JP2009289308A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ワード線選択レベルをロジック用電源及びメモリセル用電源の中間電圧にすることで動作安定性を向上させるとともに、低電圧化を実現する。
【解決手段】第1の電源電圧が供給されるロジック回路と、第1の電源電圧よりも高い第2の電源電圧が供給され、互いに交差する複数のワード線及びビット線並びにそれら交差部に接続された複数のメモリセルを有するセルアレイと、ワード線を駆動するワード線ドライバとを備え、ワード線ドライバは、第1の電源電圧の供給端とワード線の駆動端との間及び第2の電源電圧の供給端とワード線の駆動端との間に接続された複数のプルアップ回路、及び前記ワード線の駆動端と接地端との間に接続されたプルダウン回路とを備え、ワード線駆動時に複数のプルアップ回路の駆動力の比に応じた第1及び第2の電源電圧の中間電圧でワード線を駆動する。
【選択図】図4
【解決手段】第1の電源電圧が供給されるロジック回路と、第1の電源電圧よりも高い第2の電源電圧が供給され、互いに交差する複数のワード線及びビット線並びにそれら交差部に接続された複数のメモリセルを有するセルアレイと、ワード線を駆動するワード線ドライバとを備え、ワード線ドライバは、第1の電源電圧の供給端とワード線の駆動端との間及び第2の電源電圧の供給端とワード線の駆動端との間に接続された複数のプルアップ回路、及び前記ワード線の駆動端と接地端との間に接続されたプルダウン回路とを備え、ワード線駆動時に複数のプルアップ回路の駆動力の比に応じた第1及び第2の電源電圧の中間電圧でワード線を駆動する。
【選択図】図4
Description
本発明は、半導体記憶装置に関し、特に、ロジック用電源及びメモリセル用電源の2系統の電源が供給されるSRAMに関する。
携帯機器で使用されるLSIは、バッテリでの駆動時間を長くするため低消費電力化が要求されている。低消費電力化には電源電圧を下げることが効果的だが、近年のスケーリングの進展による素子の特性ばらつきの増加により、LSI中で使用されるSRAMの動作マージンが減少しており、SRAMの動作電圧を下げることが困難となっている。この場合、LSI全体の電源電圧も下げることができないため問題となる。
このような問題に対処するため、メモリセルのみロジック用電源電圧よりも高い電源電圧を供給する手法が採用されている(非特許文献1)。この場合、SRAMの動作電圧以下までロジック用電源電圧を下げることができるため、LSIの消費電力を抑えることが可能となる。
しかしながら、デバイススケーリングがさらに進展すると、メモリセル用電源とロジック用電源の乖離が益々大きくなる。メモリセル用電源電圧を上昇させていくとメモリセル用電源の消費電流が増大するため、ロジック用電源電圧を低下させてもLSI全体の消費電流を十分抑えられなくなる。また、デバイスの信頼性上、印加できる電源電圧には上限があるため、メモリセル用電源を使用したとしても十分な動作マージンを確保することができない。
J Pille, et al., 2007 IEEE International Solid-State Circuits Conference Digest of Technical papers, p322
J Pille, et al., 2007 IEEE International Solid-State Circuits Conference Digest of Technical papers, p322
本発明は、ワード線選択レベルをロジック用電圧及びメモリセル用電圧の中間電圧にすることで動作安定性を向上させるとともに、低電圧化させた半導体記憶装置を提供することを目的とする。
本発明の一態様に係る半導体記憶装置は、第1の電源電圧が供給されるロジック回路と、前記第1の電源電圧よりも高い第2の電源電圧が供給され、互いに交差する複数のワード線及びビット線並びにそれら交差部に接続された複数のメモリセルを有するセルアレイと、前記ワード線を駆動するワード線ドライバとを備え、前記ワード線ドライバは、前記第1の電源電圧の供給端と前記ワード線の駆動端との間及び前記第2の電源電圧の供給端と前記ワード線の駆動端との間に接続された複数のプルアップ回路、及び前記ワード線の駆動端と接地端との間に接続されたプルダウン回路とを備え、前記ワード線駆動時に前記複数のプルアップ回路の駆動力の比に応じた前記第1及び第2の電源電圧の中間電圧で前記ワード線を駆動することを特徴とする。
