JP2009277678A - 露光装置とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マスクを保持するマスクステージ装置STと、マスクを照明する照明装置IL2とを有する。マスクステージ装置と照明装置とを一体的に昇降させる昇降装置LTを備える。
【選択図】図2
Description
上記露光装置は、小型化が要求されているため、投影光学系とその上方に配されるマスクステージや照明装置との間には最低限の隙間しか形成されていない。
そのため、レンズ交換等、投影光学系に対してメンテナンスを行う際には、作業スペースを確保するために、照明光学系及びマスクステージを分解して取り外し、メンテナンスが終了した後に再度組み立てて取り付ける作業が必要になり、多大な手間と時間が掛かるという問題があった。
この問題は、上述した投影光学系を吊り下げ支持する構成の有無に限らず生じるものである。
本発明の露光装置は、マスク(R)を保持するマスクステージ装置(ST)と、マスクを照明する照明装置(IL2)とを有する露光装置(EX)であって、マスクステージ装置と照明装置とを一体的に昇降させる昇降装置(LT)を備えるものである。
なお、本発明をわかりやすく説明するために、一実施例を示す図面の符号に対応付けて説明したが、本発明が実施例に限定されるものではないことは言うまでもない。
図1は、本発明に係る露光装置EXの概略構成を示す図である。
同図に示す露光装置EXは、レチクルRとウエハ(基板)Wとを一次元方向に同期移動しつつ、レチクルRに形成されたパターンをウエハW上の各ショット領域に転写するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置、すなわち、いわゆるスキャニング・ステッパである。
照明ユニットIL2は、コラム32により支持されている。コラム32は、本体コラムCLに支持される。
支持部41上には、コラム32が不図示の締結手段により締結支持されている。
支持部35には照明系チャンバ19Eから射出される露光光ELを通過させる開口部が設けられている。また、この開口部内のうち露光光ELの光路に対するX方向両端部には、レチクルRの位置決めのためのアライメントシステムの一部を構成する一対のアライメント系21が設けられている。
レチクルステージRSTは、レチクル定盤33上に不図示のエアベアリングを介して支持されており、レチクルRを支持しつつ投影光学系PLの光軸AXに垂直なXY平面内の2次元移動及びZ方向の回転角の調整を行うステージである。レチクルステージRST上に支持されるレチクルRのXY方向の位置及びZ方向の回転角は、例えばレーザ干渉計10、移動鏡Mr及び参照鏡Meによってリアルタイムで測定され、その測定結果は不図示の制御装置に出力されるようになっている。レチクルステージRSTには、例えばリニアモータなどから構成される不図示の駆動系が設けられており、制御装置がレーザ干渉計10の測定結果に基づいてその駆動系を制御することで、レチクルステージRSTに支持されているレチクルRの位置決めが行われるようになっている。レチクル定盤33は、防振装置30A及び30Bを介してレチクルベース31に支持されている。レチクル定盤33の中央部底面には、投影光学系PLの上部を収容するための凹部が形成されており、この凹部には露光光ELを通過させる開口部が形成されている。レチクルベース31は、本体コラムCLの支持部41に支持されており、投影光学系PLを収容するための貫通孔31aを有している。
メトロロジーフレーム15の下面には、ウエハW表面の複数の計測点にスリット像を投影する投射光学系23Aと、その表面からの反射光を受光してそれらスリット像の再結像の横ずれ量に関する情報を検出する受光光学系23Bとが固定されている。
計測ステージMSTは、ウエハステージWSTと同様、ウエハ定盤WB上にエアベアリングによって支持されており、不図示のリニアモータによってウエハ定盤WB上にXY平面内で移動可能に支持・案内されるようになっている。計測ステージMSTのX方向、Y方向及びθZ方向の位置は、レーザ干渉計12B、移動鏡Mm及び参照鏡Mf2によってリアルタイムで測定され、測定結果が制御装置に出力されるようになっている。
なお、これらレーザ干渉計に代えてエンコーダシステムによって、メトロロジーフレーム15と投影光学系PLとの相対位置を求めてもよい。例えば、ウエハステージWSTと計測ステージMSTにリニアエンコーダのスケール部を設け、メトロロジーフレーム15に支持されたエンコータヘッドでそのスケール部をモニタすることでウエハステージWSTや計測ステージMSTの位置を検出する(X,Y,Z位置ともに検出可能)ことができる。このようなエンコータシステムをレーザ干渉計と併用するようにしてもよい。さらに、他の計測方法を用いて、ウエハステージWSTと計測ステージMSTの位置を求めるようにしてもよい。
