JP2010080065A - 試料帯電制御方法、及び走査電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
本発明は、試料から放出された電子が、他部材に衝突した結果、生じる電子量を制御可能とすることを目的とした走査電子顕微鏡、及び電子量の制御による試料帯電制御方法の提供を目的とする。
【解決手段】
上記目的を達成するために、電子ビームが通過可能な開口を複数備え、前記電子ビームに対して前記複数の開口を切り替える機構を備えた走査電子顕微鏡、及び開口の切り替えによって、試料の帯電を制御する方法を提案する。前記複数の開口は、少なくとも2つの開口であって、当該少なくとも2つの開口の周囲部であって、前記試料に対向する側には、それぞれ異なる二次電子放出効率を持つ部分が設けられている。この開口の切り替えによって、試料から放出された電子の衝突によって生じる電子の量をコントロールすることが可能とする。
【選択図】図1
Description
T0:一次電子線の照射時間
i一次電子:一次電子線による流入電流
i二次電子+反射電子:二次電子、及び反射電子による流出電流
i再入射電子:反射電子が生成した二次電子の再入射による流入電流
いま、Qをなるべく小さくすることを考える。i一次電子は像観察条件の最適化によって一次電子線の入射エネルギーと共に設定される。i二次電子+反射電子は、試料構成物質と一次電子線の入射エネルギーの関数であり、任意に設定することはできない。一方、i再入射電子は、反射電子が衝突する部材の形状,構成物質に依存するため、ある程度制御できる。したがって、反射板の構成材料を最適化することによりQを低減することが可能である。i二次電子+反射電子が試料の構成物質に依存することから、最適な反射板の構成材料は試料の構成物質によって異なることがわかる。
102 コンデンサレンズ
103 偏向コイル
104 対物レンズ
105 試料
106 反射電子
107 二次電子
108 分離機構
109 検出器
110 信号処理装置
111 画像表示部
121 精密ステージ
Claims (7)
- 試料に電子ビームを照射したときに生ずる帯電を制御する試料帯電制御方法において、
前記試料に対向して、1の電子ビーム通過開口が選択的に配置されるように、複数の電子ビーム通過開口の内の1つを選択する工程を有し、前記電子ビーム通過開口の周囲部であって前記試料に対向する側に、前記複数の電子ビーム通過開口ごとに異なる二次電子発生効率を有する部分が設けられ、前記選択する工程では、前記電子ビームの照射に基づいて試料に入射する電子量と、試料から放出される電子量の差が、他の電子ビーム通過開口に対して少なくなるように、前記1の電子ビーム通過開口を選択することを特徴とする試料帯電制御方法。 - 試料に電子ビームを照射して帯電を生じさせ、当該帯電状態の試料に対し電子ビームを照射したときに検出される電子に基づいて、試料の測定、或いは検査を行う試料帯電制御方法において、
前記試料に対向して、1の電子ビーム通過開口が選択的に配置されるように、複数の電子ビーム通過開口の内の1つを選択して前記試料を帯電させる帯電工程と、当該帯電工程とは異なる前記電子ビーム通過開口を選択して、前記試料を測定、或いは検査する工程を有し、
前記電子ビーム通過開口の周囲部であって前記試料に対向する側に、前記複数の電子ビーム通過開口ごとに異なる二次電子発生効率を有する部分が設けられ、前記測定、或いは検査する工程では、前記帯電工程に対して相対的に、前記電子ビームの照射に基づいて試料に入射する電子量と、試料から放出される電子量の差が少なくなるように、前記1の電子ビーム通過開口を選択することを特徴とする試料帯電制御方法。 - 試料に照射される電子ビームを集束する対物レンズと、当該試料を移動させる移動ステージを備えた走査電子顕微鏡において、
前記対物レンズと移動ステージとの間に、複数の電子ビーム通過開口の内の1つを選択的に位置づける移動機構を備え、前記電子ビーム通過開口の周囲部には、前記複数の電子ビーム通過開口ごとに異なる二次電子発生効率を有する部分が設けられていることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項3において、
前記複数の電子ビーム通過開口は、1の板状体に形成されていることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項3において、
前記複数の電子ビーム通過開口の周囲部には、それぞれ異なる二次電子発生効率を持つ材質が配置されていることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項3において、
前記複数の電子ビーム通過開口の周囲部には、それぞれ面積が異なる同一の二次電子発生効率を持つ材質が配置されていることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項3において、
前記移動機構を制御するための制御装置を備え、
当該制御装置は、前記試料の材質、及び前記電子ビームの光学条件の選択に応じて、前記電子ビーム通過開口を選択することを特徴とする走査電子顕微鏡。
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