JP2009222428A - ガラス板の厚さ測定装置およびガラス板の厚さ測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガラス板の厚さ測定装置10は、ガラス板6を支持する支持面21を有するテーブル2と、光学ユニット5と、光学ユニット5からのレーザー光を走査させる移動手段とを備えている。支持面21には、走査されるレーザー光に対応する位置に所定方向に延びる溝22が設けられているとともに、ガラス板6を真空吸着するための吸引孔23が所定方向に所定ピッチで設けられている。
【選択図】図1
Description
まずは、前記実施形態と同様のテーブルを備える測定装置を用いて、テーブルに試験片を真空吸着した状態で試験片の厚さを測定した。その結果は、図5に実線で示す通りであった。
比較例1では、溝も吸引孔もないテーブル上に試験片を載置して、試験片の厚さを測定した。しかしながら、この場合、受光部に入射する反射光を画面上で観察すると、反射波形の山が3つになり、具体的には裏面反射光と思われる山の近傍にもう1つ山ができ、測定結果が異常な数値となった。これは、テーブルの表面で反射する反射光の影響と思われる。
比較例2では、溝はないが吸引孔のみが設けられたテーブル上に試験片を載置し、テーブルに試験片を真空吸着した状態で試験片の厚さを測定した。この場合も比較例1と同様に、反射波形の山が3つになり、測定結果が異常な数値となった。
比較例3では、吸引孔はないが溝のみが設けられたテーブル上に試験片を載置して、試験片の厚さを測定した。この場合、図5に破線で示すような測定結果が得られたが、表面反射光と裏面反射光の受光部への入射位置が大きく変化して光学ユニットの許容範囲を超えてしまい、測定結果を有効なものとして取り扱うことができない。また、実測値と完全に一致する実線と比べても、僅かにずれていることが分かる。
前記実施形態では、テーブル2が水平面と平行な姿勢で配置されているが、テーブル2は、水平面に対して傾斜する姿勢(例えば垂直面に近い姿勢)で配置されていて、支持面21がガラス板6を斜め下方から支持するようになっていてもよい。この場合、溝22の延びる方向は、水平方向であっても鉛直方向であってもよい。また、この場合、テーブル2にはガラス板6を受ける受け部が設けられていることが好ましい。
21 支持面
22 溝
23 吸引孔
5 光学ユニット
6 ガラス板
10 ガラス板の厚さ測定装置
Claims (5)
- ガラス板の厚さを測定するための測定装置であって、
前記ガラス板を支持する支持面を有するテーブルと、前記支持面に支持された前記ガラス板にレーザー光を照射するとともに前記ガラス板からの反射光を受光する光学ユニットと、前記テーブルまたは前記光学ユニットを所定方向に沿って移動させて前記ガラス板を横切るように前記レーザー光を走査させる移動手段とを備え、
前記支持面には、走査される前記レーザー光に対応する位置に前記所定方向に延びる溝が設けられているとともに、前記ガラス板を真空吸着するための吸引孔が前記所定方向に所定ピッチで設けられている、ガラス板の厚さ測定装置。 - 前記溝は、前記所定方向と直交し前記支持面に平行な直交方向に並列して複数設けられており、
前記吸引孔は、隣り合う前記溝同士の間に少なくとも一列ずつ設けられており、
前記光学ユニットは、前記直交方向に移動可能に構成されている、請求項1に記載のガラス板の厚さ測定装置。 - 前記測定装置は、ダウンドロー法により成形されたガラス板の厚さを成形時のドロー方向と直交する幅方向に沿って測定するためのものであり、
前記支持面には、前記ガラス板が当該ガラス板の前記幅方向が前記所定方向を向くように支持される、請求項1または2に記載のガラス板の厚さ測定装置。 - 所定方向に延びる溝が設けられたテーブル上に前記溝を塞ぐようにガラス板を置き、このガラス板を前記テーブルに真空吸着した状態で、レーザー光を前記ガラス板の前記溝に対応する位置で前記所定方向に沿って走査して前記ガラス板の厚さの測定を行う、ガラス板の厚さ測定方法。
- 前記測定方法は、ダウンドロー法により成形されたガラス板の厚さを成形時のドロー方向と直交する幅方向に沿って測定するためのものであり、
前記テーブル上に前記幅方向が前記所定方向を向くように前記ガラス板を置く、請求項4に記載のガラス板の厚さ測定方法。
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