まず、コラム32、レチクルベース31が本体コラムCLの支持部41に締結固定されている場合には、予め締結を解除する。また、照明ユニットIL2においては、接続部19Fを照明ユニットIL1との接続位置から退避位置へ移動させる。
これにより、軸体45の先端に設けられた当接部46が所定距離空走した後に、コラム32における側壁部34の下面(−Z側の面)に当接し、さらに移動することにより、コラム32とともに照明ユニットIL2をガイド装置51でガイドさせた状態で上昇させる。
これにより、図6に示すように、照明ユニットIL2とステージ装置STとの間は距離Sだけ拡がることになる。そのため、例えば、この状態でレチクルステージRST等、ステージ装置STに対するメンテナンス処理を行うようにしてもよい。
そして、位置検出装置により、コラム32が所定位置まで上昇したことを検出すると、制御装置はモータの駆動を停止させる。
これにより、ステージ装置STと投影光学系PLとの間の距離が拡がることになる。そのため、例えば、形成された隙間を介して、投影光学系PLに対するメンテナンス処理を行うようにしてもよい。
この図に示すように、支持部41上に搬送工具63を設置した後に、昇降装置LTにより照明ユニットIL2とステージ装置STとを下降させて、ステージ装置STをローラ部材62上に載置し、連結装置52を取り除く。
これにより、投影光学系PLの+Z側には、ステージ装置STが配置されていた箇所に大きな空間が形成されることになる。そのため、例えば、この空間をメンテナンス用空間として用いることで、投影光学系PLに対して円滑にメンテナンス作業を実施することができる。
これにより、本体コラムCLの上方(+Z側)には、ステージ装置ST及び照明ユニットIL2が搬出された後の大きなメンテナンス空間が形成される。
具体的には、まず、搬送工具70を用いて、ローラ部材62及び支持部材64に支持された照明ユニットIL2を露光装置EXに隣接配置させ、ローラ部材62及び支持部材64をレール部材74及びレール部材61に沿って順次走行させることにより、照明ユニットIL2を本体コラムCL(露光装置EX)上に搬入する。
そして、この状態で搬送工具63を支持部41(本体コラムCL)から取り除いた後に、昇降装置LTにより照明ユニットIL2とステージ装置STとを下降させ、ステージ装置STが支持部41に載置されたところで一旦昇降装置LTの下降動作を停止して(図6参照)、ステージ装置STを支持部41に締結固定する。
このとき、側壁部34に設けられた凸部49、50がワッシャ36A、36Cに設けられた凹部47、48にそれぞれ嵌合することにより、照明ユニットIL2は、支持部41(すなわち本体コラムCL)に位置決めされた状態で固定される。
かくして、照明ユニットIL2及びステージ装置STが本体コラムCLに固定される。
また、本実施形態では、照明ユニットIL2の昇降時に、ガイド装置51によりガイドするため、照明ユニットIL2とステージ装置STとを円滑、且つ安定して昇降させることが可能になるとともに、地震等が生じて照明ユニットIL2が大きく揺れる場合でも照明ユニットIL2をガードすることができ、安全性も高めることが可能になる。
さらに、上記実施形態では、照明ユニットIL2とステージ装置STとを連結装置52により連結し、昇降装置LTが照明ユニットIL2に当接して双方を一体的に昇降させる構成としたが、これに限られず、昇降装置LTがステージ装置STに当接して双方を一体的に昇降させる構成としてもよい。
まず、ステップS10(設計ステップ)において、マイクロデバイスの機能・性能設計(例えば、半導体デバイスの回路設計等)を行い、その機能を実現するためのパターン設計を行う。引き続き、ステップS11(マスク製作ステップ)において、設計した回路パターンを形成したマスク(レチクル)を製作する。一方、ステップS12(ウエハ製造ステップ)において、シリコン等の材料を用いてウエハを製造する。
