JP2010026229A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、基板と、上記基板上に形成され、開口部を備える遮光部と、上記開口部にインクジェット法により塗布された着色層形成用塗工液からなる乾燥前着色層と、を有するカラーフィルタ用基板を、加熱減圧乾燥装置を用いて結露防止圧力となるまで減圧乾燥する乾燥工程を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記結露防止圧力が、上記カラーフィルタ用基板を減圧乾燥した際に観察される1回目の平衡圧力である第1平衡圧力より低い圧力であることを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供することにより上記課題を解決するものである。
【選択図】図1
Description
このような状況において、液晶ディスプレイを構成する部材については、より低コストで高品質なものを製造することが望まれている。特に液晶ディスプレイをカラー表示化させる機能を有するカラーフィルタは、従来高コストであったことからこのような要望が高まっている。
そして、このようなカラーフィルタのR、G、Bの各色に対応する電極をON、OFFさせることで液晶がバックライトのシャッタとして作動し、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)のそれぞれの画素を光が通過してカラー表示が行われるものである。
ここで、着色層形成用塗工液のインクジェットノズルからの吐出安定性を高めるため、通常、上記着色層形成用塗工液の溶媒として高沸点の溶媒が主溶媒として用いられる。また、このようなことから、一般的な加熱乾燥では、乾燥に長時間要するといった問題があった。
また、チャンバー内に結露が生じると、結露した溶媒がカラーフィルタ用基板上に落下して混色等の欠点となるといった問題があった。
その結果、上記加熱減圧乾燥装置を用いてカラーフィルタ用基板の乾燥を複数回重ねた場合であっても、上記加熱減圧乾燥装置内の結露量を少ないものとすることができる。このため、上記加熱減圧乾燥装置内に溶媒が結露している場合に生じる乾燥速度等の乾燥条件の変動への影響を小さいものとすることができる。したがって、乾燥条件を精度良く制御することができ、着色層を平坦性に優れたものとすることができる。
また、結露した溶媒が上記カラーフィルタ用基板上に滴下することにより生じる混色欠点を少ないものとすることができる。
本発明のカラーフィルタの製造方法は、基板と、上記基板上に形成され、開口部を備える遮光部と、上記開口部にインクジェット法により塗布された着色層形成用塗工液からなる乾燥前着色層と、を有するカラーフィルタ用基板を、加熱減圧乾燥装置を用いて結露防止圧力となるまで減圧乾燥する乾燥工程を有し、上記結露防止圧力が、上記カラーフィルタ用基板を、減圧乾燥した際に観察される1回目の平衡圧力である第1平衡圧力より低い圧力であることを特徴とするものである。
また、このような乾燥前着色層を有するカラーフィルタ用基板を、減圧乾燥装置を用いて減圧乾燥した場合には、時間経過により、チャンバー内の圧力が変動する。このようなチャンバー内の圧力変動は、具体的には、図1に例示するように、横軸を乾燥時間、縦軸をチャンバー内の圧力とした場合、減圧開始時から徐々に圧力の低下が観察され、やがて、圧力の変動が少ない状態(第1平衡圧力、図1中のt1〜t2)となる。その後、圧力が下がりはじめ、再度圧力の変動が少ない状態(第2平衡圧力、図1中のt3以降)となり、以後、圧力一定の状態が維持される。なお、図1中のt4は、第1平衡圧力状態の中間(=t1+(t1+t2)/2)であり、t5は、上記第1平衡圧力より低く、第2平衡圧力より高い圧力の状態となっている時を示すものである。
