている場合には、当該メモリから待機時間TWを読み出すようにする。従って、テスト動作としては、制御動作の後に待機動作を設けるようにしているため、図3のように制御時間TBと待機時間TWとが繰り返されるようになる。
次に、テスト時間TAを短縮化した後のタイミングについて図4を用いて説明する。図4において、予め待機時間記憶部23に記憶されている待機時間TW1〜TW3はDUT2の仕様等により定まる待機時間(設定時間)であるため、以下仕様待機時間TW1〜TW3とする。また、この仕様待機時間TW1〜TW3を変更した待機時間を変更待機時間TN1〜TN3(総称して変更待機時間TN)として説明する。
待機動作はテスト部13の状態安定化のために設けた動作であり、この間にテスト部13を動作させることはできないが、カード側CPU11が制御動作を行うことは可能である。つまり、カード側CPU11とテスト部13とは独立して動作するものであり、カード側CPU11が制御動作(つまり、動作命令の解析等)を行ったとしても、テスト部13は何等の動作を行わないため、依然として待機状態を維持することになる。そこで、仕様待機時間TWから制御時間TBを減じた時間を変更待機時間TNとして設定する。
つまり、テスト部13が待機動作を行っている間にカード側CPU11は次の動作命令の解析等を行うことができるため、もともと設定されていた仕様待機時間TWと制御時間TBとをオーバラップすることができる。これにより、仕様待機時間TWから制御時間TBを減じた時間を変更待機時間TNとすることができ、時間短縮を図ることができる。図4にも示すように、リレー接続動作の仕様待機時間TW1と次に行われる電圧印加動作の制御時間TB2とをオーバラップさせて変更待機時間TN1(=TW1−TB2)としており、電圧印加動作の仕様待機時間TW2と次に行われる測定動作の制御時間TB3とをオーバラップさせて変更待機時間TN2(=TW2−TB3)としており、測定動作の仕様待機時間TW3と次に行われるリレー接続動作の制御時間TB1とをオーバラップさせて新たな変更待機時間TN3(=TW3−TB1)としている。
リレー接続動作であれば、本来必要な仕様待機時間TW1よりも短い時間が変更待機時間TN1として設定されているが、制御時間TB2においてテスト部13は依然として動作を行わず待機状態を維持している。このため、TN1とTB2との合計で本来必要な仕様待機時間TW1を確保できるため、TN1を短縮化した時間としても特段の問題はない。電圧印加動作および測定動作についても同様である。
待機時間記憶部23に記憶された仕様待機時間TW1〜TW3の変更は待機時間変更部24が行う。前述したように、コントローラ側CPU3には制御時間TB1〜TB3が各テスト動作後に入力されている。コントローラ側CPU20は、待機時間記憶部23に記憶されている仕様待機時間TW1、TW2、TW3を読み出して、入力した制御時間TB2、TB3、TB1を減算する。そして、TN1(=TW1−TB2)として、TN2(=TW2−TB3)として、TN3(=TW3−TB1)として、待機時間記憶部23に変更を行う。従って、待機時間記憶部23に記憶されていた待機時間はTWからTNに変更される。待機時間変更部24が待機時間記憶部23の変更を行うタイミングとしては、TB1〜TB3の全ての値が入力された後に一括して行うものであってもよいし、TB1〜TB3の値が入力した後に逐次行っていくものであってもよい。
以降、コントローラ側CPU20がテストプログラムを実行するときには、変更待機時間TNを待機時間記憶部23から取得して、待機動作を行うようになる。テストプログラムそのものは変更されないが、待機動作を行うときに取得する待機時間がTWからTNに変更される。従って、もともと設定されていた仕様待機時間TWよりも短縮化した変更待機時間TNでリレー接続動作、電圧印加動作、測定動作の一連の動作を繰り返し行っていくようになるため、全体として大幅な時間短縮を図ることができるようになる。
例えば、各待機時間TWを10[ms]、各制御時間TBを2[ms]としたときに、リレー接続動作、電圧印加動作、測定動作の各テスト動作が10万回繰り返されるとしたときには、1つのテスト動作で2[ms]×3=6[ms]の時間を短縮でき、これが10万回繰り返されるため、合計として、6×100,000=600,000[ms]、つまり6,000秒の時間短縮効果が得られるようになる。
以上説明したように、制御カードにカード側タイマを設けて、カード側タイマが制御時間を計測し、コントローラに設けた待機時間変更部がもともと設定されていたDUTの仕様等により定まる待機時間から制御時間を減じた時間を待機時間として変更を行っている。これにより、制御時間分を短縮化でき、テスト動作全体としては大幅に時間短縮を図ることができる。このため、試験速度は飛躍的に向上し、また生産性も大きく向上するようになる。
以上の例では、待機時間変更部24がコントローラ側CPU20から制御時間TBを取得して、待機時間TWを自動的に変更する例を示したが、例えばコントローラ側CPU20が制御時間TBおよびテスト時間TAを表示装置25に表示を行って、画面上に表示されている内容に従って、入力装置26を用いて待機時間記憶部23に記憶されている待機時間TWを変更するようにしてもよい。半導体試験装置の運用によっては、コントローラ3により自動的に待機時間TWを変更することが望ましくない場合や待機時間の変更幅を手動で設定したい場合もある。そこで、待機時間変更部24による待機時間TWの変更を自動で行うか手動で行うかのモードを選択するモード選択手段を例えばディスプレイに表示させておき、何れのモードで行うかを適宜自由に選択できるようにすることもできる。手動で待機時間TWの変更を行う場合には、表示装置25に表示されている制御時間TBとテスト時間TAと待機時間TWとを視覚的に認識して、入力装置26を用いて自由に待機時間TWを変更できるようになる。
また、制御時間TBの全部を設定時間TWから減じた時間を待機時間TNとすることで、大幅な時間短縮を図ることができるが、制御時間TBの一部を設定時間TWから減じた時間を待機時間TNとしてもよい。この場合には、時間短縮の効果は全部の場合に比べて低くなるが、他の事情により制御時間TBの全部を減じることができないような場合であっても、制御時間TBの一部を減じることにより時間短縮の効果は得られる。
