JP2000193814A - カラ―フィルタの検査方法、検査装置、カラ―フィルタの製造方法 - Google Patents
カラ―フィルタの検査方法、検査装置、カラ―フィルタの製造方法Info
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- G02B5/201—Filters in the form of arrays
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G02B5/00—Optical elements other than lenses
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 カラーフィルタの色ムラを短時間で且つ高精
度に検出する。 【解決手段】 Ｒ、Ｇ、Ｂの色毎に透過率の異なるＮＤ
フィルタと非着色部に対応したＮＤフィルタとを備えた
光学素子２を光路中に配置し、光源１からの光量を一定
とし、測定対象である着色部の色に対応して上記フィル
タを切り替えることにより、各着色部を透過した透過光
量が受光素子１１の測定に適した光量となるように調整
して、最適な条件で各着色部の透過率を測定する。
度に検出する。 【解決手段】 Ｒ、Ｇ、Ｂの色毎に透過率の異なるＮＤ
フィルタと非着色部に対応したＮＤフィルタとを備えた
光学素子２を光路中に配置し、光源１からの光量を一定
とし、測定対象である着色部の色に対応して上記フィル
タを切り替えることにより、各着色部を透過した透過光
量が受光素子１１の測定に適した光量となるように調整
して、最適な条件で各着色部の透過率を測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルタの
着色部の着色濃度を高精度且つ高速に検査するカラーフ
ィルタの検査方法、検査装置、及び、該検査方法を利用
したカラーフィルタの製造方法に関するものである。
着色部の着色濃度を高精度且つ高速に検査するカラーフ
ィルタの検査方法、検査装置、及び、該検査方法を利用
したカラーフィルタの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、液晶表示装置を構成するカラー
フィルタは、透明基板上に光の３原色である赤（Ｒ）、
緑（Ｇ）、青（Ｂ）に着色された着色部を配列して構成
されている。カラーフィルタの製造方法としては、従
来、染色法や顔料分散法、電着法などが用いられていた
が、最近では工程が簡素で経済的に有利なインクジェッ
ト方式が用いられるようになってきている。
フィルタは、透明基板上に光の３原色である赤（Ｒ）、
緑（Ｇ）、青（Ｂ）に着色された着色部を配列して構成
されている。カラーフィルタの製造方法としては、従
来、染色法や顔料分散法、電着法などが用いられていた
が、最近では工程が簡素で経済的に有利なインクジェッ
ト方式が用いられるようになってきている。
【０００３】インクジェット方式を用いて着色部を形成
する場合、所定の領域に個々にインクを付与していくた
め、他の方式とは異なり、着色部毎の濃度分布に起因す
る色ムラ問題を生じる。着色部の色によっては、この濃
度分布がわずか数％であっても、視覚的には十分認識し
得る色ムラ欠陥となる。従って、インクジェット方式を
用いたカラーフィルタの製造工程においては、この色ム
ラを高精度で捉え、さらにはその結果に基づいて付与す
るインク量を制御することが要求される。
する場合、所定の領域に個々にインクを付与していくた
め、他の方式とは異なり、着色部毎の濃度分布に起因す
る色ムラ問題を生じる。着色部の色によっては、この濃
度分布がわずか数％であっても、視覚的には十分認識し
得る色ムラ欠陥となる。従って、インクジェット方式を
用いたカラーフィルタの製造工程においては、この色ム
ラを高精度で捉え、さらにはその結果に基づいて付与す
るインク量を制御することが要求される。
【０００４】一般に、カラーフィルタの色ムラの検査で
は、ムラのみでなく、同時に着色濃度の絶対値も問題と
なる。このため、リファレンス光量調整を行っている。
リファレンス光量調整は、非表示領域中の透明な（ブラ
ックマトリクス等遮光層が存在していない）非着色部に
おける透過光量を調整することを言い、このリファレン
ス光量調整時にＣＣＤカメラに入射する光量は、着色部
の透過光量を測定する際にＣＣＤカメラに入射する光の
光量の２倍〜５倍に達する。このため、リファレンス光
量調整時に、ＣＣＤカメラの出力が飽和する光量以下と
なるように光源の光量を設定した場合、着色部の測定時
には、その１／５〜１／２の光量しか入射しないことか
ら、ＣＣＤの暗電流などによるＳ／Ｎの低下が発生す
る。特に、カラーフィルタにおける色ムラの検査では、
同一色の着色部における１％以下の透過光量の差とを区
別する必要があるため、このＳ／Ｎの低下を回避する必
要が生じる。そこで、これを避けるために、着色部の測
定時の光源光量を増大させることが考えられる。
は、ムラのみでなく、同時に着色濃度の絶対値も問題と
なる。このため、リファレンス光量調整を行っている。
リファレンス光量調整は、非表示領域中の透明な（ブラ
ックマトリクス等遮光層が存在していない）非着色部に
おける透過光量を調整することを言い、このリファレン
ス光量調整時にＣＣＤカメラに入射する光量は、着色部
の透過光量を測定する際にＣＣＤカメラに入射する光の
光量の２倍〜５倍に達する。このため、リファレンス光