したがって、従来のインクジェット法により形成された着色層の乾燥方法が用いられるカラーフィルタの製造方法においては、このように上記第1平衡圧力中に減圧乾燥が終了されることから、上述したように上記乾燥装置内に結露が多い状態で、再度乾燥工程が行なわれることとなる。このため、着色層の平坦化には乾燥速度の高精度な制御が要求されるところ、従来のカラーフィルタの製造方法では、上述した乾燥装置内の結露による影響により乾燥速度の高精度な制御が難しく、着色層の平坦化が困難となるといった問題等があった。
その結果、上記加熱減圧乾燥装置を用いて、カラーフィルタ用基板の乾燥を複数回重ねた場合であっても、上記チャンバー内に存在する溶媒量、すなわち、上記減圧乾燥を開始する際においてチャンバー内の結露量を少ないものとすることができるため、結露の存在により生ずる乾燥速度等の乾燥条件の変動への影響を小さいものとすることができる。このようなことより、乾燥条件を精度良く制御することができ、着色層を平坦性に優れたものとすることができるのである。
また、結露した溶媒がカラーフィルタ用基板上に落下することによる混色欠点を少ないものとすることができるのである。
なお、このような現象は、インクジェット法により形成された乾燥前着色層を乾燥する際に特有の現象であり、さらに具体的には加熱減圧乾燥装置を用いて、インクジェット法により形成された乾燥前着色層を減圧乾燥する際に特有の現象であるといえる。本発明は、このような特有の課題を、チャンバー内圧力が所定の圧力となるまで乾燥前着色層の減圧乾燥を行なうことにより解決したものである。
本発明に用いられる乾燥工程は、カラーフィルタ用基板を、加熱減圧乾燥装置を用いて結露防止圧力となるまで減圧乾燥する工程である。
ここで、経過時間により結露防止圧力到達を決定する方法としては、具体的には、乾燥されるカラーフィルタ用基板と同形状のカラーフィルタ用基板をテスト用基板として用い、上記加熱減圧乾燥装置により上記乾燥工程における減圧乾燥条件と同一条件で減圧乾燥することで、時間経過に対する圧力変化の調査を行い、チャンバー内の圧力が結露防止圧力に到達する時間を得る。そしてその結果得られた到達時間に基づいて、結露防止圧力到達を決定する方法を挙げることができる。
本工程においては、なかでも、経過時間により決定するものであることが好ましい。管理が容易だからである。
なお、一定条件とは、後述する加熱手段および減圧手段に設定される設定温度および設定圧力が一定であることをいうものである。このため、上記加熱手段および減圧手段が上記設定温度および設定圧力に到達するまでの昇温期間および減圧期間であっても、設定温度および設定圧力が一定である場合には、一定条件に含まれるものである。したがって、減圧環境下から大気圧に復圧する際は、一定条件に含まれないものである。
本工程における結露防止圧力とは、上記乾燥工程後に上記チャンバー内に結露している溶媒量を少ないものとすることができる減圧乾燥終了時のチャンバー内圧力であり、本発明においては上記カラーフィルタ用基板を、減圧乾燥した際に観察される1回目の平衡圧力である第1平衡圧力より低い圧力に設定される。
本工程においては、上記結露防止圧力が、このように上記第1平衡圧力より低い圧力とされるため、減圧乾燥終了時において、上記チャンバー内に結露している溶媒量およびチャンバー内に揮発している溶媒量を少ないものとすることができる。したがって、上記乾燥工程後において上記チャンバー内に存在する溶媒量、すなわち、次に上記乾燥工程を開始する際のチャンバー内の結露量を少ないものとすることができる。
その結果、上記加熱減圧乾燥装置を用いてカラーフィルタ用基板の乾燥を複数回重ねた場合であっても、上記加熱減圧乾燥装置内の溶媒の結露量を少ないものとすることができる。このため、上記加熱減圧乾燥装置内に溶媒が結露している場合に生じる乾燥速度等の変動への影響を小さいものとすることができる。
また、結露した溶媒が上記カラーフィルタ用基板上に滴下することにより生じる混色欠点を少ないものとすることができるのである。
