JP2010034075A - 光学要素組立体の組立方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の光学要素と、該光学要素を収容する筒体とを備え、筒体の側面に複数の貫通孔が形成された光学要素組立体の組立方法である。光学要素組立体の組立方法は、筒体の中に複数の光学要素を挿入する工程と、複数の貫通孔に位置決め部材を挿入して、複数の貫通孔と対向する筒体の内周面側に複数の光学要素を当接させる工程と、複数の光学要素を筒体に固定する工程と、位置決め部材を複数の貫通孔から脱抜させる工程とを有する。
【選択図】図1
Description
また、図2は、本発明に係る電子線装置を示す概略図である。
2・・・光学要素
3・・・筒体
3a・・内周部
4・・・位置決めピン
5・・・貫通孔
6・・・ボルト
7・・・位置決め領域
8・・・蓋
10・・・電子線装置
Claims (4)
- 複数の光学要素と、該光学要素を収容する筒体とを備え、前記筒体の側面に複数の貫通孔が形成された光学要素組立体の組立方法であって、
前記筒体の中に前記複数の光学要素を挿入する工程と、
前記複数の貫通孔に位置決め部材を挿入して、前記複数の貫通孔と対向する前記筒体の内周面側に前記複数の光学要素を当接させる工程と、
前記複数の光学要素を前記筒体に固定する工程と、
前記位置決め部材を前記複数の貫通孔から脱抜させる工程と
を有することを特徴とする光学要素組立体の組立方法。 - 前記複数の光学要素の外周面に溝又は孔が形成されており、
前記複数の貫通孔に前記位置決め部材を挿入する際に、前記位置決め部材の先端が前記溝又は孔に挿入されることを特徴とする請求項1に記載の光学要素組立体の組立方法。 - 前記筒体及び前記光学要素がセラミックスにて形成されたことを特徴とする請求項1に記載の光学要素組立体の組立方法。
- 前記セラミックスがアルミナから形成されたことを特徴とする請求項1又は2に記載の光学要素組立体の組立方法。
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2009
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