JP5720756B2 - ダブルエンド型ショートアークフラッシュランプ - Google Patents
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 30
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 9
- 239000005394 sealing glass Substances 0.000 claims description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 3
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000002028 premature Effects 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- ZCUFMDLYAMJYST-UHFFFAOYSA-N thorium dioxide Chemical compound O=[Th]=O ZCUFMDLYAMJYST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003452 thorium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/70—Lamps with low-pressure unconstricted discharge having a cold pressure < 400 Torr
- H01J61/80—Lamps suitable only for intermittent operation, e.g. flash lamp
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/36—Seals between parts of vessels; Seals for leading-in conductors; Leading-in conductors
- H01J61/361—Seals between parts of vessel
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/04—Electrodes; Screens; Shields
- H01J61/06—Main electrodes
- H01J61/067—Main electrodes for low-pressure discharge lamps
- H01J61/0672—Main electrodes for low-pressure discharge lamps characterised by the construction of the electrode
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- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
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- H01J61/073—Main electrodes for high-pressure discharge lamps
- H01J61/0732—Main electrodes for high-pressure discharge lamps characterised by the construction of the electrode
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- H—ELECTRICITY
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- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/30—Vessels; Containers
- H01J61/34—Double-wall vessels or containers
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Description
上記露光工程においては、小領域に高密度な光を短時間で照射でき、光の方向性や分布にムラが比較的少ない、平行光に近い光を使用することが求められる。
これまでに、同露光工程においては、特開2012−43736号公報(特許文献1)に示されるような、真空管形状のフラッシュランプが主に使用されている。同ランプは、主電極間距離が一般的なフラッシュ点灯を行うランプと比べて小さく、点光源に近い光源として扱うことができる。
図3に示すように、ダブルエンド型ショートアークフラッシュランプにおいて、発光管1の両端に第1封止管2と第2封止管3が連設されている。そして、前記第2封止管3には封止用ガラス管4が挿入されていて、両者は溶着されている。
発光管1内には一対の第1の主電極(陽極)5と第2の主電極(陰極)6とが対向配置されている。前記陽極5は、その芯線7が第1封止管2に段継ガラスなどの手段により支持・封止されてその外方に導出されており、一方、前記陰極6は、その芯線8が前記封止用ガラス管4に段継ガラスなどの手段により支持・封止されてその外方に導出されている。
発光管1内の陽極5と陰極6の間には、一対の始動補助電極10、11が配設されていて、それぞれの内部リード12、15と外部リード13、16とが、前記第2封止管3と封止用ガラス管4との間の溶着領域において、金属箔14、17を介して電気的に接続されている。
