JP2009036593A - 検査装置、検査方法、検査システム、カラーフィルタの製造方法、検査装置制御プログラム、及び該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の検査装置4は、第1方向から光を照射して検査対象基板P上に配列した絵素を撮像した画像Lと、上記第1方向とは異なる第2方向から光を照射して上記絵素を撮像した画像Rとのそれぞれにおいてスジムラを検出するスジムラ検出部12と、画像L及び画像Rのそれぞれにおいて、検査対象基板P上でスジムラと垂直な方向に予め定めた間隔Tで検出された複数本のスジムラを抽出する特定周期ムラ抽出部13と、画像L及び画像Rの両方で検出されたスジムラを検出対象スジムラとして抽出する検出対象ムラ抽出部14とを備えているので、正常な膜厚の絵素に対して膜厚差が生じている絵素の存在によって生じる特定周期のスジムラのみを検出することができる。
【選択図】図1
Description
〔検査システムの構成〕
本発明の一実施形態について図1から図7に基づいて説明すると以下の通りである。まず、本実施形態の検査システム1の概要について図1に基づいて説明する。図1は、検査システム1の概要を示すブロック図である。図示のように、検査システム1は、検査対象基板Pを検査対象としており、撮像装置2a、撮像装置2b、照明装置3a、照明装置3b、及び検査装置4を備えている構成である。
以上の構成を備える検査システム1における処理の流れについて、図3及び図4に基づいて説明する。図3は検査システム1が実行する処理の一例を示すフローチャートであり、図4は図3のフローチャートにおけるS3〜S5の処理の一例を示す図である。
ところで、片側偏りムラは検査対象基板Pの製品の品質上には問題がないが、片側偏りムラが生じている場合には、検査対象基板Pの製造プロセス上に何らかの問題が発生している可能性が高い。したがって、片側偏りムラを検出することによって、製造プロセス上の問題点を洗い出すことも可能である。
上述のように、ここでは、検査対象基板Pはインクジェット法によって着色されたカラーフィルタ基板であることを想定している。カラーフィルタの製造工程では、透明基板にブラックマトリクス形成、着色等を施す工程にてカラーフィルタ基板を製造し、このカラーフィルタ基板の良否、すなわち特定周期のスジムラの有無が検査システム1によって検査される。そして、スジムラの検査が終了し、品質に問題がないと判定されたカラーフィルタ基板には、所定の処理に供されてカラーフィルタが完成することになる。ここでは、カラーフィルタの製造工程において、スジムラ検査よりも前の工程を前工程と呼び、スジムラ検査よりも後の工程を次工程と呼ぶ。
上記実施形態では、1枚の画像L及び1枚の画像Rのそれぞれからスジムラを検出する例を示したが、本実施形態では、画像L及び画像Rのそれぞれを互いに同じ位置で複数の領域に分割し、分割領域単位でスジムラを検出する例について説明する。画像L及び画像Rを複数の領域に分割することにより、スジムラの検出精度を向上させることができる。なお、上記実施形態と同様の構成については同一の参照番号を付し、その説明を省略する。
上述の例では、分割した各領域について判定結果を出力する例を示したが、以下では基板単位、あるいは基板群単位で判定結果を統合して出力する例について図6に基づいて説明する。図6は、検査システム1におけるデータの流れの一例を示す図である。なお、図6において特定周期スジムラデータA〜Dを生成するまでの処理は図5と同様であるから、ここでは特定周期スジムラデータA〜Dを生成した後の処理について説明する。
(基板単位の強度)=(強度平均)×(検出領域数)/(全領域数) … 数式(1)
ただし、
(強度平均)=(スジムラ強度の総和)/(検出領域数) … 数式(2)
上記数式(2)を用いて、図7(a)に示す検査対象基板PのスジムラC及びDについて、強度平均を求めると、同図(b)のようになる。同図(b)は、検査対象基板Pの基板座標と強度平均との関係の一例を示す図である。
(基板群単位の強度)=(強度平均)×(検出領域数)/(全領域数) …数式(3)
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
2a 撮像装置
2b 撮像装置
3a 照明装置
3b 照明装置
4 検査装置
5 撮像制御部
6 記憶部
7 欠陥検査部
8 出力部
11 画像処理部(周波数領域データ生成手段)
12 スジムラ検出部
13 特定周期ムラ抽出部
14 検出対象ムラ抽出部
Claims (17)
- 複数の起伏が被検査面に配列した被検査物に生じるスジムラを検出する検査装置において、
上記被検査面に第1方向から光を照射して上記起伏を撮像した第1画像と、上記被検査面に対して上記第1方向とは異なる第2方向から光を照射して上記起伏を撮像した第2画像とのそれぞれにおいてスジムラを検出するスジムラ検出手段と、
上記第1及び第2画像のそれぞれにおいて、上記被検査面上でスジムラと垂直な方向に予め定めた間隔で検出された複数本のスジムラを抽出する特定周期ムラ抽出手段と、
上記第1及び第2画像の両方で検出されたスジムラを検出対象スジムラとして抽出する検出対象ムラ抽出手段とを備えていることを特徴とする検査装置。 - 上記第1及び第2画像を同一位置でそれぞれ複数の分割領域に分割する領域分割手段を備え、
上記スジムラ検出手段、特定周期ムラ検出手段及び検出対象ムラ抽出手段は、領域分割後の第1及び第2画像から、分割領域毎に検出対象スジムラを抽出することを特徴とする請求項1に記載の検査装置。 - 上記領域分割手段は、隣接する分割領域の一部をオーバーラップさせることを特徴とする請求項2に記載の特定周期スジムラの検査装置。
- 上記第1及び第2画像において検出対象スジムラの位置の輝度値とスジムラが検出されていない位置の輝度値との差から、第1及び第2画像のそれぞれにおいて検出対象スジムラの位置のスジムラの強度を示す第1及び第2指標を取得し、該取得した第1及び第2指標に基づいて、上記検出対象スジムラの強度を示す第3指標を決定する指標決定手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 上記第1及び第2画像を周波数領域のデータに変換する周波数領域データ生成手段と、
