JP2010033798A - フィラメントランプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この発光部10の両端にフィラメントFの数に対応した金属箔30が並ぶように埋設された封止部20とから構成されるとともに、各フィラメントFには独立的に給電ができる。そして、封止部20は、端部から突出する外部リード40と、この外部リード40を覆うとともに、先端が当該封止部20と一体的にシールされたガラスパイプ60を有することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
また、この種のフィラメントランプは、発光管内部に複数の給電経路を有する関係上、ランプの封止部にも、当該給電経路の数に対応した数の端子を用意しなければならない。
すなわち、多数の独立した給電構造のフィラメントランプであって、寸法を大型化させることなく、かつ、高入力化に応えられるだけの構造が求められる。
ランプLは長尺状の発光部10と、その両端に形成された封止部20(20a,20b)より構成され、全体として管型形状をなしている。発光部10の内部は気密空間が形成されており、発光部10の軸方向に伸びる複数のフィラメントF(F1,F2,F3)を有しており、フィラメントF1、フィラメントF2、フィラメントF3が、それぞれ電気的に完全に分離されている。具体的には、発光部10の中央には、フィラメントF1が配置しており、発光部10の一端(封止部20aに近い端部)にはフィラメントF2が配置しており、発光部10の他端(封止部20bに近い端部)にはフィラメントF3が配置している。フィラメントF1、フィラメントF2、フィラメントF3は、発光部10の中心軸に平行に、かつ一直線に並んで配置している。
このように、本実施例に係るフィラメントランプは、一方の端部に配置されたフィラメントF2に対する外部リード42aと外部リード43aは、ともに、当該フィラメントF2に近い封止部20aから突出するように形成されており、また、他方の端部に配置されたフィラメントF3に対する2つの外部リードは42bと外部リード43bは、ともに、フィラメントF3に近い封止部20bから突出するように形成されている。
処理装置(チャンバ)の内部には被処理体が配置しており、被処理体の表面に対向してフィラメントランプL1(ランプL11,ランプL12、ランプL13、ランプL14、ランプL15)が配置しており、また、被処理体の裏面に対向してフィラメントランプL2(ランプL21,ランプL22、ランプL23、ランプL24、ランプL25)が配置している。処理装置には真空ポンプが接続しており、内部空間を減圧雰囲気に維持している。被処理体は支持体により保持されている。
このように減圧雰囲気内において、ランプが配置される場合、外部リードには絶縁剤などを被覆することはできないので、本発明に係るガラスパイプを採用することは特に有用である。また、一般に、減圧雰囲気においては、パッシュンの法則により、特定の圧力雰囲気において沿面放電が生じやすい状態になる。本発明のようなフィラメントランプの場合は、例えば3Pa〜2000Pa気圧において、沿面放電が生じやすく、このため本願発明に係るガラスパイプは有用である。
20,20a,20b 封止部
3,31a,32a,33a,31b,32b,33b 金属箔
4,41a、42a,43a,41b,42b,43b 外部リード
5,51a,52a,53a,51b,52b,53b 内部リード
F1,F2,F3 フィラメント
6,61a,62a,63a,61b,62b,63b ガラスパイプ
Claims (2)
- 軸方向に分割された複数のフィラメントを有する長尺状の発光部と、この発光部の両端にフィラメントの数に対応した金属箔が並ぶように埋設された封止部とから構成されるとともに、各フィラメントに独立的に給電ができるフィラメントランプにおいて、
前記封止部は、
端部から突出する外部リードと、
この外部リードを覆うとともに、先端が当該封止部と一体的にシールされたガラスパイプを有することを特徴とするフィラメントランプ。 - 前記発光部には少なくとも3つ以上のフィラメントを有し、
一方の端部に配置されたフィラメントF2に対する2つの外部リードは、ともに、当該フィラメントF2に近い封止部に形成されており、
他方の端部に配置されたフィラメントF3に対する2つの外部リードは、ともに、当該フィラメントF3に近い封止部に形成されていることを特徴とする請求項1のフィラメントランプ。
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