量調整時に、ＣＣＤカメラの出力が飽和する光量以下と
なるように光源の光量を設定した場合、着色部の測定時
には、その１／５〜１／２の光量しか入射しないことか
ら、ＣＣＤの暗電流などによるＳ／Ｎの低下が発生す
る。特に、カラーフィルタにおける色ムラの検査では、
同一色の着色部における１％以下の透過光量の差とを区
別する必要があるため、このＳ／Ｎの低下を回避する必
要が生じる。そこで、これを避けるために、着色部の測
定時の光源光量を増大させることが考えられる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、光源光
量を調整すると、調整後しばらくは光量が不安定とな
る。先に述べたように、着色濃度分布は数％というレベ
ルで捉える必要が有り、このような光量調整直後の不安
定な光量は測定誤差を生じてしまう。そのため、光量を
調整した場合には、光量が安定するまで時間を置くほか
はなく、検査時間の短縮化による効率向上を阻んでい
る。
量を調整すると、調整後しばらくは光量が不安定とな
る。先に述べたように、着色濃度分布は数％というレベ
ルで捉える必要が有り、このような光量調整直後の不安
定な光量は測定誤差を生じてしまう。そのため、光量を
調整した場合には、光量が安定するまで時間を置くほか
はなく、検査時間の短縮化による効率向上を阻んでい
る。
【０００６】本発明の目的は、カラーフィルタの色ムラ
を高精度に且つ高速で検査することができる検査方法及
び検査装置を提供し、該検査方法を利用して色ムラを低
減したインクジェット方式によるカラーフィルタの製造
方法を提供することにある。
を高精度に且つ高速で検査することができる検査方法及
び検査装置を提供し、該検査方法を利用して色ムラを低
減したインクジェット方式によるカラーフィルタの製造
方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のカラーフィルタ
の検査方法は、光源からの光を着色部に照射し、該着色
部を透過した透過光量を受光素子により測定して該着色
部の着色濃度を求めるカラーフィルタの検査方法であっ
て、光源光量を一定とし、光路中に配置した光学素子に
よって、受光素子に入射する光量を調整することを特徴
とする。
の検査方法は、光源からの光を着色部に照射し、該着色
部を透過した透過光量を受光素子により測定して該着色
部の着色濃度を求めるカラーフィルタの検査方法であっ
て、光源光量を一定とし、光路中に配置した光学素子に
よって、受光素子に入射する光量を調整することを特徴
とする。
【０００８】また、本発明のカラーフィルタの検査装置
は、着色部の着色濃度を該着色部を透過した透過光量を
測定して求めるカラーフィルタの検査装置であって、光
源と、カラーフィルタを搭載するステージと、該カラー
フィルタを透過した透過光量を測定する受光素子と、光
路中に配置された透過率を変化し得る光学素子とを備え
たことを特徴とする。
は、着色部の着色濃度を該着色部を透過した透過光量を
測定して求めるカラーフィルタの検査装置であって、光
源と、カラーフィルタを搭載するステージと、該カラー
フィルタを透過した透過光量を測定する受光素子と、光
路中に配置された透過率を変化し得る光学素子とを備え
たことを特徴とする。
【０００９】さらに、本発明のカラーフィルタの製造方
法は、透明基板上にインクジェット方式によりインクを
付与して着色部を形成するカラーフィルタの製造方法に
おいて、上記本発明のカラーフィルタの検査方法により
得られた各着色部の着色濃度に対応して、新たなカラー
フィルタの製造における上記インクの吐出量を決定する
ことを特徴とする。
法は、透明基板上にインクジェット方式によりインクを
付与して着色部を形成するカラーフィルタの製造方法に
おいて、上記本発明のカラーフィルタの検査方法により
得られた各着色部の着色濃度に対応して、新たなカラー
フィルタの製造における上記インクの吐出量を決定する
ことを特徴とする。
【００１０】本発明においては、光学素子を用いて光量
調整を行い、光源光量を一定とするため、光源光量の調
整による不安定な光量による測定誤差が防止され、光量
調整後の安定化のための時間が不要となる。本発明で
は、光学素子を用いて受光素子に入射する光量を該受光
素子の受光に適した光量に容易に調整することができる
ため、同一の受光素子で精度良く測定を行なうことがで
きる。特に、色ムラ検査の結果に基づいて付与するイン
ク量の制御を行なう場合には、各測定間の絶対値に相関
を持たせる必要性があり、それ故、各測定前にはリファ
レンスの測定による光量調整、即ち着色以外の要素を取
り除くため、非表示領域中の透明な非着色部で光量値を
測定し、これを一定値に調整する必要がある。その際、
着色部と非着色部では透過光量が大きく異なっている
が、本発明では光学素子によって、入射光量或いは透過
光量を調整することにより、着色部と非着色部の透過光
量の測定を同一の受光素子で精度良く測定することがで
きる。
調整を行い、光源光量を一定とするため、光源光量の調
整による不安定な光量による測定誤差が防止され、光量
調整後の安定化のための時間が不要となる。本発明で
は、光学素子を用いて受光素子に入射する光量を該受光
素子の受光に適した光量に容易に調整することができる
ため、同一の受光素子で精度良く測定を行なうことがで
きる。特に、色ムラ検査の結果に基づいて付与するイン
ク量の制御を行なう場合には、各測定間の絶対値に相関
を持たせる必要性があり、それ故、各測定前にはリファ
レンスの測定による光量調整、即ち着色以外の要素を取
り除くため、非表示領域中の透明な非着色部で光量値を
測定し、これを一定値に調整する必要がある。その際、
着色部と非着色部では透過光量が大きく異なっている
が、本発明では光学素子によって、入射光量或いは透過
光量を調整することにより、着色部と非着色部の透過光
量の測定を同一の受光素子で精度良く測定することがで
きる。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の検査装置の一実
施形態の構成を示す模式図である。図１において、１は
光源、２は光量調整用の光学素子、３はライトガイド、
４は入射光光路を受光素子１１に対し調整するための光
路調整系、５は画像を拡大するための光学系、６は測定
対象の画像を画像処理装置７に取り込むためのＣＣＤカ
メラであり、本実施形態において、本発明にかかる受光
素子１１は光学系５とＣＣＤカメラ６から構成されてい
る。また、９はカラーフィルタを搭載するＸＹ制御ステ
ージであり、下からの透過光源を利用できるように透明
に構成するか、或いは測定領域に開口部に設けてある。
１０が被検査カラーフィルタである。７が各着色部毎に
透過光量を測定する画像処理装置で、８のパーソナルコ
ンピュータ（以下、ＰＣと記す）により制御する。ま
た、ＰＣ８は同時に、ＲＳ２３２Ｃ或いはＧＰＩＢイン
ターフェースを用いて、光源１の光量及びＸＹ制御ステ
ージ９をも制御することができる。
施形態の構成を示す模式図である。図１において、１は
光源、２は光量調整用の光学素子、３はライトガイド、
４は入射光光路を受光素子１１に対し調整するための光
路調整系、５は画像を拡大するための光学系、６は測定
対象の画像を画像処理装置７に取り込むためのＣＣＤカ
メラであり、本実施形態において、本発明にかかる受光
素子１１は光学系５とＣＣＤカメラ６から構成されてい
る。また、９はカラーフィルタを搭載するＸＹ制御ステ
ージであり、下からの透過光源を利用できるように透明
に構成するか、或いは測定領域に開口部に設けてある。
１０が被検査カラーフィルタである。７が各着色部毎に
透過光量を測定する画像処理装置で、８のパーソナルコ
ンピュータ（以下、ＰＣと記す）により制御する。ま
た、ＰＣ８は同時に、ＲＳ２３２Ｃ或いはＧＰＩＢイン
ターフェースを用いて、光源１の光量及びＸＹ制御ステ
ージ９をも制御することができる。
【００１２】本発明において、光源１としては、ハロゲ
ン等、メタハライド等、水銀灯、キセノン光源などが好
ましく用いられるが、特に限定されるものではない。
ン等、メタハライド等、水銀灯、キセノン光源などが好
ましく用いられるが、特に限定されるものではない。
【００１３】また、光学素子２としては、透過率可変の
もの（例えば、偏光素子の組み合わせやスリット、ピン
ホールなど）、或いは、透過率が一定のもの（例えば、
ＮＤフィルタ、ミラー、レンズ、メッシュ絞りなど）が
用いられ、後者については、測定対象に応じて、例え
ば、Ｒ、Ｇ、Ｂの各着色部用と非表示部（リファレン
ス）用を組み合わせ、適宜切り替えて用いるように構成
する。
もの（例えば、偏光素子の組み合わせやスリット、ピン
ホールなど）、或いは、透過率が一定のもの（例えば、
ＮＤフィルタ、ミラー、レンズ、メッシュ絞りなど）が
用いられ、後者については、測定対象に応じて、例え
ば、Ｒ、Ｇ、Ｂの各着色部用と非表示部（リファレン
ス）用を組み合わせ、適宜切り替えて用いるように構成
する。
【００１４】図３は上記透過率が一定の素子を複数組み
合わせて構成した光学素子の一例であり、４種類のＮＤ
フィルタを用いて構成した光学素子であり、３１ａ〜３
１ｂがＲ、Ｇ、Ｂの各着色部用のフィルタ、３１ｄがリ
ファレンス用フィルタである。それぞれのフィルタの透
過率は、それぞれの色の着色部及びリファレンス測定時
にＣＣＤカメラに入射する光量がＣＣＤカメラの出力が
飽和する光量の５０％〜１００％、望ましくは６０％〜
９０％、さらに望ましくは７０％〜８０％になるように
決定する。また、この際最も透過率の大きいＮＤフィル
タはフィルタを用いず開口部（透過率１００％）とする
ことが可能であるのはいうまでもない。また、これらの
フィルタ３１ａ〜３１ｄの切換えはＰＣ８により制御
し、測定対象の測定と同期させる。
合わせて構成した光学素子の一例であり、４種類のＮＤ
フィルタを用いて構成した光学素子であり、３１ａ〜３
１ｂがＲ、Ｇ、Ｂの各着色部用のフィルタ、３１ｄがリ
ファレンス用フィルタである。それぞれのフィルタの透
過率は、それぞれの色の着色部及びリファレンス測定時
にＣＣＤカメラに入射する光量がＣＣＤカメラの出力が
飽和する光量の５０％〜１００％、望ましくは６０％〜
９０％、さらに望ましくは７０％〜８０％になるように
決定する。また、この際最も透過率の大きいＮＤフィル
タはフィルタを用いず開口部（透過率１００％）とする
ことが可能であるのはいうまでもない。また、これらの
フィルタ３１ａ〜３１ｄの切換えはＰＣ８により制御
し、測定対象の測定と同期させる。
【００１５】本実施形態では、カラーフィルタ１０への
入射光量を光学素子２で調整する形態であり、光学素子
２が透過率可変である場合には、適宜透過率を調整しな
がら、また、透過率一定のものを組み合わせた構成であ
る場合には、適宜切り替えながら行なう。これらは一方
だけでも良いが、複数組み合わせて用いても良い。ま
た、本実施形態では光学素子２は光路中、光源１の直後
に設置しているが、特にこの位置に限定されるものでは
なく、また、複数用いた場合には、複数箇所に設けるこ
とができる。
入射光量を光学素子２で調整する形態であり、光学素子
２が透過率可変である場合には、適宜透過率を調整しな
がら、また、透過率一定のものを組み合わせた構成であ
る場合には、適宜切り替えながら行なう。これらは一方
だけでも良いが、複数組み合わせて用いても良い。ま
た、本実施形態では光学素子２は光路中、光源１の直後
に設置しているが、特にこの位置に限定されるものでは
なく、また、複数用いた場合には、複数箇所に設けるこ
とができる。
【００１６】図１の構成では、光源１をＸＹ制御ステー
ジ９よりも離れた位置に設置した構成であるため、ライ
トガイド３を用いているが、直接照射できる形をとって
も良い。
ジ９よりも離れた位置に設置した構成であるため、ライ
トガイド３を用いているが、直接照射できる形をとって
も良い。
【００１７】本発明に用いるＣＣＤカメラ６としては、
エリアセンサ型ＣＣＤカメラを用いることが一般的に好
適であるが、その他にラインセンサ型ＣＣＤカメラを用
いることもできる。また、いずれの場合もカラー、白黒
どちらのタイプを用いてもかまわない。さらに、ＣＣＤ
カメラを用いることに限定されず、他の受光素子を用い
てもかまわない。
エリアセンサ型ＣＣＤカメラを用いることが一般的に好
適であるが、その他にラインセンサ型ＣＣＤカメラを用
いることもできる。また、いずれの場合もカラー、白黒
どちらのタイプを用いてもかまわない。さらに、ＣＣＤ
カメラを用いることに限定されず、他の受光素子を用い
てもかまわない。
【００１８】図４に、図１の光路調整系４の一例の構成
を示す。図中、４１は光拡散素子、４２はピンホール、
４３は反射ミラーである。光源からの光４４は光拡散素
子４１によって拡散され、反射ミラー４３によって光路
を調整し、ピンホール４２によって必要量の拡散光が切
り出され、面内光量分布の均一化が図られる。
を示す。図中、４１は光拡散素子、４２はピンホール、
４３は反射ミラーである。光源からの光４４は光拡散素
子４１によって拡散され、反射ミラー４３によって光路
を調整し、ピンホール４２によって必要量の拡散光が切
り出され、面内光量分布の均一化が図られる。
【００１９】図２は、本発明のカラーフィルタの検査装
置の他の実施形態の構成を示す模式図であり、本実施形
態は、カラーフィルタを透過した透過光量を光学素子で
調整する形態であり、光学素子２として透過率可変であ
る偏光子の組み合わせを用いた例である。図中、１４、
１５が偏光子であり、片方の偏光子１４を固定して一定
の偏光の光を透過させ、もう一方の偏光子１５を回転さ
せることで、ここを透過する光量を連続的に調整するこ
とができる。このような２枚の偏光子は距離を離さず、
隣接して設置するのが望ましい（距離を開け、その間に
他の光学素子等が設置された場合には、その影響によっ
て偏光面が変化する可能性があるため）。偏光子１５は
θ制御可能なホルダに取り付け、ＰＣ８によってそのθ
回転を制御する。
置の他の実施形態の構成を示す模式図であり、本実施形
態は、カラーフィルタを透過した透過光量を光学素子で
調整する形態であり、光学素子２として透過率可変であ
る偏光子の組み合わせを用いた例である。図中、１４、
１５が偏光子であり、片方の偏光子１４を固定して一定
の偏光の光を透過させ、もう一方の偏光子１５を回転さ
せることで、ここを透過する光量を連続的に調整するこ
とができる。このような２枚の偏光子は距離を離さず、
隣接して設置するのが望ましい（距離を開け、その間に
他の光学素子等が設置された場合には、その影響によっ
て偏光面が変化する可能性があるため）。偏光子１５は
θ制御可能なホルダに取り付け、ＰＣ８によってそのθ
回転を制御する。
【００２０】尚、上記した図１と図２の構成を組み合わ
せることも可能である。
せることも可能である。
【００２１】次に、図１の検査装置を用いてカラーフィ
ルタの着色部の色ムラを測定する手順を説明する。尚、
光学素子２としては図２に示した４種類のＮＤフィルタ
からなる素子を用いた場合を示す。
ルタの着色部の色ムラを測定する手順を説明する。尚、
光学素子２としては図２に示した４種類のＮＤフィルタ
からなる素子を用いた場合を示す。
【００２２】図５は、本発明により検査するカラーフィ
ルタの一例の構成を示す平面模式図であり、インクジェ
ット方式により矢印５３方向にライン描画して着色され
たものである。図中、５１ａ〜５１ｃはそれぞれＲ、
Ｇ、Ｂの着色部であり、５２はブラックマトリクスの開
口部である。
ルタの一例の構成を示す平面模式図であり、インクジェ
ット方式により矢印５３方向にライン描画して着色され
たものである。図中、５１ａ〜５１ｃはそれぞれＲ、
Ｇ、Ｂの着色部であり、５２はブラックマトリクスの開
口部である。
【００２３】（１）ＣＣＤカメラ６が非着色部（着色部
５１ａ〜５１ｃ以外の領域）を捉える位置に、ＸＹ制御
ステージ９を移動する。この時、同時に自動切り替え式
ＮＤフィルタをリファレンス用フィルタ３１ｄに切り替
えておく。
５１ａ〜５１ｃ以外の領域）を捉える位置に、ＸＹ制御
ステージ９を移動する。この時、同時に自動切り替え式
ＮＤフィルタをリファレンス用フィルタ３１ｄに切り替
えておく。
【００２４】（２）光源光量を調整して、透過光量を一
定値に調整する（リファレンス光量調整）。この一定値
は、ＣＣＤカメラが出力を飽和する光量の５０％〜１０
０％、望ましくは６０％〜９０％、さらに望ましくは７
０％〜８０％の範囲内とする。
定値に調整する（リファレンス光量調整）。この一定値
は、ＣＣＤカメラが出力を飽和する光量の５０％〜１０
０％、望ましくは６０％〜９０％、さらに望ましくは７
０％〜８０％の範囲内とする。
【００２５】（３）着色部５１ａ〜５１ｃの透過光の測
定を行なう。この時、測定方法としては、以下の２例が
挙げられるが、これに限られるものではない。
定を行なう。この時、測定方法としては、以下の２例が
挙げられるが、これに限られるものではない。
【００２６】１走査測定（３色同時測定） 測定開始の着色位置にＸＹ制御ステージ９を移動する。
その後、１着色部ずつステージを測定方向５４にステッ
プ送りしながら、同時に各色に応じたＮＤフィルタへの
切り替えを行ない（双方をＰＣ８により同期をとって制
御する）、その透過光量を順次取り込み、１回の走査で
全ての着色部の透過率（或いは、輝度、吸光度でも良
い）の測定を行う。
その後、１着色部ずつステージを測定方向５４にステッ
プ送りしながら、同時に各色に応じたＮＤフィルタへの
切り替えを行ない（双方をＰＣ８により同期をとって制
御する）、その透過光量を順次取り込み、１回の走査で
全ての着色部の透過率（或いは、輝度、吸光度でも良
い）の測定を行う。
【００２７】３走査測定（各色毎に測定） 例えば、Ｒ、Ｇ、Ｂの順に測定するものとする。
【００２８】はじめに、Ｒの測定開始着色部へＸＹ制御
ステージ９を移動する（この時、自動切り替えＮＤフィ
ルタとはＰＣ８により同期がとられ、Ｒ用フィルタ３１
ａのものに切り替えられる）。その後、３着色部飛びに
ステージを測定方向５４にステップ送りして、Ｒの着色
部５１ａのみその透過率（或いは、輝度、吸光度）を測
定してゆく。Ｒの着色部の測定終了後、Ｇの測定開始着
色部へステージを戻し、ＮＤフィルタをＧ用フィルタ３
１ｂに切り替え、Ｒと同様にしてＧの着色部５１ｂのみ
測定する。Ｂについても同様の走査を繰り返す。以上の
ようにして、Ｒ、Ｇ、Ｂの各着色部の透過率を順次測定
する。
ステージ９を移動する（この時、自動切り替えＮＤフィ
ルタとはＰＣ８により同期がとられ、Ｒ用フィルタ３１
ａのものに切り替えられる）。その後、３着色部飛びに
ステージを測定方向５４にステップ送りして、Ｒの着色
部５１ａのみその透過率（或いは、輝度、吸光度）を測
定してゆく。Ｒの着色部の測定終了後、Ｇの測定開始着
色部へステージを戻し、ＮＤフィルタをＧ用フィルタ３
１ｂに切り替え、Ｒと同様にしてＧの着色部５１ｂのみ
測定する。Ｂについても同様の走査を繰り返す。以上の
ようにして、Ｒ、Ｇ、Ｂの各着色部の透過率を順次測定
する。
【００２９】上記のようにして、各着色部における透過
率が求められ、該透過率の分布がそのまま着色濃度の分
布を意味する。また、予め着色濃度が既知の着色部の透
過率を測定し、その関係を求めておけば、測定した得ら
れた透過率から当該着色部の着色濃度を求めることがで
きる。
率が求められ、該透過率の分布がそのまま着色濃度の分
布を意味する。また、予め着色濃度が既知の着色部の透
過率を測定し、その関係を求めておけば、測定した得ら
れた透過率から当該着色部の着色濃度を求めることがで
きる。
【００３０】次に、上記検査結果をインク量の決定手段
とするカラーフィルタの製造手順について説明する。
とするカラーフィルタの製造手順について説明する。
【００３１】（ａ）適切なインク量で着色されたカラー
フィルタの各着色部について、上記検査手順で透過率を
測定する。該透過率が目標値となる。
フィルタの各着色部について、上記検査手順で透過率を
測定する。該透過率が目標値となる。
【００３２】（ｂ）何点かインク量を振って着色を行な
い、その透過率から、インク変化量と透過率変化量の対
応づけを行なう。これに基づいて、透過率変化量を実際
のインク量の変化量に換算する係数を算出する。
い、その透過率から、インク変化量と透過率変化量の対
応づけを行なう。これに基づいて、透過率変化量を実際
のインク量の変化量に換算する係数を算出する。
【００３３】以上が前準備にあたる。
【００３４】（ｃ）新たに着色したカラーフィルタにつ
いて、前記検査手順に沿って透過率を測定して色ムラの
検査を行ない、その結果と上記（ａ）の目標値とのずれ
量を算出する。
いて、前記検査手順に沿って透過率を測定して色ムラの
検査を行ない、その結果と上記（ａ）の目標値とのずれ
量を算出する。
【００３５】（ｄ）上記（ｃ）で算出したずれ量に対し
て、（ｂ）で算出した変換係数を考慮して、新たなイン
ク量を算出する。
て、（ｂ）で算出した変換係数を考慮して、新たなイン
ク量を算出する。
【００３６】（ｅ）上記（ｄ）の結果をカラーフィルタ
の着色工程へフィードバックし、インク量の制御を行な
う。尚、オンデマンド型インクジェットヘッドを用いた
カラーフィルタの着色工程を用いる場合には、インク量
の制御はノズルから吐出されるインク滴の体積を制御す
る方法の他に、カラーフィルタ上に付与されるインク滴
の間隔で制御されることが一般的である。
の着色工程へフィードバックし、インク量の制御を行な
う。尚、オンデマンド型インクジェットヘッドを用いた
カラーフィルタの着色工程を用いる場合には、インク量
の制御はノズルから吐出されるインク滴の体積を制御す
る方法の他に、カラーフィルタ上に付与されるインク滴
の間隔で制御されることが一般的である。
【００３７】上記（ａ）〜（ｃ）の各操作における、着
色部の透過率の測定を、前記（１）〜（３）の手順で行
なうことにより、短時間で高精度にカラーフィルタの色
ムラを検出することができ、速やかにインク量の制御を
行ない、高効率で歩留良くカラーフィルタを製造するこ
とができる。
色部の透過率の測定を、前記（１）〜（３）の手順で行
なうことにより、短時間で高精度にカラーフィルタの色
ムラを検出することができ、速やかにインク量の制御を
行ない、高効率で歩留良くカラーフィルタを製造するこ
とができる。
【００３８】また、一般的には、より短時間で検査を行
うために、各着色部用のフィルタ（図３における３１ａ
〜３１ｄ）の切換えは行わず、着色部を測定する際には
最も透過率が大きい色のフィルタで他の色の着色部の測
定を行うことが望ましい。この場合、測定精度は多少低
下する可能性があるが、実用上は十分であることが多
い。この際、光学素子（図３における２）に具備される
着色部用フィルタは１枚もしくは０枚即ち開口部とな
る。また、着色部のうち一部の色のみフィルタを共通と
する応用例も本発明の実施の一形態であることはいうま
でもない。
うために、各着色部用のフィルタ（図３における３１ａ
〜３１ｄ）の切換えは行わず、着色部を測定する際には
最も透過率が大きい色のフィルタで他の色の着色部の測
定を行うことが望ましい。この場合、測定精度は多少低
下する可能性があるが、実用上は十分であることが多
い。この際、光学素子（図３における２）に具備される
着色部用フィルタは１枚もしくは０枚即ち開口部とな
る。また、着色部のうち一部の色のみフィルタを共通と
する応用例も本発明の実施の一形態であることはいうま
でもない。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光源光量の調整時間が不要となるため、効率良く、高精
度にカラーフィルタの色むらを検査することができ、ま
た、各着色部の着色濃度も求めることができるため、本
発明の検査方法を組み込んだカラーフィルタの製造方法
においては、短時間で精度良くインク量の制御を行なう
ことができるため、製造効率を低下させることなく、カ
ラーフィルタの歩留を向上し、信頼性の高いカラーフィ
ルタをより安価に提供することが可能となる。
光源光量の調整時間が不要となるため、効率良く、高精
度にカラーフィルタの色むらを検査することができ、ま
た、各着色部の着色濃度も求めることができるため、本
発明の検査方法を組み込んだカラーフィルタの製造方法
においては、短時間で精度良くインク量の制御を行なう
ことができるため、製造効率を低下させることなく、カ
ラーフィルタの歩留を向上し、信頼性の高いカラーフィ
ルタをより安価に提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の検査装置の一実施形態の構成を示す模
式図である。
式図である。
【図２】本発明の検査装置の他の実施形態の構成を示す
模式図である。
模式図である。
【図３】本発明に用いる光学素子の一例の構成を示す模
式図である。
式図である。
【図４】本発明に用い得る光路調整系の一例の構成を示
す断面模式図である。
す断面模式図である。
【図５】本発明により検査するカラーフィルタの一例の
平面模式図である。
平面模式図である。
１ 光源 ２ 光学素子 ３ ライトガイド ４ 光路調整系 ５ 光学系 ６ ＣＣＤカメラ ７ 画像処理装置 ８ パーソナルコンピュータ（ＰＣ） ９ ＸＹ制御ステージ １０ カラーフィルタ １１ 受光素子 １３，１４ 偏光子 ３１ａ〜３１ｄ ＮＤフィルタ ４１ 光拡散素子 ４２ ピンホール ４３ 反射ミラー ４４ 光 ５１ａ〜５１ｃ 着色部 ５２ 開口部 ５３ 着色方向 ５４ 測定方向
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 丸本 義朋 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 Ｆターム(参考） 2H048 BA00 BA64 BB02 BB42
Claims (11)
- 【請求項１】 光源からの光を着色部に照射し、該着色
部を透過した透過光量を受光素子により測定して該着色
部の着色濃度を求めるカラーフィルタの検査方法であっ
て、光源光量を一定とし、光路中に配置した光学素子に
よって、受光素子に入射する光量を調整することを特徴
とするカラーフィルタの検査方法。 - 【請求項２】 カラーフィルタの着色部と、非表示領域
中の透明な非着色部について透過光量を測定し、上記非
着色部の透過光量に対する着色部の透過光量より、当該
着色部の着色濃度を求める請求項１記載のカラーフィル
タの検査方法。 - 【請求項３】 上記非着色部の測定においては、上記光
学素子によって光量調整を行い、上記着色部の測定にお
いては、光学素子による光量調整を行わない請求項２記
載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項４】 上記非着色部及び着色部のいずれの測定
においても、上記光学素子を用いて光量調整を行う請求
項２記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項５】 上記着色部の色毎に上記光学素子を用い
て光量調整を行う請求項４記載のカラーフィルタの製造
方法。 - 【請求項６】 着色部の着色濃度を該着色部を透過した
透過光量を測定して求めるカラーフィルタの検査装置で
あって、光源と、カラーフィルタを搭載するステージ
と、該カラーフィルタを透過した透過光量を測定する受
光素子と、光路中に配置された透過率を変化し得る光学
素子とを備えたことを特徴とするカラーフィルタの検査
装置 - 【請求項７】 上記光学素子が、互いに透過率が異な
る、着色部を測定するための素子と、非表示領域中の透
明な非着色部を測定するための素子とを備えた請求項６
記載のカラーフィルタの検査装置。 - 【請求項８】 上記光学素子が、着色部の色毎に透過率
の異なる素子を備えた請求項７記載のカラーフィルタの
検査装置。 - 【請求項９】 上記光学素子が、非着色部測定時にのみ
光量調整を行う素子である請求項６記載のカラーフィル
タの検査装置。 - 【請求項１０】 上記光学素子が、透過率可変素子であ
る請求項６記載のカラーフィルタの検査装置。 - 【請求項１１】 透明基板上にインクジェット方式によ
りインクを付与して着色部を形成するカラーフィルタの
製造方法において、請求項１〜３のいずれかのカラーフ
ィルタの検査方法により得られた各着色部の着色濃度に
対応して、新たなカラーフィルタの製造における上記イ
ンクの吐出量を決定することを特徴とするカラーフィル
タの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10372129A JP2000193814A (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | カラ―フィルタの検査方法、検査装置、カラ―フィルタの製造方法 |
| US09/471,081 US6221544B1 (en) | 1998-12-28 | 1999-12-23 | Inspecting method of color filter and manufacturing method of color filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10372129A JP2000193814A (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | カラ―フィルタの検査方法、検査装置、カラ―フィルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000193814A true JP2000193814A (ja) | 2000-07-14 |
Family
ID=18499904
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10372129A Withdrawn JP2000193814A (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | カラ―フィルタの検査方法、検査装置、カラ―フィルタの製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6221544B1 (ja) |
| JP (1) | JP2000193814A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2007205873A (ja) * | 2006-02-01 | 2007-08-16 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗膜形成ムラ検査装置 |
| JP2010145986A (ja) * | 2008-12-22 | 2010-07-01 | Lg Display Co Ltd | インクジェット印刷装置及び方法 |
| KR101074459B1 (ko) * | 2009-07-31 | 2011-10-18 | 세메스 주식회사 | 처리액 토출 장치 |
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| JP4200810B2 (ja) * | 2002-05-17 | 2008-12-24 | セイコーエプソン株式会社 | ディスプレー製造装置、及び、ディスプレー製造方法 |
| KR100853221B1 (ko) * | 2002-08-01 | 2008-08-20 | 삼성전자주식회사 | 고속 고온 네마틱 액정 조성물, 및 이를 포함하는액정표시장치 |
| JP4419119B2 (ja) * | 2003-12-03 | 2010-02-24 | 日本電気株式会社 | 電気光学装置及び投射型表示装置 |
| TW200600763A (en) * | 2004-06-18 | 2006-01-01 | Innolux Display Corp | Inspecting method and equipment of a color filtert |
| JP2008504553A (ja) * | 2004-07-30 | 2008-02-14 | シャープ株式会社 | カラーフィルタの検査方法、及びカラーフィルタの検査装置 |
| JP2006126692A (ja) * | 2004-11-01 | 2006-05-18 | Seiko Epson Corp | 薄膜パターン基板、デバイスの製造方法、及び電気光学装置、並びに電子機器 |
| JP2006194921A (ja) * | 2005-01-11 | 2006-07-27 | Seiko Epson Corp | パターン形成方法、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、電気光学装置の製造方法及び電気光学装置 |
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| FR2886016B1 (fr) * | 2005-05-18 | 2007-12-28 | Alain Emile Pierre | Dispositif et procede de caracterisation optique de corps translucides |
| JP2007003364A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | カラーフィルタの検査装置、および検査方法 |
| NL1030357C2 (nl) * | 2005-11-04 | 2007-05-07 | Otb Group Bv | Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een kleurenfilter en/of een black matrix en een display voorzien van een dergelijk kleurenfilter en/of een dergelijke black matrix. |
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| JP4777310B2 (ja) * | 2007-07-31 | 2011-09-21 | シャープ株式会社 | 検査装置、検査方法、検査システム、カラーフィルタの製造方法、検査装置制御プログラム、及び該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
| CN103412421B (zh) * | 2013-07-31 | 2016-07-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | 检测*** |
| KR20190087689A (ko) * | 2018-01-15 | 2019-07-25 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 |
| CN113567093B (zh) * | 2021-09-26 | 2021-12-14 | 武汉精创电子技术有限公司 | 一种用于产品画质检测的装置及方法 |
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|---|---|---|---|---|
| US5400135A (en) * | 1993-06-08 | 1995-03-21 | Nikon Corporation | Automatic defect inspection apparatus for color filter |
| JP2986072B2 (ja) * | 1995-06-16 | 1999-12-06 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | 膜厚の検査方法 |
| JPH0943097A (ja) * | 1995-07-28 | 1997-02-14 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルター欠陥検査装置 |
| JPH10142101A (ja) * | 1996-11-11 | 1998-05-29 | Dainippon Printing Co Ltd | 着色膜の検査方法 |
| JP2941247B2 (ja) * | 1997-03-17 | 1999-08-25 | キヤノン株式会社 | インク吐出密度設定方法及びカラーフィルタの製造方法及び表示装置の製造方法及び表示装置を備えた装置の製造方法 |
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-
1998
- 1998-12-28 JP JP10372129A patent/JP2000193814A/ja not_active Withdrawn
-
1999
- 1999-12-23 US US09/471,081 patent/US6221544B1/en not_active Expired - Lifetime
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| US8740338B2 (en) | 2008-12-22 | 2014-06-03 | Lg Display Co., Ltd. | Ink-jet print apparatus and method |
| KR101074459B1 (ko) * | 2009-07-31 | 2011-10-18 | 세메스 주식회사 | 처리액 토출 장치 |
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|---|---|
| US6221544B1 (en) | 2001-04-24 |
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