JP2010087475A - 半導体装置の製造方法及び製造装置 - Google Patents
半導体装置の製造方法及び製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010087475A JP2010087475A JP2009172004A JP2009172004A JP2010087475A JP 2010087475 A JP2010087475 A JP 2010087475A JP 2009172004 A JP2009172004 A JP 2009172004A JP 2009172004 A JP2009172004 A JP 2009172004A JP 2010087475 A JP2010087475 A JP 2010087475A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing chamber
- substrate
- pressure
- ultraviolet light
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 58
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 54
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 134
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 134
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 114
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 93
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 86
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 57
- 230000006837 decompression Effects 0.000 claims abstract description 30
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims abstract description 13
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 60
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000011946 reduction process Methods 0.000 claims description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 40
- 239000000463 material Substances 0.000 description 30
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 27
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 25
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 23
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 23
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 19
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 17
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 16
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 15
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 12
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 11
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 9
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 9
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 9
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 8
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 5
- 238000001505 atmospheric-pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 4
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 4
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- -1 polysiloxane Polymers 0.000 description 3
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 3
- WZJUBBHODHNQPW-UHFFFAOYSA-N 2,4,6,8-tetramethyl-1,3,5,7,2$l^{3},4$l^{3},6$l^{3},8$l^{3}-tetraoxatetrasilocane Chemical compound C[Si]1O[Si](C)O[Si](C)O[Si](C)O1 WZJUBBHODHNQPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018557 Si O Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 238000005429 filling process Methods 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 2
- 229920003209 poly(hydridosilsesquioxane) Polymers 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Inorganic materials [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 2
- 238000009489 vacuum treatment Methods 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019001 CoSi Inorganic materials 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DHXVGJBLRPWPCS-UHFFFAOYSA-N Tetrahydropyran Chemical compound C1CCOCC1 DHXVGJBLRPWPCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- HMMGMWAXVFQUOA-UHFFFAOYSA-N octamethylcyclotetrasiloxane Chemical compound C[Si]1(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O1 HMMGMWAXVFQUOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N octamethyltrisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001709 polysilazane Polymers 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- WQJQOUPTWCFRMM-UHFFFAOYSA-N tungsten disilicide Chemical compound [Si]#[W]#[Si] WQJQOUPTWCFRMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021342 tungsten silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/40—Oxides
- C23C16/401—Oxides containing silicon
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/314—Inorganic layers
- H01L21/316—Inorganic layers composed of oxides or glassy oxides or oxide based glass
- H01L21/31604—Deposition from a gas or vapour
- H01L21/31633—Deposition of carbon doped silicon oxide, e.g. SiOC
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/48—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating by irradiation, e.g. photolysis, radiolysis, particle radiation
- C23C16/482—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating by irradiation, e.g. photolysis, radiolysis, particle radiation using incoherent light, UV to IR, e.g. lamps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/02126—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material containing Si, O, and at least one of H, N, C, F, or other non-metal elements, e.g. SiOC, SiOC:H or SiONC
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/02164—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material being a silicon oxide, e.g. SiO2
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/022—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being a laminate, i.e. composed of sublayers, e.g. stacks of alternating high-k metal oxides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02205—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition
- H01L21/02208—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si
- H01L21/02214—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si the compound comprising silicon and oxygen
- H01L21/02216—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si the compound comprising silicon and oxygen the compound being a molecule comprising at least one silicon-oxygen bond and the compound having hydrogen or an organic group attached to the silicon or oxygen, e.g. a siloxane
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02263—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase
- H01L21/02271—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition
- H01L21/02274—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition in the presence of a plasma [PECVD]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02263—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase
- H01L21/02271—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition
- H01L21/02277—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition the reactions being activated by other means than plasma or thermal, e.g. photo-CVD
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02205—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition
- H01L21/02208—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si
- H01L21/02211—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si the compound being a silane, e.g. disilane, methylsilane or chlorosilane
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02263—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase
- H01L21/02271—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02263—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase
- H01L21/02271—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition
- H01L21/0228—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition deposition by cyclic CVD, e.g. ALD, ALE, pulsed CVD
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/314—Inorganic layers
- H01L21/318—Inorganic layers composed of nitrides
- H01L21/3185—Inorganic layers composed of nitrides of siliconnitrides
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
- Element Separation (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】半導体装置の製造方法において、基板を処理室内へ搬入する工程と、炭素及び水素を含むシリコン化合物ガスを処理室内へ供給して、処理室内を第1の圧力の状態にする工程と、処理室内を前記第1の圧力にした状態において、処理室内へ供給されたシリコン化合物ガスに紫外光を照射して、基板上にシリコン酸化膜を形成する工程と、処理室内を前記第1の圧力よりも低い第2の圧力の状態にする減圧処理工程とを行う。これにより、高アスペクト比で狭い幅の溝内に、緻密なシリコン酸化膜を形成することができる。
【選択図】図1
Description
その理由の1つは、従来の常圧CVD法等では、溝内の開口部における絶縁膜の成膜速度が、溝内の奥部(底部)における成膜速度よりも速いためである。溝内の開口部における成膜速度が、奥部よりも速いため、奥部へ絶縁膜を十分埋め込む前に、開口部が絶縁膜で塞がれてしまう。このように、溝内の開口部が奥部よりも厚く成膜されることを、オーバーハング(over-hang)と呼ぶ。
反応生成物の基板への付着確率が1に近い供給律速の条件では、溝内の開口部への絶縁膜の成膜速度が、溝内の奥部への成膜速度よりも速いため、溝内の奥部へ絶縁膜を十分埋め込む前に、溝内の開口部が絶縁膜で塞がれて、ボイドと呼ばれる空隙が形成される。反応生成物の基板への付着確率が0に近い反応律速の条件でも、絶縁膜は溝の両側の側壁から成長するため、両側の絶縁膜の継ぎ目で、シームと呼ばれるスリット状の欠陥が発生する。このシームという現象は、原理的に100%の段差被覆性を有するALD(Atomic Layer Deposion)法の場合でも、不可避である。微細化技術に対応するALD法に関する基板処理装置が、例えば、特許文献1に開示されている。
オーバーハングによる溝内の開口部の閉塞に対して、例えば、HDP(High Density Plasma)CVD法では、成膜後に、アルゴン等の不活性ガスによるイオンエッチングを行い、成膜時に形成されたオーバーハングを削り、溝内の開口部の修復を行う例がある。しかしながら、この方法でも、溝の幅が65nm以下、かつアスペクト比が5以上の場合は、ボイドを形成することなく、溝内の奥部へ絶縁膜を埋め込むことは困難である。
しかし、高温水蒸気酸化プロセスは、先に形成されているトンネル絶縁膜の信頼性を劣化させやすい。そのため、水蒸気酸化プロセスの温度や水蒸気量の最適化が図られているが、その最適化は簡単ではない。水蒸気酸化条件(温度等)を軽減し過ぎた場合には、微細な電極間内部でのPSZ膜の酸化反応が充分に進行しないため、素子間の耐圧が低下し、信頼性不良が発生する。
すなわち、基板を処理室内へ搬入する工程と、炭素及び水素を含むシリコン化合物ガスを処理室内へ供給して、処理室内を第1の圧力の状態にする工程と、処理室内を前記第1の圧力にした状態において、処理室内へ供給されたシリコン化合物ガスに紫外光を照射して、基板上にシリコン酸化膜を形成する工程と、処理室内を前記第1の圧力よりも低い第2の圧力の状態にする減圧処理工程と、を有する半導体装置の製造方法。
本発明では、波長が200nm以下の真空紫外光を用いることにより、シリコン化合物ガスを効率的に分解するようにしている。波長が200nmより長いと、シリコン化合物ガスを効率的に分解できない。
基板処理室1と発光部4とは、石英製の透過窓5により、気密に分離されている。したがって、発光部4の内部の希ガスは、基板処理室1に流出せず、また、基板処理室1内のシリコン化合物ガス等が、発光部4内に流入することもない。
透過窓5の内側表面(基板処理室1側の面)と、サセプタ3上に載置された基板2との間の距離は、5〜15mmが好ましい。この距離が小さすぎると、シリコン化合物ガスに紫外光が照射される時間が短いため、シリコン化合物ガスが活性化されにくく、分解しにくい。また、この距離が大きすぎると、紫外光により活性化したシリコン化合物ガスが活性を失いやすい。
また、シリコン化合物ガスを処理室1内に供給するときは、必要に応じ、不活性ガス源43から同時に不活性ガスを供給してもよい。不活性ガスとしては、アルゴン、ヘリウム、窒素ガス等を用いることができる。
前記制御部9は、図示しない操作部、入出力部等を備えており、レシピ(成膜プロセスの制御シーケンス)に基づく温度制御や圧力制御、流量制御および機械駆動制御等を行う。また、制御部9は、ハードウェア構成として、CPU(中央演算ユニット)とメモリとを備えるものである。
(第1実施例)
まず、本発明の第1実施例を、図2を用いて説明する。図2は、本発明の第1実施例における処理工程を示す図である。第1実施例は、シリコン基板上の素子分離領域に形成されたトレンチ(溝)内に、図1の半導体製造装置100を用いて、真空紫外光CVD法により、シリコン酸化膜を埋め込むものである。
(A1)トレンチ形成工程
まず、シリコン基板上の素子分離領域に、STI法により、素子分離溝を所望の深さまで形成する。はじめに、図2(a)に示すように、シリコン基板2の表面に、公知の熱酸化法によりシリコン酸化膜(SiO2)71を膜厚が5nm程度となるよう形成する。次に、このシリコン酸化膜の上に、公知の減圧CVD法により、シリコン窒化膜(SiN)72を膜厚が200nm程度となるよう堆積する。このシリコン窒化膜72は、シリコン基板に素子分離溝を形成する際の耐エッチングマスクとして使用するものである。
次に、図2(b)に示すように、リソグラフィ工程によってレジストパターン73を形成する。その後に、図2(c)に示すように、RIE(Reactive Ion Etcing)工程により、シリコン窒化膜72及びシリコン酸化膜71を選択的にエッチングし、素子分離溝を形成する際の耐エッチングマスク74を形成する。この状態で、シリコン基板2をRIE工程によってエッチングして、図2(d)に示すように、素子分離溝75を形成する。
上述した(A1)トレンチ形成工程の後、公知の熱酸化法等により熱酸化処理等を行うことにより、素子分離溝の内面にシリコン酸化膜(図示しない)を形成する。上述したように、素子分離溝形成のための耐エッチングマスク74は、シリコン窒化膜72を含んで形成される。このシリコン窒化膜72と、後述する真空紫外光CVD処理により形成されるシリコン酸化膜との界面密着性はあまりよくない。したがって、素子分離溝75を形成した後、後述する真空紫外光CVD処理の前に、素子分離溝75の内面とシリコン窒化膜72の表面に、真空紫外光CVD処理以外の熱酸化処理等によりシリコン酸化膜を形成することが望ましい。これによって、真空紫外光CVD処理によって形成されるシリコン酸化膜との界面密着性が向上する。なお、この熱酸化処理工程は、常に必要ではなく、適宜、省略することができる。
次に、素子分離溝75が形成された基板2が、基板搬入口(図示しない)から基板処理室1内のサセプタ3に載置される。続いて、排気管64を介して真空ポンプ63により、基板処理室1の内部が所定の真空度(例えば、20Pa)に減圧され、ヒータユニット6により、基板2が所定の温度(例えば、80℃)に昇温される。
