JP6824764B2 - センサ、ロボット装置及び物品の製造方法 - Google Patents
センサ、ロボット装置及び物品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6824764B2 JP6824764B2 JP2017013672A JP2017013672A JP6824764B2 JP 6824764 B2 JP6824764 B2 JP 6824764B2 JP 2017013672 A JP2017013672 A JP 2017013672A JP 2017013672 A JP2017013672 A JP 2017013672A JP 6824764 B2 JP6824764 B2 JP 6824764B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support portion
- head
- conversion element
- magnetic flux
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 82
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 67
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 67
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 26
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001172 neodymium magnet Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000005094 computer simulation Methods 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000012636 effector Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J13/00—Controls for manipulators
- B25J13/08—Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices
- B25J13/085—Force or torque sensors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L3/00—Measuring torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency, in general
- G01L3/02—Rotary-transmission dynamometers
- G01L3/14—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element is other than a torsionally-flexible shaft
- G01L3/1407—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element is other than a torsionally-flexible shaft involving springs
- G01L3/1428—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element is other than a torsionally-flexible shaft involving springs using electrical transducers
- G01L3/1435—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element is other than a torsionally-flexible shaft involving springs using electrical transducers involving magnetic or electromagnetic means
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S901/00—Robots
- Y10S901/14—Arm movement, spatial
- Y10S901/15—Jointed arm
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S901/00—Robots
- Y10S901/46—Sensing device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
[第1実施形態]
図1は、第1実施形態に係るロボットシステムを示す説明図である。図1に示すように、ロボットシステム100は、ロボット200と、ロボット制御装置300とを備えている。ロボット200は、第1のワークを第2のワークに組み付けるなど、物品の製造に用いられる。ロボット200は、ロボットアーム201と、エンドエフェクタの一例であるロボットハンド202とを備えている。ロボットアーム201は、垂直多関節のロボットアームである。ロボットアーム201の基端である固定端201Aが架台150に固定されている。ロボットアーム201の先端である自由端201Bには、ロボットハンド202が取り付けられている。ロボットアーム201は、複数のリンク210,211,212,213を有し、これらリンク210,211,212,213が関節J1,J2,J3で回転可能に連結されている。ロボットアーム201の各関節J1〜J3には駆動装置230が設けられている。各関節J1〜J3の駆動装置230は、必要なトルクの大きさに合わせて適切な出力のものが用いられる。以下、ロボットアーム201において、関節J1を例に代表して説明し、他の関節J2,J3については、サイズや性能が異なる場合もあるが、同様の構成であるため、説明を省略する。
次に、本発明の第2実施形態に係るトルクセンサについて説明する。図9は、第2実施形態に係るトルクセンサ500Aの要部を示す模式図である。第2実施形態では、トルクセンサ500Aの磁束発生源531Aの構成が、第1実施形態で説明したトルクセンサ500の磁束発生源531と異なる。
Claims (14)
- 互いに相対的に変位可能な第1の支持部及び第2の支持部と、
スケール及びヘッドを有し、前記第1の支持部と前記第2の支持部との相対的な変位量を検出するエンコーダと、
前記第1の支持部と前記第2の支持部との相対的な変位量を検出する磁束発生源及び磁電変換素子と、を備え、
前記第1の支持部または前記第2の支持部のうち一方に前記スケールが設けられ、他方に前記ヘッドが前記スケールに対向して設けられ、
前記第1の支持部または前記第2の支持部のうち一方に前記磁束発生源が設けられ、他方に前記磁電変換素子が前記磁束発生源に対向して設けられ、
前記スケール、前記ヘッド、前記磁電変換素子及び前記磁束発生源は、前記第1の支持部と前記第2の支持部とが対向する方向に並んで配置されている、ことを特徴とするセンサ。 - 前記スケール、前記ヘッド、前記磁電変換素子及び前記磁束発生源は、前記第1の支持部と前記第2の支持部との間に配置されている、ことを特徴とする請求項1に記載のセンサ。
- 前記スケールと前記ヘッドは、前記磁電変換素子と前記磁束発生源との間に配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のセンサ。