本発明によれば、ワード線選択レベルをロジック用電圧及びメモリセル用電圧の中間電圧にすることで動作安定性を向上させるとともに、低電圧化させた半導体記憶装置を提供することができる。
以下、図面を参照しながら、本発明に係る半導体記憶装置の実施の形態について詳細に説明する。
[第1の実施形態]
図1は、本発明の第1の実施形態に係る半導体記憶装置を用いたLSIのブロック図である。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る半導体記憶装置を用いたLSIのブロック図である。
LSI100は、外部とのデータ入出力を行うI/O回路101、データを記憶する半導体記憶装置であるSRAM102、その他の機能を有するロジック回路103を備える。このLSI100には、SRAM102内のロウデコーダ等の周辺回路やロジック回路103を駆動するための第1の電源電圧であるロジック用電圧VDDLと、I/O回路101を駆動するためのI/O用電圧VDDIOが供給される。ここで、I/O用電圧VDDIOは、ロジック用電圧VDDLよりも高い電圧であり、例えば、ロジック用電圧VDDL=0.9Vの場合、I/O用電圧VDDIO=2.5Vとなる。
さらに、LSI100は、SRAM102を駆動するための第2の電源電圧であるメモリセル用電圧VDDMを生成する電圧生成回路104と、その電圧生成回路104にメモリセル用電圧VDDMを生成するための基準電圧Vrefを生成し供給する基準電圧生成回路105を備える。ここで、基準電圧Vrefは、ロジック用電圧VDDLより所定の高さ△Vだけ高い電圧になるよう制御される。例えば、ロジック用電圧VDDL=0.9V、△V=0.2Vであった場合、基準電圧Vref=1.1Vに制御される。この場合、電圧生成回路104は、基準電圧Vrefからメモリセル用電圧VDDM=1.1Vの電圧を生成する。
次に、SRAM102について説明する。
図2は、本実施形態のSRAM102のブロック図である。
SRAM102は、相互に交差する複数のワード線WL及び複数のビット線BL、/BLと、それら交差部に接続された複数のメモリセルとを有するセルアレイ106を備える。また、ワード線WLを選択し駆動するワード線ドライバを有するロウデコーダ107と、ビット線BL、/BLを選択するカラムデコーダ108とを備える。さらに、カラムデコーダ108及びビット線BL、/BLを介して所定のメモリセルに対してデータの書き込み及び読み出しを行う読み出し/書き込み回路109を備える。
このSRAM102に供給されるロジック用電圧VDDLは、ロウデコーダ107、カラムデコーダ108及び読み出し/書き込み回路109の駆動に利用される。一方、メモリセル用電圧VDDMはセルアレイ106及びロウデコーダ107の駆動に利用される。
次に、セルアレイ106内の回路について説明する。
図3は、本実施形態のセルアレイ106が備えるメモリセルの回路図である。
メモリセルは、例えば、6トランジスタ型のメモリセル110である。すなわち、ソースがメモリセル用電圧VDDMレベルの電源線及び接地電圧VSSレベルの接地線にそれぞれ接続され相補対接続されたPMOSトランジスタQ101及びNMOSトランジスタQ102を備えたインバータIV101と、ソースがメモリセル用電圧VDDMレベルの電源線及び接地電圧VSSレベルの接地線にそれぞれ接続され相補対接続されたPMOSトランジスタQ103及びNMOSトランジスタQ104を備えたインバータIV102とを有する。これらインバータIV101、IV102の入力と出力は相互に接続されている。ビット線BLとインバータIV101の出力端との間には、NMOSランジスタQ105が接続され、ビット線/BLとインバータIV102の出力端との間には、NMOSトランジスタQ106が接続されている。NMOSトランジスタQ105、Q106のゲートは、ワード線WLに接続されている。なお、この6トランジスタ型のメモリセル110を用いた書き込み動作は、ビット線BL、/BLの双方で行われるが、読み出し動作については、一方のビット線BLのみからなされるシングルエンド読み出しでも良い。
図4は、本実施形態のロウデコーダ107が備えるワード線ドライバの回路図である。
ワード線ドライバ111は、ロジック用電圧VDDLで駆動され、所定のワード線WLを選択するロウデコード信号PXA及びPXBが入力されるNORゲートG101と、メモリセル用電圧VDDMで駆動され、NORゲートG101の出力OUT101を入力とするインバータIV103とを備える。さらにインバータIV103の出力OUT102を入力とし、出力端がワード線WLに接続されたインバータIV104を備える。
このインバータIV104は、プルダウン回路として、接地電圧VSSレベルの接地線とワード線WL間に接続されたNMOSトランジスタQ107を有する。また、プルアップ回路として、ロジック用電圧VDDLレベルの電源線とワード線WL間に接続されたPMOSトランジスタQ108と、メモリセル用電圧VDDMレベルの電源線とワード線WL間に接続され、PMOSトランジスタQ108に並列接続されたPMOSトランジスタQ109とを備える。これらNMOSトランジスタQ107、PMOSトランジスタQ108及びQ109のゲートには、それぞれインバータIV103の出力OUT102が入力されている。
続いて、上記構成によるワード線ドライバ111のワード線WL選択時の動作について説明する。
図5は、本実施形態のワード線ドライバ111について、ロジック用電圧VDDL=0.9V、メモリセル用電圧VDDM=1.1Vとした場合の動作波形を示すグラフである。
ワード線WLを選択するワード線ドライバ111には、共に“L”であるロウデコード信号PXA及びPXBが与えられ、NORゲートG101に入力される。これにより、NORゲートG101の出力OUT101は“H”、インバータIV103の出力OUT102は“L”となる。その結果、プルダウン回路のNMOSトランジスタQ107はオフされ、ワード線WLは接地線と遮断される。一方、PMOSトランジスタQ108及びQ109はオンされ、ワード線WLにはロジック用電圧VDDL及びメモリセル用電圧VDDMが供給される。ここでワード線WLの選択レベルは、PMOSトランジスタQ108及びQ109の駆動力の比で決定される。具体的には、PMOSトランジスタQ108及びQ109の駆動力をそれぞれDF1及びDF2とすると、ワード線WLの選択レベルは、(VDDL×DF1+VDDM×DF2)/(DF1+DF2)で表すことができる。図5は、NMOSトランジスタQ108及びQ109の駆動力が同じ場合の動作波形のグラフである。この図から、ワード線WLの選択レベルが、ロジック用電圧VDDL及びメモリセル用電圧VDDMの中間レベルである1.0Vになっていることが分かる。
次に、上記構成によるSRAM102のデータ読み出し動作について説明する。ここでは、記憶ノードn、nbにそれぞれ“H”(メモリセル用電圧VDDMレベル=1.1V)、“L”(接地電圧VSSレベル=0.0V)が保持されているものとする。したがって、メモリセル110のトランジスタQ101、Q104はオン状態、トランジスタQ102、Q103はオフ状態となっている。
ワード線WLの選択前、ビット線BL及び/BLは、読み出し/書き込み回路109が備えるプリチャージ回路によりロジック用電圧VDDLレベル(0.9V)にプリチャージされている。
この状態において、ワード線WLを選択すると、ワード線WLは選択レベル(1.0V)となる。この場合、ワード線WL及び記憶ノードn間には、NMOSトランジスタQ105の閾値電圧を超える電位差が生じないことから、NMOSトランジスタQ105のオフ状態が維持される。一方、ワード線WL及び記憶ノードnb間には、NMOSトランジスタQ106の閾値電圧を超える電位差が生じることから、NMOSトランジスタQ106はオンされる。その結果、オンされているトランジスタQ106、Q104を介してビット線/BLと接地線が接続され、ビット線/BLは接地電圧VSSレベルに引き下げられることとなる。