ダブルエンド型ショートアークフラッシュランプでは、電子は陰極の先端のきわめて狭い領域から放出されるため、先端部分の電流密度が極端に高くなり、先端部分が著しく温度が上昇する。
陰極には電子放射機能をつかさどるエミッタが含有されているが、上記のように、陰極先端部分の温度が高くなりすぎるとエミッタが短時間で枯渇してしまい、ランプが点灯しなくなるという問題があった。
つまり、フラッシュランプでは陽極の方が熱的影響を受けることが小さく、陰極の方の熱的影響を考慮する必要があることになる。
また、前記陰極の最大外径が、前記陽極の最大外径よりも大きいことを特徴とする。
また、前記陰極と前記陽極は、円柱状の本体部と、円錐状の先端部で構成されていることを特徴とする。
また、前記始動用補助電極は、先端が前記陽極と前記陰極の間に位置し、当該始動補助電極に接続されて前記陰極側に延在する内部リードが、前記陰極の周側面において、前記発光管側に膨出変位していることを特徴とする。
また、陰極の最大外径を陽極の最大外径よりも大きくすることで、陰極の体積を陽極の体積よりも大きくしたので、陰極先端部分からの熱が後方側に伝達されやすく、熱拡散が活発となって、その温度上昇が抑制される。
また、始動補助電極の内部リードを陰極の周側面において、発光管側に膨出変位させる形状としたので、大型化した陰極との干渉を避けつつ、第2封止部の大径化を回避することができ、遮光領域を減少させることができる。
図1に示されるように、発光管1内に配置された一対の主電極を構成する陽極5と陰極6の内、陰極6の体積が陽極5の体積よりも大きく形成されている。
その具体的な一数値例を記載すると以下の通りである。
陰極6:直径φ6mm 体積100.8mm3、
陽極5:直径φ5mm 体積 90.4mm3
この陰極6には、エミッタとして、例えば酸化トリウムが含有されている。
なお、その他の構成は、図3に記載した従来例のものと同様である。
しかしながら、始動補助電極10、11の内部リード12、15は陰極6側に延在するとは限られず、反対側の陽極5側に導かれるものであってもよく、その場合は、第1封止管側で封止用ガラス管との二重管構造とされる。
点灯時の陰極からの電子放出は、熱電子放出によるものである。単位面積あたりで陰極から放出可能な熱電子の放出量は、その上限値が陰極の動作温度および仕事関数の大小によって定まるが、この他に、ショットキー効果もその量を支配する要因である。
ショットキー効果とは、陰極表面に作用する電場により、陰極からの熱電子放出に必要なエネルギー量が変化する現象であり、本発明の陰極のように先端を尖らせた形状とする場合、同先端部に電界集中が起こり、陰極先端付近からの熱電子放出可能量がその他の部分よりも大きくでき、結果として、陰極先端からほとんどの熱電子放出が起こるため、点灯時の放電位置を安定させることができる。
本発明のランプでこの現象を考えると、陰極の説明で述べたように、先端を尖らせた電極は、陰極、陽極ともに先端付近に電界集中が発生する。したがって、両電極先端間の電場の差が周囲よりも大きくなり、陽極と陰極先端の周りに放電路が形成される。本発明のランプはフラッシュ点灯により動作するので、放電形状が不安定になりやすく、放電路を通常の放電ランプよりも安定させる必要がある。したがって、陽極先端を尖らせ、放電路を安定させる工夫をしているものである。
この構成により、内部リード12、15は、膨出変形部12a、15aのために体積の大きくなった陰極6に干渉することなく、また、第2封止管3に導かれたところですぼめられていることで、第2封止管3の径を小さくすることができる。これにより、遮光領域を小さくして、照度を向上させることができる。
この実施例においては、始動補助電極10、11は高融点で高熱に耐えうるタングステンを用い、内部リード12、15には、室温で塑性変形しやすく加工性に優れたモリブデンを用いることによって、耐久性と加工性を両立させることができる。
2 第1封止管
3 第2封止管
4 封止用ガラス管
5 主電極(陽極)
6 主電極(陰極)
7 陽極の芯線
8 陰極の芯線
10、11 始動補助電極
12、15 内部リード
13、17 外部リード
14、15 金属箔
12a 膨出変形部
15a 膨出変形部
Claims (2)
- ガラス製の発光管の内部に、陽極と陰極とからなる一対の主電極と、一対の始動補助電極とが配置され、当該発光管の両端に第1封止管と第2封止管とを備え、
前記第1封止管には、前記主電極の一方の主電極の芯線が封止されて発光管外に導出され、
前記第2封止管には、その内部に挿入された封止用ガラス管が溶着され、該封止用ガラス管には、前記主電極の他方の主電極の芯線が封止されて発光管外に導出されてなるダブルエンド型ショートアークフラッシュランプにおいて、
前記陰極には、エミッタが含有されるとともに、該陰極の体積が前記陽極の体積よりも大きく、
前記陰極と前記陽極は、円柱状の本体部と、円錐状の先端部で構成されていることを特徴とするダブルエンド型ショートアークフラッシュランプ。 - ガラス製の発光管の内部に、陽極と陰極とからなる一対の主電極と、一対の始動補助電極とが配置され、当該発光管の両端に第1封止管と第2封止管とを備え、
前記第1封止管には、前記主電極の一方の主電極の芯線が封止されて発光管外に導出され、
前記第2封止管には、その内部に挿入された封止用ガラス管が溶着され、該封止用ガラス管には、前記主電極の他方の主電極の芯線が封止されて発光管外に導出されてなるダブルエンド型ショートアークフラッシュランプにおいて、
前記陰極には、エミッタが含有されるとともに、該陰極の体積が前記陽極の体積よりも大きく、