次に、図2(e)に示すように、真空紫外光CVDプロセスを用いて、基板上にシリコン酸化膜76を形成する。詳しくは次のとおりである。
成膜工程において、所定の材料ガス(シリコン化合物ガス)が、シリコン化合物ガス供給源13からガス導入管14を介して基板処理室1に供給される。このとき、窒素ガス等の不活性ガスが、不活性ガス供給源43から処理室1に供給されるようにしてもよいが、本実施例では、不活性ガスを供給しない。材料ガスが、基板処理室1に供給されている状態において、真空ポンプ63により基板処理室1内を所定の圧力に調整し、材料ガスに向けて、発光部4から紫外光を照射する。
材料ガスである有機シリコンは、Si−O−Si−R結合(Rは低級アルキル基)の状態にある。本実施例では、材料ガスのシリコン化合物ガスには、ポリシロキサンを用いている。紫外光照射により、ポリシロキサンのSi−O−Si−R結合が分解、すなわち、Rが分離しシロキサン(Si−O結合)になるとともに、シロキサンが励起されて高分子化し、シロキサン(Si−O結合)を含むシリコン酸化膜が生成される。このとき、照射する紫外光の強度を、基板2の表面において3mW/cm2以上、100mW/cm2以下とするのがよい。紫外光の強度を、3mW/cm2以上とすることにより、成膜速度を向上し、また、成膜の表面が平坦となるように、成膜形成中における成膜の流動性を高く維持することができる。本実施例では、50mW/cm2とした。
なお、紫外光の強度が大きいほど、成膜の流動性は高くなる。また、材料ガスの圧力が高いほど、分解される材料ガスの分子が多くなるので、成膜の流動性が高くなる。
ここで、成膜の流動性とは、基板に付着した反応生成物の移動し易さである。基板に付着した反応生成物は、基板上において、界面張力により、自身の密度の小さい所へ移動しようとし、また、平坦になろうとする。したがって、成膜の流動性が高いと、溝の奥部まで成膜されやすくなる。
なお、上記の例では、材料ガスを基板処理室1に供給しつつ紫外光を照射するようにしているが、材料ガスを基板処理室1に供給した後、材料ガス供給を停止した状態で、紫外光を照射するようにすることもできる。
(E1)減圧処理工程
その後、図2(f)に示すように、前記成膜工程により堆積したシリコン酸化膜76を減圧処理することによって、シリコン酸化膜76中に含まれる残留有機物濃度の低い、緻密なシリコン酸化膜とする。減圧処理時においては、材料ガスの供給と紫外光の照射を停止し、停止後、基板処理室1内の雰囲気を排気する。こうすることにより、基板処理室1内の圧力が、前記(D1)成膜工程の成膜時における圧力よりも低くなるので、シリコン酸化膜76中に含まれる残留有機物濃度を低くして、緻密な膜とすることができる。
この減圧処理は、上記(D1)成膜工程の後、約30秒以内に0.1Pa以下とすることが望ましい。真空紫外光の照射を停止した後、早急に減圧処理することにより、分解された状態のシリコン化合物を処理することが可能となる。真空紫外光の照射を停止した後、約30秒以内であれば、シリコン化合物が分解された状態、つまり成膜の流動性の高い状態であるので、素子分離溝内にシリコン酸化膜あるいは絶縁膜を形成することが容易となる。逆に、真空紫外光の照射を停止した後、減圧処理するまでの時間が長い場合は、分解された状態のシリコン化合物の一部が再結合してしまい、成膜の流動性を失ってしまう可能性がある。その場合、素子分離溝内にシリコン酸化膜あるいは絶縁膜を形成することはより困難となる。したがって、真空紫外光が照射されたシリコン化合物が、所望の流動性を有している間に、減圧処理することが望ましい。また、真空紫外光の照射を停止した後、早急に減圧処理する場合は、減圧処理前に真空紫外光の照射を停止することが可能となるので、真空紫外光を発光するランプの寿命を延ばすことができる。
なお、減圧処理時において、紫外光を材料ガスに照射するようにしてもよい。このようにすると、減圧処理工程においても、基板に付着したシリコン化合物ガスが紫外光により分解され、成膜の流動性が高まり、素子分離溝内にシリコン酸化膜あるいは絶縁膜を形成することが、より容易となる。
また、上記減圧処理は、材料ガスの供給を停止することなく行うこともできる。上記(D1)成膜工程よりも、基板処理室1内の圧力を低くすることが必要であるから、そのため、例えば、基板処理室1内へのガス供給量を(D1)成膜工程より減少させるか、又は、基板処理室1内からのガス排気量を(D1)成膜工程より増加させるようにする。
(M)成膜・減圧工程
(M1)最初に、材料ガスの供給と紫外光の照射を行いながら、流動限界以下の圧力である10Pa以下の圧力で、つまり、成膜の流動性がほとんどないような低い圧力で、所定の基板温度(0℃以上100℃以下)で、1〜2nm程度の膜厚の成膜を行う。このようにすると、材料ガスの分子当たりのエネルギが大きいので、基板2のシリコンと密着性がよく、残留有機物濃度の低い、耐熱性の優れた膜を生成できる。
(M2)次に、材料ガスの供給と紫外光の照射を行いながら、高い成膜速度が得られる所定の圧力(20Pa以上100Pa以下)、及び、所定の基板温度(0℃以上100℃以下)で、所定の膜厚、例えば、溝の幅の1/4程度まで成膜を行う。
(M3)材料ガスの供給と紫外光の照射を停止し、停止後、基板処理室1内の雰囲気を排気する。こうすることにより、基板処理室1内の圧力が、前記(M2)の成膜時における圧力よりも低くなるので、膜中に含まれる残留有機物濃度を低くして、緻密な膜とすることができる。すなわち、(M3)工程は、上記(E1)減圧処理工程に相当するものである。このとき、排気中の有機物の分圧が、所定の分圧となるまで、残留ガス計測計8でモニタしながら排気するのが好ましい。この所定の分圧は、適切な値を予め実験等により求めておく。あるいは、排気中の有機物の分圧が所定の分圧となるまでの所定の時間を、予め計測しておき、前記所定の時間、排気するようにしてもよい。
(M4)基板処理室1内の雰囲気を排気した後、材料ガスを供給し、基板処理室1内が所定の圧力(20Pa以上100Pa以下)、及び、所定の基板温度(0℃以上100℃以下)になった後、材料ガスに向けて、発光部4から紫外光を照射する。こうして、所定の膜厚、例えば、溝の幅の3/4程度まで成膜を行う。
(M5)前記(M3)と同様に、材料ガスの供給と紫外光の照射を停止し、停止後、基板処理室1内の雰囲気を排気する。このとき、排気中の有機物の分圧が、所定の分圧となると、排気を終了する。
(M6)基板処理室1内の雰囲気を排気した後、材料ガスを供給し、基板処理室1内が所定の圧力(20Pa以上100Pa以下)、及び、所定の基板温度(0℃以上100℃以下)になった後、材料ガスに向けて、発光部4から紫外光を照射する。こうして、所定の膜厚となるまで、つまり、溝の内部を完全に埋めるまで成膜を行う。
以上の(M2)から(M6)のように、成膜と排気を繰り返すことにより、残留有機物の少ない平坦な絶縁膜を溝の奥部に形成することができる。
なお、上記の(M2)(M4)(M6)における圧力、基板温度は、すべて同一の圧力、基板温度としてもよいし、必要に応じ、異なる圧力、基板温度としてもよい。例えば、(M2)では20〜30Pa、(M4)では30〜40Pa、(M6)では40〜100Paとする。このようにすると、(M2)よりも(M4)の成膜の流動性を高くすることができ、また、(M4)よりも(M6)の成膜の流動性を高くすることができる。したがって、(M2)よりも溝の幅が小さくなっている(M4)や、(M4)よりも溝の幅が小さくなっている(M6)の状態において、絶縁膜を溝内に形成しやすくなる。
また、(M1)と(M2)の間において、(M3)と同様な減圧処理を行うようにしてもよい。しかし、(M1)においては、(M2)よりも低い圧力で、(M2)よりも薄い成膜を行っているので、この(M1)直後の減圧処理は、必ずしも必要ではない。
以上のようにして所望の絶縁膜が形成された後に、窒素ガス等の不活性ガスが、不活性ガス供給源43から処理室1に供給される。不活性ガスにより、基板処理室1内が置換され、大気圧に復帰した後に、処理済みの基板2が処理室1の外部に搬出される。
