JP4245054B2 - 画素内機能液の形態測定方法、画素内機能液の形態測定装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 - Google Patents
画素内機能液の形態測定方法、画素内機能液の形態測定装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4245054B2 JP4245054B2 JP2007017166A JP2007017166A JP4245054B2 JP 4245054 B2 JP4245054 B2 JP 4245054B2 JP 2007017166 A JP2007017166 A JP 2007017166A JP 2007017166 A JP2007017166 A JP 2007017166A JP 4245054 B2 JP4245054 B2 JP 4245054B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pixel
- functional liquid
- bank
- functional
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 159
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 66
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 18
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 78
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 78
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 35
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 17
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 8
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 123
- 239000010408 film Substances 0.000 description 60
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 50
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 30
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 30
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 19
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 17
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 17
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 12
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 11
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 10
- 239000012454 non-polar solvent Substances 0.000 description 9
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 8
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 8
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 7
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 6
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 5
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- HBEQXAKJSGXAIQ-UHFFFAOYSA-N oxopalladium Chemical compound [Pd]=O HBEQXAKJSGXAIQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 1
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B13/00—Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
- B05B13/005—Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00 mounted on vehicles or designed to apply a liquid on a very large surface, e.g. on the road, on the surface of large containers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/201—Filters in the form of arrays
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B9/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent material, without essentially mixing with gas or vapour
- B05B9/03—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent material, without essentially mixing with gas or vapour characterised by means for supplying liquid or other fluent material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60P—VEHICLES ADAPTED FOR LOAD TRANSPORTATION OR TO TRANSPORT, TO CARRY, OR TO COMPRISE SPECIAL LOADS OR OBJECTS
- B60P3/00—Vehicles adapted to transport, to carry or to comprise special loads or objects
- B60P3/30—Spraying vehicles
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B23/00—Heating arrangements
- F26B23/04—Heating arrangements using electric heating
- F26B23/06—Heating arrangements using electric heating resistance heating
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B3/00—Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat
- F26B3/02—Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by convection, i.e. heat being conveyed from a heat source to the materials or objects to be dried by a gas or vapour, e.g. air