前記始動用補助電極は、先端が前記陽極と前記陰極の間に位置し、当該始動補助電極に接続されて前記一方の主電極側に延在する内部リードが、前記一方の主電極の周側面において、前記発光管側に膨出変位していることを特徴とするダブルエンド型ショートアークフラッシュランプ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013222899A JP5720756B2 (ja) | 2013-10-28 | 2013-10-28 | ダブルエンド型ショートアークフラッシュランプ |
TW103128791A TWI601184B (zh) | 2013-10-28 | 2014-08-21 | Double-ended short arc flash |
KR1020140123542A KR101877094B1 (ko) | 2013-10-28 | 2014-09-17 | 더블 엔드형 쇼트 아크 플래시 램프 |
CN201410544888.5A CN104576294A (zh) | 2013-10-28 | 2014-10-15 | 双端型短弧闪光灯 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013222899A JP5720756B2 (ja) | 2013-10-28 | 2013-10-28 | ダブルエンド型ショートアークフラッシュランプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015088223A JP2015088223A (ja) | 2015-05-07 |
JP5720756B2 true JP5720756B2 (ja) | 2015-05-20 |
Family
ID=53050828
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013222899A Active JP5720756B2 (ja) | 2013-10-28 | 2013-10-28 | ダブルエンド型ショートアークフラッシュランプ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5720756B2 (ja) |
KR (1) | KR101877094B1 (ja) |
CN (1) | CN104576294A (ja) |
TW (1) | TWI601184B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105609451B (zh) * | 2016-03-24 | 2018-03-30 | 上海华力微电子有限公司 | 一种消除闪光退火机台首十枚效应的方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5122751B1 (ja) * | 1970-12-08 | 1976-07-12 | ||
JPS55146855A (en) * | 1979-05-07 | 1980-11-15 | Ushio Inc | Flash discharge lamp |
US6559600B1 (en) * | 1998-11-17 | 2003-05-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Discharge lamp, light source and projecting display unit |
GB2419460B (en) * | 2004-10-18 | 2009-07-29 | Heraeus Noblelight Ltd | Pumping laser lamp and production method |
JP4358729B2 (ja) * | 2004-12-22 | 2009-11-04 | 株式会社オーク製作所 | ショートアーク型放電灯 |
JP5047483B2 (ja) * | 2005-09-27 | 2012-10-10 | 株式会社オーク製作所 | ショートアーク放電灯の封止構造 |
JP4998840B2 (ja) * | 2010-07-23 | 2012-08-15 | ウシオ電機株式会社 | ショートアーク型放電ランプ |
JP5360033B2 (ja) * | 2010-10-27 | 2013-12-04 | ウシオ電機株式会社 | ショートアーク型フラッシュランプ |
-
2013
- 2013-10-28 JP JP2013222899A patent/JP5720756B2/ja active Active
-
2014
- 2014-08-21 TW TW103128791A patent/TWI601184B/zh not_active IP Right Cessation
- 2014-09-17 KR KR1020140123542A patent/KR101877094B1/ko active IP Right Grant
- 2014-10-15 CN CN201410544888.5A patent/CN104576294A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101877094B1 (ko) | 2018-07-10 |
JP2015088223A (ja) | 2015-05-07 |
KR20150048625A (ko) | 2015-05-07 |
TW201523691A (zh) | 2015-06-16 |
TWI601184B (zh) | 2017-10-01 |
CN104576294A (zh) | 2015-04-29 |
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A521 | Request for written amendment filed |
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