その後、図1の半導体製造装置100とは別の公知の加熱装置において、酸素等の酸化性雰囲気または不活性雰囲気中で、上記(D1)成膜工程よりも高い温度で、基板2を熱処理することにより、さらにシリコン酸化膜76中の有機物密度を低くし、シリコン酸化膜76を緻密化する。この緻密化の熱処理は、700℃から1100℃の範囲で行うことが望ましい。この熱処理温度は高いほどよいが、素子分離溝の埋め込み工程よりも前の工程で形成された形成物により制限される。例えば、後述する第3実施例のように、前の工程で電極を形成した場合は、700℃以上の高温で加熱すると、電極の材質を変質させる。したがって、電極の材質に悪影響を与えない程度の温度で加熱する必要がある。
なお、ここでは加熱処理を、半導体製造装置100とは別の加熱装置で実施しているが、これに限るものではなく、前記(F1)基板搬出工程の前に、基板処理室1内の基板載置部3のヒータ6により加熱処理することもできる。しかし、半導体製造装置100で加熱処理すると、加熱処理に多くの時間をとられる。したがって、別の加熱装置で加熱処理する方が、スループットが向上するので好ましい。
(H1)CMP工程
シリコン酸化膜を緻密化した後に、図2(g)に示すように、CMP(Chemical Mechanical Polishing:化学的、機械的研磨)処理によって、基板上の不要なシリコン酸化膜を除去し、基板2の表面を平坦化する。
次に、図3を用いて第2実施例を説明する。図3は、本発明の第2実施例における処理工程を示す図である。第2実施例は、第1実施例と同様に、シリコン基板上の素子分離領域に形成されたトレンチ内に、真空紫外光CVD法により、シリコン酸化膜を埋め込むものである。しかし、第2実施例では、第1実施例と異なり、素子分離溝内の一部に対し、真空紫外光CVD法によりシリコン酸化膜を埋め込むものである。
第2実施例においては、(A2)トレンチ形成工程、(B2)シリコン酸化膜形成工程、(C2)基板搬入工程、(D2)成膜工程、(E2)減圧処理工程、(F2)基板搬出工程、(P)プラズマCVD処理工程、(G2)熱処理工程、(H2)CMP工程の順に処理が行われる。(D2)成膜工程、(P)プラズマCVD処理工程以外の各工程は、それぞれ、第1実施例における各工程と同じ処理なので、説明を省略する。
(D2)成膜工程においても、第1実施例における(D1)成膜工程と同様の真空紫外光CVD処理条件(材料ガス種、圧力、温度等)で、素子分離溝内にシリコン酸化膜を堆積して埋め込む。しかし、(D2)成膜工程においては、図3(a)に示すように、真空紫外光CVD処理により素子分離溝内に堆積するシリコン酸化膜76の表面81は、素子部82の表面83より低い位置とする。その結果、基板2の表面には凹凸が生じる。図3(a)においては、素子部82のシリコン窒化膜72の下方のシリコン酸化膜71の下端に相当する位置まで、すなわち、基板2のシリコン部分の表面位置まで、素子分離溝内にシリコン酸化膜76が形成されている。
(D2)成膜工程の後、図3(b)に示すように、(E2)減圧処理工程により、真空紫外光CVD処理により堆積したシリコン酸化膜76を減圧処理することによって、緻密なシリコン酸化膜とする。
次に、(F2)基板搬出工程において、基板処理室1内から基板2を搬出した後、(G2)熱処理工程において、酸素等の酸化性雰囲気又は不活性雰囲気中で熱処理することにより、さらにシリコン酸化膜76を緻密化する。
その後、図3(d)に示すように、(H2)CMP工程において、基板上の不要なシリコン酸化膜85を除去する。
この第2実施例によると、素子分離溝の埋め込み工程に、真空紫外光CVD処理によるシリコン酸化膜76の堆積と、プラズマCVD処理又は熱CVD処理によるシリコン酸化膜85の堆積とが必要となり、工程数が増加する。しかし、(H2)CMP工程において除去される素子分離溝内のシリコン酸化膜は、(P)プラズマCVD処理工程において堆積したシリコン酸化膜85となる。そのため、素子分離溝埋め込み工程が終了した後、シリコン窒化膜72およびシリコン酸化膜85を除去するためのウエットエッチング処理を実施する際に、素子部のシリコン窒化膜72と、素子分離溝内に埋め込まれたシリコン酸化膜85とのエッチングレート差が小さくなり、該エッチングレート差に起因する基板表面の形状劣化(凹凸)の発生が抑制される。
第3実施例は、半導体基板上に形成されたトランジスタ等の素子電極と素子電極の間に、層間絶縁膜(PMD膜)として、真空紫外光CVD法により、シリコン酸化膜を埋め込むものである。
図4を用いて第3実施例を説明する。図4は、本発明の第3実施例における処理工程を示す図である。第3実施例においては、(J)電極形成工程、(K)サイドウォール形成工程、(B3)シリコン酸化膜形成工程、(C3)基板搬入工程、(D3)成膜工程、(E3)減圧処理工程、(F3)基板搬出工程、(G3)熱処理工程、(H3)CMP工程の順に処理が行われる。(J)電極形成工程、(K)サイドウォール形成工程以外の各工程は、それぞれ、第1実施例における各工程と同じ処理なので、説明を省略する。
(J)電極形成工程において、はじめに、図4(a)に示すように、シリコン基板2の表面に、公知の熱酸化法により、ゲート絶縁膜(SiO2)91を膜厚が約8nm以下となるよう形成する。さらに、その上にゲート電極膜92として、多結晶シリコン膜を膜厚が100nm程度となるよう形成する。前記電極膜92としては、WSi(タングステンシリサイド)、CoSi(コバルトシリサイド)等を用いた積層膜とすることも可能である。その場合の膜厚は100〜200nmの範囲となる。その後、その上にシリコン窒化膜(SiN)93を形成する。
次に、リソグラフィ工程によってレジストパターンを形成した後に、RIE工程により、シリコン窒化膜93とゲート電極膜92をエッチングすることによって、図4(b)に示すように、ゲート電極95を形成する。
この後、(C3)基板搬入工程において、処理室1内に基板2を搬入した後、(D3)成膜工程において、図4(d)に示すように、図1の装置100を用いて真空紫外光CVD処理を行い、基板2上にシリコン酸化膜97を形成する。なお、第1実施例と同様に、(C3)基板搬入工程の前に、(B3)シリコン酸化膜形成工程を行い、サイドウォール膜であるシリコン窒化膜上に、予めシリコン酸化膜を形成しておいてもよい。
(E3)減圧処理工程の後、(F3)基板搬出工程において、処理済の被処理基板2を基板処理室1から搬出する。
基板2を基板処理室1から搬出した後、(G3)熱処理工程において、公知の加熱装置によって、酸素等の酸化性雰囲気あるいは窒素等の不活性雰囲気中で、熱処理を行う。この熱処理は、電極の材質を変質させないよう、300〜600℃の範囲で行うことが望ましい。このように加熱処理を行うことにより、さらにシリコン酸化膜97を緻密化する。
上記(G3)熱処理工程の後に、図4(f)に示すように、(H3)CMP工程において、CMP処理によってシリコン酸化膜97を平坦化し、その後、公知のプラズマCVD法等によりシリコン酸化膜98を堆積し、その上に第2のゲート電極を形成する。
このように半導体装置の製造方法を構成すると、高アスペクト比で狭い幅の溝内に、緻密なシリコン酸化膜を形成することができる。なお、前記減圧処理工程において、シリコン化合物ガスの処理室内への供給を停止しないようにすることも可能である。
このように半導体装置の製造方法を構成すると、高アスペクト比で狭い幅の溝内に、緻密な絶縁膜を形成することができる。なお、前記減圧処理工程において、シリコン化合物ガスの処理室内への供給を停止しないようにすることも可能である。
このように半導体装置の製造方法を構成すると、熱CVD処理又はプラズマCVD処理により形成した絶縁膜と、シリコン窒化膜のエッチングレート差が小さいので、後工程においてシリコン窒化膜のウエットエッチング処理を実施する際に、前記エッチングレート差に起因する基板表面の形状劣化(凹凸化)を抑制することができる。
このように半導体装置の製造方法を構成すると、高アスペクト比で狭い幅の溝内に、緻密なシリコン酸化膜を形成することができる。