また、第2平衡圧力とすることにより、上記チャンバー内に揮発している溶媒、および、チャンバー内に結露している溶媒をほとんど存在しない状態とすることができ、着色層の平坦性の制御をより確実に行なうことができるからである。また、圧力が一定状態となっている平衡圧力であるため、上記結露防止圧力となった時点、すなわち減圧乾燥終了時を容易に判断することができるからである。
なお、上記第2平衡圧力時は、被乾燥体であるカラーフィルタ用基板およびチャンバー内に結露した溶媒からの揮発がほとんど無い状態であり、上記加熱減圧乾燥装置のチャンバー内を空にした状態で、上記乾燥工程における減圧乾燥条件と同一条件で減圧乾燥した場合に到達する平衡圧力とほぼ同圧力である状態である。また、上記カラーフィルタ用基板を、減圧乾燥した際に観察される第1平衡圧力と第2平衡圧力との中間の圧力とは、上記中間圧力をPm、上記第1平衡圧力をP1、上記第2平衡圧力をP2とすると、Pm=(P1−P2)/2で表されるものである。
本工程に用いられる加熱減圧乾燥装置としては、上記乾燥前着色層に含まれる溶媒を所望量以下まで乾燥し、所望の硬度を有する乾燥後着色層することができるものであれば良く、カラーフィルタの製造に一般的に用いられるものを使用することができる。
具体的には、上記カラーフィルタ用基板を加熱する加熱手段と、上記加熱手段を収納するチャンバーと、上記チャンバー内を所望の圧力まで減圧する減圧手段と、を有するものを挙げることができる。
本工程に用いられる加熱手段としては、上記カラーフィルタ用基板を所望の温度に加熱することができるものであれば良い。
このような加熱手段としては、ホットプレート、電熱線、ランプ、赤外線放射装置等を挙げることができる。本工程においては、なかでも、ホットプレートであることが好ましい。上記カラーフィルタ用基板を平面視上均一に加熱することが容易であるからである。このため、上記着色層を平坦性に優れたものとすることができるからである。
本工程におけるチャンバーとしては、その内部に、上記加熱手段を収容することができ、乾燥時に密閉性が高いものとすることができるものであれば良い。
本工程においては、なかでも、上記チャンバーを加熱するチャンバー加熱手段を有するものであることが好ましい。このようなチャンバー加熱手段により加熱されるものとすることにより、上記乾燥前着色層から蒸発した溶媒が、上記チャンバーに接触した場合であっても温度が低下することを抑え、結露することを抑制することができるからである。したがって、本工程後のチャンバー内の上記溶媒の結露が少ないものとすることができ、着色層を平坦性に優れたものとすることができるからである。
本工程における減圧手段は、上記チャンバー内を減圧するものである。このような減圧手段としては、真空ポンプ等の一般的な減圧装置を用いることができる。
なお、定常状態とは、チャンバー内が空の状態で減圧した場合において平衡圧力に到達した状態をいうものである。
本工程におけるカラーフィルタ用基板は、基板と、上記基板上に形成され、開口部を備える遮光部と、上記開口部にインクジェット法により塗布された着色層形成用塗工液からなる乾燥前着色層と、を有するものである。
本工程に用いられるカラーフィルタ用基板の乾燥前着色層は、基板と、上記基板上に形成され、開口部を備える遮光部とを有するカラーフィルタ形成用基板の開口部に、インクジェット法により塗布された着色層形成用塗工液からなるものである。
具体的には、上記カラーフィルタ形成用基板と、ノズルを複数備えるインクジェットヘッドとを相対的に移動させながら、上記ノズルから上記着色層形成用塗工液を塗布する方法を挙げることができる。
本工程に用いられるカラーフィルタ用基板の遮光部としては、通常、開口部が等間隔で規則的に形成されたものが用いられる。ここで、上記開口部の具体的な大きさや配置態様は特に限定されるものではなく、上記カラーフィルタ用基板の用途等に応じて適宜決定することができる。