以上の動作により、ビット線BL及び/BLの電位差として現れたメモリセル110のデータは、読み出し/書き込み回路109が備えるセンスアンプ回路により検知・増幅され外部に読み出される。この際、ロジック用電圧VDDLにプリチャージされたビット線/BLにより記憶ノードnbが接地電圧VSSよりも浮き、不安定な状態となる。記憶ノードnbの浮きが大きいと、メモリセル110が反転して記憶データが破壊される恐れがある。
図6は、本実施形態のメモリセル110の記憶ノードn、nbに保持しているデータを安定的に読み出せるかどうかを視覚的に表したいわゆるメガネ特性を示す図である。本実施形態との比較のために、ワード線WLの選択レベルVWLをメモリセル用電圧VDDMレベルと同じレベルである1.1Vとした従来技術に係るメモリセルのメガネ特性を併せて示す。
メガネ特性は、ビット線BL、/BLのレベルが共にロジック用電圧VDDLで、ワード線WLが選択された際の、フリップフロップを構成する2つのインバータIV101及びIV102の特性を互いの入出力が交差するように重ねて描いたものである。
図6の点線で示す内接正方形の一辺の長さがスタティックノイズマージン(以下、SNMとする)と呼ばれ、フリップフロップの安定性の尺度として用いられる。
図6に示すようにワード線WLの選択レベルVWLをメモリセル用電圧VDDMと同じ1.1Vとした場合のSNMは190mVであるが、ワード線WLの選択レベルVWLを1.0Vと下げることによりSNMは230mVと、40mV改善する。
以上から、本実施形態によれば、ワード線WLの選択レベルVWLをロジック用電圧VDDLとメモリセル用電圧VDDMの中間電圧にすることで、メモリセル110のデータ読み出しの安定性を向上させた半導体記憶装置を提供することができる。
また、その中間電圧はPMOSトランジスタQ108及びQ109の駆動力の比で決定し、それら駆動力は、主にトランジスタのチャネル長、チャネル幅に依存するが、その点、LSIのプロセス自体にばらつきがあったとしても、連続的に配置が可能なPMOSトランジスタQ108及びQ109のプロセスばらつきは、両者ともに同程度である場合が多く、駆動力比自体に大きな変動はない。つまり、プロセスばらつきによる影響を受けにくい回路構成と言える。
さらに、従来技術に係る一般的なワード線ドライバにおいては、駆動力を確保するため、複数のプルアップ用トランジスタを並列接続して使用する場合が多いが、それぞれのプルアップ用トランジスタのソースをロジック用電圧VDDLとメモリセル用電圧VDDMに接続するだけで足り、従来技術に係るワード線ドライバと比べてもチップ面積の増大を招くものではない。
[第2の実施形態]
図7は、本発明の第2の実施形態に係る半導体記憶装置のワード線ドライバの回路図である。
図7は、本発明の第2の実施形態に係る半導体記憶装置のワード線ドライバの回路図である。
本実施形態のワード線ドライバ211は、第1の実施形態のワード線ドライバ111の最終段のインバータIV104をインバータIV204に替えた構成となっている。
このインバータIV204のプルダウン回路は、接地電圧VSSレベルの接地線とワード線WL間に接続されたNMOSトランジスタQ201からなる。
一方、プルアップ回路は、ワード線WLにドレインが接続された4つのPMOSトランジスタQ202〜Q205を有する。ここで、PMOSトランジスタQ205の駆動力を1とすると、PMOSトランジスタQ202、Q203、Q204の駆動力は、それぞれ4、2、1となっている。これらPMOSトランジスタQ202〜Q205のソースは、それぞれPMOSトランジスタQ206、Q208、Q210及びQ212を介してロジック用電圧VDDLレベルの電源線に接続されると共に、PMOSトランジスタQ207、Q209、Q211及びQ213を介してメモリセル用電圧VDDMレベルの電源線に選択的に接続される。PMOSトランジスタQ206及びQ207のゲートには、それぞれ調整信号T1及び、その逆論理の/T1により制御される。同様に、PMOSトランジスタQ208及びQ209、Q210及びQ211、Q212及びQ213は、それぞれ、調整信号T2及び/T2、T3及び/T3、T4及び/T4により制御される。この調整信号T1〜T4、/T1〜/T4に応じて、PMOSトランジスタQ202〜Q205は、それぞれワード線WLをロジック用電圧VDDL又はメモリセル用電圧VDDMのいずれかにプルアップさせるための回路として切り替えられる。
また、プルダウン回路のNMOSトランジスタQ201、プルアップ回路のPMOSトランジスタQ202〜Q205のゲートには、それぞれインバータIV103の出力OUT102が入力されている。
次に、このワード線ドライバ211の動作について説明する。
外部から入力されたアドレスに基づくロウデコード信号PXA及びPXBが共に“L”の場合、NORゲートG101の出力は“H”、インバータIV103の出力OUT102は、“L”となる。したがって、プルアップ回路のPMOSトランジスタQ202〜Q205がオンされ、プルダウン回路のNMOSトランジスタQ201はオフされる。
ここで、制御信号T1=“H”(/T1=“L”)、T2=“L”(/T2=“H”)、T3=“H”(/T3=“L”)、T4=“L”(/T4=“H”)であった場合、PMOSトランジスタQ203、Q205はワード線WLにロジック用電圧VDDLを供給するプルアップ回路として機能し、PMOSトランジスタQ202、Q204はワード線WLにメモリセル用電圧VDDMを供給するプルアップ回路として機能する。したがって、それら駆動力の比は3:5となる。その結果、概略、ワード線WLの選択レベルVWL=1.025Vとなる。
同様に、制御信号T1=“H”(/T1=“L”)、T2=“L”(/T2=“H”)、T3=“L”(/T3=“H”)、T4=“L”(/T4=“H”)であった場合、PMOSトランジスタQ203、Q204、Q205はワード線WLにロジック用電圧VDDLを供給するプルアップ回路として機能し、PMOSトランジスタQ202はワード線WLにメモリセル用電圧VDDMを供給するプルアップ回路として機能する。したがって、それら駆動力の比は4:4となる。その結果、概略、ワード線WLの選択レベルVWL=1.0Vとなる。
以上から分かるように、ワード線ドライバ211は、制御信号T1〜T4、/T1〜/T4の組み合わせによって、ワード線WLの選択レベルVWLを概略0.025V単位で調整することが可能である。
図8は、図7に示すワード線ドライバ211について、調整値Trimとワード線WLの選択レベルVWLの実測値をプロットしたグラフである。ここで、調整値Trimは、プルアップ回路全体の駆動力を8とした場合のロジック用電圧VDDLにプルアップさせるためのプルアップ回路の駆動力を示す値である。
理論的には、調整値Trim=0の時、ワード線WLの選択レベルVWL=1.1V、調整値Trim=8の時、ワード線WLの選択レベルVWL=0.9Vとなる。
この点、実際には、PMOSトランジスタQ202〜Q205のプロセスによるばらつきがあるため線が多少凸になっているものの、ほぼ直線のグラフになっているのが分かる。
ワード線WLの選択レベルVWLを下げることで安定性は増すが、逆に書き込み特性が悪化する。したがってデータの安定性と書き込み特性のバランスを考慮して、最適なワード線WLの選択レベルVWLを設定することがSRAMの低電圧化を図る上で重要となる。しかし、プロセスのばらつきにより、PMOSトランジスタ及びNMOSトランジスタの閾値電圧が変動し、データの安定性と書き込み特性のバランスも崩れるおそれがある。
この点、本実施形態によれば、ワード線WLの選択レベルVWLが段階的に調整可能であるため、上記バランスを最適にするワード線WLの選択レベルVWLを設定することができる。
また、実装上、プルアップ回路を構成するPMOSトランジスタは近接した場所に配置可能であることから、第1の実施形態と同様、プロセスのばらつきに強い半導体記憶装置を提供することができる。
なお、図7では、PMOSトランジスタQ206〜Q213を1つのワード線ドライバ毎に持っているが、図9に示すように、複数のワード線ドライバで共有しても良い。
[第3の実施形態]
第2の実施形態では、ワード線WLの選択レベルVWLを調整することでメモリセル110のデータの安定性と書き込み特性のバランスを最適にすることを考えた。
第2の実施形態では、ワード線WLの選択レベルVWLを調整することでメモリセル110のデータの安定性と書き込み特性のバランスを最適にすることを考えた。
本発明の第3の実施形態では、他の方法により書き込み特性を改善することで、メモリセルのデータの安定性と書き込み特性のバランス点をさらに低電圧側にシフトすることができる。
図10は、本発明の第3の実施形態に係る半導体記憶装置のブロック図である。
本実施形態は、図1に示すSRAM102のビット線BL及び/BLからなるビット線対間にそれぞれメモリセル電源制御回路312を追加した構成となっている。
このメモリセル電源制御回路312は、ソースをロジック用電圧VDDL及びメモリセル用電圧VDDMの電源線にそれぞれ接続された2つのPMOSトランジスタのドレインを接続してなり、それらPMOSトランジスタの接続されたドレインは、メモリセル110のPMOSトランジスタQ101及びQ103に接続されている。また、2つのPMOSトランジスタのゲートは、メモリセル電源選択信号SVDD及びその反転信号が入力されている。
この構成による回路は、メモリセル電源選択信号SVDDにより制御され、メモリセル電源選択信号SVDD=“L”の場合、メモリセル110のフリップフロップにメモリセル用電圧VDDMを供給し、メモリセル電源選択信号SVDD=“H”の場合、メモリセル110のフリップフロップにロジック用電圧VDDLを供給する。
本実施形態によれば、メモリセル110のフリップフロップに対し、通常時、メモリセル用電圧VDDMを供給し、書き込み時のみロジック用電圧VDDLに供給することができる。この場合、“H”を保持するメモリセルの記憶ノードnあるいはnbの電圧がロジック用電圧VDDLになるため、より高いメモリセル用電圧VDDMにある場合に比べ、“L”への反転が容易となる。つまり、第1及び第2の実施形態の効果を保持しつつ、さらに書き込み特性を改善させた半導体記憶装置を提供することができる。
[第4の実施形態]
図11は、本発明の第4の実施形態に係るLSIのブロック図である。
図11は、本発明の第4の実施形態に係るLSIのブロック図である。
本実施形態は、第1の実施形態のLSIにVID(Voltage-ID)出力機能を付加した構成となっている。このVIDは、LSIのリーク電流と動作速度に応じて決定されるもので、LSI外部から供給されるロジック用電圧VDDLを制御するものである。このVIDはLSI内のフューズ413により設定される。
図12は、本実施形態のメモリセルにおけるロジック用電圧VDDLと実効的なβ比の関係を示すグラフである。ここで、実効的なβ比とは、メモリセル110のドライバ用のNMOSトランジスタQ102(又はQ104)とトランスファ用のNMOSトランジスタQ105(又はQ106)の駆動力の比である。
本実施形態のメモリセル110のフリップフロップに供給されるメモリセル用電圧VDDMは、ロジック用電圧VDDLより一定電圧△Vだけ高い電圧であり、ワード線WLの選択レベルVWLは、それらメモリセル用電圧VDDMとロジック用電圧VDDLの中間電圧となっている。そのため、ロジック用電圧VDDLが低下するほど、実効的なβ比は、上昇することとなる。この実効的なβ比が高い程、ドライバ用のNMOSトランジスタQ102(又はQ104)の駆動力が高くメモリセル110のデータ読み出し時の安定性が高いことを意味する。一方、実効的なβ比が低い程、トランスファ用のNMOSトランジスタQ105(又はQ106)の駆動力が高くメモリセル110へのデータ書き込み特性が良くなることを意味する。
一般的にメモリセル110を構成するトランジスタの閾値電圧が低い場合には、データ読み出し時に記憶ノードn、nbがプルアップし易くなり、安定性が悪くなる。また、トランジスタの閾値電圧が低いと、チップのリーク電流は増加するため、ロジック用電圧VDDLを低くするようなVID設定となる。本実施形態の場合、低いロジック用電圧VDDLが選択されることで、実効的なβ比が高くなり、その結果、安定性を向上させることができる。一方、トランジスタの閾値電圧が高い場合には、データ書き込み特性が悪くなる。また、トランジスタの閾値電圧が高いと、チップの動作速度が遅くなるため、ロジック用電圧VDDLを高くするようなVID設定となる。本実施形態の場合、高いロジック用電圧VDDLが選択されることで、実効的なβ比が低くなり、その結果、データ書き込み特性が向上することになる。
本実施形態によれば、ワード線WLをロジック用電圧VDDL及びメモリセル用電圧VDDMの中間電位とすることで第1〜第3の実施形態と同様の効果を得られるばかりでなく、VIDによるロジック用電圧VDDLの調整と連動して、自律的に実効的なβ比が変化するので、データ読み出し時の安定性及びデータ書き込み特性のバランスを図ることができ、全体としてより低電圧化された半導体記憶装置を提供することができる。
[第5の実施形態]
図13は、本発明の第5の実施形態に係るLSIのブロック図である。
図13は、本発明の第5の実施形態に係るLSIのブロック図である。
本実施形態では、図1に示すLSI100にさらに電圧生成回路504と基準電圧生成回路505を備えている。
基準電圧生成回路505は、外部から与えられるI/O用電圧VDDIOを降圧し、ロジック用電圧VDDLの基準電圧Vref1を生成し、電圧生成回路504に転送する。この基準電圧Vref1を受けた電圧生成回路504では、LSI500内部のロジック回路103を駆動するためのロジック用電圧VDDL_intを生成し、基準電圧生成回路105に供給する。
本実施形態によれば、第1〜第4の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、外部から一律に与えられるロジック用電圧VDDLを、電圧生成回路504により調整することができるため、LSI500の個体毎の特性のばらつきを補うことができる。
100、400、500・・・LSI、101・・・I/O回路、102・・・SRAM、103・・・ロジック回路、104、504・・・電圧生成回路、105、505・・・基準電圧生成回路、106・・・セルアレイ、107・・・ロウデコーダ、108・・・カラムデコーダ、109・・・読み出し/書き込み回路、110・・・6トランジスタ型メモリセル、111、211・・・ワード線ドライバ、312・・・メモリセル電源制御回路、413・・・フューズ、BL、/BL・・・ビット線、G・・・ゲート回路、IV・・・インバータ、n、nb・・・記憶ノード、OUT・・・回路出力、PXA、PXB・・・ロウデコード信号、Q・・・トランジスタ、T・・・調整信号、Trim・・・調整値、VDDIO・・・I/O用電圧、VDDL・・・ロジック用電圧、VDDM・・・メモリセル用電圧、Vref・・・基準電圧、VWL・・・ワード線の選択レベル、WL・・・ワード線。
Claims (5)
- 第1の電源電圧が供給されるロジック回路と、
前記第1の電源電圧よりも高い第2の電源電圧が供給され、互いに交差する複数のワード線及びビット線並びにそれら交差部に接続された複数のメモリセルを有するセルアレイと、
前記ワード線を駆動するワード線ドライバと
を備え、
前記ワード線ドライバは、前記第1の電源電圧の供給端と前記ワード線の駆動端との間及び前記第2の電源電圧の供給端と前記ワード線の駆動端との間に接続された複数のプルアップ回路、及び前記ワード線の駆動端と接地端との間に接続されたプルダウン回路とを備え、前記ワード線駆動時に前記複数のプルアップ回路の駆動力の比に応じた前記第1及び第2の電源電圧の中間電圧で前記ワード線を駆動する
ことを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記ワード線ドライバは、前記複数のプルアップ回路の駆動力の比が可変である
ことを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。 - 前記複数のプルアップ回路は、並列接続された複数のPMOSトランジスタからなり、前記複数のPMOSトランジスタのオンオフの組合せにより前記ワード線を駆動する電圧を可変する
ことを特徴とする請求項2記載の半導体記憶装置。 - 前記セルアレイは、書き込み対象のメモリセルを含むカラムのみ前記第1の電源電圧が供給され、その他のカラムには前記第2の電源電圧が供給される
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の半導体記憶装置。 - 前記第1の電源電圧を制御する電源回路を備えた
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載の半導体記憶装置。
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