上記第1及び第2画像において検出対象スジムラの位置の輝度値とスジムラが検出されていない位置の輝度値との差から、第1及び第2画像のそれぞれにおける検出対象スジムラの位置のスジムラの強度を示す第1及び第2指標を取得し、該取得した第1及び第2指標のうち、上記周波数領域のデータにおいて、上記検出対象スジムラに対応する周波数成分以外の周波数成分の強度がより低い画像で取得された指標を上記検出対象スジムラの強度を示す第3指標として決定する指標決定手段とを備えていることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。 - 上記指標決定手段は、上記検出対象スジムラに対応する周波数成分以外の周波数成分の強度がより低い画像において、検出対象スジムラに対応する周波数成分以外の周波数成分の強度が予め定めた値よりも低い場合に、当該画像で取得された指標を上記検出対象スジムラの強度を示す第3指標として決定することを特徴とする請求項5に記載の検査装置。
- 上記第1及び第2画像を周波数領域のデータに変換する周波数領域データ生成手段を備え、
上記検出対象ムラ抽出手段は、上記第1画像を周波数領域のデータに変換したデータと上記第2画像を周波数領域のデータに変換したデータとの論理積演算を行うことにより、上記第1及び第2画像の両方で検出されたスジムラを抽出することを特徴とする請求項1に記載の検査装置。 - 上記検出対象ムラ抽出手段は、複数の分割領域で検出された検出対象スジムラのうち、上記被検査面において同一直線上にある検出対象スジムラを連結して1つの統合スジムラとして抽出することを特徴とする請求項2または3に記載の検査装置。
- 上記第1及び第2画像の各分割領域において検出対象スジムラの位置の輝度値とスジムラが検出されていない位置の輝度値との差から、各分割領域のそれぞれにおいて検出対象スジムラの位置のスジムラの強度を示す第1及び第2指標を取得し、該取得した第1及び第2指標に基づいて、分割領域毎の検出対象スジムラの強度を示す第3指標を決定する指標決定手段と、
上記被検査面において同一直線上にある検出対象スジムラの第3指標の算術平均を上記統合スジムラの強度を示す第4指標として決定する指標決定手段とを備えていることを特徴とする請求項8に記載の検査装置。 - 上記被検査物は、カラーフィルタであることを特徴とする請求項1から9の何れか1項に記載の検査装置。
- 複数の起伏が被検査面に配列した被検査物に生じるスジムラを検出する検査装置において、
上記被検査面に第1方向から光を照射して上記起伏を撮像した第1画像と、上記被検査面に対して上記第1方向とは異なる第2方向から光を照射して上記起伏を撮像した第2画像とのそれぞれにおいてスジムラを検出するスジムラ検出手段と、
上記第1及び第2画像のそれぞれにおいて、上記被検査面上でスジムラと垂直な方向に予め定めた間隔で検出された複数本のスジムラを抽出する特定周期ムラ抽出手段と、
上記第1及び第2画像の両方で検出されたスジムラ以外のスジムラを検出対象スジムラとして抽出する検出対象ムラ抽出手段とを備えていることを特徴とする検査装置。 - 上記被検査物に第1方向及び第2方向から光を照射する照明装置と、
上記照明装置によって第1方向から光が照射された状態で上記被検査物を撮像して上記第1画像を取得すると共に、第2方向から光が照射された状態で上記被検査物を撮像して上記第2画像を取得する撮像装置と、
上記撮像装置によって取得された第1及び第2画像に基づいて、上記被検査物の検査を行う請求項1から11の何れか1項に記載の検査装置とを備えていることを特徴とする検査システム。 - 複数の起伏が被検査面に配列した被検査物に生じるスジムラを検出する検査装置を用いた検査方法において、
上記被検査面に第1方向から光を照射して上記起伏を撮像した第1画像と、上記被検査面に対して上記第1方向とは異なる第2方向から光を照射して上記起伏を撮像した第2画像とのそれぞれにおいてスジムラを検出するスジムラ検出ステップと、
上記第1及び第2画像のそれぞれにおいて、上記被検査面上でスジムラと垂直な方向に予め定めた間隔で検出された複数本のスジムラを抽出する特定周期ムラ抽出ステップと、
上記第1及び第2画像の両方で検出されたスジムラを検出対象スジムラとして抽出する検出対象ムラ抽出ステップとを含むことを特徴とする検査方法。 - カラーフィルタ製造装置によってカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、
請求項13に記載の検査方法を実行する検査工程を含み、
上記検査工程にて検出対象スジムラが検出されなかったカラーフィルタのみを、上記カラーフィルタ製造装置における、上記検査工程以降の製造工程に供することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - カラーフィルタ製造装置によってカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、
請求項13に記載の検査方法を実行する検査工程を含み、
上記検査工程にて検出対象スジムラが抽出された場合に、抽出された検出対象スジムラの位置、欠陥強度、及びスジムラの方向の少なくとも1つを含むスジムラ情報を上記カラーフィルタの製造装置に伝達することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 請求項1に記載の検査装置の各手段としてコンピュータを動作させることを特徴とする検査プログラム。
- 請求項16に記載の検査プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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