また、上記導入ガスに用いられるフッ素化合物としては、例えば、CF4、SF6、CHF3、C2F6、C3F8、C5F8等を挙げることができる。また、上記導入ガスとしては、上記フッ素ガスと他のガスとが混合されたものであってもよい。上記他のガスとしては、例えば、窒素、酸素、アルゴン、ヘリウム等を挙げることができるが、なかでも窒素を用いることが好ましい。さらに上記他のガスとして窒素を用いる場合、窒素の混合比率は50%以上であることが好ましい。
本工程における基板としては、上記遮光部および着色層を形成できるものであれば特に限定されるものではなく、従来よりカラーフィルタに用いられているものを用いることができる。このような基板としては、例えば、石英ガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、合成石英板等の可撓性のない透明な無機基板、および、透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する透明な樹脂基板等を挙げることができる。なかでも、上記遮光部の撥液化を第2態様でおこなった場合、本工程においては、無機基板を用いることが好ましい。上記基板として無機材料を用いることにより、本工程により、上記遮光部のみを撥液化することが容易となるからである。
本工程において、基板としてはガラス基板を用いることが好ましく、上記ガラス基板のなかでも無アルカリタイプのガラス基板を用いることが好ましい。上記無アルカリタイプのガラス基板は寸度安定性および高温加熱処理における作業性に優れ、かつ、ガラス中にアルカリ成分を含まないことから、アクティブマトリックス方式によるカラー液晶表示装置用のカラーフィルタに好適に用いることができるからである。
ここで、親液性とは、上記着色層形成用塗工液との接触角が小さいことを意味するものである。
本工程は、上記カラーフィルタ用基板を、加熱減圧乾燥装置を用いて結露防止圧力となるまで減圧乾燥することにより、上記カラーフィルタ用基板に含まれる乾燥前着色層を乾燥後着色層とする工程である。
このような乾燥工程を行うことにより形成される乾燥後着色層に含まれる溶媒の含有量としては、上記乾燥後着色層が所望の硬度を発揮するものであれば良く、一般的なカラーフィルタの製造における乾燥後着色層と同様とすることができる。
本発明のカラーフィルタの製造方法は、上記乾燥工程を少なくとも有するものであれば良く、その他の工程を有するものであっても良い。
このようなその他の工程としては、上記開口部にインクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布して乾燥前着色層を形成するインクジェット工程、上記乾燥工程後の乾燥後着色層を加熱し硬化させることにより着色層を形成するプリベイク工程およびポストベイク工程、上記着色層上にオーバーコート層を形成するオーバーコート層形成工程、上記着色層上にITO,IZO等の透明電極を形成する透明電極形成工程、対向基板とのセルギャップを均一にするためのスペーサー材を所定の位置に形成するスペーサー形成工程、ならびに、液晶の配向を制御するための構造物を形成する配向制御構造物形成工程等を挙げることができる。
1.カラーフィルタ形成用基板の調整工程
カラーフィルタ用ガラス基板として、厚み0.7mm、縦1850mm、横1500mmの旭ガラス社製AN100を準備し、このガラス基板上にフォトリソグラフィ法にて樹脂製の遮光部を形成した。
着色層形成用塗工液には、カラーフィルタ用顔料と熱硬化型樹脂等とからなるRGB各色の顔料分散型インクを用いて、1つの開口部(着色層形成領域)あたり1000plにて所望のカラーフィルタの色が表現できるように濃度を設計したものを用いた。
上記カラーフィルタ形成用基板に対して、インクジェットヘッドを用いて着色層形成用塗工液を塗布し、乾燥前着色層を形成した。このようにして、カラーフィルタ用基板を作製した。
上記乾燥前着色層が形成されたカラーフィルタ用基板を収容した状態で加熱減圧乾燥装置の処理を以下の条件で開始し、第2平衡圧力に達するまで処理し、その圧力プロファイルを取得した。得られた圧力プロファイルから、既に説明した図1に示されるように、上記第1平衡圧力となる時間(t1)、上記第1平衡圧力が終了する時間(t2)、第2平衡圧力となる時間(t3)を得た。また、上記第1平衡圧力の中間となる時間(t4=t1+(t2-t1)/2)および、上記第1平衡圧力と第2平衡圧力の中間となる時間(t5=t2+(t3-t2)/2)を得た。
上記着色形成用インクを着弾させた基板を、加熱減圧乾燥装置内に配置し、加熱減圧乾燥した。上記加熱減圧乾燥における加熱温度は40℃とし、処理時間は第2平衡圧力に達する時間(=t3)とした。
上記加熱減圧乾燥した基板を、150℃のホットプレート(HP)で4minのプリベイクを実施した。その後240℃のオーブンで40minのポストベイクを実施し、カラーフィルタを作製した。
加熱減圧乾燥における加熱温度を45℃とした以外は、実施例1と同様にしてカラーフィルタを作製した。
加熱減圧乾燥における加熱温度を50℃とした以外は、実施例1と同様にしてカラーフィルタを作製した。
加熱減圧乾燥における加熱温度を40℃とし、処理時間を第1平衡圧力および第2平衡圧力の中間圧力となる時間(=t5)とした以外は、実施例1と同様にしてカラーフィルタを作製した。
加熱減圧乾燥における加熱温度を45℃とし、処理時間を第1平衡圧力および第2平衡圧力の中間圧力となる時間(=t5)とした以外は、実施例1と同様にしてカラーフィルタを作製した。
加熱減圧乾燥における加熱温度を50℃とし、処理時間を第1平衡圧力および第2平衡圧力の中間圧力となる時間(=t5)とした以外は、実施例1と同様にしてカラーフィルタを作製した。
加熱減圧乾燥における加熱温度を40℃とし、処理時間を第1平衡圧力の状態の中間(=t4)とした以外は、実施例1と同様にしてカラーフィルタを作製した。
加熱減圧乾燥における加熱温度を45℃とし、処理時間を第1平衡圧力の状態の中間(=t4)とした以外は、実施例1と同様にしてカラーフィルタを作製した。
加熱減圧乾燥における加熱温度を50℃とし、処理時間を第1平衡圧力の状態の中間(=t4)とした以外は、実施例1と同様にしてカラーフィルタを作製した。
加熱減圧乾燥における加熱温度を40℃とし、処理時間を第1平衡圧力に達する時間(=t1)とした以外は、実施例1と同様にしてカラーフィルタを作製した。
加熱減圧乾燥における加熱温度を45℃とし、処理時間を第1平衡圧力に達する時間(=t1)とした以外は、実施例1と同様にしてカラーフィルタを作製した。
加熱減圧乾燥における加熱温度を50℃とし、処理時間を第1平衡圧力に達する時間(=t1)とした以外は、実施例1と同様にしてカラーフィルタを作製した。
実施例および比較例で作製したカラーフィルタを用いて液晶表示装置を作製し、点灯試験を行った。その結果、実施例では、混色決壊が無いカラーフィルタを安定的に製造することができた。一方、比較例では、カラーフィルタ基板上に液滴落下に起因する混色箇所が発生していた。
Claims (2)
- 基板と、前記基板上に形成され、開口部を備える遮光部と、前記開口部にインクジェット法により塗布された着色層形成用塗工液からなる乾燥前着色層と、を有するカラーフィルタ用基板を、加熱減圧乾燥装置を用いて結露防止圧力となるまで減圧乾燥する乾燥工程を有するカラーフィルタの製造方法であって、
前記結露防止圧力が、前記カラーフィルタ用基板を減圧乾燥した際に観察される1回目の平衡圧力である第1平衡圧力より低い圧力であることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 前記結露防止圧力が、前記カラーフィルタ用基板を減圧乾燥した際に観察される2回目の平衡圧力である第2平衡圧力と同圧力であることを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタの製造方法。
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