JP2007278715A - 基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板検査装置1は、基板Aを水平に載置するミクロ検査ステージ5と、ミクロ検査ステージ5に載置された基板Aをミクロ検査する検査ヘッド19と、ミクロ検査ステージ5上に設けられ、ミクロ検査ステージ5に載置された基板Aを受け取って目視によるマクロ検査に適した角度に回動するマクロ検査用ステージ6と、マクロ検査用ステージ6に保持された基板Aを照明するマクロ照明部9で構成されている。
【選択図】図3
Description
また、基板が大型化し、1000mmを超えるような大型ガラス基板を安定して検査するために、前述の特許文献1のようにガラス基板をエアで浮上させて検査することが行なわれているが、このように基板を浮上させて搬送すると目視によるマクロ検査ができなくなるため、検出カメラを備えた欠陥検出部によりマクロ検査するしかなかった。しかし、FPDの製造工程では、基板を検査者が目視によりマクロ検査したいという要望があるが、この要望を満たすためには、目視用のマクロ検査装置を増設する必要が生じ、ミクロ検査とマクロ検査の二つの装置設置するための空間と、設備費用が必要となる。
本発明の基板検査装置は、基板を水平に載置するミクロ検査ステージと、前記ミクロ検査ステージに載置された前記基板をミクロ検査する検査ヘッドと、前記ミクロ検査ステージ上に設けられ、前記ミクロ検査ステージに載置された前記基板を受け取って目視によるマクロ検査に適した角度に回動するマクロ検査用ステージと、前記マクロ検査用ステージに保持された前記基板を照明するマクロ照明部とを備えたことを特徴としている。
図1から図3は本発明に係る第1の実施形態を示している。図1は平面図、図2は側面図、図3は斜視図を示す。図1から図3に示すように、この実施形態の基板検査装置1は浮上ステージ2と、ベース本体3と、ミクロ検査部4と、ミクロ検査ステージ5と、マクロ検査部を構成するマクロ検査用ステージ6、マクロフレーム7、回動駆動装置8及びマクロ照明部9とを備えている。
ミクロ検査部4は、基板Aを拡大観察可能な対物レンズを有する顕微鏡等の検査ヘッド19と、ガイド18上をX方向に移動自在なリニアモータ等からなる搬送部20とで構成され、X方向に移動自在になっている。なお、検査ヘッド19の下方には、浮上ステージ2を上下に挟むように透過照明用光源(不図示)がX方向に移動自在設けられている。
マクロ照明部9は,マクロ検査用ステージ6の上方に位置し、マクロ照明光源22と、このマクロ照明光源22から出射される照明光を下方に向ける反射ミラー23と、この反射ミラー23により反射した照明光を収束させる収束レンズとしてのフレネルレンズ24と、このフレネルレンズ24により収束された照明光を透過させる透明な状態及び照明光を散乱させる不透明状態に切替える液晶散乱板24aで構成されている。
浮上ステージ2は、長方形状に形成した浮上ブロック2aを所定の隙間2bをもって併設させたが、マクロ検査用ステージ6の基板支持部6bを収容可能な溝部を有すれば、一枚の浮上ステージで構成することも可能である。また、浮上ステージ2は、ミクロ検査部4の検査領域に基板Aを精密に浮上させるため、基板Aの搬送方向と直交する方向の透過照明用の間隙2cに沿って溝部のない精密浮上ステージを設けることもできる。
次に、第2の実施形態について図6に示す。図6は斜視図を表す。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、説明を省略する。この実施形態の基板検査装置27の浮上ステージ2は、長方形状に形成された浮上ブロック28が所定の隙間2bで複数列に配置され、ベース部11bの上面11cに固定されている。この浮上ブロック28は、検査ヘッド19の検査領域となる間隙2cに対して基板Aの搬入側に設けられている。この間隙2cを挟んだ反対側には、浮上ブロック28と同様の基板支持部29aを櫛歯状に形成したマクロ検査用ステージ29がマクロフレーム7に回転自在に支持されている。基板支持部29aの上面29bには、第1の実施形態と同様の浮上手段10が設けられ、この浮上手段10の間に第1の実施形態と同様の吸着パッド21が設けられている。各基板支持部29aは、水平な姿勢に待機した状態では、その上面29bが浮上ブロック28の上面28aと同一になるようにベース部11b上にロックされる。
次に、第3の実施形態について図7から図9に示す。図7は平面図、図8は側面図、図9は斜視図を示す。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、説明を省略する。この実施形態の基板検査装置30のマクロフレーム31はベース部32とガイドフレーム33により構成されている。ガイドフレーム33は略棒状で、ベース部32の上に平行に2本設けられ、浮上ステージ2とは鉛直方向に所定の角度を有している。2本のガイドフレーム33が互いに向き合う面にはマクロ検査用ステージ6をガイドフレーム33の長手方向Rに移動させるスライド機構34が設けられている。マクロ検査用ステージ6の回動軸6aは、軸着部35でスライド機構34に回動軸6a回りに回動自在で、かつガイドフレーム33の長手方向Rに移動自在に設けられている。また、図8に示すように、ガイドフレーム33の浮上ステージ2と向き合う面33aには、バックライト光源36がガイドフレーム33の長手方向Rに移動可能に設けられている。バックライト光源36は、基板Aをマクロ検査するための基板Aの背面A2側から照射光を発光できる構成になっている。また、ガイドフレーム33の浮上ステージ2と向き合う面33aの反対側の面33bにはポインタ37がガイドフレーム33の長手方向Rに移動自在に設けられている。ガイドフレーム33に設けられるバックライト光源36及びポインタ37は、マクロ検査用ステージ6が回動及びガイドフレーム33上を移動する際には、マクロ検査用ステージ6と干渉しないようにガイドフレーム33の上端部33cあるいは下端部33dに退避される。