- F26B3/06—Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by convection, i.e. heat being conveyed from a heat source to the materials or objects to be dried by a gas or vapour, e.g. air the gas or vapour flowing through the materials or objects to be dried
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/09—Ink jet technology used for manufacturing optical filters
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60Y—INDEXING SCHEME RELATING TO ASPECTS CROSS-CUTTING VEHICLE TECHNOLOGY
- B60Y2200/00—Type of vehicle
- B60Y2200/10—Road Vehicles
- B60Y2200/14—Trucks; Load vehicles, Busses
- B60Y2200/147—Trailers, e.g. full trailers or caravans
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
- G01F23/22—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
- G01F23/28—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring the variations of parameters of electromagnetic or acoustic waves applied directly to the liquid or fluent solid material
- G01F23/284—Electromagnetic waves
- G01F23/292—Light, e.g. infrared or ultraviolet
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2211/00—Plasma display panels with alternate current induction of the discharge, e.g. AC-PDPs
- H01J2211/20—Constructional details
- H01J2211/34—Vessels, containers or parts thereof, e.g. substrates
- H01J2211/42—Fluorescent layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2329/00—Electron emission display panels, e.g. field emission display panels
- H01J2329/18—Luminescent screens
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Public Health (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Transportation (AREA)
- Microbiology (AREA)
- Toxicology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Description
そこで、フィルタ材料を透過した測定光により、画素領域の底面の高さを測定することが好ましいが、入射角82°以上の測定光により高さ測定する従来の装置では、画素領域を画成するバンクが邪魔になって測定が不可能となる。もっとも、入射角を小さくすれば測定可能であるが、フィルタ材料による乱反射により十分な反射光を得られず、高い精度の検出が不可能な問題がある。
まず、ブラックマトリクス形成工程(S101)では、図7(a)に示すように、基板(W)501上にブラックマトリクス502を形成する。ブラックマトリクス502は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス502を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス502を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
さらに、図7(c)に示すように、レジスト層504の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層504をパターニングして、バンク503を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク503とその下のブラックマトリクス502は、各画素領域507aを区画する区画壁部507bとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド2により着色層(成膜部)508R、508G、508Bを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
なお、本実施形態においては、バンク503の材料として、塗膜表面が疎液(疎水)性となる樹脂材料を用いている。そして、基板(ガラス基板)501の表面が親液(親水)性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク503(区画壁部507b)に囲まれた各画素領域507a内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
即ち、基板501の着色層508R、508G、508Bが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜509が形成される。
そして、保護膜509を形成した後、カラーフィルタ500は、次工程の透明電極となるITO(Indium Tin Oxide)などの膜付け工程に移行する。
なお、図示していないが、対向基板521およびカラーフィルタ500の外面(液晶層522側とは反対側の面)には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板521側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
一方、対向基板521におけるカラーフィルタ500と対向する面には、カラーフィルタ500の第1電極523と直交する方向に長尺な短冊状の第2電極526が所定の間隔で複数形成され、この第2電極526の液晶層522側の面を覆うように第2配向膜527が形成されている。これらの第1電極523および第2電極526は、ITOなどの透明導電材料により形成されている。
そして、第1電極523と第2電極526とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ500の着色層508R、508G、508Bが位置するように構成されている。
この液晶装置530が上記液晶装置520と大きく異なる点は、カラーフィルタ500を図中下側(観測者側とは反対側)に配置した点である。
この液晶装置530は、カラーフィルタ500とガラス基板等からなる対向基板531との間にSTN液晶からなる液晶層532が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板531およびカラーフィルタ500の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
対向基板531のカラーフィルタ500と対向する面上には、カラーフィルタ500側の第1電極533と直交する方向に延在する複数の短冊状の第2電極536が所定の間隔で形成され、この第2電極536の液晶層532側の面を覆うように第2配向膜537が形成されている。
