JP2009108375A - 蒸着装置及び蒸着源 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空チャンバー1内に複数の放出口11を備えた蒸着源10において、成膜材料を収容する坩堝14と複数の放出口11の間に分岐点14cを設け、分岐点14cより坩堝14側の供給流路14aにバルブ12を設ける。バルブ12から各放出口11までのコンダクタンスが均等になるように、分岐点14cから分岐流路14aを経てそれぞれの放出口11に至るまでの流路の長さを等しくする。
【選択図】図1
Description
このように、バルブから放出口までのコンダクタンスを等しくすることで、膜厚分布を均一にすることが可能になる。また、分岐する前の流路にバルブを設けることで、蒸着レートの制御が容易となり、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造における生産性を向上できる。
このように、バルブから放出口までのコンダクタンスを等しくすることで、膜厚分布を均一にすることが可能になる。また、分岐する前の流路にバルブを設けることで、蒸着レートの制御が容易となり、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造における生産性を向上できる。
このように、バルブから放出口までのコンダクタンスを等しくすることで、膜厚分布を均一にすることが可能になる。また、分岐する前の流路にバルブを設けることで、蒸着レートの制御が容易となり、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造における生産性を向上できる。
このように、バルブから放出口までのコンダクタンスを等しくすることで、膜厚分布を均一にすることが可能になる。また、分岐する前の流路にバルブを設けることで、蒸着レートの制御が容易となり、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造における生産性を向上できる。
12、22、32、42 バルブ
13 ヒーター
14、24、34、44 坩堝
14a、24a、34a、44a 供給流路
14b、24b、34b、44b 分岐流路
Claims (3)
- 蒸発した成膜材料を基板に成膜するための成膜室と、
前記成膜室に成膜材料の蒸気流を噴出するための複数の放出口と、
成膜材料を収容し、加熱して蒸発させる材料収容部と、
前記材料収容部の開口に接続され、前記材料収容部から供給される成膜材料の蒸気流の流量を調整するための流量調整手段を備えた供給流路と、
前記供給流路から前記複数の放出口にそれぞれ分岐する複数の分岐流路と、を有し、
前記流量調整手段から各放出口までのコンダクタンスが均等になるように、前記流量調整手段から前記分岐流路を経て前記複数の放出口に至るまでの配管の長さと配管径を設定したことを特徴とする蒸着装置。 - 基板に成膜するための成膜室に成膜材料の蒸気流を噴出するための複数の放出口を有する蒸着装置の蒸着源であって、
成膜材料を収容し、加熱して蒸発させる材料収容部と、
前記材料収容部の開口に接続され、前記材料収容部から供給される成膜材料の蒸気流の流量を調整するための流量調整手段を備えた供給流路と、
前記供給流路から前記複数の放出口にそれぞれ分岐する複数の分岐流路と、を有し、
前記流量調整手段から各放出口までのコンダクタンスが均等になるように、前記流量調整手段から前記分岐流路を経て前記複数の放出口に至るまでの配管の長さと配管径を設定したことを特徴とする蒸着源。 - 請求項2記載の蒸着源を用いて有機エレクトロルミネッセンス素子の有機材料層を成膜する工程を有し、
前記蒸着源の供給流路の蒸気流の流量を流量調整手段によって調整することで、前記有機材料層の膜厚分布を均等に制御することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
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