- 前記支持部は基板を含み、前記ヘッド及び前記磁電変換素子は前記基板に固定され、
前記基板は前記第1の支持部または前記第2の支持部に固定されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のセンサ。 - 前記ヘッドが前記基板の一方の面に固定され、前記磁電変換素子が前記基板の他方の面に固定されていることを特徴とする請求項4に記載のセンサ。
- 前記エンコーダが検出する前記第1の支持部と前記第2の支持部との相対的な変位量は、前記磁電変換素子及び前記磁束発生源が検出する前記第1の支持部と前記第2の支持部との相対的な変位量より高分解能であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のセンサ。
- 前記エンコーダは、光学式のエンコーダであることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のセンサ。
- 前記ヘッドからの信号及び前記磁電変換素子からの信号に基づき、前記第1の支持部と前記第2の支持部との相対的な変位量を求める演算部を更に備えたことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のセンサ。
- 前記演算部は、前記ヘッドからの信号により、前記スケールに対する前記ヘッドの変位によって鋸波状に周期的に変化する計測値を求め、前記磁電変換素子からの信号により、
前記鋸波の波数を求め、前記計測値及び前記波数から前記変位量を求めることを特徴とする請求項8に記載のセンサ。 - 前記演算部は、前記変位量に基づき、前記第1の支持部と前記第2の支持部との間のトルクを求めることを特徴とする請求項8又は9に記載のセンサ。
- 前記磁束発生源は、第1の磁石と、前記第1の磁石とは磁極が逆となるように配置された第2の磁石とを有することを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載のセンサ。
- 前記第1の支持部と前記第2の支持部とが弾性部で連結されていることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載のセンサ。
- 請求項1乃至12のいずれか1項に記載のセンサを有するロボット装置。
- 請求項13に記載のロボット装置を用いて物品の製造を行うことを特徴とする物品の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017013672A JP6824764B2 (ja) | 2017-01-27 | 2017-01-27 | センサ、ロボット装置及び物品の製造方法 |
US15/876,505 US10456923B2 (en) | 2017-01-27 | 2018-01-22 | Sensor and robot |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017013672A JP6824764B2 (ja) | 2017-01-27 | 2017-01-27 | センサ、ロボット装置及び物品の製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021003774A Division JP2021051098A (ja) | 2021-01-13 | 2021-01-13 | 駆動装置、ロボット及びロボット装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018119930A JP2018119930A (ja) | 2018-08-02 |
JP2018119930A5 JP2018119930A5 (ja) | 2020-04-23 |
JP6824764B2 true JP6824764B2 (ja) | 2021-02-03 |
Family
ID=62977419
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017013672A Active JP6824764B2 (ja) | 2017-01-27 | 2017-01-27 | センサ、ロボット装置及び物品の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10456923B2 (ja) |
JP (1) | JP6824764B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6342971B2 (ja) * | 2016-11-14 | 2018-06-13 | ファナック株式会社 | 力検出装置及びロボット |
US11045950B2 (en) | 2018-11-02 | 2021-06-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving device and detecting device |
CN110919688B (zh) * | 2019-11-30 | 2021-07-16 | 北京思灵机器人科技有限责任公司 | 一种机械臂关节 |
US20230103759A1 (en) * | 2021-10-05 | 2023-04-06 | Toyota Research Institute, Inc. | Robotic Tool Control with Compliant Force/Geometry Sensor |
AT526081B1 (de) * | 2022-04-19 | 2023-11-15 | Iies Inspired Innovation Eng Services E U | Drehantrieb für einen Roboterarm |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0665967B2 (ja) * | 1985-08-27 | 1994-08-24 | 株式会社エスジー | アブソリュート回転位置検出装置 |
JPS6468620A (en) * | 1987-09-08 | 1989-03-14 | Fuji Electric Co Ltd | Rotation detector |
DE19855358A1 (de) * | 1998-12-01 | 2000-06-08 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung und Verfahren zur Ermittlung einer Wegstrecke |
US7537388B2 (en) * | 2003-10-22 | 2009-05-26 | Ntn Corporation | Bearing assembly with built-in absolute encoder |
US20060095171A1 (en) * | 2004-11-02 | 2006-05-04 | Whittaker William L | Methods, devices and systems for high-speed autonomous vehicle and high-speed autonomous vehicle |
CA2548938C (en) * | 2005-04-28 | 2012-12-11 | Randel Brandstrom | Apparatus and method for detection of defects using flux leakage techniques |
JP4677493B2 (ja) | 2008-01-22 | 2011-04-27 | キヤノン株式会社 | 圧電振動型力センサ |
JP5550468B2 (ja) | 2010-06-30 | 2014-07-16 | キヤノン株式会社 | 力覚センサの校正方法 |
JP5816457B2 (ja) * | 2011-05-12 | 2015-11-18 | オリンパス株式会社 | 術具装置 |
WO2012159771A2 (de) * | 2011-05-26 | 2012-11-29 | Ghanem Husam | Sensor oder sensor-messeinheit mit einem mechanisch-elektrischen wandler |
JP5968062B2 (ja) * | 2012-05-02 | 2016-08-10 | キヤノン株式会社 | 位置検出エンコーダおよびこれを用いた装置 |
GB2532963B (en) * | 2014-12-03 | 2017-10-25 | Ashwoods Automotive Ltd | Drivetrains including radial flux electrical machines |
US10201901B2 (en) | 2015-01-29 | 2019-02-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Robot apparatus, method for controlling robot, program, and recording medium |
JP6771888B2 (ja) * | 2015-01-29 | 2020-10-21 | キヤノン株式会社 | ロボット装置、制御方法、物品の製造方法、プログラム及び記録媒体 |
JP6501746B2 (ja) * | 2016-10-07 | 2019-04-17 | キヤノン株式会社 | 変位測定装置、ロボット、ロボットアーム及び物品の製造方法 |
JP7086531B2 (ja) * | 2017-05-18 | 2022-06-20 | キヤノン株式会社 | ロボットハンド、ロボット装置、ロボットハンドの制御方法、物品の製造方法、制御プログラム及び記録媒体 |
-
2017
- 2017-01-27 JP JP2017013672A patent/JP6824764B2/ja active Active
-
2018
- 2018-01-22 US US15/876,505 patent/US10456923B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10456923B2 (en) | 2019-10-29 |
JP2018119930A (ja) | 2018-08-02 |
US20180215047A1 (en) | 2018-08-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6824764B2 (ja) | センサ、ロボット装置及び物品の製造方法 | |
CN101971471B (zh) | 使用磁场的位置测量 | |
US10201901B2 (en) | Robot apparatus, method for controlling robot, program, and recording medium | |
Zhang et al. | A novel absolute angular position sensor based on electromagnetism | |
JP5489538B2 (ja) | 力覚センサ | |
JP5412043B2 (ja) | リニアモータ | |
CN101419049B (zh) | 位置传感器和偏磁场生成装置 | |
JP6219968B2 (ja) | 磁気アライメントシステム及び磁気アライメント方法 | |
KR920022635A (ko) | 비틀림 액튜에이터(twisting actuators) | |
CN108145699B (zh) | 管式直线电机驱动的六自由度并联机器臂及其控制方法 | |
JP2021051098A (ja) | 駆動装置、ロボット及びロボット装置 | |
JPS60134918A (ja) | 精密位置決め装置 | |
CN1312461A (zh) | 磁导率位置检测器 | |
KR101397273B1 (ko) | 자기력 센서 | |
Wang et al. | Embedded position estimation using tunnel magnetoresistance sensors for permanent magnet linear synchronous motor systems | |
Tokhi et al. | Design and development of an experimental flexible manipulator system | |
JP2007024689A (ja) | 非接触位置検出センサ | |
US9052218B2 (en) | Device for measuring the positioning of a microactuator | |
JPH10206104A (ja) | 位置検出装置 | |
Ebihara et al. | An approach to basic design of the PM-type spherical motor | |
CN208399786U (zh) | 一种采用音圈马达控制的变焦镜头 | |
JP5132065B2 (ja) | 3自由度回転検出装置及びその方法 | |
Lim et al. | An alternative approach in sensing simultaneous 3-DOF motions | |
US20230082380A1 (en) | Position encoder based on halbach magnetic element | |
Yu | Design and control of a compact 6-degree-of-freedom precision positioner with linux-based real-time control |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191216 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20200206 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20200207 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200312 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200923 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200929 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201215 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210113 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6824764 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |