JP2009092430A - 角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 振動子本体3のX軸方向の両端にX軸方向とY軸方向とに広がる一対の板状の重錘5を配置する。振動子本体3が3次元方向に動くように、一対の重錘5のそれぞれのY軸方向の両端部を4つのバネ状部材7でベース部材1に支持する。
【選択図】 図1
Description
3 振動子本体
5 重錘
7 バネ状部材
9 圧電素子
17 延伸部
19 接続部
21 支持延伸部
Claims (4)
- 互いに直交するX軸方向,Y軸方向及びZ軸方向の前記X軸方向に延びる細長い振動子本体と、
前記振動本体の上に形成されて前記振動本体の角速度を検出する圧電素子と、
前記振動本体のX軸方向の両端に配置されて、前記X軸方向と前記Y軸方向とに広がる一対の板状の重錘と、
前記振動子本体が3次元方向に動くように、前記一対の重錘のそれぞれの前記Y軸方向の両端部をベース部材に支持する4つのバネ性を有するバネ状部材とを有する角速度センサ。 - 前記バネ状部材は、蛇行パターンを形成するように、前記Y軸方向に延びる4以上の延伸部と、前記X軸方向に延びて前記延伸部の端部を接続する接続部と、前記X軸方向の中央に位置する前記接続部に一端が接続されて前記延伸部と平行に延びる支持延伸部とを有しており、
前記バネ状部材の前記X軸方向の両端の延伸部が前記ベース部材に接続されており、
前記支持延伸部の他端が前記重錘に接続されている請求項1に記載の角速度センサ。 - 前記Z軸方向を厚み方向とする板材料に切削加工が施されて、前記振動子本体と前記一対の重錘と前記4つのバネ状部材と前記ベース部材とが一体に成形されている請求項2に記載の角速度センサ。
- 前記ベース部材は、前記振動子本体と前記一対の重錘と前記4つのバネ状部材とを囲む枠形形状を呈しており、
前記ベース部材は、前記振動子本体及び前記一対の重錘が必要以上に前記X軸方向及び前記Y軸方向に動いたときに、前記振動子本体及び前記一対の重錘と当接して、前記振動子本体及び前記一対の重錘の運動を停止する寸法及び形状を有している請求項3に記載の角速度センサ。
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2007
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