そして、上記した液晶装置520と同様に、第1電極533と第2電極536との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ500の着色層508R、508G、508Bが位置するように構成されている。
この液晶装置550は、カラーフィルタ500を図中上側(観測者側)に配置したものである。
カラーフィルタ500の保護膜509の表面(対向基板551側の面)には液晶駆動用の電極556が形成されている。この電極556は、ITO等の透明導電材料からなり、後述の画素電極560が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極556の画素電極560とは反対側の面を覆った状態で配向膜557が設けられている。
この表示装置600においては、発光素子部603から基板601側に発した光が、回路素子部602および基板601を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部603から基板601の反対側に発した光が陰極604により反射された後、回路素子部602および基板601を透過して観測者側に出射されるようになっている。
また、第1層間絶縁膜611a上には電源線614が配設されており、この電源線614は、コンタクトホール612bを通じてドレイン領域607bに接続されている。
これら画素電極613、機能層617、および、機能層617上に配設された陰極604によって発光素子が構成されている。なお、画素電極613は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極613の間にバンク部618が形成されている。
そして、各バンク部618の間には、画素電極613に対して上方に向けて次第に拡開した開口部619が形成されている。
正孔注入/輸送層617aは、画素電極613側から正孔を輸送して発光層617bに注入する機能を有する。この正孔注入/輸送層617aは、正孔注入/輸送層形成材料を含む第1組成物(機能液)を吐出することで形成される。正孔注入/輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
この表示装置600は、図12に示すように、バンク部形成工程(S111)、表面処理工程(S112)、正孔注入/輸送層形成工程(S113)、発光層形成工程(S114)、および対向電極形成工程(S115)を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
無機物バンク層618aを形成したならば、図14に示すように、無機物バンク層618a上に有機物バンク層618bを形成する。この有機物バンク層618bも無機物バンク層618aと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部618が形成される。また、これに伴い、各バンク部618間には、画素電極613に対して上方に開口した開口部619が形成される。この開口部619は、画素領域を規定する。
また、撥液化処理は、有機物バンク層618bの壁面618sおよび有機物バンク層618bの上面618tに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理(撥液性に処理)される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド2を用いて機能層617を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部619から溢れ出るのを防止することが可能となる。
しかしその一方で、正孔注入/輸送層617aは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第2組成物を正孔注入/輸送層617a上に吐出しても、正孔注入/輸送層617aと発光層617bとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層617bを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入/輸送層617aの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理(表面改質処理)を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第2組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入/輸送層617a上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入/輸送層617aの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第2組成物を正孔注入/輸送層617aに均一に塗布することができる。
この陰極604の上部には、電極としてのAl膜、Ag膜や、その酸化防止のためのSiO2、SiN等の保護層が適宜設けられる。
この表示装置700は、互いに対向して配置された第1基板701、第2基板702、およびこれらの間に形成される放電表示部703を含んで概略構成される。放電表示部703は、複数の放電室705により構成されている。これらの複数の放電室705のうち、赤色放電室705R、緑色放電室705G、青色放電室705Bの3つの放電室705が組になって1つの画素を構成するように配置されている。
そして、この隔壁708によって仕切られた領域が放電室705となっている。
第1基板701と第2基板702とは、アドレス電極706と表示電極711が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極706と表示電極711は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極706,711に通電することにより、放電表示部703において蛍光体709が励起発光し、カラー表示が可能となる。
この場合、第1基板701を液滴吐出装置のセットテーブルに載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド2により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
表示電極711の形成の場合、アドレス電極706の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体709の形成の場合には、各色(R,G,B)に対応する蛍光材料を含んだ液体材料(機能液)を機能液滴吐出ヘッド2から液滴として吐出し、対応する色の放電室705内に着弾させる。
この表示装置800は、互いに対向して配置された第1基板801、第2基板802、およびこれらの間に形成される電界放出表示部803を含んで概略構成される。電界放出表示部803は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部805により構成されている。
Claims (10)
- 画素領域を画成するバンクを有する基板上に、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出して前記画素領域内に着弾させ、干渉計から成る表面形状測定装置により、前記画素領域内に着弾した画素内機能液の厚さまたは体積の少なくとも一方を測定する画素内機能液の形態測定方法であって、
前記表面形状測定装置により、前記画素内機能液の表面形状と前記バンクの表面形状とを測定して、前記表面形状に関する計測パラメータを生成する表面形状測定工程と、
生成した前記計測パラメータの前記画素内機能液の表面における計測パラメータに、前記バンク高さ分の高さパラメータを加算するバンク高さ加算工程と、