次に、ステップS13(ウエハ処理ステップ)において、ステップS10〜ステップS12で用意したマスクとウエハを使用して、後述するように、リソグラフィ技術等によってウエハ上に実際の回路等を形成する。次いで、ステップS14(デバイス組立ステップ)において、ステップS13で処理されたウエハを用いてデバイス組立を行う。このステップS14には、ダイシング工程、ボンティング工程、及びパッケージング工程(チップ封入)等の工程が必要に応じて含まれる。最後に、ステップS15(検査ステップ)において、ステップS14で作製されたマイクロデバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経た後にマイクロデバイスが完成し、これが出荷される。
ステップS21(酸化ステップ)おいては、ウエハの表面を酸化させる。ステップS22(CVDステップ)においては、ウエハ表面に絶縁膜を形成する。ステップS23(電極形成ステップ)においては、ウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップS24(イオン打込みステップ)においては、ウエハにイオンを打ち込む。以上のステップS21〜ステップS24のそれぞれは、ウエハ処理の各段階の前処理工程を構成しており、各段階において必要な処理に応じて選択されて実行される。
ウエハプロセスの各段階において、上述の前処理工程が終了すると、以下のようにして後処理工程が実行される。この後処理工程では、まず、ステップS25(レジスト形成ステップ)において、ウエハに感光剤を塗布する。引き続き、ステップS26(露光ステップ)において、上で説明したリソグラフィシステム(露光装置)及び露光方法によってマスクの回路パターンをウエハに転写する。次に、ステップS27(現像ステップ)においては露光されたウエハを現像し、ステップS28(エッチングステップ)において、レジストが残存している部分以外の部分の露出部材をエッチングにより取り去る。そして、ステップS29(レジスト除去ステップ)において、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらの前処理工程と後処理工程とを繰り返し行うことによって、ウエハ上に多重に回路パターンが形成される。
Claims (10)
- マスクを保持するマスクステージ装置と、前記マスクを照明する照明装置とを有する露光装置であって、
前記マスクステージ装置と前記照明装置とを一体的に昇降させる昇降装置を備える露光装置。 - 所定のパターン像を基板に投影する光学部材と、
前記光学部材を支持する構造体とを有し、
前記昇降装置は、前記構造体に対して前記マスクステージ装置と前記照明装置とを一体的に昇降させる請求項1記載の露光装置。 - 前記光学部材は、前記構造体に吊り下げ支持される請求項2記載の露光装置。
- 凹部と凸部とを有し、前記凹部に前記凸部が嵌合することで位置決めが行われる位置決め装置を有し、
前記凹部と前記凸部の一方は、前記マスクステージ装置と前記照明装置との少なくとも一方に設けられ、
前記凹部と前記凸部の他方は、前記構造体に設けられる請求項2または3記載の露光装置。 - 前記昇降措置は、前記マスクステージ装置と前記照明装置とを時間差をつけて一体的に昇降させる請求項1から4のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記マスクステージ装置と前記照明装置とは、当該前記マスクステージ装置と前記照明装置との昇降方向の距離よりも長い連結装置で連結され、
前記昇降装置は、前記連結装置を前記マスクステージ装置と前記照明装置との一方に当接して昇降させる請求項5記載の露光装置。 - 前記マスクステージ装置と前記照明装置との少なくとも一方の昇降をガイドするガイド装置を有する請求項1から6のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記照明装置と接続される第2照明装置を有し、
前記照明装置の前記第2照明装置との接続部は、前記第2照明装置と接続される第1位置と、前記第2照明装置と離間した第2位置との間を前記昇降する方向とは交差する方向に沿って移動自在である請求項1から7のいずれか一項に記載の露光装置。 - マスクを保持するマスクステージ装置と、前記マスクを照明する照明装置とを有する露光装置の製造方法であって、
前記マスクステージ装置と前記照明装置とを一体的に昇降させる過程を有する露光装置の製造方法。 - 前記マスクステージ装置と前記照明装置とを一体的に昇降させる前記過程は、前記マスクステージ装置と前記照明装置の一方が昇降を開始してから所定の時間差をつけて前記マスクステージ装置と前記照明装置の他方の昇降を開始することで両者を一体的に昇降させる請求項9に記載の露光装置の製造方法。
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