このように半導体装置の製造方法を構成すると、減圧処理工程においても、基板に付着したシリコン化合物ガスが紫外光により分解され、素子分離溝内にシリコン酸化膜あるいは絶縁膜を形成することがより容易となる。
このように半導体装置の製造方法を構成すると、素子分離溝内にシリコン酸化膜あるいは絶縁膜を、効率よく形成することができる。
このように半導体装置の製造方法を構成すると、素子分離溝内にシリコン酸化膜あるいは絶縁膜を、効率よく形成することができる。
素子間を分離する素子分離溝が形成された基板を処理室内へ搬入する工程と、炭素及び水素を含むシリコン化合物ガスを処理室内へ供給して、処理室内を第1の圧力にした状態において、処理室内へ紫外光を照射して、前記素子分離溝内に絶縁膜を形成する第1の絶縁膜形成工程と、前記シリコン化合物ガスの処理室内への供給を停止した状態で、処理室内を前記第1の圧力よりも低い第2の圧力の状態にする第1の減圧処理工程と、前記シリコン化合物ガスを処理室内へ供給して、処理室内を第3の圧力にした状態において、処理室内へ紫外光を照射して、前記素子分離溝内に絶縁膜を形成する第2の絶縁膜形成工程と、前記シリコン化合物ガスの処理室内への供給を停止した状態で、処理室内を前記第3の圧力よりも低い第4の圧力の状態にする第2の減圧処理工程と、を有する半導体装置の製造方法。
このように半導体装置の製造方法を構成すると、絶縁膜形成工程と減圧処理工程をそれぞれ1回だけ行う場合よりも、不純物の少ない絶縁膜を形成することができる。なお、前記減圧処理工程において、シリコン化合物ガスの処理室内への供給を停止しないようにすることも可能である。
このように半導体装置の製造方法を構成すると、溝の幅が比較的広い状態では、第1の絶縁膜形成工程により、流動性は低いが不純物の少ない絶縁膜を形成し、溝の幅が比較的狭い状態では、第2の絶縁膜形成工程により、不純物は増えるが流動性の高い絶縁膜を形成することができる。したがって、高アスペクト比で狭い幅の溝内に、緻密な絶縁膜を形成することが容易となる。
このように半導体製造装置を構成すると、高アスペクト比で狭い幅の溝内に、緻密なシリコン酸化膜を形成することができる。なお、前記減圧処理を行う工程において、シリコン化合物ガスの処理室内への供給を停止しないようにすることも可能である。
このように半導体装置の製造方法を構成すると、高アスペクト比で狭い幅の溝内に、緻密なシリコン酸化膜を形成することができる。
このように半導体装置の製造方法を構成すると、絶縁膜形成工程において素子分離溝内に絶縁膜を形成する際に、形成される絶縁膜と素子分離溝内表面との界面密着性が向上する。
Claims (4)
- 基板を処理室内へ搬入する工程と、
炭素及び水素を含むシリコン化合物ガスを処理室内へ供給して、処理室内を第1の圧力の状態にする工程と、
処理室内を前記第1の圧力にした状態において、処理室内へ供給されたシリコン化合物ガスに紫外光を照射して、基板上にシリコン酸化膜を形成する工程と、
前記シリコン化合物ガスの処理室内への供給を停止した状態で、処理室内を前記第1の圧力よりも低い第2の圧力の状態にする減圧処理工程と、
を有する半導体装置の製造方法。 - 素子間を分離する素子分離溝が形成された基板を処理室内へ搬入する工程と、
炭素及び水素を含むシリコン化合物ガスを処理室内へ供給して、処理室内を第1の圧力の状態にする工程と、
処理室内を前記第1の圧力にした状態において、処理室内へ紫外光を照射して、前記素子分離溝内に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、
前記シリコン化合物ガスの処理室内への供給を停止した状態で、処理室内を前記第1の圧力よりも低い第2の圧力の状態にする減圧処理工程と、
を有する半導体装置の製造方法。 - 前記請求項1又は請求項2に記載された半導体装置の製造方法であって、
前記減圧処理工程において、処理室内へ紫外光を照射する半導体装置の製造方法。 - 基板を処理する処理室と、
炭素及び水素を含むシリコン化合物ガスを処理室内へ供給する処理ガス供給部と、
処理室内の雰囲気を排気する排気部と、
処理室内に紫外光を照射する紫外光発光部と、
制御部とを備え、
該制御部は、素子分離溝を有する基板が処理室内に存在する状態において、前記シリコン化合物ガスを前記処理ガス供給部から処理室内へ供給し、処理室内を第1の圧力にした状態において、処理室内へ紫外光を照射して、前記素子分離溝内に絶縁膜を形成し、その後、前記シリコン化合物ガスの処理室内への供給を停止し、処理室内を前記第1の圧力よりも低い第2の圧力の状態にする減圧処理を行う制御部である半導体製造装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009172004A JP2010087475A (ja) | 2008-09-03 | 2009-07-23 | 半導体装置の製造方法及び製造装置 |
TW098127610A TW201025447A (en) | 2008-09-03 | 2009-08-17 | Manufacturing method of semiconductor device |
KR1020090080425A KR20100027975A (ko) | 2008-09-03 | 2009-08-28 | 반도체 장치의 제조 방법 |
US12/551,816 US7955948B2 (en) | 2008-09-03 | 2009-09-01 | Manufacturing method of semiconductor device |
US13/151,229 US20110230061A1 (en) | 2008-09-03 | 2011-06-01 | Manufacturing method of semiconductor device |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008226324 | 2008-09-03 | ||
JP2008226325 | 2008-09-03 | ||
JP2008226326 | 2008-09-03 | ||
JP2008226323 | 2008-09-03 | ||
JP2009172004A JP2010087475A (ja) | 2008-09-03 | 2009-07-23 | 半導体装置の製造方法及び製造装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011039478A Division JP2011142335A (ja) | 2008-09-03 | 2011-02-25 | 半導体装置の製造方法及び製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010087475A true JP2010087475A (ja) | 2010-04-15 |
Family
ID=41726099
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009172004A Pending JP2010087475A (ja) | 2008-09-03 | 2009-07-23 | 半導体装置の製造方法及び製造装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7955948B2 (ja) |
JP (1) | JP2010087475A (ja) |
TW (1) | TW201025447A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014027191A (ja) * | 2012-07-30 | 2014-02-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 光cvd膜の製造方法、及び光cvd膜の製造装置 |
US8906246B2 (en) | 2011-03-29 | 2014-12-09 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus and film deposition method |
US9190299B2 (en) | 2011-11-21 | 2015-11-17 | Hitachi Kokusai Electric, Inc. | Apparatus for manufacturing semiconductor device, method of manufacturing semiconductor device, and recording medium |
KR20170009183A (ko) * | 2015-07-16 | 2017-01-25 | 삼성전자주식회사 | 소자 분리막을 포함하는 반도체 장치의 제조 방법 |
JP2023507878A (ja) * | 2020-03-06 | 2023-02-28 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 基板のガス放出を管理するためのシステム及び方法 |
JP7507301B2 (ja) | 2020-03-06 | 2024-06-27 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 基板のガス放出を管理するためのシステム及び方法 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010087475A (ja) * | 2008-09-03 | 2010-04-15 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体装置の製造方法及び製造装置 |
US20150187563A1 (en) | 2013-12-26 | 2015-07-02 | Applied Materials, Inc. | Photo-assisted deposition of flowable films |
JP6321579B2 (ja) * | 2015-06-01 | 2018-05-09 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理システム、基板処理装置及びプログラム |
KR20190128558A (ko) | 2018-05-08 | 2019-11-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상에 산화물 막을 주기적 증착 공정에 의해 증착하기 위한 방법 및 관련 소자 구조 |
KR20210010817A (ko) * | 2019-07-19 | 2021-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 토폴로지-제어된 비정질 탄소 중합체 막을 형성하는 방법 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0294430A (ja) * | 1988-09-30 | 1990-04-05 | Toshiba Corp | 光cvd装置 |
JP2001210638A (ja) * | 2000-01-21 | 2001-08-03 | Hiroshi Kurosawa | 絶縁膜の形成方法 |
JP2002075988A (ja) * | 2000-08-30 | 2002-03-15 | Miyazaki Oki Electric Co Ltd | 真空紫外光cvdによる層間絶縁膜の製造方法 |
JP2005159113A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Oki Electric Ind Co Ltd | 膜の形成方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6706572B1 (en) * | 1994-08-31 | 2004-03-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing a thin film transistor using a high pressure oxidation step |
TWI227531B (en) * | 1997-03-05 | 2005-02-01 | Hitachi Ltd | Manufacturing method of semiconductor integrated circuit device |
US6511921B1 (en) * | 1999-01-12 | 2003-01-28 | Sumco Phoenix Corporation | Methods for reducing the reactivity of a semiconductor substrate surface and for evaluating electrical properties of a semiconductor substrate |
JP4914536B2 (ja) * | 2001-02-28 | 2012-04-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 酸化膜形成方法 |
JP3926588B2 (ja) * | 2001-07-19 | 2007-06-06 | キヤノンマーケティングジャパン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US7335609B2 (en) * | 2004-08-27 | 2008-02-26 | Applied Materials, Inc. | Gap-fill depositions introducing hydroxyl-containing precursors in the formation of silicon containing dielectric materials |
KR20080061197A (ko) * | 2006-12-28 | 2008-07-02 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자의 산화막 형성 방법 |
US7763522B2 (en) * | 2007-08-01 | 2010-07-27 | United Microelectronic Corp. | Method of high density plasma gap-filling with minimization of gas phase nucleation |
JP2010087475A (ja) * | 2008-09-03 | 2010-04-15 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体装置の製造方法及び製造装置 |
US8080463B2 (en) * | 2009-01-23 | 2011-12-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device manufacturing method and silicon oxide film forming method |
-
2009
- 2009-07-23 JP JP2009172004A patent/JP2010087475A/ja active Pending
- 2009-08-17 TW TW098127610A patent/TW201025447A/zh unknown
- 2009-09-01 US US12/551,816 patent/US7955948B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-06-01 US US13/151,229 patent/US20110230061A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0294430A (ja) * | 1988-09-30 | 1990-04-05 | Toshiba Corp | 光cvd装置 |
JP2001210638A (ja) * | 2000-01-21 | 2001-08-03 | Hiroshi Kurosawa | 絶縁膜の形成方法 |
JP2002075988A (ja) * | 2000-08-30 | 2002-03-15 | Miyazaki Oki Electric Co Ltd | 真空紫外光cvdによる層間絶縁膜の製造方法 |
JP2005159113A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Oki Electric Ind Co Ltd | 膜の形成方法 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8906246B2 (en) | 2011-03-29 | 2014-12-09 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus and film deposition method |
US9190299B2 (en) | 2011-11-21 | 2015-11-17 | Hitachi Kokusai Electric, Inc. | Apparatus for manufacturing semiconductor device, method of manufacturing semiconductor device, and recording medium |
JP2014027191A (ja) * | 2012-07-30 | 2014-02-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 光cvd膜の製造方法、及び光cvd膜の製造装置 |
KR20170009183A (ko) * | 2015-07-16 | 2017-01-25 | 삼성전자주식회사 | 소자 분리막을 포함하는 반도체 장치의 제조 방법 |
KR102406977B1 (ko) | 2015-07-16 | 2022-06-10 | 삼성전자주식회사 | 소자 분리막을 포함하는 반도체 장치의 제조 방법 |
JP2023507878A (ja) * | 2020-03-06 | 2023-02-28 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 基板のガス放出を管理するためのシステム及び方法 |
US11817297B2 (en) | 2020-03-06 | 2023-11-14 | Applied Materials, Inc. | System and method for managing substrate outgassing |
JP7386342B2 (ja) | 2020-03-06 | 2023-11-24 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 基板のガス放出を管理するためのシステム及び方法 |
JP7507301B2 (ja) | 2020-03-06 | 2024-06-27 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 基板のガス放出を管理するためのシステム及び方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7955948B2 (en) | 2011-06-07 |
US20110230061A1 (en) | 2011-09-22 |
TW201025447A (en) | 2010-07-01 |
US20100055926A1 (en) | 2010-03-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2010087475A (ja) | 半導体装置の製造方法及び製造装置 | |
JP5444961B2 (ja) | 成膜装置及び成膜方法 | |
TWI479044B (zh) | 硼膜界面工程 | |
US7642171B2 (en) | Multi-step anneal of thin films for film densification and improved gap-fill | |
KR101161098B1 (ko) | 낮은 에칭 레이트 유전체 라이너들을 이용한 갭충진 향상 | |
KR20090033449A (ko) | 보텀-업 방식의 갭필을 위한 유전체 증착 및 에치 백 공정 | |
US10041167B2 (en) | Cyclic sequential processes for forming high quality thin films | |
US20100330773A1 (en) | Substrate processing method and substrate processing apparatus | |
JP2009533846A (ja) | 膜緻密化及び改善されたギャップ充填のための薄膜の多段階アニール | |
TW561554B (en) | Filling substrate depressions with SiO2 by HDP vapor phase deposition with participation of H2O2 or H2O as reaction gas | |
TW202015130A (zh) | 半導體裝置之製造方法、基板處理裝置及記錄媒體 | |
KR102141670B1 (ko) | 저온 경화 모듈러스 강화 | |
JP2007142155A (ja) | 酸化処理方法および半導体装置の製造方法 | |
CN101359596B (zh) | 沟槽的填充方法及浅沟槽隔离的制造方法 | |
KR102184690B1 (ko) | 오목부의 매립 방법 및 처리 장치 | |
JP2004039990A (ja) | 被処理体の酸化方法 | |
TW201715566A (zh) | 在間隙填補應用中用來消除二氧化矽膜之原子層沉積物中的裂縫之系統及方法 | |
JP2008199015A (ja) | Psz膜の熱処理方法及びこれを適用した半導体素子の素子分離膜形成方法 | |
JP2011142335A (ja) | 半導体装置の製造方法及び製造装置 | |
JP2015015272A (ja) | 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 | |
TW201802957A (zh) | 半導體裝置之製造方法、基板處理裝置及程式 | |
JPH04343456A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR20100027975A (ko) | 반도체 장치의 제조 방법 | |
JP2013055179A (ja) | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | |
KR100877257B1 (ko) | 반도체 소자의 트렌치 매립방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100902 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100914 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101111 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110225 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110426 |