また、第1の実施形態、第3の実施形態によるマクロ検査用ステージ6及び第2の実施形態によるマクロ検査用ステージ29は長手方向に平行な軸まわりに揺動可能とし、基板Aを上下方向と左右方向の二軸で揺動させるようにしても良い。
また、基板Aをミクロ検査する際は、Y方向に搬送部13にて基板Aを移動調整し、X方向にミクロ検査ステージ5で検査ヘッド19を移動することにより、基板Aをミクロ検査部4でミクロ検査することを可能とした。しかし、ミクロ検査ステージ5の門型フレーム17をY方向に移動可能とし、検査ヘッド19をX方向及びY方向に移動自在として基板Aをミクロ検査可能としても良い。この場合、マクロ検査用ステージ6によるマクロ検査時に、門型フレーム17をマクロ検査用ステージと干渉しない位置退避させ、ミクロ検査時に門型フレーム17をマクロ検査用ステージ側に移動させる構成にすることにより、マクロ検査用ステージ6をミクロ検査ステージに兼用することが可能になり、さらに省スペース化が図れる。
2 浮上ステージ
2b 隙間
3 ベース本体
4 ミクロ検査部
5 ミクロ検査ステージ
6 マクロ検査用ステージ
6a 回動軸
6b 基板支持部
7 マクロフレーム
8 回動駆動装置
9 マクロ照明部
10 浮上手段
13 搬送部
19 検査ヘッド
21 吸着パッド
26 スライドアーム
27 基板検査装置
28 浮上ブロック(浮上ステージ)
29 マクロ検査用ステージ((浮上ステージ)
30 基板検査装置
33 ガイドフレーム
34 回動アームスライド機構
36 バックライト光源
37 ポインタ
A 基板
X 方向
Y 方向
Claims (9)
- 基板を水平に載置するミクロ検査ステージと、
前記ミクロ検査ステージに載置された前記基板をミクロ検査する検査ヘッドと、
前記ミクロ検査ステージ上に設けられ、前記ミクロ検査ステージに載置された前記基板を受け取って目視によるマクロ検査に適した角度に回動するマクロ検査用ステージと、
前記マクロ検査用ステージに保持された前記基板を照明するマクロ照明部とを備えたことを特徴とする基板検査装置。 - 前記ミクロ検査ステージは、上面に搬送方向に溝部を形成し基板を非接触で浮上させる浮上ステージで構成され、前記マクロ検査ステージは、前記溝部に収納可能な櫛歯状に形成された複数の基板支持部からなることを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。
- 前記ミクロ検査ステージは、長方形状に形成され前記基板を浮上させる浮上ブロックを所定の間隙で複数列に配置して上面に溝部を形成し、前記マクロ検査用ステージは、前記浮上ブロック間の前記溝部に収納可能な櫛歯状に基板支持部を構成し、この基板支持部の上面に前記基板を吸着保持する吸着パッド設けたことを特徴とする請求1記載の基板検査装置。
- 前記ミクロ検査ステージは、前記基板を浮上させて搬送させる浮上ステージに構成され、前記マクロ検査用ステージは、前記浮上ステージの搬送端に併設され、前記ミクロ検査ステージにより搬送された前記基板を保持してマクロ検査に適した角度に回動することを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。
- 前記マクロ検査ステージは、櫛歯状に形成され複数の基板支持部からなり、これらの基板支持部の上面に前記基板を浮上させる浮上手段と前記基板を吸着保持する吸着パッドとを備え、このマクロ検査ステージを前記ミクロ検査ステージとして兼用することを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。
- 前記ミクロ検査ステージは、前記浮上ステージの一部を櫛歯状に連結した構成とし、この上面に前記基板を吸着可能な吸着パッドを設けるとともに、前記吸着パッドで前記基板を保持した状態で所定の角度に回動する回動駆動部を有することを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。
- 前記マクロ検査用ステージは、前記基板を吸着パッドで保持して移動させるスライドアームを有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の基板検査装置。
- 前記マクロ検査ステージは、前記基板の裏面側から照明するバックライト光源を前記基板に沿って移動可能に設けたことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の基板検査装置。
- 前記マクロ検査ステージは、前記基板を所定に角度に立ち上げた状態で目視検査により検出された欠陥の位置を登録するポインタを前記基板に沿って移動可能に設けたことを特徴とする請求項1乃至6記載のいずれかに記載の基板検査装置。
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