加算後の前記画素内機能液の表面における前記計測パラメータおよび前記バンクの表面における前記計測パラメータに基づいて、前記画素内機能液の厚さまたは体積の少なくとも一方を算出する形態算出工程と、を備えたことを特徴とする画素内機能液の形態測定方法。 - 画素領域を画成するバンクを有する基板上に、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出して前記画素領域内に着弾させ、干渉計から成る表面形状測定装置により、前記画素領域内に着弾した画素内機能液の厚さまたは体積の少なくとも一方を測定する画素内機能液の形態測定方法であって、
前記表面形状測定装置により、前記画素内機能液の表面形状と前記バンクの表面形状とを測定して、前記表面形状に関する計測パラメータを生成する表面形状測定工程と、
生成した前記計測パラメータの前記バンクの表面における計測パラメータに、前記バンク高さ分の高さパラメータを減算するバンク高さ減算工程と、
減算後の前記バンクの表面における前記計測パラメータおよび前記画素内機能液の表面における前記計測パラメータに基づいて、前記画素内機能液の厚さまたは体積の少なくとも一方を算出する形態算出工程と、を備えたことを特徴とする画素内機能液の形態測定方法。 - 前記バンクの表面の計測ポイントが、光反射性材料により表面処理されていることを特徴とする請求項1または2に記載の画素内機能液の形態測定方法。
- 画素領域を画成するバンクを有する基板上に、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出して前記画素領域内に着弾させ、前記画素領域内に着弾した画素内機能液の厚さまたは体積の少なくとも一方を測定する画素内機能液の形態測定装置であって、
前記画素内機能液の表面形状と前記バンクの表面形状とを測定する表面形状測定手段と、
前記表面形状測定手段による測定結果に基づいて、前記表面形状に関する計測パラメータを生成する計測パラメータ生成手段と、
生成した前記計測パラメータの前記画素内機能液の表面における計測パラメータに、前記バンク高さ分の高さパラメータを加算するバンク高さ加算手段と、
加算後の前記画素内機能液の表面における前記計測パラメータおよび前記バンクの表面における前記計測パラメータに基づいて、前記画素内機能液の厚さまたは体積の少なくとも一方を算出する形態算出手段と、を備えたことを特徴とする画素内機能液の形態測定装置。 - 画素領域を画成するバンクを有する基板上に、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出して前記画素領域内に着弾させ、前記画素領域内に着弾した画素内機能液の厚さまたは体積の少なくとも一方を測定する画素内機能液の形態測定装置であって、
前記画素内機能液の表面形状と前記バンクの表面形状とを測定する表面形状測定手段と、
前記表面形状測定手段による測定結果に基づいて、前記表面形状に関する計測パラメータを生成する計測パラメータ生成手段と、
生成した前記計測パラメータの前記バンクの表面における計測パラメータに、前記バンク高さ分の高さパラメータを減算するバンク高さ減算手段と、
減算後の前記バンクの表面における前記計測パラメータおよび前記画素内機能液の表面における前記計測パラメータに基づいて、前記画素内機能液の厚さまたは体積の少なくとも一方を算出する形態算出手段と、を備えたことを特徴とする画素内機能液の形態測定装置。 - 請求項4または5に記載の画素内機能液の形態測定装置と、
複数の前記機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに搭載したヘッドユニットと、
前記基板に対し、前記ヘッドユニットを相対的に移動させながら、前記複数の機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出して描画を行なう描画手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。 - 前記ヘッドユニットには、R色の機能液を導入する機能液滴吐出ヘッド、G色の機能液を導入する機能液滴吐出ヘッドおよびB色の機能液を導入する機能液滴吐出ヘッド、が搭載されていることを特徴とする請求項6に記載の液滴吐出装置。
- 請求項6または7に記載の液滴吐出装置を用い、前記基板上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
- 請求項6または7に記載の液滴吐出装置を用い、前記基板上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
- 請求項8に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項9に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007017166A JP4245054B2 (ja) | 2007-01-26 | 2007-01-26 | 画素内機能液の形態測定方法、画素内機能液の形態測定装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
TW096150365A TWI358524B (en) | 2007-01-26 | 2007-12-26 | Method of measuring topology of functional liquid |
US12/006,990 US7705997B2 (en) | 2007-01-26 | 2008-01-08 | Method of measuring topology of functional liquid droplet in pixel, topology measuring apparatus of functional liquid in pixel, liquid ejection apparatus, method of manufacturing electro-optical apparatus, electro-optical apparatus, and electronic apparatus |
CN2008100030196A CN101231159B (zh) | 2007-01-26 | 2008-01-10 | 像素内功能液的形态测定方法及形态测定装置 |
KR1020080007514A KR100953468B1 (ko) | 2007-01-26 | 2008-01-24 | 화소내 기능액의 형태 측정 방법, 화소내 기능액의 형태측정 장치, 액적 토출 장치, 전기 광학 장치의 제조 방법,전기 광학 장치 및 전자기기 |
US12/720,210 US7920274B2 (en) | 2007-01-26 | 2010-03-09 | Method of measuring topology of functional liquid droplet in pixel, topology measuring apparatus of functional liquid in pixel, liquid ejection apparatus, method of manufacturing electro-optical apparatus, electro-optical apparatus, and electronic apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007017166A JP4245054B2 (ja) | 2007-01-26 | 2007-01-26 | 画素内機能液の形態測定方法、画素内機能液の形態測定装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008185372A JP2008185372A (ja) | 2008-08-14 |
JP4245054B2 true JP4245054B2 (ja) | 2009-03-25 |
Family
ID=39667575
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007017166A Active JP4245054B2 (ja) | 2007-01-26 | 2007-01-26 | 画素内機能液の形態測定方法、画素内機能液の形態測定装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7705997B2 (ja) |
JP (1) | JP4245054B2 (ja) |
KR (1) | KR100953468B1 (ja) |
CN (1) | CN101231159B (ja) |
TW (1) | TWI358524B (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4245054B2 (ja) * | 2007-01-26 | 2009-03-25 | セイコーエプソン株式会社 | 画素内機能液の形態測定方法、画素内機能液の形態測定装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
JP4777310B2 (ja) * | 2007-07-31 | 2011-09-21 | シャープ株式会社 | 検査装置、検査方法、検査システム、カラーフィルタの製造方法、検査装置制御プログラム、及び該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
KR101434364B1 (ko) * | 2008-01-09 | 2014-08-27 | 삼성디스플레이 주식회사 | 픽셀 내 잉크층의 두께를 측정하는 장치 및 방법 |
KR101629637B1 (ko) * | 2008-05-29 | 2016-06-13 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 성막방법 및 발광장치의 제조방법 |
RU2472235C2 (ru) * | 2008-09-18 | 2013-01-10 | Шарп Кабусики Кайся | Устройство отображения изображений и способ отображения изображений |
JP2010240503A (ja) | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出量測定方法および有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法 |
CN101900909B (zh) * | 2010-02-09 | 2012-07-25 | 华映视讯(吴江)有限公司 | 一种显示装置与测量其表面结构的方法 |
JP5698963B2 (ja) * | 2010-11-22 | 2015-04-08 | 株式会社小坂研究所 | 表面形状測定方法 |
CN102253531B (zh) * | 2011-07-28 | 2013-06-05 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶面板的配向膜涂布方法和*** |
CN102368130B (zh) * | 2011-10-14 | 2014-02-05 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶面板的框胶涂布设备及其涂布方法 |
CN102705790B (zh) * | 2012-03-16 | 2014-08-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 发光二极管显示背板及其制造方法、显示装置 |
KR102047231B1 (ko) * | 2012-12-10 | 2019-11-21 | 엘지디스플레이 주식회사 | 전기영동 표시소자 및 그 제조방법 |
JP6110175B2 (ja) * | 2013-03-26 | 2017-04-05 | 東朋テクノロジー株式会社 | カラーフィルタの色認識方法 |
US10254110B2 (en) * | 2013-12-18 | 2019-04-09 | Nanometrics Incorporated | Via characterization for BCD and depth metrology |
JP6296647B2 (ja) * | 2014-02-06 | 2018-03-20 | セイコーインスツル株式会社 | プリンタヘッド及びプリンタヘッドの製造方法 |
CA2957677C (en) * | 2014-08-12 | 2023-05-16 | Hans-Christian LUEDEMANN | Interferometric measurement of liquid volumes |
CN107367850B (zh) * | 2017-05-31 | 2020-08-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 检测装置、检测方法和液晶滴注设备、液晶滴注方法 |
JP2023025365A (ja) * | 2021-08-10 | 2023-02-22 | セイコーエプソン株式会社 | 記録装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000121323A (ja) | 1998-10-14 | 2000-04-28 | Hitachi Ltd | 表面高さ検査方法及びその検査装置並びにカラーフィルタ基板、その検査方法及びその製造方法 |
US20020177007A1 (en) * | 2001-05-25 | 2002-11-28 | Boris Chernobrod | Electroluminescent devices and method of manufacturing the same |
JP2003084123A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-03-19 | Seiko Epson Corp | カラーフィルタ基板、カラーフィルタ基板の製造方法、液晶表示装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法及び電子機器 |
CN101219596B (zh) * | 2004-05-12 | 2011-04-27 | 精工爱普生株式会社 | 液滴喷出装置、以及电光学装置及其制造方法 |
JP4404006B2 (ja) * | 2005-05-16 | 2010-01-27 | セイコーエプソン株式会社 | カラーフィルタ基板、電気光学装置、および電子機器 |
EP1883781B1 (en) * | 2005-05-19 | 2019-08-07 | Zygo Corporation | Analyzing low-coherence interferometry signals for thin film structures |
JP2006330418A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Seiko Epson Corp | 画素電極とその形成方法、電気光学装置、及び電子機器 |
US8512581B2 (en) * | 2006-10-09 | 2013-08-20 | Solexel, Inc. | Methods for liquid transfer coating of three-dimensional substrates |
JP4245054B2 (ja) * | 2007-01-26 | 2009-03-25 | セイコーエプソン株式会社 | 画素内機能液の形態測定方法、画素内機能液の形態測定装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
JP4442620B2 (ja) * | 2007-02-26 | 2010-03-31 | セイコーエプソン株式会社 | 着弾ドット測定方法および着弾ドット測定装置、並びに液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法 |
JP2009178627A (ja) * | 2008-01-29 | 2009-08-13 | Seiko Epson Corp | 薄膜形成方法、カラーフィルタの製造方法 |
-
2007
- 2007-01-26 JP JP2007017166A patent/JP4245054B2/ja active Active
- 2007-12-26 TW TW096150365A patent/TWI358524B/zh active
-
2008
- 2008-01-08 US US12/006,990 patent/US7705997B2/en active Active
- 2008-01-10 CN CN2008100030196A patent/CN101231159B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2008-01-24 KR KR1020080007514A patent/KR100953468B1/ko active IP Right Grant
-
2010
- 2010-03-09 US US12/720,210 patent/US7920274B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200905159A (en) | 2009-02-01 |
TWI358524B (en) | 2012-02-21 |
CN101231159A (zh) | 2008-07-30 |
US7705997B2 (en) | 2010-04-27 |
US20100165354A1 (en) | 2010-07-01 |
KR100953468B1 (ko) | 2010-04-16 |
US20080180686A1 (en) | 2008-07-31 |
JP2008185372A (ja) | 2008-08-14 |
US7920274B2 (en) | 2011-04-05 |
CN101231159B (zh) | 2010-08-18 |
KR20080070554A (ko) | 2008-07-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4245054B2 (ja) | 画素内機能液の形態測定方法、画素内機能液の形態測定装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP4093167B2 (ja) | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP4442620B2 (ja) | 着弾ドット測定方法および着弾ドット測定装置、並びに液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法 | |
KR100873477B1 (ko) | 토출 패턴 데이터 보정 방법, 토출 패턴 데이터 보정 장치, 및 액적 토출 장치 | |
JP4258544B2 (ja) | 液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法 | |
JP2005119139A (ja) | 機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法およびその装置、機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP5359973B2 (ja) | 液滴吐出装置 | |
JP4396732B2 (ja) | 液滴吐出ヘッドの配置方法、ヘッドユニットおよび液滴吐出装置、並びに、電気光学装置の製造方法 | |
JP2009006212A (ja) | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法および電気光学装置 | |
JP4696862B2 (ja) | 画像処理装置、画像処理方法および描画装置 | |
JP2006167544A (ja) | 機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法、機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法、機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2007130597A (ja) | 液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法、液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP4151576B2 (ja) | 機能液滴吐出検査方法、機能液滴吐出検査装置およびこれを備えた液滴吐出装置 | |
JP4852989B2 (ja) | 液滴吐出装置の液滴着弾位置補正方法、液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法 | |
JP2007144344A (ja) | 機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法、機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP5251796B2 (ja) | ヘッドユニット、液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法 | |
JP2008194576A (ja) | 液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機el素子の製造方法、電気光学装置の製造方法 | |
JP2007152255A (ja) | 機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法、着弾位置検査装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2009151219A (ja) | 機能液滴吐出ヘッドのヘッド選別方法、ヘッドユニットおよび液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法および電気光学装置 | |
JP2008221169A (ja) | 液滴吐出装置および液滴吐出装置の制御方法、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2008209309A (ja) | 画像認識カメラのキャリブレーション方法、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2007152256A (ja) | 液滴吐出装置の描画処理方法、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2007117880A (ja) | 液滴吐出装置の描画方法、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2008225247A (ja) | 液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2008221186A (ja) | 液滴吐出装置の吐出制御方法および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081212 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081216 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081229 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4245054 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120116 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120116 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130116 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130116 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140116 Year of fee payment: 5 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |