JP2010010477A - デチャック機構、真空装置、デチャック方法およびデチャック用部品 - Google Patents
デチャック機構、真空装置、デチャック方法およびデチャック用部品 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】真空装置2は、真空容器3を有している。
真空容器3の内部には静電チャック15が設けられており、静電チャック15は表面に基板51を保持する保持面16を有している。
さらに、静電チャック15には基板突き上げ棒21a、21bが設けられている。
また、真空容器3の内部にはプラズマ81を照射するプラズマ源23が設けられている。
デチャックを行う場合は、プラズマ源23を用いてプラズマ81を保持面16と基板51の間に向けて照射し、基板突き上げ棒21a、21bを用いて基板51を静電チャック15から引き剥がす。
照射されたプラズマ81は、保持面16と基板51の間に入り込み、保持面16と基板51の残留電荷を中和するので、デチャックが迅速に行われる。
【選択図】 図1
Description
2…………真空装置
3…………真空容器
11………基板ホルダ
15………静電チャック
17………静電チャック用電源
21a……基板突き上げ棒
23………プラズマ源
31………真空ポンプ
33………真空バルブ
37………プラズマ発生容器
39………プラズマ照射口
41………キャリアガス流入口
43………フィラメント
45………電源
53………冷却ガス充填用溝
55………冷却ガス流路
61………プラズマ発生管
61a……キャリアガス流入口
61b……プラズマ照射口
63………プラズマ発生用コイル
65………電源
67………プラズマ発生管
67a……キャリアガス流入口
67b……プラズマ照射口
69………プラズマ発生用コイル
71………電源
73………プラズマ発生管
73a……キャリアガス流入口
73b……プラズマ照射口
75………電極
77………電極
79………電源
Claims (14)
- 基板を保持する保持面を有する静電チャックと、
前記保持面と前記基板の間にプラズマを照射するプラズマ源と、
を有することを特徴とするデチャック機構。 - 前記静電チャックには、前記保持面から前記基板を引き剥がすための突き上げ棒が設けられていることを特徴とする請求項1記載のデチャック機構。
- 前記保持面には、冷却ガス充填用溝が設けられ、
前記プラズマ源は、前記冷却ガス充填用溝に接するように前記静電チャック内部に設けられていることを特徴とする請求項1記載のデチャック機構。 - 前記プラズマ源は、
プラズマ発生容器と、
前記プラズマ発生容器に設けられ、プラズマ化させるガスが流入するキャリアガス流入口と、
前記プラズマ発生容器に設けられ、プラズマを照射するプラズマ照射口と、
を有し、
前記プラズマ照射口は、前記保持面と前記基板の間を向くように設けられていることを特徴とする請求項1記載のデチャック機構。 - 前記プラズマ源は、
前記プラズマ発生容器内に設けられたフィラメントと、
前記フィラメントに接続された直流電源と、
を有することを特徴とする請求項4記載のデチャック機構。 - 前記プラズマ源は、
前記プラズマ発生容器の周囲または内部に設けられたプラズマ発生用コイルと、
前記プラズマ発生用コイルに接続された交流電源と、
を有することを特徴とする請求項4記載のデチャック機構。 - 前記プラズマ源は、
前記プラズマ発生容器内に設けられた一対の電極と、
一対の前記電極に接続された交流電源またはパルス電源と、
を有することを特徴とする請求項4記載のデチャック機構。 - 請求項1〜請求項7のいずれかに記載のデチャック機構を有することを特徴とする真空装置。
- 静電チャックに保持された基板をデチャックするデチャック方法であって、
前記静電チャックの保持面と、前記保持面に保持された基板の間にプラズマを照射する工程を有することを特徴とするデチャック方法。 - 前記工程は、前記保持面から前記基板を引き剥しながら、前記静電チャックの保持面と、前記保持面に保持された基板の間にプラズマを照射する工程であることを特徴とする請求項9記載のデチャック方法。
- 基板を保持する保持面を有する静電チャックのデチャックに用いられるデチャック用部品であって、
プラズマ発生容器と、
前記プラズマ発生容器に設けられ、プラズマ化させるガスが流入するキャリアガス流入口と、
前記プラズマ発生容器に設けられ、プラズマを照射するプラズマ照射口と、
を有し、
前記プラズマ照射口は、前記保持面と前記基板の間を向くように設けられていることを特徴とするデチャック用部品。 - 前記プラズマ発生容器内に設けられたフィラメントと、
前記フィラメントに接続された直流電源と、
を有することを特徴とする請求項11記載のデチャック用部品。 - 前記プラズマ源は、
前記プラズマ発生容器の周囲または内部に設けられたプラズマ発生用コイルと、
前記プラズマ発生用コイルに接続された交流電源と、
を有することを特徴とする請求項11記載のデチャック用部品。 - 前記プラズマ源は、
前記プラズマ発生容器内に設けられた一対の電極と、
一対の前記電極に接続された交流電源またはパルス電源と、
を有することを特徴とする請求項11記載のデチャック用部品。
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