JP2009267390A - オプティカルインテグレータ、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 - Google Patents
オプティカルインテグレータ、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 光源(1)からの光に基づいて被照射面(M;W)を照明する照明光学系の光路中に設けられたオプティカルインテグレータ(9)は、Z方向に所定の屈折力を有する複数の第1屈折面と、その後側に設けられてZ方向に所定の屈折力を有する複数の第2屈折面とを有する。少なくとも2つの隣り合う第2屈折面の間には、被照射面に達する光の位置が被照射面の中心からY方向に沿って離れるにしたがって減光率の増大する減光率特性を有する減光部が設けられている。
【選択図】 図1
Description
前記照明光学系の光軸と直交する平面内の第1方向に所定の屈折力を有する複数の第1屈折面と、
前記複数の第1屈折面に対応するように前記複数の第1屈折面の後側に設けられて、前記第1方向に所定の屈折力を有する複数の第2屈折面と、
少なくとも2つの隣り合う第2屈折面の間に設けられて、前記被照射面に達する光の位置が前記被照射面の中心から前記第1方向に沿って離れるにしたがって減光率の増大する減光率特性を有する減光部とを備えていることを特徴とするオプティカルインテグレータを提供する。
第1形態のオプティカルインテグレータを備えていることを特徴とする照明光学系を提供する。
前記所定のパターンが転写された前記感光性基板を現像し、前記所定のパターンに対応する形状のマスク層を前記感光性基板の表面に形成する現像工程と、
前記マスク層を介して前記感光性基板の表面を加工する加工工程とを含むことを特徴とするデバイス製造方法を提供する。
3 回折光学素子
4 アフォーカルレンズ
6 濃度フィルター
7 ズームレンズ
9,19 シリンドリカルマイクロフライアイレンズ(オプティカルインテグレータ)
10 コンデンサー光学系
11 マスクブラインド
12 結像光学系
M マスク
PL 投影光学系
AS 開口絞り
W ウェハ
Claims (18)
- 被照射面を照明する照明光学系に用いられる波面分割型のオプティカルインテグレータにおいて、
前記照明光学系の光軸と直交する平面内の第1方向に所定の屈折力を有する複数の第1屈折面と、
前記複数の第1屈折面に対応するように前記複数の第1屈折面の後側に設けられて、前記第1方向に所定の屈折力を有する複数の第2屈折面と、
少なくとも2つの隣り合う第2屈折面の間に設けられて、前記被照射面に達する光の位置が前記被照射面の中心から前記第1方向に沿って離れるにしたがって減光率の増大する減光率特性を有する減光部とを備えていることを特徴とするオプティカルインテグレータ。 - 前記複数の第1屈折面は、前記平面内で前記第1方向と直交する第2方向にほぼ無屈折力であり、前記複数の第2屈折面は、前記第2方向にほぼ無屈折力であることを特徴とする請求項1に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記減光部は、前記平面内で前記第1方向と直交する第2方向に沿って延びるV字状の切削面を有することを特徴とする請求項1または2に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記減光部は、前記平面内で前記第1方向と直交する第2方向に沿って延びる反射膜を有することを特徴とする請求項1または2に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記減光部は、前記平面内で前記第1方向と直交する第2方向に沿って延びる減光膜を有することを特徴とする請求項1または2に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記減光部は、前記平面内で前記第1方向と直交する第2方向に沿って延びる光散乱膜を有することを特徴とする請求項1または2に記載のオプティカルインテグレータ。
- 光の入射側から順に、第1光学部材と、第2光学部材とを備え、
前記第1光学部材の射出側には、前記複数の第1屈折面が前記第1方向に沿って配列され、
前記第2光学部材の射出側には、前記複数の第2屈折面が前記第1方向に沿って配列されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。 - 前記複数の第1屈折面は、前記平面内で前記第1方向と直交する第2方向にほぼ無屈折力であり、
前記複数の第2屈折面は、前記第2方向にほぼ無屈折力であり、
前記第1光学部材の入射側には、前記第2方向に所定の屈折力を有し且つ前記第1方向にほぼ無屈折力の複数の第3屈折面が前記第2方向に沿って配列され、
前記第2光学部材の入射側には、前記複数の第3屈折面に対応するように前記第2方向に所定の屈折力を有し且つ前記第1方向にほぼ無屈折力の複数の第4屈折面が前記第2方向に沿って配列されていることを特徴とする請求項7に記載のオプティカルインテグレータ。 - 光の入射側から順に、第1光学部材と、第2光学部材とを備え、
前記第2光学部材の入射側には、前記複数の第1屈折面が前記第1方向に沿って配列され、
前記第2光学部材の射出側には、前記複数の第2屈折面が前記第1方向に沿って配列されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。 - 前記複数の第1屈折面は、前記平面内で前記第1方向と直交する第2方向にほぼ無屈折力であり、
前記複数の第2屈折面は、前記第2方向にほぼ無屈折力であり、
前記第1光学部材の入射側には、前記第2方向に所定の屈折力を有し且つ前記第1方向にほぼ無屈折力の複数の第3屈折面が前記第2方向に沿って配列され、
前記第1光学部材の射出側には、前記複数の第3屈折面に対応するように前記第2方向に所定の屈折力を有し且つ前記第1方向にほぼ無屈折力の複数の第4屈折面が前記第2方向に沿って配列されていることを特徴とする請求項9に記載のオプティカルインテグレータ。 - 前記第1方向に沿って細長い矩形状の単位波面分割面を有することを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 光源からの光に基づいて被照射面を照明する照明光学系において、
請求項1乃至11のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータを備えていることを特徴とする照明光学系。 - 前記オプティカルインテグレータよりも後側の照明瞳に瞳強度分布を形成する分布形成光学系をさらに備えていることを特徴とする請求項12に記載の照明光学系。
- 前記被照射面と光学的に共役な面を形成する投影光学系と組み合わせて用いられ、前記照明瞳は前記投影光学系の開口絞りと光学的に共役な位置であることを特徴とする請求項12または13に記載の照明光学系。
- 所定のパターンを照明するための請求項12乃至14のいずれか1項に記載の照明光学系を備え、前記所定のパターンを感光性基板に露光することを特徴とする露光装置。
- 前記所定のパターンの像を前記感光性基板上に形成する投影光学系を備え、該投影光学系に対して前記所定のパターンおよび前記感光性基板を走査方向に沿って相対移動させて、前記所定のパターンを前記感光性基板へ投影露光することを特徴とする請求項15に記載の露光装置。
- 前記オプティカルインテグレータにおける前記第1方向は、前記走査方向と直交する方向に対応していることを特徴とする請求項16に記載の露光装置。
- 請求項15乃至17のいずれか1項に記載の露光装置を用いて、前記所定のパターンを前記感光性基板に露光する露光工程と、
前記所定のパターンが転写された前記感光性基板を現像し、前記所定のパターンに対応する形状のマスク層を前記感光性基板の表面に形成する現像工程と、
前記マスク層を介して前記感光性基板の表面を加工する加工工程とを含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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