1 制御カード 2 DUT
3 コントローラ 12 カード側タイマ
13 テスト部 20 コントローラ側CPU
21 プログラム記憶部 22 コントローラ側タイマ
23 待機時間記憶部 24 待機時間変更部
25 表示装置 26 入力装置
3 コントローラ 12 カード側タイマ
13 テスト部 20 コントローラ側CPU
21 プログラム記憶部 22 コントローラ側タイマ
23 待機時間記憶部 24 待機時間変更部
25 表示装置 26 入力装置
Claims (6)
- 被試験デバイスに接続される1または複数の制御カードと当該制御カードの制御を行うコントローラとを備える半導体試験装置であって、
前記制御カードに備えられ、この制御カードに設けた前記被試験デバイスのテストを行うテスト実行部を制御するために要する制御時間を計測するカード側タイマと、
前記コントローラに備えられ、前記カード側タイマが計測する前記制御時間に基づいて前記被試験デバイスのテストを行うために確保される待機時間を変更する待機時間変更部と、
を備えたことを特徴とする半導体試験装置。 - 前記待機時間変更部は、予め設定された設定時間から前記カード側タイマが測定する前記制御時間を減じた時間に前記待機時間を変更する
ことを特徴とする請求項1記載の半導体試験装置。 - 前記カード側タイマが計測する前記制御時間を表示する表示装置と、
前記表示装置に表示される前記制御時間に基づいて前記待機時間を変更する入力装置と、
を備えたことを特徴とする請求項1記載の半導体試験装置。 - 前記コントローラは、前記被試験デバイスの前記テストに要するテスト時間を計測するコントローラ側タイマを備え、
前記表示装置に前記テスト時間と前記制御時間とを表示すること
を特徴とする請求項3記載の半導体試験装置。 - 被試験デバイスに接続される1または複数の制御カードと当該制御カードの制御を行うコントローラとを用いて前記被試験デバイスのテストを行う半導体試験方法であって、
前記制御カードに設けたテスト実行部を制御するために要する制御時間を計測するステップと、
前記制御時間に基づいて前記被試験デバイスのテストを行うために確保される待機時間を変更するステップと、
変更された待機時間に基づいて前記被試験デバイスのテストを行うステップと、
を有することを特徴とする半導体試験方法。 - 被試験デバイスに接続される1または複数の制御カードと当該制御カードの制御を行うコントローラとを用いて前記被試験デバイスのテストを行う半導体試験プログラムを、
前記制御カードに設けたテスト実行部を制御するために要する制御時間を計測させる手段、
前記制御時間に基づいて前記被試験デバイスのテストを行うために確保される待機時間を変更する手段、
変更された待機時間に基づいて前記被試験デバイスのテストを行う手段、
として機能させることを特徴とする半導体試験プログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008282852A JP2010112716A (ja) | 2008-11-04 | 2008-11-04 | 半導体試験装置、半導体試験方法および半導体試験プログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008282852A JP2010112716A (ja) | 2008-11-04 | 2008-11-04 | 半導体試験装置、半導体試験方法および半導体試験プログラム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010112716A true JP2010112716A (ja) | 2010-05-20 |
Family
ID=42301393
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008282852A Pending JP2010112716A (ja) | 2008-11-04 | 2008-11-04 | 半導体試験装置、半導体試験方法および半導体試験プログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010112716A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8860452B2 (en) | 2010-12-20 | 2014-10-14 | Samsung Electronics Co., Ltd | Tester to test a plurality of semiconductor devices and test system including the same |
-
2008
- 2008-11-04 JP JP2008282852A patent/JP2010112716A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8860452B2 (en) | 2010-12-20 | 2014-10-14 | Samsung Electronics Co., Ltd | Tester to test a plurality of semiconductor devices and test system including the same |
US9557366B2 (en) | 2010-12-20 | 2017-01-31 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Tester to simultaneously test different types of semiconductor devices and test system including the same |
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